JPH06162435A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 接合一体化して接合面に磁気ギャップを形成
した一対のコアブロックを研磨用治具に貼り付けてブロ
ック上端面を研磨し、所定量のギャップデプスを形成す
る際、治具に貼りつけたままギャップデプス量を検出し
て研磨量制御する磁気ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】 断面Ｃ状第１コアブロック1と断面Ｉ状第２
コアブロック2とを接合一体化して接合面上部にギャッ
プGを形成した後、研磨用治具に貼り付けてブロック上
端面を研磨加工して所定量のギャップデプスを形成する
にあたり、ブロック上端面の所定位置に接合面に直交し
てギャップデプス量Dgよりも深く開口角度θが既知のＶ
溝Vaを穿設し、ギャップデプスエンドE及びブロック上
端面における各溝幅We、Woをブロック上端面上方から測
定して開口角度θとでギャップデプス量Dgを算出し、研
磨量制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドの製造方法に
関し、詳しくは一対のコアブロックを接合一体化して接
合面に磁気ギャップを形成した後、研磨用治具に貼り付
けてブロック上端面を研磨して所定量のギャップデプス
を形成する際、治具に貼りつけたままギャップデプス量
を検出して研磨量制御する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気ヘッドを製造する際、接合一体化し
た一対のコアブロックの上端面を研磨して所定量のギャ
ップデプスを形成する工程があり、その一例を図２
（ｂ）及び図３を参照して次に説明する。まず図３にお
いて（１）は断面Ｃ字状第１コアブロック、（２）は断
面Ｉ字状第２コアブロック（２）である。上記第１コア
ブロック（１）は金属磁性膜（３ａ）…を非磁性ブロッ
ク（４ａ）…を介して所定ピッチで積層した積層型コア
ブロックで、Ｃ字状の接合面端面に溶着用ガラス（５）
を充填する長溝（１ａ）を形成する。第２コアブロック
（２）も同様に金属磁性膜（３ｂ）…を非磁性ブロック
（４ｂ）…を介して所定ピッチで積層した積層型コアブ
ロックで、各金属磁性膜（３ａ）（３ｂ）…を対向させ
てガラス（５）の溶着により各コアブロック（１）
（２）を接合一体化して金属磁性膜接合面に磁気ギャッ
プ（Ｇ）を形成する。この時、第２コアブロック（２）
の両端部を少し切り欠いて第１コアブロック（１）の両
端部をはみ出させ、ギャップデプス量（Ｄｇ）を露出さ
せておく。そして、第１、第２コアブロック（１）
（２）を図示鎖線に沿って所定ピッチでスライスしてコ
アチップを形成する。

【０００３】上記ギャップデプス量（Ｄｇ）を形成する
際、接合一体化した第１、第２コアブロック（１）
（２）の上端面を粗削りした後、まず図３に示すバック
ハイト量（Ｄｂ）（ギャップデプスエンドからブロック
底面までの距離）を揃え加工したものでは、図２（ｂ）
に示すように、第１、第２コアブロック（１）（２）
（但し、第２コアブロックの切り欠き部を図示省略）を
所定数、円盤状研磨用治具（６）に上端面を表に向けて
直接、貼り付ける。次に、研磨盤（例えば錫盤、図示せ
ず）の上方に治具（６）を第１、第２コアブロック
（１）（２）を下に向けて対向・配置する。そこから治
具（６）を下降して研磨盤に加圧・接触させて治具
（６）と研磨盤を回転させ、各ブロック上端面を同時研
磨する。そこで、一定量研磨すると、第１、第２コアブ
ロック（１）（２）を一旦、治具（６）から取り外し、
１個ずつ立てた状態で図示矢印方向（Ｃ）からギャップ
デプス量（Ｄｇ）を測定し、逐次、研磨量に応じて治具
（６）に貼り直して研磨量制御する。そして、図示鎖線
に沿ってスライスしてコアチップを形成した後、コアチ
ップ毎にギャップデプス量（Ｄｇ）（又はバックハイト
量）を測定し、それが揃っているものを幾つか集めて再
度、治具（６）に貼り付けて仕上げ研磨し、最終的に約
１５μｍ程度、研磨して（３±２）μｍのギャップデプ
ス量（Ｄｇ）を形成する。

