JPH0383210A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0383210A JPH0383210A JP21919989A JP21919989A JPH0383210A JP H0383210 A JPH0383210 A JP H0383210A JP 21919989 A JP21919989 A JP 21919989A JP 21919989 A JP21919989 A JP 21919989A JP H0383210 A JPH0383210 A JP H0383210A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- sliding surface
- block
- depth
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
この発明は磁気ヘッドの製造方法に関し、更に詳しくは
製造工程での磁気ヘッドのギャップ深さを決定するため
におこなわれる磁気ヘッドチップの研摩加工に関するも
のである。
製造工程での磁気ヘッドのギャップ深さを決定するため
におこなわれる磁気ヘッドチップの研摩加工に関するも
のである。
(ロ)従来の技術
一般に、磁気ヘッドの製造工程の最終段階には、磁気ヘ
ッドのギャップの深さ(以下、単にギャップ深さという
)を所望の値まで削り落とす工程が存在する。このとき
のギャップ深さの決定方法としては、磁気ヘッドのチッ
プ側面から直接目視するのが一般的である。
ッドのギャップの深さ(以下、単にギャップ深さという
)を所望の値まで削り落とす工程が存在する。このとき
のギャップ深さの決定方法としては、磁気ヘッドのチッ
プ側面から直接目視するのが一般的である。
(ハ)発明が解決しようとする課題
ところが、磁気ヘッドによっては、ギャップ近傍が複数
のガラスや、金属材料などから形成されている場合があ
り、屈折率の差や乱反射などで、ギャップ深さを正確に
測定することが困難な場合があった。
のガラスや、金属材料などから形成されている場合があ
り、屈折率の差や乱反射などで、ギャップ深さを正確に
測定することが困難な場合があった。
(ニ)課題を解決するための手段および作用この発明は
、磁気ギャップを有する磁気ヘッドコアのブロックを形
成した後、その媒体摺動面をラッピングテープで研摩加
工して所望の磁気ギャップの深さを有する磁気ヘッドを
形成するに際して、(i )上記滋fiへブトコアのブ
ロックの媒体摺動面に切込みによって所定の切込み角度
を有する複数のV型の溝を形成する工程(ii)各V型
の溝の底を通るような間隔で上記ブロックを切断して磁
気へ・ニドチップを形成する工程と、(iii ) 磁
気ヘッドチップの媒体摺動面幅が磁気ギャップの深さの
減少にとらなって増加するように、上記媒体摺動面の形
状を研摩加工する工程とからなる磁気ヘッドの製造方法
を提供するものである。
、磁気ギャップを有する磁気ヘッドコアのブロックを形
成した後、その媒体摺動面をラッピングテープで研摩加
工して所望の磁気ギャップの深さを有する磁気ヘッドを
形成するに際して、(i )上記滋fiへブトコアのブ
ロックの媒体摺動面に切込みによって所定の切込み角度
を有する複数のV型の溝を形成する工程(ii)各V型
の溝の底を通るような間隔で上記ブロックを切断して磁
気へ・ニドチップを形成する工程と、(iii ) 磁
気ヘッドチップの媒体摺動面幅が磁気ギャップの深さの
減少にとらなって増加するように、上記媒体摺動面の形
状を研摩加工する工程とからなる磁気ヘッドの製造方法
を提供するものである。
すなわち、本発明は、磁気ヘッドチップの媒体摺動面の
幅を媒体摺動面に対して斜めに絞り込むことで、ギャッ
プ深さの減少に対して媒体摺動面幅が増加するようにし
、媒体摺動面の幅から簡便かつ正確に随時ギャップ深さ
を測定可能な製造工程を持つ磁気ヘッドの製造方法を提
供するしのである。
幅を媒体摺動面に対して斜めに絞り込むことで、ギャッ
プ深さの減少に対して媒体摺動面幅が増加するようにし
、媒体摺動面の幅から簡便かつ正確に随時ギャップ深さ
を測定可能な製造工程を持つ磁気ヘッドの製造方法を提
供するしのである。
(ホ)実施例
以下図に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する。な
お、これによってこの発明は限定を受けるものではない
。
お、これによってこの発明は限定を受けるものではない
。
まず、磁気へブトコアのブロックを周知の方法を用いて
形成する。
形成する。
すなわち、0)第2図(a)に示す板状の基板1に、ダ
