JPH04131900U - 粒子加速器用真空チヤンバーのｓｏｒ光取出部構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 粒子加速器のＳＯＲ光取出部の構造を、ＳＯ
Ｒ光取出ポートのレイアウトの変更が容易で、かつ内部
のメンテナンスが容易な構造にする。 【構成】 ＳＯＲ光取出部３２の端部に開口部４８を形
成し、そのフランジ５０にＳＯＲ光出射端部部材５２を
着脱自在に取り付ける。ＳＯＲ光出射端部部材５２には
ＳＯＲ光取出ポート３４〜３６を設けて、ＳＯＲ光３８
を出射する。ＳＯＲ光取出ポートのレイアウトを変更す
る時はＳＯＲ光出射端部部材５２ごと交換する。また、
ＳＯＲ光出射端部部材５２を取り外せば開口部４８から
内部のメンテナンスを行なうことができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、電子シンクロトロン等の粒子加速器の真空チャンバーにおいて、 ＳＯＲ光（シンクロトロン放射光）を取り出すためのＳＯＲ光取出部構造に関し 、ＳＯＲ光取出ポートのレイアウトの変更が容易で、ＳＯＲ光出射端部に脱ガス の少ない材料を用いることができ、しかも内部のメンテナンスを容易にしたもの である。

【０００２】

【従来の技術】

近年、シンクロトロンは、ＳＯＲ装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分 野における診断、分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待されている。

【０００３】 ＳＯＲ装置の概要を図２に示す。荷電粒子発生装置（電子銃等）１０で発生し た電子ビームは線型加速装置（ライナック）１２で光速近くに加速され、ビーム 輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、インフレクタ１８を介して蓄積リン グ２２内に入射される。蓄積リング２２に入射された電子ビームは高周波加速空 洞２１でエネルギを与えられながら収束電磁石２３（垂直方向用）、２５（水平 方向用）で収束され、偏向部２７に配置された偏向電磁石２４で偏向されて蓄積 リング２２中を回り続ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するシンクロ トロン放射光はビームチャンネル２６を通して例えば露光装置２８に送られて超 々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。

【０００４】 従来の偏向部２７における蓄積リング真空チャンバー２２の構造を図３に示す 。この真空チャンバー２２は１段で４５°の偏向角を有し、各偏向部２７はこれ を２段連結して９０°の偏向角を得ている。真空チャンバー２２は、電子ビーム 中心軌道３０が円弧状に形成されている。この軌道３０より内側の真空チャンバ ー２２内には、内蔵ポンプ３２としてＮＥＧポンプやイオンポンプ等が軌道３０ に沿って配置されて、真空チャンバー２２内の脱ガスを吸着排気する。

【０００５】 軌道３０より外側の真空チャンバー２２は外側に張り出してＳＯＲ光取出部３ ２を形成している。ＳＯＲ光取出部３２のＳＯＲ光出射端部３３には、ＳＯＲ光 取出ポート３４，３５，３６が溶接で取り付けられて、偏向部２７から放出され るＳＯＲ光３８を出射させて、それぞれビームチャンネル２６（図２）に導く。

【０００６】 偏向部２７においてはＳＯＲ光３８は水平方向に連続的に広がりをもって放射 されるので、ＳＯＲ光取出ポート３４〜３６から出射される以外の光は、ＳＯＲ 光取出部端部３３の内面に照射され、そこから脱ガス４０が発生する。そこで、 ＳＯＲ光取出部３２内に排気口４２を設け、ＳＯＲ光出射端部３３の内面からの 脱ガス４０を排気口４２の内部のイオンポンプ等で吸着排気するようにしている 。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

前記図３の従来のＳＯＲ光取出部構造では、ＳＯＲ光取出ポート３４〜３５は ＳＯＲ光出射端部３３に溶接で固定的に取り付けられているため、ＳＯＲ光取出 ポートのレイアウト（配置本数、配置位置等）の変更ができない欠点があった。

【０００８】 また、ＳＯＲ光出射端部３３からは前述のようにＳＯＲ光３８の照射により脱 ガス４０が発生するので、このＳＯＲ光出射端部３３には脱ガスの少ない材料（ 例えば無酸素銅等）を用いたいが、このＳＯＲ光出射端部３３はＳＯＲ光取出部 ３２と一体構成であるため、この部分３３だけ他の材料で構成することができな かった。

