JPH04122479A - 精密部品の洗浄方法 - Google Patents
精密部品の洗浄方法Info
- Publication number
- JPH04122479A JPH04122479A JP23901090A JP23901090A JPH04122479A JP H04122479 A JPH04122479 A JP H04122479A JP 23901090 A JP23901090 A JP 23901090A JP 23901090 A JP23901090 A JP 23901090A JP H04122479 A JPH04122479 A JP H04122479A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- drying
- washing
- cleaned
- cleaning agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は電子部品等の精密部品の洗浄方法、詳しくは
塩素系溶剤を用いることなく極性の小さい非極性汚染物
質、極性の大きい極性汚染物質を完全に除去できる精密
部品の洗浄方法に関するものである。
塩素系溶剤を用いることなく極性の小さい非極性汚染物
質、極性の大きい極性汚染物質を完全に除去できる精密
部品の洗浄方法に関するものである。
[従来の技術]
従来、電子部品等の精密部品の洗浄方法としてはフロン
1,1.3などの塩素系溶剤を用いて洗浄を行った後、
蒸気乾燥する方法か主に採用されている。
1,1.3などの塩素系溶剤を用いて洗浄を行った後、
蒸気乾燥する方法か主に採用されている。
例えば、液晶基板の製造工程においては液晶の注入、封
止後どうしても液晶の一部か液晶セルのすきまに残留し
、絶縁性等において問題となる為、塩素系溶剤を用いて
洗浄乾燥することが行われている。
止後どうしても液晶の一部か液晶セルのすきまに残留し
、絶縁性等において問題となる為、塩素系溶剤を用いて
洗浄乾燥することが行われている。
[発明か解決しようとする課題]
しかしなから、塩素系溶剤を使用すると洗浄上程中に溶
剤中から塩素か分離してしまい、イオン性残渣として残
留し、腐蝕発生の原因となっていた。
剤中から塩素か分離してしまい、イオン性残渣として残
留し、腐蝕発生の原因となっていた。
又、塩素系溶剤は非極性溶剤の為、極性汚染物と非極性
汚染物の双方か付着している精密部品の洗浄では極性汚
染物質か残留し、洗浄不良となっていた。
汚染物の双方か付着している精密部品の洗浄では極性汚
染物質か残留し、洗浄不良となっていた。
又、液晶注入、封止後の液晶セルの洗浄では液晶セル端
子部の腐食、液晶セル表面の指紋などの極性汚染物の残
留かおこり、洗浄不良となっていた。
子部の腐食、液晶セル表面の指紋などの極性汚染物の残
留かおこり、洗浄不良となっていた。
この発明は、電子部品等の精密部品の洗浄作業に関する
上記問題点を解決することを目的とするものであり、被
洗浄物である精密部品に付着している極性の小さい非極
性汚染物質、極性の大きい極性汚染物質の双方を完全に
除去でき、しかも塩素の場合の様に被洗浄物に腐食を生
しさせることなく、洗浄作業を行うことかてきる精密部
品の洗浄方法を提供せんとするものである。
上記問題点を解決することを目的とするものであり、被
洗浄物である精密部品に付着している極性の小さい非極
性汚染物質、極性の大きい極性汚染物質の双方を完全に
除去でき、しかも塩素の場合の様に被洗浄物に腐食を生
しさせることなく、洗浄作業を行うことかてきる精密部
品の洗浄方法を提供せんとするものである。
[課題を解決する為の手段]
この発明は汚染された精密部品を炭素数10〜15のパ
ラフィン系飽和炭化水素を主成分とする洗浄剤て洗浄し
、次いで分子量18以上80以下の水酸基を有する洗浄
剤で洗浄することにより上記課題を解決せんとするもの
である。
ラフィン系飽和炭化水素を主成分とする洗浄剤て洗浄し
、次いで分子量18以上80以下の水酸基を有する洗浄
剤で洗浄することにより上記課題を解決せんとするもの
である。
次に、本発明を更に具体的に説明する。
まず始めに、被洗浄物である電子部品等の精密部品に付
着している極性の大きい油、液晶、樹脂などの非極性汚
染物質を炭素数10〜15のパラフィン系飽和炭化水素
を主成分とする第1洗浄剤で洗浄する。なお、この炭素
数10〜15のパラフィン系炭化水素としては、直鎖の
ものか好ましい。この第1洗浄剤は精密部品の非極性汚
染物質である油、液晶、樹脂等に対する溶解、除去能力
