JPH04128801A - 合成樹脂製光学部品への反射防止膜 - Google Patents
合成樹脂製光学部品への反射防止膜Info
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- JPH04128801A JPH04128801A JP2250923A JP25092390A JPH04128801A JP H04128801 A JPH04128801 A JP H04128801A JP 2250923 A JP2250923 A JP 2250923A JP 25092390 A JP25092390 A JP 25092390A JP H04128801 A JPH04128801 A JP H04128801A
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- Japan
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- layer
- synthetic resin
- electron beam
- mixture composed
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、合成樹脂製光学部品への反射防止膜に関する
。
。
［従来の技術］
近年、レンズ等の光学部品の素材には、無機ガラスに代
えて、軽量でかつ加工の容易な合成樹脂が多く用いられ
るようになった。ところが、この合成樹脂製光学部品は
、無機ガラスを素材としたものと同様に光の反射が大き
く、また軟らかいために、表面が傷つき易いという問題
がある。このため、合成樹脂製光学部品には硬化保護を
兼ねた反射防止膜を施す必要がある。
えて、軽量でかつ加工の容易な合成樹脂が多く用いられ
るようになった。ところが、この合成樹脂製光学部品は
、無機ガラスを素材としたものと同様に光の反射が大き
く、また軟らかいために、表面が傷つき易いという問題
がある。このため、合成樹脂製光学部品には硬化保護を
兼ねた反射防止膜を施す必要がある。
一般に、反射防止膜は真空蒸着法により形成するもので
あり、無機ガラスの場合には無機ガラスを加熱して蒸着
させることができるので、無機ガラスと蒸着膜との密着
性がよく、強固な膜を形成可能である。しかしながら、
合成樹脂の場合、合成樹脂の熱変形温度が低いため、無
機ガラスにような基板加熱ができず、そのために合成樹
脂と蒸着膜も密着性が悪くなり、耐久性に劣るという問
題点があった。
あり、無機ガラスの場合には無機ガラスを加熱して蒸着
させることができるので、無機ガラスと蒸着膜との密着
性がよく、強固な膜を形成可能である。しかしながら、
合成樹脂の場合、合成樹脂の熱変形温度が低いため、無
機ガラスにような基板加熱ができず、そのために合成樹
脂と蒸着膜も密着性が悪くなり、耐久性に劣るという問
題点があった。
そこで従来は、例えば特開昭６０−２５７４０１号公報
や特開昭６３−２２０１０１号公報に開示されるように
、−酸化ケイ素（Ｓｉｌｌ を合成樹脂との密着層とし
て介在させた反射防止膜を形成することが知られている
。ＳｉＯを密着層として用いる理由は、ＳｉＯが合成樹
脂に対して密着性が高いところによるものである。
や特開昭６３−２２０１０１号公報に開示されるように
、−酸化ケイ素（Ｓｉｌｌ を合成樹脂との密着層とし
て介在させた反射防止膜を形成することが知られている
。ＳｉＯを密着層として用いる理由は、ＳｉＯが合成樹
脂に対して密着性が高いところによるものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、ＳｉＯは、不安定な物質として知られており、
該屈折率が経時的に大きく変化するため、反射率特性の
安定性が欠けるという問題点が存在する。また、ＳｉＯ
は抵抗加熱蒸着法でなければ安定に蒸着できない物質で
あり、抵抗加熱蒸着法は生産性が悪（ランニングコスト
も高いことから生産する上でのコスト面の問題もあった
。
該屈折率が経時的に大きく変化するため、反射率特性の
安定性が欠けるという問題点が存在する。また、ＳｉＯ
は抵抗加熱蒸着法でなければ安定に蒸着できない物質で
あり、抵抗加熱蒸着法は生産性が悪（ランニングコスト
も高いことから生産する上でのコスト面の問題もあった
。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので
、合成樹脂との密着性が良好で、安定でかつ生産性が高
い合成樹脂製光学部品への反射防止膜を提供することを
目的とする。
、合成樹脂との密着性が良好で、安定でかつ生産性が高
い合成樹脂製光学部品への反射防止膜を提供することを
目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明は、合成樹脂基板の
表面に設けられる反射防止膜を、前記表面側から空気側
へ順に、フッ化ランタン（ＬａＦ、）またはフッ化ネオ
ジウム（ＮｄＦ、）からなる第一層と、酸化ジルコニウ
ム（ＺｒＯｚｌと酸化チタン（Ｔ１０□）の混合物また
はＺｒＯ□と酸化タンタル（Ｔａｚｏｓ）の混合物から
なる第二層と、二酸化ケイ素（ＳｉＯ□）からなる第三
層とから構成した。
表面に設けられる反射防止膜を、前記表面側から空気側
へ順に、フッ化ランタン（ＬａＦ、）またはフッ化ネオ
ジウム（ＮｄＦ、）からなる第一層と、酸化ジルコニウ
