JPH03219406A - 磁気ヘッドコアの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドコアの製造方法Info
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- JPH03219406A JPH03219406A JP25647989A JP25647989A JPH03219406A JP H03219406 A JPH03219406 A JP H03219406A JP 25647989 A JP25647989 A JP 25647989A JP 25647989 A JP25647989 A JP 25647989A JP H03219406 A JPH03219406 A JP H03219406A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
の１
この発明は、積層型コアを用いる狭トラツク磁気ヘッド
コアの製造方法に関し、特にコアチップ製造時における
加工プロセスの簡素化とアジマス角度の精度向上に関す
る。
コアの製造方法に関し、特にコアチップ製造時における
加工プロセスの簡素化とアジマス角度の精度向上に関す
る。
従】ぴＩ支術−
最近ＨＤＴＶ等に採用され始め、高密度記録が可能とな
った狭トラツク磁気ヘツドは、コアの形態として、非磁
性体基板に、高飽和磁束密度材料である、センダスト薄
膜を付着形成したものを積層して得られるコアブロック
を用いて作られている。
った狭トラツク磁気ヘツドは、コアの形態として、非磁
性体基板に、高飽和磁束密度材料である、センダスト薄
膜を付着形成したものを積層して得られるコアブロック
を用いて作られている。
従来、この種コアブロックの加工方法は、例えば第５図
に示すように磁気へラドウェハ４をアジマス角１５の角
度をつけて貼付は板１４に貼付け、ウェハ切断用砥石６
で切断するか、もしくは、第６図に示すようにあらかじ
めアジマス角がついたアジマス角付きスライス治具９に
貼付け、ウェハ切断用砥石６で切断し、ブロックを得る
。そのブロックをギャップ形成し、突合わせ溶着後筒７
図に示すようなアジマス角付き合わせ済みコアブロック
１６を得る。そのアジマス角付き突合わせ済みコアブロ
ック１６を再びアジマス角１５の角度をつけて貼付は板
１４に貼付はコアブロック切断用砥石ＩＩで切断を行う
か、第７図に示すようにアジマス角がついた、アジマス
角付きスライス治具９に貼付はコアブロック切断用砥石
１１で切断を行いコアチップを得ていた。
に示すように磁気へラドウェハ４をアジマス角１５の角
度をつけて貼付は板１４に貼付け、ウェハ切断用砥石６
で切断するか、もしくは、第６図に示すようにあらかじ
めアジマス角がついたアジマス角付きスライス治具９に
貼付け、ウェハ切断用砥石６で切断し、ブロックを得る
。そのブロックをギャップ形成し、突合わせ溶着後筒７
図に示すようなアジマス角付き合わせ済みコアブロック
１６を得る。そのアジマス角付き突合わせ済みコアブロ
ック１６を再びアジマス角１５の角度をつけて貼付は板
１４に貼付はコアブロック切断用砥石ＩＩで切断を行う
か、第７図に示すようにアジマス角がついた、アジマス
角付きスライス治具９に貼付はコアブロック切断用砥石
１１で切断を行いコアチップを得ていた。
しかしながら、上記の方法では、アジマス角度調整を２
回行う為、作業工数がかかるほかに、第８図に示すよう
に１回目、及び２回目のアジマス調整時に起こるアジマ
スずれ１３の累積により、本来のアジマス角度規格から
大きくはずれるものが発生し外観不良となり歩留りが低
下するという問題点があった。
回行う為、作業工数がかかるほかに、第８図に示すよう
に１回目、及び２回目のアジマス調整時に起こるアジマ
スずれ１３の累積により、本来のアジマス角度規格から
大きくはずれるものが発生し外観不良となり歩留りが低
下するという問題点があった。
° 、の
この発明は上記の解決するために、従来アジマス調整を
２回する方法から、ウェハ状態でのコアブロック切出し
作業はアジマス角をつけずに、あらかじめ、直角のでて
いる治具を使用しウェハを磁性合金膜と直角に切断して
コアブロックを作り、突き合わせ接合後に、磁性合金膜
形成面に対してアジマス角度をつけてスライスすること
を特徴とする。
２回する方法から、ウェハ状態でのコアブロック切出し
作業はアジマス角をつけずに、あらかじめ、直角のでて
いる治具を使用しウェハを磁性合金膜と直角に切断して
コアブロックを作り、突き合わせ接合後に、磁性合金膜
形成面に対してアジマス角度をつけてスライスすること
を特徴とする。
作ｌ−
上記の方法によりコアブロック原料であるウェハ状態か