が大きく、これらを効率よく除去てき、しかも被洗浄物
である精密部品の品質劣化も生しさせない。この第1洗
浄剤による洗浄は第1図に示す方法て好適に実施される
。
着している極性の大きい油、液晶、樹脂などの非極性汚
染物質を炭素数10〜15のパラフィン系飽和炭化水素
を主成分とする第1洗浄剤で洗浄する。なお、この炭素
数10〜15のパラフィン系炭化水素としては、直鎖の
ものか好ましい。この第1洗浄剤は精密部品の非極性汚
染物質である油、液晶、樹脂等に対する溶解、除去能力
が大きく、これらを効率よく除去てき、しかも被洗浄物
である精密部品の品質劣化も生しさせない。この第1洗
浄剤による洗浄は第1図に示す方法て好適に実施される
。
即ち、第1図中2は被洗浄物1を第1洗浄剤9中に浸漬
させる第1洗浄槽であり、底面には超音波発振器6を、
側面にはオーバーフローした第1洗浄剤9を捕集する樋
8がそれぞれ設けられており、前記樋8によって捕集さ
れた第1洗浄剤9はポンプ3によりフィルター4に圧送
され、このフィルター4によって濾され再び第1洗浄槽
2の下部に還流する様になっている。なお、図中5は第
1洗詐剤9の温度を所定の範囲内に保持する為樋8内に
設けられた冷却コイル等の温度制御手段である。
させる第1洗浄槽であり、底面には超音波発振器6を、
側面にはオーバーフローした第1洗浄剤9を捕集する樋
8がそれぞれ設けられており、前記樋8によって捕集さ
れた第1洗浄剤9はポンプ3によりフィルター4に圧送
され、このフィルター4によって濾され再び第1洗浄槽
2の下部に還流する様になっている。なお、図中5は第
1洗詐剤9の温度を所定の範囲内に保持する為樋8内に
設けられた冷却コイル等の温度制御手段である。
この第1洗浄槽2内で第1洗浄剤による趙首孜洗浄が行
われた被洗浄物1はこの第1洗浄槽2から引き上げられ
、第2図に示す第2洗浄槽7に送られ、この第2洗浄槽
7中に浸漬され、第2段階の洗浄か行われる。この第2
段階においては分子量か18以上80以下の水酸基を有
する第2洗浄剤IOによる洗浄か行われる。第2洗浄槽
の横這は第1洗浄槽と回してあり、同一部分には同一符
号を付しその説明を省略する。第2洗浄剤10としては
水、イソプロパツールを用いることが特に望ましい。こ
の第2洗浄剤10は適度な極性を有しており、被洗浄物
1に付属している極性物質及び第1洗浄剤9を効果的に
除去することかでき、しかも被洗浄物1の劣化を招来す
ることもない。
われた被洗浄物1はこの第1洗浄槽2から引き上げられ
、第2図に示す第2洗浄槽7に送られ、この第2洗浄槽
7中に浸漬され、第2段階の洗浄か行われる。この第2
段階においては分子量か18以上80以下の水酸基を有
する第2洗浄剤IOによる洗浄か行われる。第2洗浄槽
の横這は第1洗浄槽と回してあり、同一部分には同一符
号を付しその説明を省略する。第2洗浄剤10としては
水、イソプロパツールを用いることが特に望ましい。こ
の第2洗浄剤10は適度な極性を有しており、被洗浄物
1に付属している極性物質及び第1洗浄剤9を効果的に
除去することかでき、しかも被洗浄物1の劣化を招来す
ることもない。
この第2洗浄槽7によって第2段階の洗浄かなされた被
洗浄物1は乾燥装置(図示省略)へ送られ、乾燥される
。乾燥の方法としてはインフロパノール蒸気乾燥、温風
乾燥、超純度温水中に被乾燥物1を浸漬した後これを引
き上げ温風を吹き付けながら行う乾燥、減圧下て行う乾
燥、赤外線の照射下て行う乾燥等が望ましい。
洗浄物1は乾燥装置(図示省略)へ送られ、乾燥される
。乾燥の方法としてはインフロパノール蒸気乾燥、温風
乾燥、超純度温水中に被乾燥物1を浸漬した後これを引
き上げ温風を吹き付けながら行う乾燥、減圧下て行う乾
燥、赤外線の照射下て行う乾燥等が望ましい。
[作 用]
汚染されている精密部品である被洗浄物を洗浄するに際
し、まず始めに、被洗浄物を炭素数10〜15のパラフ
ィン系飽和炭化水素を主成分とする第1洗浄剤て洗浄し
、油、液晶、樹脂等の非極性汚染物質を除去し、次いで
分子量18以上80以下の水酸基を有する第2洗浄剤で
洗浄し、指紋などの極性汚染物質及び第1洗浄剤を除去
し、被洗浄物を清浄化させる。なお、この際、被洗浄物
の劣化を招来することはない。
し、まず始めに、被洗浄物を炭素数10〜15のパラフ
ィン系飽和炭化水素を主成分とする第1洗浄剤て洗浄し
、油、液晶、樹脂等の非極性汚染物質を除去し、次いで
分子量18以上80以下の水酸基を有する第2洗浄剤で
洗浄し、指紋などの極性汚染物質及び第1洗浄剤を除去
し、被洗浄物を清浄化させる。なお、この際、被洗浄物