ム（ＺｒＯｚｌと酸化チタン（Ｔ１０□）の混合物また
はＺｒＯ□と酸化タンタル（Ｔａｚｏｓ）の混合物から
なる第二層と、二酸化ケイ素（ＳｉＯ□）からなる第三
層とから構成した。
本発明において、光学部品を形成する合成樹脂としては
、例えばアクルル樹脂（ＰＭＭＡ） 、ポリカポネート
樹脂（ｐｃ） 、ポリスチレン樹脂（ＰＳ） 、アモル
ファスポリオレフィン樹脂（ＡＰＯ） 、紫外１８（Ｕ
ＶＩ硬化型樹脂などであればよい。
、例えばアクルル樹脂（ＰＭＭＡ） 、ポリカポネート
樹脂（ｐｃ） 、ポリスチレン樹脂（ＰＳ） 、アモル
ファスポリオレフィン樹脂（ＡＰＯ） 、紫外１８（Ｕ
ＶＩ硬化型樹脂などであればよい。
［作用］
かかる構成の合成樹脂製光学部品への反射防止膜におい
て、第一層はＬａＦ ｓまたはＮｄＦｓを電子線加熱蒸
着法により形成して成る。ＬａＦ ３およびＮｄＦ。
て、第一層はＬａＦ ｓまたはＮｄＦｓを電子線加熱蒸
着法により形成して成る。ＬａＦ ３およびＮｄＦ。
は、合成樹脂に対しＳｉＯと同等の高い密着性を有して
いるとともに、ＳｉＯよりも安定で経時変化が少な（、
電子線加熱蒸着法により形成できるので生産性も高い。
いるとともに、ＳｉＯよりも安定で経時変化が少な（、
電子線加熱蒸着法により形成できるので生産性も高い。
第二層は第一層と第三層の中間に形成され、Ｚｒ０２と
ＴｌＯ２の混合物またはＺｒ０ｚとＴａＪｓの混合物を
電子線加熱蒸着法により形成して成る。これらの混合物
層は、第一層や第三層に比べて高い屈折率ｆ１．８５〜
２．１０）を有しており、反射防止効果を向上させるも
のである。なお、上記混合物の混合比率を変えることに
より、屈折率の調整が可能で、所望の反射特性を得るこ
とができる。
ＴｌＯ２の混合物またはＺｒ０ｚとＴａＪｓの混合物を
電子線加熱蒸着法により形成して成る。これらの混合物
層は、第一層や第三層に比べて高い屈折率ｆ１．８５〜
２．１０）を有しており、反射防止効果を向上させるも
のである。なお、上記混合物の混合比率を変えることに
より、屈折率の調整が可能で、所望の反射特性を得るこ
とができる。
第三層は第二層の上にに形成され、本発明の反射防止膜
の最表層を構成するものであり、ＳｉＯ□を電子線加熱
蒸着法により形成して成る。５１０２は第二層に比べて
低い屈折率［１，４５〜１．４７１ を有しており、反
射防止効果の基本的な特性を与えるとともに、ＳｉＯ□
が硬いことから表面保護としての働きをする。
の最表層を構成するものであり、ＳｉＯ□を電子線加熱
蒸着法により形成して成る。５１０２は第二層に比べて
低い屈折率［１，４５〜１．４７１ を有しており、反
射防止効果の基本的な特性を与えるとともに、ＳｉＯ□
が硬いことから表面保護としての働きをする。
本発明の反射防止膜の第一層から第三層の各層の膜厚は
、設計中心波長尤に対して第一層が０．１６〜０．３４
え、第二層が０４４〜０．５６え、第三層が０．２３〜
０２８λどなるように設けるのが好ましい。
、設計中心波長尤に対して第一層が０．１６〜０．３４
え、第二層が０４４〜０．５６え、第三層が０．２３〜
０２８λどなるように設けるのが好ましい。
［実施例コ
直径１５ｍｍの合成樹脂基板をチャンバー径が５６０ｍ
ｍの真空蒸着装置に５００個セットした後、真空蒸着チ
ャンバー内をＩ Ｘ １０−５Ｔｏｒｒ以下の高真空に
排気した。排気系にはコールドトラップ付きのデイフュ
ージョンポンプあるいはクライオポンプを使用した。し
かる後に、合成樹脂基板の加熱を行うことなく、電子線
加熱法により、蒸着速度０５〜１．０ｎｍ／ｓｅｃの条
件で表１から表５に示される膜構成の反射防止膜を蒸着
した。
ｍの真空蒸着装置に５００個セットした後、真空蒸着チ
ャンバー内をＩ Ｘ １０−５Ｔｏｒｒ以下の高真空に
排気した。排気系にはコールドトラップ付きのデイフュ
ージョンポンプあるいはクライオポンプを使用した。し
かる後に、合成樹脂基板の加熱を行うことなく、電子線
加熱法により、蒸着速度０５〜１．０ｎｍ／ｓｅｃの条
件で表１から表５に示される膜構成の反射防止膜を蒸着
した。
（以下余白）
表１
（実施例１）
ん＝ ５００ｎｍ
表２
（実施例２）
λ＝ ５００ｎｍ
表３
（実施例３）
え＝ ５００ｎｍ
表４
（実施例４）
え＝ ５００ｎｍ
表５
（実施例５）
ん＝ ５００ｎｍ
実施例１〜５の反射防止膜の反射率特性を第１図〜第５
図に示した。本発明の反射防止膜は可視域（４００〜７
００ｎｍｌで良好な反射防止効果を有している。
図に示した。本発明の反射防止膜は可視域（４００〜７
００ｎｍｌで良好な反射防止効果を有している。
次に、上記実施例１〜５の反射防止膜について以下のよ
うな方法で基板との密着性、耐湿性、耐熱衝撃性を評価
した。
うな方法で基板との密着性、耐湿性、耐熱衝撃性を評価
した。
ｆｌ）密着性；幅］、Ｏｍｍの粘着テープ（セロハン粘
着テープ）を反射防止膜にはりつけ、粘着テープの一端
を４５°の角度から瞬時に引き剥して膜の剥離状態を観
察することにより評価した。
着テープ）を反射防止膜にはりつけ、粘着テープの一端
を４５°の角度から瞬時に引き剥して膜の剥離状態を観
察することにより評価した。
（２）耐湿性；温度４５℃、温度９５％の環境に３００
時間放置した後に外観性能と上記（１）の方法で密着性
を評価した。
時間放置した後に外観性能と上記（１）の方法で密着性
を評価した。
（３）耐熱衝撃性；温度が一３０℃と７０℃の環境下に