イシングブレードを用いてV型の切り込み溝2を形成す
る[第2図(b)参照コ。
イシングブレードを用いてV型の切り込み溝2を形成す
る[第2図(b)参照コ。
(ii)適当なH膜形成法、例えば真空蒸着法を用いて
V型溝2の片側斜面2aに矢印で示す方向から軟磁性材
料を積層し[第2図(c)参照]、片側斜面2aに軟磁
性膜3を形成する[第2図(d)参照ゴ。
V型溝2の片側斜面2aに矢印で示す方向から軟磁性材
料を積層し[第2図(c)参照]、片側斜面2aに軟磁
性膜3を形成する[第2図(d)参照ゴ。
(iii)軟磁性膜3が形成されたV型溝内にガラス4
を充填する[第2図(e)参照]。
を充填する[第2図(e)参照]。
(iv)板状の基板lを、■型溝2の長手方向(図示A
で示す矢印方向)に対して直角に切断して2つのブロッ
クla、lb[実際は、もっと多くのブロックに分割す
るが本実施例では2つのブロックla、lbに分割され
るとした。]を形成する[第2図(f)参照]。符号S
はその切断面である。
で示す矢印方向)に対して直角に切断して2つのブロッ
クla、lb[実際は、もっと多くのブロックに分割す
るが本実施例では2つのブロックla、lbに分割され
るとした。]を形成する[第2図(f)参照]。符号S
はその切断面である。
、(V)軟磁性膜3が互いに突き合わさるように2つの
ブロックla、lbを組合せ、溶着する[第2図(g)
参照コ。
ブロックla、lbを組合せ、溶着する[第2図(g)
参照コ。
このようにして磁気へブトコアのブロック5aが作成さ
れる。この際、第3図に示すように、突き合わされた面
Mが磁気ギャップとなる。
れる。この際、第3図に示すように、突き合わされた面
Mが磁気ギャップとなる。
続いて、上記のようにして作成された磁気へブトコアの
ブロック5aの媒体摺動面を円筒研削して媒体摺動方向
[図示Rで示す矢印方向コに半径rの曲率を有する媒体
摺動面6を形成して最終的に磁気ヘッドコアのブロック
5の作成を完了する[第2図(h)参照コ。この際、7
は巻線窓外側溝、8は巻線窓である。
ブロック5aの媒体摺動面を円筒研削して媒体摺動方向
[図示Rで示す矢印方向コに半径rの曲率を有する媒体
摺動面6を形成して最終的に磁気ヘッドコアのブロック
5の作成を完了する[第2図(h)参照コ。この際、7
は巻線窓外側溝、8は巻線窓である。
次に、第2図(i)に示すように、所望の媒体摺動面幅
か残るように、約60”の先端角θを有するV型のダイ
シングブレードで、媒体摺動面6を切り込んでV型溝9
を形成する[第2図(i)参照]。
か残るように、約60”の先端角θを有するV型のダイ
シングブレードで、媒体摺動面6を切り込んでV型溝9
を形成する[第2図(i)参照]。
第2図(i)はその状態のブロック5bを上記ブロック
5の長手方向(図示Pで示す矢印方向)の側面から見た
ものである。このようなダイシングブレードによる切り
込みによって、磁気へブトコアのブロック5bは、第2
図(h)に示した媒体摺動面6より狭い初期摺動面幅e
の媒体摺動面lOを有する[第1図参照コ。
5の長手方向(図示Pで示す矢印方向)の側面から見た
ものである。このようなダイシングブレードによる切り
込みによって、磁気へブトコアのブロック5bは、第2
図(h)に示した媒体摺動面6より狭い初期摺動面幅e
の媒体摺動面lOを有する[第1図参照コ。
この際、媒体と磁気ギャップMの接触状態は良好になる
が、媒体の走行による磁気ヘッドの摩耗量は増加する。
が、媒体の走行による磁気ヘッドの摩耗量は増加する。
そして本実施例ではダイシングブレードの先端角θは約
60”としたが、この角度θは媒体と磁気ヘッドの相対
速度や磁気ヘッドの基板材料の摩耗特性とのかね合いか
ら決定されろもので実用的には、40’〜80°位が望
ましい。
60”としたが、この角度θは媒体と磁気ヘッドの相対
速度や磁気ヘッドの基板材料の摩耗特性とのかね合いか
ら決定されろもので実用的には、40’〜80°位が望
ましい。
続いて、形成されたそれぞれのV型溝9の底9aを通る
ような間隔でワイヤソーのワイヤー(図示せず)を配置
してブロック5bを切断するとそれぞれ第2図(Dに示
すような磁気へニドチップ11が作成される。
ような間隔でワイヤソーのワイヤー(図示せず)を配置
してブロック5bを切断するとそれぞれ第2図(Dに示
すような磁気へニドチップ11が作成される。
このヘッドチップをヘッドベースに貼り付け、研摩テー
プで研摩後巻線を施して磁気ヘッドが完成する。
プで研摩後巻線を施して磁気ヘッドが完成する。
このWa気へ一/)′は飲m性金属薄臆3を姑品化ガラ
ス基板12と低融点ガラス13で挟持した製造を持つた
め、チップの側面からのギャップ深さの測定は、低融点
