JPH0397855U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0397855U JPH0397855U JP685090U JP685090U JPH0397855U JP H0397855 U JPH0397855 U JP H0397855U JP 685090 U JP685090 U JP 685090U JP 685090 U JP685090 U JP 685090U JP H0397855 U JPH0397855 U JP H0397855U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holder
- ion
- substrate
- metal
- irradiation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の実施例に係るイオン照射装置
の概略構成図。第２図は第１図の装置のプレート
近傍の電位図。第３図は入射イオンエネルギーに
対するスパツタイールドの一例を示すグラフ。第
４図は従来例に係るイオン照射装置の概略構成図
。 １……イオン、２……スパツタリング粒子、３
……基板、４……基板ホルダ、５……金属プレー
ト、６……金属メツシユ、９……リング。
の概略構成図。第２図は第１図の装置のプレート
近傍の電位図。第３図は入射イオンエネルギーに
対するスパツタイールドの一例を示すグラフ。第
４図は従来例に係るイオン照射装置の概略構成図
。 １……イオン、２……スパツタリング粒子、３
……基板、４……基板ホルダ、５……金属プレー
ト、６……金属メツシユ、９……リング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基板を載置するため真空中に設けられる金
属製の基板ホルダと、イオンビームを発生するイ
オン源とを含み、イオン源で発生したイオンを基
板ホルダに載置した基板に照射するようにしたイ
オン照射装置であつて、基板ホルダの面内であつ
て基板ホルダを載置しない部分を金属製のメツシ
ユによつて蓋い、金属製メツシユと基板ホルダ面
の間に金属製のプレートを設け、金属製プレート
にはイオンを減速する電圧を印加してある事を特
徴とするイオン照射装置。 (2) 基板を載置するため真空中に設けられる基
板ホルダと、イオンビームを発生するイオン源と
、イオン源から基板ホルダに至るまでイオンビー
ムを輸送する輸送チヤンバと、ビームを絞るビー
ムスリツトと、ビームを収束或は発散させるレン
ズ系プレートと、ビームを加速或は減速する減速
加速系とを含み、イオン源で発生したイオンを基
板ホルダに載置した基板に照射するようにしたイ
オン照射装置であつて、輸送チヤンバ、ビームス
リツト、レンズ系プレート、減速加速管のうちイ
オンが衝突する面の全部或は一部を金属製プレー
トと金属製メツシユによつて覆い、金属製プレー
トにはイオンを減速する電圧を印加してある事を
特徴とするイオン照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP685090U JPH0397855U (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP685090U JPH0397855U (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0397855U true JPH0397855U (ja) | 1991-10-09 |
Family
ID=31510522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP685090U Pending JPH0397855U (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0397855U (ja) |
-
1990
- 1990-01-26 JP JP685090U patent/JPH0397855U/ja active Pending
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