JPS61192010A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ビデオテープレコーダ等の磁気記録再生装
置に利用される磁気ヘッドの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

一般に、この種磁気ヘッドの製造方法は、たとえば特開
昭５９−１６８９１８号公報に示されているが、第３図
ないし第１１図を用いて説明すると、まず、第３図に示
すように、１対のフェライトウェハ（１）。

＋２１のそれぞれのギャップ突合せ面（Ｉａ）、（２Ｂ
）に直交するように基準面（ｌｂ）、（２ｂ）を鏡面研
摩加工して形成し、その後ギャップ突合せ面（Ｉａ）、
（２Ｂ）を鏡面研摩加工する。さらに、第４図に示すよ
うに、両ウェハ（１）　、　（２）のそれぞれの突合せ
面（Ｉｎ）、（２ａ＞に二酸化ケイ素等の非磁性膜から
なるギャップ形成膜（３）。

（４）を、蒸着、スパッタ等により、両ウェハ（１）　
、　（２１の突合せ時に所望のギャップ長となるように
それぞれ付着、形成する。

つぎに、第５図に示すように、一方のウェハ（１）の突
合せ面（ｔａ）に、その基準面（１ｂ）に直交する方向
に、巻線用溝（５）およびガラス充填溝（６）を研削形
成し、さらに、第６図に示すように、両ウニ／％（１）
１（２）のそれぞれの突合せ面（Ｉａ）、（２ａ）に、
前記巻線用溝（５）、ガラス充填溝（６）に直交する方
向、すなわちそれぞれの基準面（Ｉｂ）、（２ｂ）に平
行な方向に複数のトラック幅規定用トラック溝（７）　
、　（８）を形成する。このトラック溝（７）　、　（
８）の加工は、両基準面（Ｉｂ）、（２ｂ＞を同一平面
上に合わせて、基準面（Ｉｂ）、（２ｂ）から一定距離
ｌ離れた位置から一定ピツチｐで順次行なわれ、隣合う
トラック溝（７）　、　（８）間に所望のトラック幅も
が形成される。

そして、第７図に示すように、両ウェハ（１）−、（２
）のそれぞれの突合せ面（Ｉａ）、（２ａ）をそれぞれ
の基準面（Ｉｔ）’）、（２ｂ）を同一平面上に合せた
状態で接合し、さらに、各ガラス充填溝（６）にそれぞ
れ棒状の溶着用ガラス材（９）を挿入し、加圧しながら
、すなわち両ウェハ（１）　、　（２）間を圧接しなが
ら加熱し、ガラス材（９）を溶融させて両ウェハ（１）
　、　（２＋を溶着し、ブロック体Ｇαを構成する。こ
のとき、溶融されたガラス材（９）はガラス充填溝（６
）のみならず互いに対向する各トラック溝（７）　、　
（８）内にも流入し充填される。また、両ウェハ（１）
　、　（２）の突合せ面（Ｉａ）、（２ａ）間に両ギャ
ップ形成膜（３／、（４）による所定幅のギャップが形
成される。

そして、前述のようにして得られたグロック体叫を、同
図に１点鎖線で示す切断面αηでそれぞれ切断してチッ
プブロック（２）を形成し、第８図に示すように、チッ
プブロック（２）のテープ対接面にＲ付は加工を施こし
て所定のデプス長を形成する。

さらに、第９図に示すように、Ｒ付けしたチップブロッ
クα４のテープ対接面に、ギャップ突合せ面（１１）、
（２ａ）に対し所定のアジマス角をもって、所望のテー
プ対接幅ｍになるようテープ対接規定溝（至）を順次形
成し、この溝α１に沿ってチップブロック＠をスライス
し、第１０図および第１１図に示すような磁気ヘッドチ
ップα脣を形成する。

ところで、この種磁気ヘッドでは、そのトラック幅もの
精度が直接記録密度に関係し、狭トラツク幅化されるに
従い２μｍ位の精度が要求されてきている。

このトラック幅もは、前述したように、両フエライトウ
ｘ　ハ（１）　、　ｆ２１のギャップ突合せ面（Ｈａ）
、（２ａ）に形成されるトラック溝（７）　、　（８）
により規定されるが、従来よシ、高精度なトラック幅加
工を行なうために、ダイシング等の機械を用いてトラッ
ク溝（７）　、　（８）の加工が行なわれている。

すなわち、従来の製造方法におけるトラック溝加工は、
第１２図に示すように、フエライ、トウエバ（１）　、
　（２＋のギャップ突合せ面（Ｉａ）、（２ａ）を、ダ
イシングのブレードと呼ばれる切削刃α四により、基準
面（＋１３）、（２１））に平行な第１溝（ＡＩ　）、
（Ａ２）、（Ａ３）、・・・を一定ピツチｐで順次切削
し、その後、第１溝（Ａ２）、（ＡＩ）　。