【０００９】 また、ＳＯＲ光出射端部３３はＳＯＲ光取出部３２と一体構成であるため、そ の内部を開けて点検、修理等の作業をすることができず、メンテナンス性が悪か った。

【００１０】 この考案は、上述の点に鑑みてなされたもので、ＳＯＲ光取出ポートのレイア ウトの変更が容易で、ＳＯＲ光出射端部に脱ガスの少ない材料を用いることがで き、しかも内部のメンテナンスが良好な粒子加速器用真空チャンバーのＳＯＲ光 取出部構造を提供しようとするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

この考案は、粒子加速器用真空チャンバーのＳＯＲ光取出部に着脱可能に取り 付けられて、当該真空チャンバー内を真空封止するＳＯＲ光出射端部部材と、こ のＳＯＲ光出射端部部材に設けられ、前記真空チャンバー内で放射されるＳＯＲ 光を出射するＳＯＲ光取出ポートとを具備してなるものである。

【００１２】

【作用】

この考案によれば、ＳＯＲ光取出部に対し、ＳＯＲ光取出ポートを有するＳＯ Ｒ光出射端部部材を着脱可能に取り付けるようにしたので、ＳＯＲ光出射端部部 材をＳＯＲ光取出ポートの配置が異なるものに交換することにより、ＳＯＲ光取 出ポートのレイアウトを容易に変更することができる。また、ＳＯＲ光出射端部 部材がＳＯＲ光取出部と別体構成になっているので、脱ガスの少ない材料を用い るのが容易である。また、ＳＯＲ光出射端部部材がＳＯＲ光取出部から取外すこ とができるので、ＳＯＲ光取出部内部のメンテナンスが容易である。 なお、ＳＯＲ光出射端部部材に冷却流路を形成することにより、ＳＯＲ光照射 による発熱を冷却することができる。

【００１３】

【実施例】

この考案の一実施例を図１に示す。ここでは、前記図２の従来構造と共通する 部分には同一の符号を用いる。 図１において、真空チャンバー２２は１段で４５°の偏向角を有し、各偏向部 ２７（図２）はこれを２段連結して９０°の偏向角を得ている。真空チャンバー ２２は、電子ビーム中心軌道３０が円弧状に形成されている。この軌道３０より 内側の真空チャンバー２２内には、内蔵ポンプ３２としてＮＥＧポンプやイオン ポンプ等が軌道３０に沿って配置されて、真空チャンバー２２内の脱ガスを吸着 排気する。

【００１４】 軌道３０より外側の真空チャンバー２２は外側に張り出してＳＯＲ光取出部３ ２を形成している。ＳＯＲ光取出部３２の端部には開口部４８が形成され、この 開口部４８の外周面にはフランジ５０が形成されている。そして、このフランジ ５０にはＳＯＲ光出射端部部材５２が着脱可能にボルト止めされて、開口部４８ を塞いで、真空チャンバー２２内を真空封止している。

【００１５】 ＳＯＲ光出射端部部材５２には、ＳＯＲ光取出ポート３４，３５，３６が溶接 で取り付けられて、偏向部２７から放出されるＳＯＲ光３８を出射させて、それ ぞれビームチャンネル２６（図２）に導く。ＳＯＲ光出射端部部材５２には冷却 流路６６が形成され、冷却水を冷却水入口５４から流入させて冷却水出口５６か ら流出させて、ＳＯＲ光出射端部部材５２を冷却する。

【００１６】 ＳＯＲ光取出部３２内には排気口４２が設けられ、ＳＯＲ光出射端部部材５２ からの脱ガス４０を排気口４２の内部のイオンポンプ等で吸着排気するようにし ている。

【００１７】 図１のＳＯＲ光取出部３２のＳＯＲ光出射端部の詳細構成を図４に断面図で示 す。また、ＳＯＲ光出射端部部材５２を内面側から見た構造（図４のＣ−Ｃ矢視 ）を図５に示す。ＳＯＲ光出射端部部材５２は外側５３が真空チャンバー２２と 同様にステンレスやアルミニウム等で作られ、内側に無酸素銅等の脱ガスの少な い板材６４が接合されて構成されている。ＳＯＲ光出射端部部材５２はボルト孔 ６０にボルトを通してＳＯＲ光取出部開口部フランジ５０に着脱可能に取り付け られる。フランジ５０とＳＯＲ光出射端部部材５２との間には真空シール部材６ ２が挾み込まれて、真空チャンバー２２内部を真空封止している。