らのブロック切出しはアジマス角を無視することができ
、コアチップスライス時のみでアジマス角度を決定する
ので外観不良、アジマス不良を徹底して減少さすことが
できる。
らのブロック切出しはアジマス角を無視することができ
、コアチップスライス時のみでアジマス角度を決定する
ので外観不良、アジマス不良を徹底して減少さすことが
できる。
Ｌ直１
第１図から第４図までに、本発明の磁気ヘッド製造方法
の一実施例を示す。以下この発明の一実施例について図
面を参照して説明する。まずはじめに、磁気へラドウェ
ハ４は、従来と同様に、非磁性体基板４ａに、トラック
幅寸法の厚さのセンダスト等の高飽和磁束密度材料の薄
膜４ｂを、スパッタリング付着して得たものを積層形成
したものである。そこで磁気ヘッドを製造するには、あ
らかじめ治具本体１の基準面５に対して直角がでている
スライス治具２の基準面３にコアブロック原料である磁
気へラドウェハ４を貼付け、そのスライス治具２をさら
に治具本体１の基準面５にあてて貼付ける。その後ウェ
ハ切断用砥石６で切断し、第２図に示すコアブロックＡ
８及びコアプロ・ツクＢ７を得る。その後第３図のよう
に、ガラスモールド、巻線窓加工、鏡面研磨、ギャップ
形成、突合わせ、溶着完了後突合わせ済みコアブロック
１７を得る。この突合わせ済みコアブロック１７をアジ
マス角１５付きスライス治具９の基準面ｌＯに貼付はコ
アブロック切断用砥石１１で切断し、コアチップ１２を
得る。
の一実施例を示す。以下この発明の一実施例について図
面を参照して説明する。まずはじめに、磁気へラドウェ
ハ４は、従来と同様に、非磁性体基板４ａに、トラック
幅寸法の厚さのセンダスト等の高飽和磁束密度材料の薄
膜４ｂを、スパッタリング付着して得たものを積層形成
したものである。そこで磁気ヘッドを製造するには、あ
らかじめ治具本体１の基準面５に対して直角がでている
スライス治具２の基準面３にコアブロック原料である磁
気へラドウェハ４を貼付け、そのスライス治具２をさら
に治具本体１の基準面５にあてて貼付ける。その後ウェ
ハ切断用砥石６で切断し、第２図に示すコアブロックＡ
８及びコアプロ・ツクＢ７を得る。その後第３図のよう
に、ガラスモールド、巻線窓加工、鏡面研磨、ギャップ
形成、突合わせ、溶着完了後突合わせ済みコアブロック
１７を得る。この突合わせ済みコアブロック１７をアジ
マス角１５付きスライス治具９の基準面ｌＯに貼付はコ
アブロック切断用砥石１１で切断し、コアチップ１２を
得る。
見匪Δ肱策
以上説明したように、本発明はウェ／％状態でのコアブ
ロック切出し作業はアジマス角をつけず磁性合金膜に対
して直角に切出し、コアチ・ツブスライス時にアジマス
角をつけることにより、従来のアジマス調整を２回する
方法と比較すれば、外観不良とアジマス不良が減少し、
なおかつ製作工数低減も実現できるという優れた効果が
ある。
ロック切出し作業はアジマス角をつけず磁性合金膜に対
して直角に切出し、コアチ・ツブスライス時にアジマス
角をつけることにより、従来のアジマス調整を２回する
方法と比較すれば、外観不良とアジマス不良が減少し、
なおかつ製作工数低減も実現できるという優れた効果が
ある。
第１図、第２図、第３図は本発明の磁気ヘッド製造方法
の一実施例を示すコアブロック及び切断治具の斜視図。 第４図は、完成コアチップの斜視図。第５図及び第６図
は従来の製造方法を示すコアブロック及び治具の斜視図
。第７図は従来の不良コアチップの斜視図。 １・・・・・・治具本体、 ２・・・・・・スライス治具、 ３・・・・・・スライス治具基準面、 ４・・・・・・磁気へラドウェハ、 ４ａ・・・・・・非磁性体基板、 ４ｂ・・・・・・磁性合金膜、 ５・・・・・・治具本体基準面、 ６・・・・・・ウェハ切断用砥石、 ７・・・・・・コアブロックＢ１ ８・・・・・・コアブロックＡ１ ９・・・・・・アジマス角付きスライス治具、ＩＯ・・
・・・・アジマス角付きスライス治具基準面、１１・・
・・・・コアブロック切断用砥石、５− ６− ｌ２・・・・・・コアチップ、 １３・・・・・・アジマスずれ角、 １４・・・・・・貼付は板、 １５・・・・・・アジマス角、 １６・・・・・・突合わせ済みコアブロック、１６・・
・・・・アジマス付き突合わせ済みコアブロック、１７
・・・・・・突合わせ済みコアロック。 ７− 手続補正書（方式） 平成 ３年 ４月１１日 １、事件の表示 平成１年特 許 願 第２５Ｅｔ４７９号２、発明の名
称 磁気ヘッドコアの製造方法 ３、補正をする者 事件の関係 特許出願人 〒５２０滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号関西日本電気