ガラス13を通して軟磁性金属薄膜3の接点Qを見るこ
とになり正確な値を得ることは困難である。
ス基板12と低融点ガラス13で挟持した製造を持つた
め、チップの側面からのギャップ深さの測定は、低融点
ガラス13を通して軟磁性金属薄膜3の接点Qを見るこ
とになり正確な値を得ることは困難である。
次に実際にギャップ深さを決定する手順を説明する。第
1図は、磁気ギャップ上の磁気ヘッドチップにおける媒
体摺動面近傍を示している。
1図は、磁気ギャップ上の磁気ヘッドチップにおける媒
体摺動面近傍を示している。
テープ研摩の初期状態は、円筒研削終了後の状態[第2
図(i)参照]で、これは第1図における点線で示す状
態である。この状態ではブロックの両端で、ギャップの
軟磁性金属薄膜の接合部を直接見ることは可能なので、
ギャップ深さは正確に測定できる。従って、このブロッ
クより切り出される磁気ヘッドチップのギャップ深さは
、ブロックの加工精度、すなわち巻線窓8及び円筒研削
のブロック長手方向(P方向)[第2図(h)参照]の
真直度によって決まりチップ間のばらつきは±1μ重で
ある。
図(i)参照]で、これは第1図における点線で示す状
態である。この状態ではブロックの両端で、ギャップの
軟磁性金属薄膜の接合部を直接見ることは可能なので、
ギャップ深さは正確に測定できる。従って、このブロッ
クより切り出される磁気ヘッドチップのギャップ深さは
、ブロックの加工精度、すなわち巻線窓8及び円筒研削
のブロック長手方向(P方向)[第2図(h)参照]の
真直度によって決まりチップ間のばらつきは±1μ重で
ある。
このギャップM[第3図参照]の深さを初期ギャップ深
さとし、チップ切断後にそれぞれの媒体摺動面幅をギャ
ップ上で測定し初期摺動面幅I2[第2図(i)参照コ
とする。この状態を初期状態として、適当な量のテープ
研摩を行うと、その時の媒体摺動面の幅の変化量ΔCv
とギャップ深さの変化量Δgdの関係は第1図より、Δ
Cv=2・tanθ・Δgdであり、実際に研摩すると
第4図に示すような関係を得た。
さとし、チップ切断後にそれぞれの媒体摺動面幅をギャ
ップ上で測定し初期摺動面幅I2[第2図(i)参照コ
とする。この状態を初期状態として、適当な量のテープ
研摩を行うと、その時の媒体摺動面の幅の変化量ΔCv
とギャップ深さの変化量Δgdの関係は第1図より、Δ
Cv=2・tanθ・Δgdであり、実際に研摩すると
第4図に示すような関係を得た。
そして、研摩後のギャップ深さは、チップ側面を削り落
とすことによって軟磁性金属薄膜の接合部(ギャップ部
)を露出させて測定している。
とすことによって軟磁性金属薄膜の接合部(ギャップ部
)を露出させて測定している。
第4図から、この実施例では、ΔCwとΔgdの間にΔ
Cv=1.3Δgdの比例関係があり、この直線からの
ばらつきは±1.5μ醜以内であることがわかる。
Cv=1.3Δgdの比例関係があり、この直線からの
ばらつきは±1.5μ醜以内であることがわかる。
従っであるダイシングブレードに対して1度測定してお
くとこのような比例関係から随時ヘッドのギャップ深さ
が決定できる。
くとこのような比例関係から随時ヘッドのギャップ深さ
が決定できる。
(へ)発明の詳細
な説明したようにこの発明によれば、媒体摺動面をラブ
ピングテープで研摩して、所望の磁気ギャップ深さに仕
上げる工程を有する磁気ヘッドの製造方法において、磁
気ヘッドチップの媒体摺動面幅が磁気ギャップの深さの
減少に従って増加するように媒体摺動面の形状を加工し
たので、前記媒体摺動面の幅から、磁気ギャップ深さを
決定でき、ヘッドの構造やチップ側面の状態に関係なく
、ヘッドのギャップ深さを簡便かつ正確に測定できる。
ピングテープで研摩して、所望の磁気ギャップ深さに仕
上げる工程を有する磁気ヘッドの製造方法において、磁
気ヘッドチップの媒体摺動面幅が磁気ギャップの深さの
減少に従って増加するように媒体摺動面の形状を加工し
たので、前記媒体摺動面の幅から、磁気ギャップ深さを
決定でき、ヘッドの構造やチップ側面の状態に関係なく
、ヘッドのギャップ深さを簡便かつ正確に測定できる。
また、本発明によれば、テープ研摩用ドラム、実走行用
ドラムなどのドラムにヘッドが搭載された状態でも随時
ギャップ深さが測定可能なので、加工工程における作業
能率とギャップ深さの管理の信頼性を向上できる。
ドラムなどのドラムにヘッドが搭載された状態でも随時
ギャップ深さが測定可能なので、加工工程における作業
能率とギャップ深さの管理の信頼性を向上できる。
°第1図はこの発明の一実施例を説明するための要部構
成説明図、第2図(a)〜(Dはそれぞれ上記実施例を
