JPH038861Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （技術分野） 本考案は特に半導体製造プロセスで使用される
各種エツチング用薬液の配管用チユーブに関す
る。

（従来技術とその問題点） 半導体、例えばシリコンウエハーを製造する工
程においては、シリコン単結晶がウエハーに切断
された後の工程で、単結晶の表面破壊層を取り除
くために、一般的に化学的エツチングを行なつて
いる。このエツチング液や洗浄液に各種無機薬
品、純水等が種々使われているが、これらの薬液
配管には着色した四ふつ化エチレン樹脂製チユー
ブを使用して誤配管が起きないよう注意が払われ
ている。

例えば、第２図のように薬液に接する内面ａ
は、純四ふつ化エチレン樹脂を使用し、外側の薬
品に触れない面ｂは、着色した四ふつ化エチレン
樹脂を使用した二色チユーブが知られている。こ
れは着色顔料を含む四ふつ化エチレン樹脂層を直
接薬液に接しないよう外周側にして、顔料が薬液
へ溶出しないようにしたものである。

これは、シリコンウエハーの表面状態を清浄に
保つには洗浄に使用する純水各種薬品の純度や清
浄度が極めて重要な要素となるからである。

しかるに、上記公知のチユーブでは、配管施
行、修理の際にチユーブ切断口より、外周の四ふ
つ化エチレン樹脂層から顔料が混入し薬液を汚染
する可能性があるという重大な問題を提起した。

（考案の目的） そこで本考案は、配管施行あるいは修理の際に
チユーブを切断しても着色顔料の混入による薬液
汚染を防ぎ、かつ容易に薬液ラインを識別するこ
とができる薬液配管用チユーブを提供することで
ある。

（考案の構成） 本考案に係る薬液配管用チユーブは、ふつ素樹
脂チユーブの外周に、顔料入り四ふつ化エチレン
樹脂デイスパージヨンを付着させてチユーブと共
に焼付けたカラーマークを不連続的に施したこと
を特徴とするものである。

第１図Ａにて実施例を示せば１は顔料もなにも
含有しない無着色透明な純四ふつ化エチレン樹脂
チユーブであり、２は該チユーブ１の外周に施し
たカラーマークである。このカラーマークをチユ
ーブ外周に施すには、例えばチユーブ１を押出し
た際に、顔料入り四ふつ化エチレン樹脂デイスパ
ージヨンをチユーブ外周に付着させてチユーブと
共に焼成することにより焼付することができる。
而してチユーブ１の外周には、一条のカラーマー
ク２が略等間隔（ｌ）をもつて不連続的に施され
ている。

第１図Ｂは、同様に二条のカラーマークが施さ
れたものである。そして、このカラーマークの本
数や位置は全く自由であり、またその色も任意で
あり、第１図Ｂの様にカラーマーク２，２′の色
を組合せることもできる。また、ふつ素樹脂チユ
ーブとしては、四ふつ化エチレン樹脂のほかに、
四ふつ化エチレン−パーフロロアルキルビニルエ
ーテル共重合樹脂（PFA）、四ふつ化エチレン−
六ふつ化プロピレン共重合樹脂（FEP）のよう
な熱溶融性ふつ素樹脂が使用される。

而してチユーブ１を切断する場合はカラーマー
クの間隙部３を切断し、この部分で継手を取り付
ける。

以上は、半導体製造プロセスで使用される薬液
配管用チユーブについて説明したが、本考案に係
るチユーブは、これに限定されるものでなく、医
薬品、一般化学薬品等の薬液配管用チユーブとし
ても使用できることは言うまでもない。

（考案の効果） 以上のように本考案は、透明なふつ素樹脂チユ
ーブの外周にカラーマークを不連続的に施したか
ら、 チユーブ切断の際に、カラーマークの間隙部
を切断すれば、チユーブ内に顔料のような不純
物が混入することがなく、したがつて各種薬液
を汚染することがない。

しかも、上記カラーマークは、顔料入り四ふ
つ化エチレン樹脂デイスパージヨンを付着させ
てチユーブと共に焼付けてあるから、カラーマ
ークがふつ素樹脂チユーブに強固に付着されて
おり、したがつてチユーブの配管作業中でも容
易にカラーマークが剥れることがなく、薬液へ
の混入のおそれがない。

外部より、常に薬液の状態を目視観察でき
る。

もちろんカラーマークによつて簡単に薬液ラ
インを識別でき、誤配管や作業ミスによる危険
を未然に防ぐことができる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る薬液配管用チユーブの斜
視図、第２図は従来の薬液配管用チユーブであ
る。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ふつ素樹脂チユーブの外周に、顔料入り四ふつ
   化エチレン樹脂デイスパージヨンを付着させてチ
   ユーブと共に焼付けたカラーマークを不連続的に
   施したことを特徴とする薬液配管用チユーブ。