JPH04141585A

JPH04141585A - 多段式真空差圧装置

Info

Publication number: JPH04141585A
Application number: JP25754090A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Naruse; 豊成瀬; Takayuki Naoi; 直井　孝之
Original assignee: Kawasaki Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp
Priority date: 1990-09-28
Filing date: 1990-09-28
Publication date: 1992-05-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、板に連続的に真空蒸着等を施す装置における
ロールシール装置に関するものである。

〈従来の技術〉この種の装置では、外気の侵入又は隣接室との間で気体
の移動を極力少なくするために、境界部にシール装置が
必要であり、より優れたシール装置の開発が要望されて
いた。

特開昭６２−１３５７２号公報には、高圧側と低圧側を
仕切る１対のロールを設け、同１対のロール間に板を通
すようにしたものにおいて、同ロールを収納したケーシ
ングと、前記板の上下を空間を置いて挟むように配設さ
れ、同ロールの長手方向の周面に先端が近接し、同先端
が同ロールに沿った形状に形成されると共に、前記ケー
シングに気密に支持されたシールバー、先端が前記ロー
ルに沿った形状に形成されると共に、前記シールバーの
両側面部に前記空間を塞ぐように配設され、前記ケーシ
ング内面と小さな隙間をもって設置されたアダプターと
よりなるシール筒を臭えたことを特徴とするロールシー
ル装置が提案されている。

この装置を図面により説明する。第３図〜第５図におい
て１はストリップ、３はストリップ１を挟む１対のロー
ルを示す。なお、板幅は任意に変わるため、ストリップ
１とロール３．３を収納したケーシング１１の間には隙
間がある。シール筒１２は１３と１４の部屋との間でガ
スの移動を極力少なくするためにストリップｌの上下を
空間を置いて挟むように配設され、ロール３の長手方向
の周面に先端が近接したシールパー１５と、シールパー
１５の両側面部に配設されたアダプター１６を一体化し
たものである。シールパー１５の形状は、先端１５ａが
ロール３に沿った形状をしている。またアダプター１６
も先端１６ａがロール３に沿った形状をしており、アダ
プター１６の端部は、ケーシング１１の内面に小さな隙
間１７を維持できる構造としている。なお、ロール３は
軸１８により駆動されると共に、同軸１８を介して軸受
１９で支持されている。また本実施例では、ストリップ
１の厚み変更に対応できるように、ロールを上下動可能
にするため、ロール軸１８、ロール軸受１９を一体化し
たものをケーシング１１とベローズ２０を介して結んだ
構造としている。

そして、１対のロール３．３を駆動し、その間に挟まれ
た板を高圧側と低圧側の室１３．１４間を通ス際、シー
ル筒１２のシールパーはロールの長手方向の周面に近接
し、先端が同ロールに沿った形状で、ケーシング１１に
気密に支持されており、アダプター１６は先端がロール
３．３に沿った形状に形成されると共に、前記シールパ
ー１５の両側面部に配設され、かつケーシング１１内面
と小さな隙間をもって設置されているので、前記２室１
３．１４間でのガスの移動を極力小さくできる。従って
ケーシング１１とロール３．３の両側端面間の隙間にお
けるシール性能が向上し、同隙間からのリーク量を極力
減らすことができる。

しかし、この装置は通板性に優れてはいるが、反面気流
がストリップと平行に流れることにより、旗がハタメク
ような振動いわゆるフラッタリング現象が生じ、この振
動のために蒸着の厚み精度や搬送速度に悪影響を及ぼし
ていた。

上記のような非接触シールの他に、特開平１−１７２５
７０号公報のようなロールと固定シールの間にストリッ
プを通過せしめる固定シール方式も提案されている。

しかし、この方式はストリップの走行方向と気流の方向
が平行でないためにストリップの振動は防止できるが、
固定シールとの狭い隙間をストリップが通過するため、
形状の悪いストリップでは摺り疵の発生や引っかかって
破断するという通板性の問題があった。

また、差圧シール装置を多段（直列）に並べて差圧を大
きくする技術は多種知られている（例えば特開昭６０−
２３４９６４号公報、同６２−２３９８２号公報、同６
２−７０５７５号公報参照）、シかし、漏洩気流を原因
とするストリップの振動について配慮したものはない。

〈発明が解決しようとする課題〉実生産ラインにおいては破断や摺り疵は絶対避けなけれ
ばならないので、特開平１−１７２５７０号公報のよう
な固定シール方式は採用できない。

本発明は、特開昭６２−１３５７２号公報のようなシー
ル筒を用いた差圧シール装置を採用し、ストリップの振
動を止めることが可能な多段式の真空差圧装置を提供す
ることを目的とする。

〈課題を解決するための手段〉前記のストリップの振動は、差圧室排気気流中をストリ
ップが走行するために発生するものである。従って排気
気流をストリップから分離するかもしくは問題のない程
度に小さ（することができればこの問題は解決可能であ
る。