【０００４】又、バックハイト量（Ｄｂ）を揃え加工し
ていないものでは、中間治具（図示せず）に各ブロック
を貼り付けてバックハイト量（Ｄｂ）を揃えた後、治具
（６）に貼り付けてブロック上端面を研磨する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、接合一体化した第１、第２コアブロック（１）
（２）を治具（６）貼り付けてその上端面を研磨し、所
定量のギャップデプスを形成するにあたり、ギャップデ
プス量（Ｄｇ）を測定して研磨量制御する際、第１、第
２コアブロック（１）（２）を一旦、治具（６）から取
り外した後、図の矢印方向（Ｃ）から見てギャップデプ
ス量（Ｄｇ）を測定し、研磨量に応じて適宜、治具
（６）に貼り直して研磨量制御しているため、その作業
が面倒で作業性が低下すること、又、コアチップにスラ
イスした後、ギャップデプス量（Ｄｇ）を測定し、それ
が揃っているものを幾つか集めて最終の仕上げ研磨して
いるため、更に、その作業が面倒で作業性が低下する点
である。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、断面Ｃ状第１
コアブロックと断面Ｉ又はＣ状第２コアブロックとを接
合一体化して接合面上部に磁気ギャップを形成した後、
研磨用治具に貼り付けて上記ブロック上端面を研磨加工
して所定量のギャップデプスを形成するにあたり、上記
ブロック上端面の略中央部に接合面に直交してギャップ
デプスよりも深く開口角度が既知のＶ又は台形溝を穿設
し、ギャップデプスエンド及びブロック上端面における
各溝幅をブロック上端面上方から測定して上記開口角度
とでギャップデプス量を算出し、研磨量制御することを
特徴とし、

【０００７】又、所定量の上記ギャップデプスを形成す
るにあたり、上記ブロック上端面の長手方向の両端部に
接合面に直交してギャップデプスよりも深く開口角度が
既知のＶ又は台形溝を穿設し、ギャップデプスエンド及
びブロック上端面における各溝幅をブロック上端面上方
から測定して上記開口角度とでギャップデプス量を算出
し、研磨量制御及びブロック姿勢制御することを特徴と
する。

【０００８】

【作用】上記技術的手段によれば、接合一体化した第
１、第２コアブロック上端面の所定位置に接合面に直交
してギャップデプス量よりも深く開口角度が既知のＶ又
は台形溝を穿設し、ギャップデプスエンド及びブロック
上端面における各溝幅をブロック上端面上方から顕微鏡
で測定して開口角度とでギャップデプス量を算出し、第
１、第２コアブロックを研磨用治具に貼り付けたまま研
磨量制御する。

【０００９】

【実施例】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を図１及
び図２を参照して以下に説明する。図３に示す部分と同
一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する。
相違する点は、まず図１（ａ）（ｂ）において、接合一
体化した第１、第２コアブロック（１）（２）の上端面
の略中央部に接合面に直交してギャップデプス量測定用
Ｖ溝（Ｖａ）を穿設したことで、Ｖ溝（Ｖａ）は、図１
（ｂ）に示すように、９０°の開口角度（θ）でギャッ
プデプス量（Ｄｇ）よりも深く、且つ、法線方向（Ａ）
に対して断面左右対称に穿設される。

【００１０】上記構成によれば、法線方向（Ａ）と溝内
壁面（Ｖａｓ）とのなす角度（δ）は４５°（＝θ／
２）になるため、上方から見た溝幅（Ｗｏ）は溝深さ
（Ｄｏ）の２倍になり、上方から溝幅（Ｗｏ）を測定し
て溝深さ（Ｄｏ）を知ることが出来る。そこで、デプス
エンド（Ｅ）から溝底（Ｏ）までの深さを（Ｄｅ）とす
ると、Ｄｇ＝Ｄｏ−Ｄｅ＝（Ｗｏ／２）−Ｄｅ とな
る。又、深さ（Ｄｅ）はデプスエンド（Ｅ）における溝
幅（Ｗｅ）の（１／２）となる。

【００１１】従って、 Ｄｇ＝（Ｗｏ／２）−Ｄｅ＝
（Ｗｏ−Ｗｅ）／２ となり、ブロック上方から顕微鏡
で各溝幅（Ｗｏ）（Ｗｅ）をそれぞれ測定するだけで、
その差の半分よりギャップデプス量（Ｄｇ）を算出でき
る。

【００１２】そこで、ギャップデプス量（Ｄｇ）を形成
する際、接合一体化した第１、第２コアブロック（１）
（２）の上端面を粗削りした後、まずバックハイト量
（Ｄｂ）を揃え加工したものでは、図２（ｂ）に示すよ
うに、それを治具（６）に直接、貼り付けて従来同様、
ブロック上端面を研磨する。次に、一定量、研磨する毎
に第１、第２コアブロック（１）（２）を治具（６）に
貼り付けたまま治具上方から顕微鏡で溝幅（Ｗｏ）（Ｗ
ｅ）を測定する。そして、その測定値からギャップデプ
ス量（Ｄｇ）を算出し、逐次、研磨量制御すれば良く、
研磨終了するまで第１、第２コアブロック（１）（２）
を治具（６）から取り外す必要はない。尚、この時、溝
幅（Ｗｅ）は研磨によらず一定値であるため、予め測定
しておくと、研磨時には溝幅（Ｗｏ）を測定するだけで
良い。