・・・との間が所定のトラック幅もになるよう、同一の
切削刃α目で第２溝（Ｂｌ）、（Ｂ２）、・・・を一定
ピツチｐで順次切削して行なっている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、前記従来の製造方法によシトラック溝加工を行
なうと、これにより得られたトラック幅しに大きなばら
つきが生じる。これは、第１溝（ＡＩ）。

（Ａ２）、（Ａ３）、・７Ｍｌ削時に、切削刃ａ１の両
刃面（Ｘ）。

（ｙ）が等しく切削を行ない、切削面（Ａｘ　）　、（
Ａｙ　）を得ているが、第２溝（’Ｂｌ）、（Ｂ２）、
・・・の切削時、切削刃α＄の一方の刃面（Ｘ）が先端
のみの切削により切削面（Ｂｘ）を得ているのに対し、
他方の刃面ケ）はその全面に渡って切削を行ない切削面
（Ｂｙ）を得ているため、切削刃α１の他方の刃面０）
の使用頻度が高く、該刃面（ｙ）における摩耗が一方の
刃面（Ｘ）に対し進行し、しかもこれが一定でなく、こ
のことが直接トラック幅のばらつきを生じることになる
と推定される。

そこで、切削刃α＄の両刃（Ｘ）　、　ＣＹ）における
摩耗の差をなくすべく、第１３図に２点鎖線に示すよう
に、ウェハ（１）　、　（２）の突合せ面（ｌａ）、（
２ａ）に予め一定ピツチｐで予備溝αＧを形成し、その
後、第１溝（ＡＩ　）’　。

（Ａ２）’、・・・および第２溝（Ｂ＋　）’　、（Ｂ
２）’　、・・・を順次切削することが考えられる。

しかし、このように切削刃Ｑ５の両刃面（Ｘ）　、　（
ｙ）における摩耗の差をなくすようにしても、トラック
幅のばらつきは前述のものと差程変わっておらず、トラ
ック幅のばらつきの最大の原因が切削刃ａ９の刃面（Ｘ
）　、　（ｙ）における偏摩耗でないことになる。

なお、トラック溝加工に用いられる切削刃αＱにおいて
は、その刃先角度が、トラック幅制御の問題や製造され
た磁気ヘッドの特性等を考慮して、およそ４５度に設定
されているが、トラック溝の加工時に、まず、切削加工
のしやすい（切削抵抗の小さい）切削刃、すなわち刃先
角度の小さい切削刃を用いて切削を行ない、その後本加
工用の切削刃を用いてトラック溝を完成することが考え
られる。しかし、この場合、２種の切削刃を使用するた
め、その交換が大変であシ、しかも切削刃の位置決めに
労を要す難点があり、不都合である。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者は、前記の点に鑑み、トラック幅のばらつきの
原因を種々分析してみた結果、トラック溝形成用切削刃
のウェハに対する切削抵抗がこのばらつきに大きく影響
することをつきとめ、さらに、トラック溝の本加工前に
予備溝を形成した際、この予備溝の深さが本加工時の切
削抵抗およびそれに伴なうトラック幅のばらつきに大き
く影響することを確認し、この発明に到達したものであ
り、この発明は、磁気ヘッドの製造方法におけるトラッ
ク溝の形成工程に、ウェハのトラック溝形成位置の中央
に該トラック溝の深さの２１５〜３／５の深さで予備溝
を形成する工程を含むことを特徴とするものである。

〔作　用〕

したがって、前述した磁気ヘッドの製造方法によると、
トラック溝を形成する工程において、まず、１対のウェ
ハのそれぞれのギャップ突合せ面におけるトラック溝形
成位置の中央に、該トラック溝の深埒のＶ５〜３／５の
深さで予備溝を形成し、その後、予備溝の両側において
本加工を行なうことにより、本加工時の切削抵抗が小さ
くなり、それに伴なってトラック幅のばらつきを最小限
に抑えることが可能になる。

〔実施例〕

つぎに、この発明を、その１実施例を示した第１図およ
び第２図とともに詳細に説明する。

まず、第２図は、深さ２００μｍのトラック溝（７）。

（８）の形成工程において、本加工前に予備溝を形成す
るとともに、この予備溝の深さを種々変えてトラック溝
の本加工を行なった場合のトラック幅精度の測定結果を
示したものである。同図から明らかなように、形成しよ
うとするトラック溝の深さの２１５〜３／５間の深さを
有する予備溝を予め形成しておけば、本加工によりトラ
ック溝（７）　、　（８）を形成した際、トラック幅ｔ
の精度が±２μｍ以内に入ることがわかる。

