JPH0413664U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0413664U JPH0413664U JP5442990U JP5442990U JPH0413664U JP H0413664 U JPH0413664 U JP H0413664U JP 5442990 U JP5442990 U JP 5442990U JP 5442990 U JP5442990 U JP 5442990U JP H0413664 U JPH0413664 U JP H0413664U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- layer
- solid layer
- crystal
- molten layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本案装置の模式的縦断面図、第２図は
本案装置の要部拡大縦断面図、第３図、第４図は
従来装置の模式的縦断面図である。 １……浮上防止部材、１１……坩堝、１１ａ…
…内層容器、１１ｂ……外層容器、１２……ヒー
タ、１４……引上げ軸、１５……種結晶、１７…
…溶融層、１８……固体層。
本案装置の要部拡大縦断面図、第３図、第４図は
従来装置の模式的縦断面図である。 １……浮上防止部材、１１……坩堝、１１ａ…
…内層容器、１１ｂ……外層容器、１２……ヒー
タ、１４……引上げ軸、１５……種結晶、１７…
…溶融層、１８……固体層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 周囲にヒータを設置し、その外側に保温筒を配
設した坩堝内で、下部に結晶用原料の固体層を、
また上部にその溶融層を形成させ、該溶融層から
結晶を引き上げて成長させる装置において、 前記坩堝内底部に前記固体層の浮上防止部材を
具備することを特徴とする結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5442990U JPH0413664U (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5442990U JPH0413664U (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0413664U true JPH0413664U (ja) | 1992-02-04 |
Family
ID=31576488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5442990U Pending JPH0413664U (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0413664U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6138709U (ja) * | 1984-08-11 | 1986-03-11 | 松下電工株式会社 | 照明器具のカバ−保持構造 |
-
1990
- 1990-05-23 JP JP5442990U patent/JPH0413664U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6138709U (ja) * | 1984-08-11 | 1986-03-11 | 松下電工株式会社 | 照明器具のカバ−保持構造 |
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