本発明は、上記の考えに従って、ストリップの振動の問
題点を解決するものである。

即ち、本発明は、走行ストリップを段階的に高真空へ導
く多段式真空差圧装置であって、大気側入口及び前段の
高圧室側出口から、ストリップを囲んで後段の低圧室側
のシールロールに近接して延長したシール筒の先端と入
側及び低圧室側のシールロールとの間隙で差圧を住じる
ように構成し、かつ差圧室の排気口を前記シールロール
部より大気側又は高圧室側に設置したことを特徴とする
多段式真空差圧装置である。

〈作用及び実施例〉以下、本発明の作用及び実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図は、本発明の装置の一実施例の断面図である。

第１図において、１はストリップであり、２ａ、２ｂ、
２ｃはストリップ１を段階的に高真空へ導く差圧室であ
り、室内の圧力をそれぞれＰＩ、Ｐｚ、Ｐ、とする、大
気圧をＰ、とすると、Ｐ　ｏ　＞　Ｐ＞ｐｇ　＞Ｐｓの
関係にある。

各差圧室２ａ、２ｂ、２ｃには、シールロール３が設置
されている。そして、大気側人口４及び前段の高圧室側
出口５から、ストリップ１を囲んで後段の低圧室側のシ
ールロール３に近接して延長したシール筒６の先端と入
側及び低圧室側のシールロール３との間で差圧を生じる
ように構成しである。

シール筒６としては、例えば特開昭６２−１３５７２号
公報のシール筒を使用すればよい。

７は、各差圧室２ａ、２ｂ、２Ｃの排気ダクトであり、
それらの排気口はシールロール部より大気側又は高圧室
側に設置しである。８は真空排気ポンプである。

しかして、ストリップ１は図右の大気側から左へいくに
従い、シールロール３、シール筒６で構成されたシール
部を通過し、順次圧力Ｐ、→Ｐｔ→Ｐ、と減圧される。

この時、差圧室に侵入する空気は、シール筒６とシール
ロール３とのクリアランス及び上下シールロール３．３
のストリップ１の横クリアランスからのものがあり、そ
れぞれの流量をＱ＋’、Ｑ、’とする。

一方、差圧室２ａ、２ｂ、２ｃから出ていく空気は、排
気ダクト７から真空ポンプ８により排気される量Ｑ、と
次段差圧室への漏れＱ、に分かれる。

定常状態であれば、当然Ｑ＋’　＋Ｑ＋’　−Ｑｚ　＋
Ｑ、が成り立つ、−最にＱ、はＱ２の１／４以下であり
、ストリップ振動に与える影響は小さい。

そして、大気側人口４及び前段の高圧室側出口５から、
ストリップ１を囲んで後段の低圧室側のシールロール２
に近接して延長したシール筒６の先端と入側及び低圧室
側のシールロール２との間隙で差圧を生じるようにした
ことにより、差圧室２ａ、２ｂ、２Ｃへの侵入空気Ｑ、
’　、Ｑ、″はほとんどストリップ１に沿って流れるこ
となく排気ダクト７より排気され、わずかＱ３だけがス
トリップ１に沿って流れることになる１ｌＱ３はＱ２の
１／４以下であるため、本装置によりストリップｌに沿
って流れる空気量は１１５以下となり、ストリップ１の
振動を有害でない程度に小さくすることができる。また
、差圧室入側には当然侵入空気量に相当する流れＱ、が
存在するが、一般にＰ。

≦１／４Ｐ、であるため、体積流量的には大きなもので
なく、Ｑ、同様ストリップ１の振動に及ぼす影響は小さ
い。

次に、第２図は本発明の装置の他の実施例である。この
実施例は、排気ダクトＩ７を上下シールロール３．３と
シール筒６からの漏れ空気の吹出し方向に設置すること
で、空気の差圧室内２の流れを積極的にストリップ１か
ら分離し、ストリップ１の振動をより小さくしたもので
ある。

〈発明の効果〉以上説明したように、本発明の装置により、差圧室内で
発生するストリップの振動を問題のないレベルまで低減
することが可能となり、これにより、蒸着の厚み精度及
び通根性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の装置の一実施例を示す断面図、第２図
は本発明の装置の他の実施例の断面図、第３図は従来装
置におけるロール端部の側断面図、第４図は第３図のＩ
−Ｉ線断面図、第５図はシールロールとシールバー及び
アダプターとの関係の概略を示す斜視図である。・・・ストリップ、ａ、２ｂ、２ｃ・・・差圧室、・・・シールロール、　４・・・大気側入口、・・・高
圧室側出口、　６・・・シール筒、・・・排気ダクト、
　　８・・・真空排気ポンプ。

Claims

【特許請求の範囲】

　走行ストリップを段階的に高真空へ導く多段式真空差
圧装置であって、大気側入口及び前段の高圧室側出口か
ら、ストリップを囲んで後段の低圧室側のシールロール
に近接して延長したシール筒の先端と入側及び低圧室側
のシールロールとの間隙で差圧を生じるように構成し、
かつ差圧室の排気口を前記シールロール部より大気側又
は高圧室側に設置したことを特徴とする多段式真空差圧
装置。