JPH0394508A - 圧電部品の周波数調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は圧電部品の周波数調整方法に関し、特にたと
えばエネルギ閉じ込め型厚みたて振動モードを利用する
圧電部品たとえばフィルタ，トラップ，ディスクリミネ
ータ等の周波数調整方法に関する。

〔従来技術〕

この種の圧電部品における従来の周波数調整方法として
は、■振動電極上に絶縁体インクを印刷または吹き付け
などによって塗布して振動周波数を下げる方法や、■各
電極がＡｇからなるとき、電極の上にさらにＡｇを蒸着
し積層することによって、電極の質量を変え、振動周波
数を下げる方法などがある。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の■および■のいずれの周波数調整方法においても
、圧電基板上に直接、絶縁体インクを塗布し、あるいは
Ａｇを蒸着するので、余計な箇所にまでこれらの質量を
付加することになり、その付加量が多くなって無駄があ
るという問題点があった。

それゆえに、この発明の主たる目的は、質量の付加が無
駄なく行なえる、圧電部品の周波数調整方法を提供する
ことである。

〔課題を解決するための手段］ この発明は、圧電基板、圧電基板上に形成された振動電
極、および圧電基板上に形或されかつ振動電極に接続さ
れる接続電極を含む圧電部品の周波数の調整方法であっ
て、（ａ）振動電極を除いた圧電基板表面をマスクし、
（ｂ）マスクを通して振動電極にのみ周波数調整用の質
量を付加する、圧電部品の周波数調整方法である。

〔作用〕

周波数調整用の質量を付加する部分、すなわち振動電極
を除いて、圧電基板表面をマスクする。

そして、圧電基板表面に周波数調整用の質量が付加され
る。このとき、圧電基板表面はマスクされているので、
周波数調整用の質量はマスクされていない振動電極にの
み付加される。すなわち、周波数調整用の質量は圧電基
板表面上の必要な箇所にのみ付加される。

［発明の効果］ この発明によれば、周波数調整用の質量は圧電基板表面
上の振動電極、すなわち必要な箇所にのみ付加すること
ができるので、必要以上に付加されず、無駄なく安価に
、圧電部品の周波数調整が行える。

この発明の上述の目的，その他の目的．特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。

（実施例〕 第１Ａ図〜第ＩＤ図を参照して、この実施例の圧電部品
１０の周波数調整方法を説明する。

まず、第ＩＡ図に示すたとえば圧電フィルタなどの圧電
部品１０を（＄備する。圧電部品１０はたとえばセラミ
ンクなどからなる四角形の板状の圧電基板１２を含む。

そして、圧電基板ｌ２の両面には、たとえばＡｇからな
る円形の振動電極１４が、圧電基板１２を挟むようにそ
れぞれ２つずつ形或されている。また、圧電基板１２の
一方面上には２つの略コ字形状をした接続電極ｌ６が対
称的に形成され、それぞれ振動電極１４に接続されてい
る。これらの接続電極１６はそれぞれ引出電極１８と端
子取付電極２０とを含む。また、圧電基板１２の他方面
上には略丁字形状をした接続電極２２が形成され、２つ
の振動電極１４に共通接続されている。これらの電極に
はたとえばＡｇ電極が用いられる。

ついで、第ＩＢ図に示すように、一方面の振動電極１４
を除いた圧電基板ｌ２の全面に、金属を含まないめっき
レジスト２４を塗布する。

その後、第ＩＣ図に示すように、圧電基板１２表面のめ
っきレジスト２４が塗布されていない部分、すなわち振
動電極１４上に、たとえばＮｉからなる質量金属２６が
たとえば無電解めっきによって付加される。すなわち、
第ＩＢ図に示す状態の圧電基板１０を、Ｎｉの無電解め
っき液中に浸漬し、適当な時間の経過後引き上げて行わ
れる。

このとき、圧電部品１０の浸漬時間と振動電極１４上に
形成される質量金属のめっき厚との関係は第２図に示す
ような比例関係にある。したがって、第３図に示すめっ
き厚と振動周波数との関係から、質量金属のめっき厚に
対応する浸漬時間が算出でき、圧電部品１０をこの浸漬
時間だけ無電解めっき液中に浸漬すれば、所望のめっき
厚すなわち振動周波数が得られる。

その後、めっきレジストを除去して、第ＩＤ図に示すよ
うな周波数調整が完了した圧電部品１０′が得られる。

このように振動電極１４上に質量金属２６を付加して振
動電極１４の厚みを実質的に大きくすることによって、
第４図に示すように、共振周波数１０をｆ０′に下げ、
振動周波数一出力特性を実線Ａから点線Ｂに変更するこ
とができる。

なお、この実施例によれば、端子（図示せず）が半田付
けされる端子取付電極２０もマスクされているので、こ
の端子取付電極２ｏにはＮｉが付加されない。したがっ
て、第ＩＤ図の状態では、端子取付電極２０はＡｇ電極
のままであるので、端子の半田付け性が低下することは
ない。

さらに、この実施例では、振動電極１４に付加する質量
金属２６としてＮｉが用いられているので、低コスト化
が可能であり、また、めっき液の処理にも有毒なシアン
などを用いないで済むというメリットもある。

なお、上述の実施例では、圧電基板ｌ２の一方面の振動
電極１４にのみ質量金属２６を付加して周波数調整を行
ったが、圧電基板１２の両面の振動電極１４に共に質量
金属２６を付加して周波数調整を行ってもよい。

また、上述の実施例においては、振動電極１４に付加す
る質量金属２６としてＮｉを用いたが、何らこれに限定
されず、Ａｇなどの他の金属が用いられてもよく、さら
に、金属以外の絶縁体インクが付加されてもよい。

さらに、上述の実施例においては、無電解めっきによっ
て周波数調整用の質量が付加されたが、何らこれに限定
されず、蒸着あるいは電解めっきなどの任意の方法が用
いられ得る。

【図面の簡単な説明】

第１Ａ図〜第１Ｄ図はこの発明の工程順を示す図解図で
あり、第ＩＡ図は圧電部品を準備した状態、第ＩＢ図は
めっきレジストを塗布した状態、第ＩＣ図は質量金属を
付加した状態、第ＩＤ図はめっきレジストを除去し周波
数調整が完了した状態である。 第２図は浸漬時間とめっき厚との関係を示すグラフであ
る。 第３図はめっき厚と振動周波数との関係を示すグラフで
ある。 第４図は周波数調整の前後における振動周波数−出力特
性を示すグラフである。 図において、１０、１０′は圧電部品、１２は圧電基板
、１４は振動電極、１６．２２は接続電極、２４はめっ
きレジスト、２６は質量金属を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　圧電基板、前記圧電基板上に形成された振動電極、
   および前記圧電基板上に形成されかつ前記振動電極に接
   続される接続電極を含む圧電部品の周波数調整方法であ
   って、 （ａ）前記振動電極を除いた前記圧電基板表面をマスク
   し、 （ｂ）前記マスクを通して前記振動電極にのみ周波数調
   整用の質量を付加する、圧電部品の周波数調整方法。 ２　前記ステップ（ａ）はマスクとしてめっきレジスト
   を塗布するステップを含み、 前記ステップ（ｂ）は無電解めっきによって質量金属を
   付加するステップを含む、請求項１記載の圧電部品の周
   波数調整方法。 ３　さらに、（ｃ）前記めっきレジストを除去するステ
   ップを含む、請求項２記載の圧電部品の周波数調整方法
   。