JPH04133436U - 倣いテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ボンディングツールがワークに倣う時の力を小
さくして全方向に対して均一にする。 【構成】ワーク１４に対してボンディングが開始する場
合、位置決めピン８が下降する。この状態においてワー
ク１４は位置決めピン８により位置出しが行なわれた後
に、加圧空気の力により基準円板５が平面出しブロック
４に当接した状態で保持される。次に、ボンディングツ
ールがボンディングツール駆動部によりワーク１４上に
下降し、ボンディングツールがワーク１４の表面のボン
ディング面に当接し、空気圧によりフローティング機能
が働き、ボンディングツールの表面にワーク１４の表面
のボンディング面が倣った状態となる。ボンディング終
了後、ボンディングツールの上昇に伴ない再度ワーク固
定部３は上昇する。上昇終了後は再度位置決めピン８が
上昇し基準円板５の位置決めが行われる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は倣いテーブルに関し、特にＩＣの実装工程においてＩＣのリードを基 板上パッドに熱圧着するギャングボンディング作業に用いる倣いテーブルに関す る。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の倣いテーブルは、図３に示すごとく、下部ベース１９上につば 付き玉軸受け２０を配置し、このつば付き玉軸受け２０上に円筒を縦方向に切断 した形状の下部倣いブロック２１を搭載し、この下部倣いブロック２１に上部ベ ース２２を固定し、この上部ベース２２に４個のつば付き玉軸受け２１ａを下部 ベース１９に対し９０度ずらし固定しその上に上部倣いブロック２３を搭載し、 その上にワーク固定台１７を取付け、この固定台１７にワーク１８を搭載する構 造となっていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上述した従来の倣いテーブルは、一方向に傾斜する倣いブロックを２組直交さ せた二重構造となっているので、それぞれの倣いブロックの傾斜しやすい方向に 対しては小さな力でボンディングツールに倣い始めるが、両倣いブロックの傾斜 しやすい方向の中間より加圧されると、それぞれの倣いブロックの倣いやすさに よって倣い始める力や速度にばら付きが生じ、又、倣いブロックが２重構造のた め、ワーク取付け面の基準出しを下部倣いブロック，上部倣いブロックと２回に 分けて行い、さらに、ワーク取付け面の基準出しの再現性も２重構造のため悪く 、一方、耐荷重もつば付き玉軸受けを使用しているために強度が低くて耐荷重を 上げることが困難であり、又倣いブロック自身の高さも低くすることが難しいと いう問題点がある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】 本考案の倣いテーブルは、球体の一部を平行に切断し両側に平坦部を有する倣 いブロックと，この倣いブロック下面平坦部の中心に当接する球と，この球の表 面の中心部に内接しかつ複数個の浮上力調整用の貫通穴を有し加圧空気の浮上力 により常時前記倣いブロックに当接するフローティング円板と，そのフローティ ング円板の外周に内接し且つ前記フローティング円板に対向して開口した管路を 有するベースと，前記倣いブロックと中心が一致し上面平坦部に固定され且つ下 面部に輪状のＶ溝を持った基準円板と，この基準円板の前記Ｖ溝の中心の１箇所 においてこの基準円板の上面に固定され先端の半球状の角度決めピンと，前記基 準円板の上面を常時一定に保つための前記ベースに固定された複数個の平面出し ブロックと，ボンディングテーブルの中心を出すため前記基準円板の下面の前記 Ｖ溝と同芯円状に且つ等間隔に配置した複数個の先端が半円状で前記Ｖ溝に当接 する位置決めピンと，この位置決めピンを上下方向に案内し且つ案内中心と前記 基準円板の下面の前記Ｖ溝中心とが一致するよう前記ベース内に具備されたピン 案内手段と，前記位置決めピンを上下に駆動させる複数個の位置決めピン駆動手 段と，前記位置決めピンを下方から突き上げ位置決めした際の前記基準円板の平 面に対する角度を規制するため下面に逆三角錐状の溝を有する角度決めブロック と，前記フローティング円板を常時上昇させるための加圧空気供給手段と，ワー クを固定するための前記基準円板上に中心が一致するよう固定されたワーク固定 手段とを有している。

【０００５】

【実施例】

次に、本考案について図面を参照して説明する。

【０００６】 図１は本考案の一実施例を示し、（ａ）は本実施例の断面図、（ｂ）は本実施 例の上面図である。

【０００７】 図１において、本実施例はベース１２の上面に大径の凹部１２ａを形成し、凹 部１２ａの下部に管路１２ｂを設け、管路１２ｂに加圧空気供給部１３を接続し 、ベース１２の凹部１２ａ内には中心部に球１０を内接したフローティング円板 ９を装備している。倣いブロック６は球体の一部を平行に切断しその上下部に平 坦部６ａ，６ｂを形成した形状に構成してあり、その下部平坦部６ｂをフローテ ィング円板９により加圧空気供給部１３からの加圧力によって常時浮上している 。フローティング円板９は浮上力調整用の複数個の貫通穴が設けてある。倣いブ ロック６の平坦部６ａには倣いブロック６と中心が一致し下面部に輪状のＶ溝５ ｃを持つ基準円板５が固定されている。基準円板５の上面部５ａには基準円板５ の下面部５ｂに設けられたＶ溝５ｃの同芯上の位置で先端が半球状の角度決めピ ン２が固定されている。基準円板５の上面部５ａを常に一定面に保つためこの上 面部５ａに当接し、且つベース１２に固定された複数個の平面出しブロック４ａ ，４ｂ，４ｃが装備されている。この複数の平面出しブロック４に対し基準円板 ５を押し当て、基準円板５の位置を出すため基準円板５下面Ｖ溝５ｃと同芯円状 にかつ等間隔に配置した複数個の先端が半円状でＶ溝５ｃに当接する複数個の位 置決めピン８と、このピン８を上下方向に案内しかつ案内中心と基準円板５下面 Ｖ溝５ｃ中心が一致するようにベース１２内に具備している。又、位置決めピン ８の下面にはこの位置決めピン８を上下に駆動させる複数個の位置決めピン駆動 部１１が連結されている。又位置決めピン８を位置決めピン駆動部１１により突 き上げ平面出しをする際に基準円板５の角度方向の位置決めを同時に行うためベ ース表面１２ｃに固定された下方に逆三角錐状の溝を有する角度決めブロック１ が準備されている。