【００１３】そうすると、仕上げ研磨においても治具
（６）に貼り付けたまま研磨量を制御出来るため、コア
チップにスライスしなくても治具（６）に貼り付けたブ
ロック状態のまま最終仕上げまで連続して研磨出来る。

【００１４】又、図２（ａ）に示すように、接合一体化
した第１、第２コアブロック（１）（２）の上端面両端
部にＶ溝（Ｖｂ）（Ｖｃ）をそれぞれ９０°の開口角度
（θ）で、且つ、法線方向（Ａ）に対して断面左右対称
に穿設する。そうすると、例えばバックハイト量（Ｄ
ｂ）を揃え加工していない第１、第２コアブロック
（１）（２）の接合ブロックを中間治具（図示せず）を
介して治具（６）に貼り付け、バックハイト量（Ｄｂ）
を揃えて研磨すると共に、各Ｖ溝（Ｖｂ）（Ｖｃ）毎に
デプス量（Ｄｇ）を測定する。そうすると、Ｖ溝（Ｖ
ｂ）（Ｖｃ）毎のデプス量（Ｄｇ）の差より治具（６）
上で中間治具の傾き等による第１、第２コアブロック
（１）（２）の傾き具合を知ることが出来、研磨量制御
だけでなく、適宜、ブロック姿勢を調整出来る。

【００１５】尚、ギャップデプス量測定用としてＶ溝
（Ｖａ）に代えて上方に拡開した台形溝をギャップデプ
ス量よりも深く形成しても良い。又、開口角度（θ）が
９０°でない既知角度の場合、 Ｄｇ＝｛（Ｗｏ−Ｗ
ｅ）／２｝・（１／ｔａｎδ）（但し、δ＝θ／２）に
より同様に算出できる。又、バルク型等の積層型以外の
磁気ヘッドのコアブロックについても本発明を適用出来
る。

【００１６】

【発明の効果】本発明によれば、接合一体化した一対の
コアブロックを研磨用治具に貼り付けてブロック上端面
を研磨し、所定量のギャップデプスを形成する際、治具
に貼りつけたままギャップデプス量を検出して研磨量制
御出来るようにしたから、ギャップデプス量測定のため
にその都度、コアブロックを治具から取り外す必要がな
く、仕上げ研磨まで連続加工が可能となり、作業性が大
幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の
実施例を示す略中央部にギャップデプス長測定用Ｖ溝を
形成したコアブロックの要部斜視図である。（ｂ）は本
発明に係るＶ溝の側面図である。

【図２】（ａ）は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の
他の実施例を示す両端部にギャップデプス長測定用Ｖ溝
を形成したコアブロックの要部斜視図である。（ｂ）は
研磨用治具の平面図である。

【図３】従来の磁気ヘッドの製造方法の一例を示すコア
ブロックの要部斜視図である。

【符号の説明】

１ 第１コアブロック ２ 第２コアブロック Ｇ 磁気ギャップ Ｄｇ ギャップデプス量 Ｖａ Ｖ溝

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 断面Ｃ状第１コアブロックと断面Ｉ又は
   Ｃ状第２コアブロックとを接合一体化して接合面上部に
   磁気ギャップを形成した後、研磨用治具に貼り付けて上
   記ブロック上端面を研磨加工して所定量のギャップデプ
   スを形成するにあたり、 上記ブロック上端面の略中央部に接合面に直交してギャ
   ップデプス量よりも深く開口角度が既知のＶ又は台形溝
   を穿設し、ギャップデプスエンド及びブロック上端面に
   おける各溝幅をブロック上端面上方から測定して上記開
   口角度とでギャップデプス量を算出し、研磨量制御する
   ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 断面Ｃ状第１コアブロックと断面Ｉ又は
   Ｃ状第２コアブロックとを接合一体化して接合面上部に
   磁気ギャップを形成した後、研磨用治具に貼り付けて上
   記ブロック上端面を研磨加工して所定量のギャップデプ
   スを形成するにあたり、 上記ブロック上端面の長手方向の両端部に接合面に直交
   してギャップデプス量よりも深く開口角度が既知のＶ又
   は台形溝を穿設し、ギャップデプスエンド及びブロック
   上端面における各溝幅をブロック上端面上方から測定し
   て上記開口角度とでギャップデプス量を算出し、研磨量
   制御及びブロック姿勢制御することを特徴とする磁気ヘ
   ッドの製造方法。
3. 【請求項３】 断面Ｃ状第１コアブロックと断面Ｉ又は
   Ｃ状第２コアブロックとを接合一体化して接合面上部に
   磁気ギャップを形成する磁気ヘッド用ブロックにおい
   て、上記ブロック上端面の略中央部に接合面に直交して
   ギャップデプス量よりも深く開口角度が既知のＶ又は台
   形溝を穿設したことを特徴とする磁気ヘッド用ブロッ
   ク。