の劣化を招来することはない。
[実施例]
液晶を注入、封止した液晶セルのすきまに液晶が付着し
ており、表面には指紋か付着している放晶カラス基板(
被洗浄物)を50°Cにおいて平均炭素数12のn−パ
ラフィン混合物を主成分とする溶剤を第1洗浄剤として
用い超音波を印加しつつ120秒間第1段階の洗浄を行
い、次いで、20’Cにおいてイソプロパノールを第2
洗浄剤として用い超音波を印加しつつ120秒間第2段
階の洗浄を行った。この第2段階の洗浄後、被洗浄物で
ある液晶カラス基板を引き」−げ、82.5°Cのイン
フロパノール蒸気中で乾燥を行った。乾#少この液晶ガ
ラス基板のすきまにおける液晶の残りを偏光板(液晶は
偏光板を通さねば肉眼ては視認不可能)と50倍の顕微
鏡て、表面の指紋を肉眼でそれぞれ観察した。結果は、
液晶ガラス基板のすきまの液晶は完全に除去されており
、表面の指紋も同様に完全に除去されていた。
ており、表面には指紋か付着している放晶カラス基板(
被洗浄物)を50°Cにおいて平均炭素数12のn−パ
ラフィン混合物を主成分とする溶剤を第1洗浄剤として
用い超音波を印加しつつ120秒間第1段階の洗浄を行
い、次いで、20’Cにおいてイソプロパノールを第2
洗浄剤として用い超音波を印加しつつ120秒間第2段
階の洗浄を行った。この第2段階の洗浄後、被洗浄物で
ある液晶カラス基板を引き」−げ、82.5°Cのイン
フロパノール蒸気中で乾燥を行った。乾#少この液晶ガ
ラス基板のすきまにおける液晶の残りを偏光板(液晶は
偏光板を通さねば肉眼ては視認不可能)と50倍の顕微
鏡て、表面の指紋を肉眼でそれぞれ観察した。結果は、
液晶ガラス基板のすきまの液晶は完全に除去されており
、表面の指紋も同様に完全に除去されていた。
[比較例1]
実施例の第2洗浄剤に代え、第1洗浄剤と同しn−パラ
フィンを用い前記実施例と同じ実験を行ったところ、液
晶カラス基板のすきまの潅晶は除去されたか、表面の指
紋は残った。
フィンを用い前記実施例と同じ実験を行ったところ、液
晶カラス基板のすきまの潅晶は除去されたか、表面の指
紋は残った。
[比較例2]
実施例の第1洗浄剤、第2洗浄剤に代入、フロン1,1
.3を用い実施例と同様に洗浄作業を行い、47.6°
Cの蒸気中において乾燥させた。乾燥後観察したところ
、すきまの液晶、表面の指紋等残っており、除去されて
いなかった。
.3を用い実施例と同様に洗浄作業を行い、47.6°
Cの蒸気中において乾燥させた。乾燥後観察したところ
、すきまの液晶、表面の指紋等残っており、除去されて
いなかった。
[発明の効果]
この発明に係る精密部品の洗浄方法は以上述べた如く、
電子部品等の精密部品を劣化させることなく、その表面
に付着している非極性汚染物質、極性汚染物質を完全に
除去することかてき、精密部品製造に資することかてき
るすぐれた効果を有する。
電子部品等の精密部品を劣化させることなく、その表面
に付着している非極性汚染物質、極性汚染物質を完全に
除去することかてき、精密部品製造に資することかてき
るすぐれた効果を有する。
第1図はこの発明において用いる第1洗浄槽の断面図、
第2図は同しく第2洗浄槽の断面図である。 被洗浄物 第1洗浄槽 ポンプ フィルター 温度制御手段 超音波発振器 第2洗浄槽 樋 第1洗浄剤 第2洗浄剤
第2図は同しく第2洗浄槽の断面図である。 被洗浄物 第1洗浄槽 ポンプ フィルター 温度制御手段 超音波発振器 第2洗浄槽 樋 第1洗浄剤 第2洗浄剤
Claims (6)
- (1)非極性汚染物質及び極性汚染物質で汚染された精
密部品を炭素数10〜15のパラフィン系飽和炭化水素
を主成分とする洗浄剤で洗浄し、次いで分子量18以上
80以下の水酸基を有する洗浄剤で洗浄することを特徴
とする精密部品の洗浄方法。 - (2)乾燥をイソプロパノール蒸気乾燥で行うことを特
徴とする請求項1記載の洗浄乾燥方法。 - (3)乾燥を温風を吹き付けながら行う請求項2記載の
洗浄乾燥方法。 - (4)超純度温水中に浸漬した被洗浄物を引き上げ温風
を吹き付けながら乾燥を行う請求項2記載の洗浄乾燥方
法。 - (5)乾燥を減圧下で行う請求項1記載の洗浄乾燥方法
。 - (6)乾燥を赤外線の照射下で行う請求項2記載の洗浄
