JPH04145221A - 多孔質静圧気体軸受の流量測定装置 - Google Patents
多孔質静圧気体軸受の流量測定装置Info
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- JPH04145221A JPH04145221A JP26508490A JP26508490A JPH04145221A JP H04145221 A JPH04145221 A JP H04145221A JP 26508490 A JP26508490 A JP 26508490A JP 26508490 A JP26508490 A JP 26508490A JP H04145221 A JPH04145221 A JP H04145221A
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- Japan
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- flow rate
- bearing
- elastic body
- porous
- porous hydrostatic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は多孔質静圧気体軸受、特に円筒状のラジアル軸
受の流量測定手段に関するものである。
受の流量測定手段に関するものである。
［従来の技術］
多孔質気体軸受で所定の回転精度、負荷能力、軸受剛性
等の軸受性能を得るためには、多孔質体に所定の圧力で
気体を供給した時に軸受面における単位面積あたりに噴
出する気体の流量すなわち、気体通過流量が所定の値で
軸受面全体にわたり均一であることが要求される。この
ような流量調整方法として従来は予め所定の流量以下に
なるように軸受面に樹脂を含浸させて多孔質材の孔を塞
いだ後、気体通過流量を測定しながら、溶剤により適宜
樹脂を除去し、流量が均一になるように調整していた。
等の軸受性能を得るためには、多孔質体に所定の圧力で
気体を供給した時に軸受面における単位面積あたりに噴
出する気体の流量すなわち、気体通過流量が所定の値で
軸受面全体にわたり均一であることが要求される。この
ような流量調整方法として従来は予め所定の流量以下に
なるように軸受面に樹脂を含浸させて多孔質材の孔を塞
いだ後、気体通過流量を測定しながら、溶剤により適宜
樹脂を除去し、流量が均一になるように調整していた。
従来の気体通過流量の測定方法としては、！１０図に示
すように、先端にリング状弾性体２を取付けた測定バッ
ト１３０をラジアル軸受面１ａに手で押し付けて行なっ
ていた。
すように、先端にリング状弾性体２を取付けた測定バッ
ト１３０をラジアル軸受面１ａに手で押し付けて行なっ
ていた。
［発明か解決しようとする課題］
従来のラジアル軸受面の流量測定方法では、円筒状の多
孔質体の内側表面に対し、測定パッドを手で押付けて測
定していたため、作業性が悪く、また弾性体のすわりか
悪いため、測定値か不安定となりまた時間がかかってい
た。さらに手で押し付けているため、加圧力が一定でな
く測定ごとに弾性体の変形量が異なり、測定値の再現性
かないなどの問題かあった。
孔質体の内側表面に対し、測定パッドを手で押付けて測
定していたため、作業性が悪く、また弾性体のすわりか
悪いため、測定値か不安定となりまた時間がかかってい
た。さらに手で押し付けているため、加圧力が一定でな
く測定ごとに弾性体の変形量が異なり、測定値の再現性
かないなどの問題かあった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、ラジアル軸受面の流量測定を自動でしかも精度よく
測定可能なラジアル軸受の流量測定手段の提供を目的と
する。
て、ラジアル軸受面の流量測定を自動でしかも精度よく
測定可能なラジアル軸受の流量測定手段の提供を目的と
する。
［課題を解決するための手段および作用］前記目的を達
成するため、本発明によれは、流量計、リング状弾性体
、球面軸受および圧縮バネにより、所定の曲率を持った
多孔質静圧軸受のラジアル軸受面に対しリング状弾性体