【００１８】 ＳＯＲ光出射端部部材５２の内部には冷却流路６６が形成され、冷却水入口５ ４から供給される冷却水６８は、この冷却流路６６を通って、冷却水出口５６か ら排出されて、ＳＯＲ光出射端部部材５２の冷却を行なう。なお、冷却流路６６ はＳＯＲ光の照射量が多く発熱量が大きいＳＯＲ光出射端部部材５２の上下方向 中央部に沿って（ＳＯＲ光取出ポート３４〜３６の位置では上下に除けて）形成 されている（図５）。なお、冷却流路６６はＳＯＲ光出射端部部材５２の外側に 冷却パイプを取り付けること等により構成することもできる。

【００１９】 以上の構成によれば、シンクロトロンの偏向部２７から放射されたＳＯＲ光３ ８は、ＳＯＲ光取出ポート３４〜３６から出射される。また、このＳＯＲ光取出 ポート３４〜３６間の部分では、ＳＯＲ光３８は板材６４に照射されるが、この 板材６４は無酸素銅等で作られているため、脱ガスの発生は少ない。また、この ＳＯＲ光３８の照射により板材６４が発熱するが、冷却流路６６中に供給されて いる冷却水６８により冷却される。

【００２０】 また、ＳＯＲ光取出ポートのレイアウトを変更する場合は、ＳＯＲ光出射端部 部材５２ごと交換する。例えば図６は２本のＳＯＲ光取出ポート７０，７２を有 するＳＯＲ光出射端部部材７４を取り付けた例である。図７はこのＳＯＲ光出射 端部部材７４を内面側から見た図（図６のＤ−Ｄ矢視図）である。

【００２１】 また、ＳＯＲ光出射端部部材５２を取り外せばＳＯＲ光取出部３２の内部のメ ンテナンスが開口部４８から行なうことができる。

【００２２】

【変更例】

前記実施例ではＳＯＲ光出射端部部材７４に脱ガスの少ない板材６４を貼り付 けたが、板材６４を貼り付けない場合にもこの考案を適用することができる。

【００２３】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、ＳＯＲ光取出部に対し、ＳＯＲ光取 出ポートを有するＳＯＲ光出射端部部材を着脱可能に取り付けるようにしたので 、ＳＯＲ光出射端部部材をＳＯＲ光取出ポートの配置が異なるものに交換するこ とにより、ＳＯＲ光取出ポートのレイアウトを容易に変更することができる。ま た、ＳＯＲ光出射端部部材がＳＯＲ光取出部と別体構成になっているので、脱ガ スの少ない材料を用いるのが容易である。また、ＳＯＲ光出射端部部材がＳＯＲ 光取出部から取外すことができるので、ＳＯＲ光取出部内部のメンテナンスが容 易である。

【００２４】 また、ＳＯＲ光出射端部部材に冷却流路を形成することにより、ＳＯＲ光照射 による発熱を冷却することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例を示す偏向部の平面図で
ある。

【図２】 ＳＯＲ光装置の概要を示す平面図である。

【図３】 従来の偏向部の構造を示す平面図である。

【図４】 図１のＳＯＲ光出射端部の詳細構造を示す断
面図である。

【図５】 図４のＣ−Ｃ矢視図である。

【図６】 ＳＯＲ光取出ポートのレイアウトを変更した
状態を示す断面図である。

【図７】 図６のＤ−Ｄ矢視図である。

【符号の説明】

２２ 真空チャンバー ３２ ＳＯＲ光取出部 ３４，３５，３６，７０，７２ 取出ポート ３８ ＳＯＲ光 ５２，７４ ＳＯＲ光出射端部部材 ６６ 冷却流路

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】粒子加速器用真空チャンバーのＳＯＲ光取
   出部に着脱可能に取り付けられて、当該真空チャンバー
   内を真空封止するＳＯＲ光出射端部部材と、このＳＯＲ
   光出射端部部材に設けられ、前記真空チャンバー内で放
   射されるＳＯＲ光を出射するＳＯＲ光取出ポートとを具
   備してなる粒子加速器用真空チャンバーのＳＯＲ光取出
   部構造。
2. 【請求項２】前記ＳＯＲ光出射端部部材に冷却流路を形
   成してなる請求項１記載の粒子加速器用真空チャンバー
   のＳＯＲ光取出部構造。