乾燥方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23901090A JPH04122479A (ja) | 1990-09-11 | 1990-09-11 | 精密部品の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23901090A JPH04122479A (ja) | 1990-09-11 | 1990-09-11 | 精密部品の洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04122479A true JPH04122479A (ja) | 1992-04-22 |
Family
ID=17038555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23901090A Pending JPH04122479A (ja) | 1990-09-11 | 1990-09-11 | 精密部品の洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04122479A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57101676A (en) * | 1980-12-17 | 1982-06-24 | Kazumasa Uryu | Defatting and washing treatment |
-
1990
- 1990-09-11 JP JP23901090A patent/JPH04122479A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57101676A (en) * | 1980-12-17 | 1982-06-24 | Kazumasa Uryu | Defatting and washing treatment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104178816B (zh) | 一种蓝宝石晶片褪镀工艺 | |
| US20050199263A1 (en) | Washing method and washing device | |
| JPH1036894A (ja) | 洗浄方法 | |
| US5378315A (en) | Removing imaging member layers from a substrate | |
| EP0676488B1 (de) | Verfahren zum Entfernen organischer Materialien von Triebwerkskomponenten | |
| JPH04122479A (ja) | 精密部品の洗浄方法 | |
| JPH02184302A (ja) | 物品の水切り方法 | |
| DE69031970T2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer elektrophotographischen photoleitfähigen Trommel | |
| JPH06296941A (ja) | 精密洗浄方法及びその装置 | |
| JP3699962B2 (ja) | 加圧流動体による洗浄方法 | |
| JP2001164291A (ja) | ワックス・ピッチ用洗浄液組成物 | |
| JPH06246246A (ja) | 洗浄方法 | |
| JPH04272194A (ja) | 非水系洗浄方法 | |
| JPH04110483A (ja) | 水溶性洗剤を用いた部品洗浄方法 | |
| JPH07197092A (ja) | 洗浄乾燥方法 | |
| JP2001137792A (ja) | 洗浄方法 | |
| JPH07265604A (ja) | 洗浄乾燥方法 | |
| US20040079394A1 (en) | Grease removing method and device | |
| JPH04318036A (ja) | 洗浄方法 | |
| JP2010046581A (ja) | 被処理物洗浄方法及び被処理物洗浄装置 | |
| KR100640204B1 (ko) | 약품반응 딥 배스방식을 이용한 박막 액정표시장치유리기판의 선택적 재생방법 | |
| JPH067611A (ja) | 被洗浄物の水分分離方法 | |
| KR0146271B1 (ko) | 평판 디스플레이 세척방법 | |
| JPH08117503A (ja) | 水切り乾燥方法 | |
| Reinhardt et al. | An automated approach to the ever increasing demand of mask cleanliness |