【０００８】 図１に示す本実施例の状態は、複数個の位置決めピン８が位置決めピン駆動部 １１により突き上げている状態で、基準円板５の上面５ａが平面出しブロック４ に当接し、かつ角度決めピン２が角度決めブロック１に規制され基準円板５の同 軸方向に対する角度が出ている状態である。

【０００９】 図２は本実施例を適用してのワークに対するボンディング状態を示し、（ａ） はボンディング開始時を示す断面図、（ｂ）はボンディング中を示す断面図であ る。

【００１０】 次に、本実施例の動作について図１，図２を併用して説明する。

【００１１】 図２の（ａ）において、複数個の位置決めピン８が下降している。この状態に おいてワーク１４は位置決めピン８により位置出しが行なわれた後に、加圧空気 の力により基準円板５が平面出しブロック４に当接した状態で保持される。

【００１２】 次に、ボンディングツール１６がボンディングツール駆動部１５によりワーク １４上に下降し、ボンディングツール１６がワーク１４の表面のボンディング面 に当接し、空気圧によりフローティング機能が働き、ボンディングツール１６の 表面にワーク１４の表面のボンディング面が倣った状態となる。

【００１３】 ボンディング終了後、ボンディングツール１６の上昇に伴ない再度ワーク固定 部３は上昇する。上昇終了後は再度、位置決めピン８が上昇し基準円板５の位置 決めが行われる。

【００１４】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、倣いブロックを空気圧により浮上させる構造で あり且つベースと一体構造とすることにより、ボンディングツールがワークに倣 う時の力が小さく、又全方向に対して均一にすることができるという効果があり 、又、ボンディング時、倣いブロックに働く力が球で保持する構造とすることに より、従来の２重構造のボンディングテーブルより保持力を大きくすることがで き、且つボンディングテーブルの基準面出しも位置決めピンの上下駆動のみで行 う事ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示し、（ａ）は本実施例の
断面図、（ｂ）は本実施例の上面図である。

【図２】本実施例を適用してのワークに対するボンディ
ング状態を示し、（ａ）はボンディング開始時を示す断
面図、（ｂ）はボンディング中を示す断面図である。

【図３】従来の倣いテーブルの一例を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 角度決めブロック ２ 角度決めピン ３ ワーク固定部 ４，４ａ，４ｂ，４ｃ 平面出しブロック ５ 基準円板 ５ａ 上面図 ５ｂ 下面図 ５ｃ Ｖ溝 ６ 倣いブロック ６ａ，６ｂ 平坦部 ７ ピン案内部 ８ 位置決めピン ９ フローティング円板 １０ 球 １１ 位置決めピン駆動部 １２ ベース １２ａ 凹部 １２ｂ 管路 １２ｃ ベース表面 １３ 加圧空気供給部 １４ ワーク １５ ボンディングツール駆動部 １６ ボンディングツール １７ ワーク固定台 １８ ワーク １９ 下部ベース ２０，２０ａ つば突き玉軸受け ２１ 下部倣いブロック ２２ 上部ベース ２３ 上部倣いブロック

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 球体の一部を平行に切断し両側に平坦部
   を有する倣いブロックと，この倣いブロック下面平坦部
   の中心に当接する球と，この球の表面の中心部に内接し
   かつ複数個の浮上力調整用の貫通穴を有し加圧空気の浮
   上力により常時前記倣いブロックに当接するフローティ
   ング円板と，そのフローティング円板の外周に内接し且
   つ前記フローティング円板に対向して開口した管路を有
   するベースと，前記倣いブロックと中心が一致し上面平
   坦部に固定され且つ下面部に輪状のＶ溝を持った基準円
   板と，この基準円板の前記Ｖ溝の中心の１箇所において
   この基準円板の上面に固定され先端の半球状の角度決め
   ピンと，前記基準円板の上面を常時一定に保つための前
   記ベースに固定された複数個の平面出しブロックと，ボ
   ンディングテーブルの中心を出すため前記基準円板の下
   面の前記Ｖ溝と同芯円状に且つ等間隔に配置した複数個
   の先端が半円状で前記Ｖ溝に当接する位置決めピンと，
   この位置決めピンを上下方向に案内し且つ案内中心と前
   記基準円板の下面の前記Ｖ溝中心とが一致するよう前記
   ベース内に具備されたピン案内手段と，前記位置決めピ
   ンを上下に駆動させる複数個の位置決めピン駆動手段
   と，前記位置決めピンを下方から突き上げ位置決めした
   際の前記基準円板の平面に対する角度を規制するため下
   面に逆三角錐状の溝を有する角度決めブロックと，前記
   フローティング円板を常時上昇させるための加圧空気供
   給手段と，ワークを固定するための前記基準円板上に中
   心が一致するよう固定されたワーク固定手段とを備える
   ことを特徴とする倣いテーブル。