交互に３０分間ずつ放置するサイクルをｌＯサイクル行
った後、外観性能と上記（１）の方法で密着性を評価し
た。
交互に３０分間ずつ放置するサイクルをｌＯサイクル行
った後、外観性能と上記（１）の方法で密着性を評価し
た。
実施例１〜５の反射防止膜について密着性、耐湿性、耐
衝撃性を評価した結果は表６に示す通りである。
衝撃性を評価した結果は表６に示す通りである。
（以下余白）
表６
表６の結果かられかるように、
本発明の反射量
上膜は、畜着性、耐湿性、耐熱衝撃性に関して優れた耐
久性を有している。
久性を有している。
［発明の効果１
以上のように本発明の合成樹脂製光学部品への反射防止
膜によれば、合成樹脂との密着層としてＬａＦ ａまた
はＮｄＦ３を用いているので、合成樹脂への高い密着性
を有するとともに、安定でかつ生産性の高い反射防止膜
となる。
膜によれば、合成樹脂との密着層としてＬａＦ ａまた
はＮｄＦ３を用いているので、合成樹脂への高い密着性
を有するとともに、安定でかつ生産性の高い反射防止膜
となる。
第１図から第５図はそれぞれ本発明の反射防止膜の実施
例１〜５の反射率特性図である。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社第 図 涙 長 （ｎｍｌ 第 図 襲 長 ｎｍｌ 波 長 （ｎｍｌ
例１〜５の反射率特性図である。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社第 図 涙 長 （ｎｍｌ 第 図 襲 長 ｎｍｌ 波 長 （ｎｍｌ
Claims (2)
- （１）合成樹脂基板の表面に設けられ、該表面側から空
気側へ順に、フッ化ランタンまたはフッ化ネオジウムか
らなる第一層と、酸化ジルコニウムと酸化チタンの混合
物または酸化ジルコニウムと酸化タンタルの混合物から
なる第二層と、二酸化ケイ素からなる第三層とからなる
ことを特徴とする合成樹脂製光学部品への反射防止膜。 - （２）１．５４≦ｎ＿１≦１．５８ ０．１６λ≦ｎ＿
１ｄ＿１≦０．３４λ１．８５≦ｎ＿２≦２．１０ ０
．４４λ＜ｎ＿２ｄ＿２≦０．５６λ１．４５≦ｎ＿３
≦１．４７ ０．２３λ≦ｎ＿３ｄ＿３≦０．２８λこ
こで、 ｎ＿１；第一層の屈折率ｎ＿１ｄ＿１；第一層の光学的
膜厚ｎ＿２；第二層の屈折率ｎ＿２ｄ＿２；第二層の光
学的膜厚ｎ＿３；第三層の屈折率ｎ＿３ｄ＿３；第三層
の光学的膜厚λ；中心波長の条件を満足することを特徴
とする請求項１記載の合成樹脂製光学部品への反射防止
膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2250923A JPH04128801A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 合成樹脂製光学部品への反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2250923A JPH04128801A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 合成樹脂製光学部品への反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04128801A true JPH04128801A (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=17215036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2250923A Pending JPH04128801A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 合成樹脂製光学部品への反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04128801A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05330849A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-14 | Hoya Corp | 反射防止膜を有する光学部材、蒸着膜の形成方法及び蒸着組成物 |
| JP2016048296A (ja) * | 2014-08-27 | 2016-04-07 | キヤノン株式会社 | 反射防止膜およびそれを有する光学素子、光学系、光学機器 |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP2250923A patent/JPH04128801A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05330849A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-14 | Hoya Corp | 反射防止膜を有する光学部材、蒸着膜の形成方法及び蒸着組成物 |
| JP2016048296A (ja) * | 2014-08-27 | 2016-04-07 | キヤノン株式会社 | 反射防止膜およびそれを有する光学素子、光学系、光学機器 |
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