ここで、予備溝の加工深さが浅すぎると、本加工時の切
削抵抗が大きくなり、トラック幅精度が低下し、また、
予備溝の加工深さが深すぎると、この予備加工時に生じ
た切削変動が本加工時に直接影響し、安定した本加工が
行なわれず、結果としてトラック幅精度が低下すること
になる。

つぎに、実施例の製造方法について説明する。

前記従来技術第３図〜第５図で説明したように、１対の
フェライトウェハ（１）　、　（２）において、それぞ
れの鏡面研磨加工されたギャップ突合せ面（ｌａ）　。

（２ａ）にギャップ形成膜＋３／　、　（４）を形成す
るとともに、一方のウェハ（１）の突合せ面（ｌａ）に
その基準面（＋ｂ）に対し直交する方向に巻線用溝（５
）およびガラス充填溝（６）を形成する。

つぎに、両ウェハ（１）　、　（２１のそれぞれの基準
面（ｔｂ）。

（２ｂ）を同一平面上に合□わせて、第６図に示すよう
な基準面（ｌｂ）、（２ｂ）に平行な複数行のトラック
溝（７）。

（８）を形成するのである示、この形成工程において、
まず、第１図に２点鎖線で示すように、トラック溝形成
位置の中央に、トラック溝（７）　、　（８）の深さ。

たとえば２００μｍに対し２１５〜３／５　（８０ｔｔ
ｍ−１２０μｍ）の深さの予備溝０ηを切削刃α四によ
り一定ピッチｐで形成する。その後、同図に１点鎖線で
示すように、予備溝θ′７）の−側寄り、すなわち基準
面（ｌｂ）、（２ｂ）寄シに所定深さく２００μｍ）の
第１溝（Ａ）を一定ピツチｐで順次形成し、さらに、予
備溝α力の他側寄りに第１溝（Ａ）との間に所望のトラ
ック幅ｔを残して所定深さく２００μｍ）の第２溝（Ｂ
）を順次形成し、第６図と同様、トラック溝（７）　、
　（８）を得る。

ここで、予備溝α力がトラック溝形成位置の中央からず
れると、その後の本加工時に切削刃αＧの安定度が悪く
なり、所望のトラック幅もが得られなくなる。

その後、従来技術第７図〜第９図で説明した工程を経て
第１０図および第１１図に示すような磁気ヘッドチップ
Ｑ４）を完成する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明の磁気ヘッドの製造方法による
と、トラック溝形成工程に、トラック溝形成位置の中央
に該トラック溝の深さのＶ５〜３／５の深さで予備溝を
形成する工程を含むため、トラック溝の本加工時におけ
る切削抵抗が低減し、トラック溝加工が精度良く行なわ
れ、隣合うトラック溝により規定されたトラック幅を高
精度に得ることができる。ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの発明の磁気ヘッドの膨曲方法
の１実施例を示し、第１図はトラック溝形成工程を示す
要部の正面図、第２図は予備溝の深さに対するトラック
溝形成後のトラック幅精度の特性図、第３図ないし第１
１図はそれぞれ一般の磁気ヘッドの製造方法における製
造過程を示し、第３図ないし第１０図はそれぞれ斜視図
、第１１図は磁気ヘッドチップの平面図、第１２図およ
び第１３図はそれぞれ従来の磁気ヘッドの製造方法にお
けるトラック溝形成工程を示す一部の正面図である。 （１）　、　（２１−・・フェライトウェハ、（ｔａ）
、（２ａ）−・・ギャップ突合せ面、＋３）　、　（４
）・・・ギャップ形成膜、（５）・・・巻線用溝、（６
）・・・ガラス充填溝、（７）　、　（８）・・・トラ
ック溝、（９）・・・ガラス材、（２）・・・チップブ
ロック、α瘤・・・磁気ヘッドチップ、ｎ・・・予備溝
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）鏡面研磨されたギャップ突合せ面を有する１対の
   磁性材からなるウェハの一方の前記ギャップ突合せ面に
   巻線用溝およびガラス充填溝を形成する工程と、前記両
   ウェハのそれぞれのギャップ突合せ面に前記各溝に交差
   する方向にトラック幅規定用の複数のトラック溝を形成
   する工程と、前記両ギャップ突合せ面をギャップ形成膜
   を介して接合するとともに前記ガラス充填溝に挿入され
   たガラス材を溶融して前記両ウェハを溶着しチップブロ
   ックを構成する工程と、チップブロックをスライスし磁
   気ヘッドチップを形成する工程とを有し、かつ、前記ト
   ラック溝の形成工程に、前記ウェハのトラック溝形成位
   置の中央に該トラック溝の深さの２／５〜３／５の深さ
   で予備溝を形成する工程を含むことを特徴とする磁気ヘ
   ッドの製造方法。