株式会社 ５、補正の対象 出願明細書の「図面の簡単な説明」の欄。 ６、補正の内容 出願明細書第６頁第７行目の「・・・・・・の斜視図。 」を、「・・・・・・の斜視図、第８図は、従来の不良
コアチップの要部拡大斜視図である。」と訂正する。
の一実施例を示すコアブロック及び切断治具の斜視図。 第４図は、完成コアチップの斜視図。第５図及び第６図
は従来の製造方法を示すコアブロック及び治具の斜視図
。第７図は従来の不良コアチップの斜視図。 １・・・・・・治具本体、 ２・・・・・・スライス治具、 ３・・・・・・スライス治具基準面、 ４・・・・・・磁気へラドウェハ、 ４ａ・・・・・・非磁性体基板、 ４ｂ・・・・・・磁性合金膜、 ５・・・・・・治具本体基準面、 ６・・・・・・ウェハ切断用砥石、 ７・・・・・・コアブロックＢ１ ８・・・・・・コアブロックＡ１ ９・・・・・・アジマス角付きスライス治具、ＩＯ・・
・・・・アジマス角付きスライス治具基準面、１１・・
・・・・コアブロック切断用砥石、５− ６− ｌ２・・・・・・コアチップ、 １３・・・・・・アジマスずれ角、 １４・・・・・・貼付は板、 １５・・・・・・アジマス角、 １６・・・・・・突合わせ済みコアブロック、１６・・
・・・・アジマス付き突合わせ済みコアブロック、１７
・・・・・・突合わせ済みコアロック。 ７− 手続補正書（方式） 平成 ３年 ４月１１日 １、事件の表示 平成１年特 許 願 第２５Ｅｔ４７９号２、発明の名
称 磁気ヘッドコアの製造方法 ３、補正をする者 事件の関係 特許出願人 〒５２０滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号関西日本電気
株式会社 ５、補正の対象 出願明細書の「図面の簡単な説明」の欄。 ６、補正の内容 出願明細書第６頁第７行目の「・・・・・・の斜視図。 」を、「・・・・・・の斜視図、第８図は、従来の不良
コアチップの要部拡大斜視図である。」と訂正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 非磁性体基板に、磁性合金膜を形成したものを積層して
得たウェハを切断してコアブロックを作り、上記コアブ
ロックを突き合わせて接合した後、スライスして個々の
コアチップとする磁気ヘッドコアの製造方法において、 上記ウェハを磁性合金膜と直角に切断してコアブロック
を作り、突き合わせ接合後に、磁性合金膜形成面に対し
てアジマス角度をつけてスライスすることを特徴とする
磁気ヘッドコアの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25647989A JPH03219406A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 磁気ヘッドコアの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25647989A JPH03219406A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 磁気ヘッドコアの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03219406A true JPH03219406A (ja) | 1991-09-26 |
Family
ID=17293210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25647989A Pending JPH03219406A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 磁気ヘッドコアの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03219406A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR980011056A (ko) * | 1996-07-26 | 1998-04-30 | 조희재 | 자기헤드 코어의 제조방법 |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP25647989A patent/JPH03219406A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR980011056A (ko) * | 1996-07-26 | 1998-04-30 | 조희재 | 자기헤드 코어의 제조방법 |
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