説明するための製造工程説明図、第3図は上記実施例に
おける要部構成説明図、第4図は上記実施例における媒
体摺動面幅の変化量(ΔC1)とギャップ深さΔgdの
変化量との関係を示す特性図である。 3・・・・・・軟磁性金属薄膜、 5.5a、5 b・・・・・・磁気ヘッドコアのブロッ
ク、6・・・・・・媒体摺動面、9・・・・・・V型溝
、9a・・・・・・V型溝の底、 2・・・・・・磁気ヘッドチップ、 12・・・・・・結晶化ガラス基板、 13・・・・・・低融点ガラス、M・・・・・・磁気ギ
ャップ、Q・・・・・・初期摺動面幅。 第 1 図 ”1ごR 第2図
成説明図、第2図(a)〜(Dはそれぞれ上記実施例を
説明するための製造工程説明図、第3図は上記実施例に
おける要部構成説明図、第4図は上記実施例における媒
体摺動面幅の変化量(ΔC1)とギャップ深さΔgdの
変化量との関係を示す特性図である。 3・・・・・・軟磁性金属薄膜、 5.5a、5 b・・・・・・磁気ヘッドコアのブロッ
ク、6・・・・・・媒体摺動面、9・・・・・・V型溝
、9a・・・・・・V型溝の底、 2・・・・・・磁気ヘッドチップ、 12・・・・・・結晶化ガラス基板、 13・・・・・・低融点ガラス、M・・・・・・磁気ギ
ャップ、Q・・・・・・初期摺動面幅。 第 1 図 ”1ごR 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、磁気ギャップを有する磁気ヘッドコアのブロックを
形成した後、その媒体摺動面をラッピングテープで研摩
加工して所望の磁気ギャップの深さを有する磁気ヘッド
を形成するに際して、(i)上記磁気ヘッドコアのブロ
ックの媒体摺動面に切込みによって所定の切込み角度を
有する複数のV型の溝を形成する工程 (ii)各V型の溝の底を通るような間隔で上記ブロッ
クを切断して磁気ヘッドチップを形成する工程と、 (iii)磁気ヘッドチップの媒体摺動面幅が磁気ギャ
ップの深さの減少にともなって増加するように、上記媒
体摺動面の形状を研摩加工する工程とからなる磁気ヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21919989A JPH0383210A (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
| EP90305833A EP0400966B1 (en) | 1989-05-29 | 1990-05-29 | Method of manufacturing a magnetic head |
| DE69016834T DE69016834T2 (de) | 1989-05-29 | 1990-05-29 | Herstellungsverfahren eines Magnetkopfes. |
| US07/529,872 US5020212A (en) | 1989-05-29 | 1990-05-29 | Method of manufacturing a magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21919989A JPH0383210A (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0383210A true JPH0383210A (ja) | 1991-04-09 |
Family
ID=16731760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21919989A Pending JPH0383210A (ja) | 1989-05-29 | 1989-08-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0383210A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100375226B1 (ko) * | 2000-01-10 | 2003-03-08 | 엘지전자 주식회사 | 디스크 드라이브의 진동 저감 장치 |
-
1989
- 1989-08-25 JP JP21919989A patent/JPH0383210A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100375226B1 (ko) * | 2000-01-10 | 2003-03-08 | 엘지전자 주식회사 | 디스크 드라이브의 진동 저감 장치 |
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