を一定圧力で押し付けることにより多孔質静圧気体軸受
の気体通過流量を精度よくまた効率的に測定できる。
成するため、本発明によれは、流量計、リング状弾性体
、球面軸受および圧縮バネにより、所定の曲率を持った
多孔質静圧軸受のラジアル軸受面に対しリング状弾性体
を一定圧力で押し付けることにより多孔質静圧気体軸受
の気体通過流量を精度よくまた効率的に測定できる。
Ｕ実施例コ
第１図は装置の全体平面図、第２図はその側面図であり
、本装置は直交２軸（Ｘ、Ｚ）のＮＣロボット部（Ａ部
）と、流量検出部（Ｂ部）と流量調整部（０部）と、ワ
ーク割出およびパターン割出部、（Ｄ部）で構成される
。７０は操作部である。ＮＣロボット（Ａ部）は、流量
検出部（Ｂ部）と流量調整部（０部）の各々を流量調整
ずへき多孔質静圧軸受１のラジアル軸受面１ａに対し予
め設定されたプログラムにより位置決めさせる。
、本装置は直交２軸（Ｘ、Ｚ）のＮＣロボット部（Ａ部
）と、流量検出部（Ｂ部）と流量調整部（０部）と、ワ
ーク割出およびパターン割出部、（Ｄ部）で構成される
。７０は操作部である。ＮＣロボット（Ａ部）は、流量
検出部（Ｂ部）と流量調整部（０部）の各々を流量調整
ずへき多孔質静圧軸受１のラジアル軸受面１ａに対し予
め設定されたプログラムにより位置決めさせる。
第３図（Ａ）に多孔質静圧気体軸受の外観を示し、第３
図（Ｂ）にその断面を示す。１ａはラジアル軸受面、１
ｂはスラスト軸受面、ＩＣは圧縮空気の供給路、１ｄは
給気りであり継手が取付けられている。以上の構成によ
り回転体ＩＥ（−点鎖線）を静圧支持する。
図（Ｂ）にその断面を示す。１ａはラジアル軸受面、１
ｂはスラスト軸受面、ＩＣは圧縮空気の供給路、１ｄは
給気りであり継手が取付けられている。以上の構成によ
り回転体ＩＥ（−点鎖線）を静圧支持する。
第４図に流量検出部（Ｂ部）の詳細を示す。第４図（Ａ
）は平面図、（８）は縦断面図である。
）は平面図、（８）は縦断面図である。
１ａはラジアル軸受を示す。２はリング状弾性体てあり
シリコン系のＯリングなと硬度の柔らかいものが使われ
る。このリング状弾性体２は軸受面１ａに押し付けられ
これを通して気体通過流量を収集する。３は球面軸受で
あり、リング状弾性体２か軸受面１ａに押し付けられた
際に、軸受面に対し弾性体を密着させる。３ａは可動側
軸受、３ｂは固定側軸受である。４は圧縮バネであり、
測定時に、軸受面に対し一定圧力で作用する。５はリン
グ状弾性体２を固定するためのブラケットであり、弾性
体２の取付面はラジアル軸受面１ａの曲率に合せて、Ｒ
加工が施されている。弾性体２はブラケット５に接着剤
により固定される。リング状弾性体２を取付けたブラケ
ット５は、測定を行なうラジアル軸受面の曲率に応して
複数用意しておき適宜交換してもよい。ピン６が球面軸
受側に固定され、測定時にブラケット５の回転を防止し
かつ球面軸受３を案内する。ブラケット５は中空のボル
ト１０によってピストン７に固定支持される。またピス
トン７は球面軸受の可動部３ａ内に挿入され、軸方向に
自由に摺動可能である。８は継手であり、流量センサ１
．０９と配管接続される。９は気体通過流量を収集測定
するための気体連絡路である。
シリコン系のＯリングなと硬度の柔らかいものが使われ
る。このリング状弾性体２は軸受面１ａに押し付けられ
これを通して気体通過流量を収集する。３は球面軸受で
あり、リング状弾性体２か軸受面１ａに押し付けられた
際に、軸受面に対し弾性体を密着させる。３ａは可動側
軸受、３ｂは固定側軸受である。４は圧縮バネであり、
測定時に、軸受面に対し一定圧力で作用する。５はリン
グ状弾性体２を固定するためのブラケットであり、弾性
体２の取付面はラジアル軸受面１ａの曲率に合せて、Ｒ
加工が施されている。弾性体２はブラケット５に接着剤
により固定される。リング状弾性体２を取付けたブラケ
ット５は、測定を行なうラジアル軸受面の曲率に応して
複数用意しておき適宜交換してもよい。ピン６が球面軸
受側に固定され、測定時にブラケット５の回転を防止し
かつ球面軸受３を案内する。ブラケット５は中空のボル
ト１０によってピストン７に固定支持される。またピス
トン７は球面軸受の可動部３ａ内に挿入され、軸方向に
自由に摺動可能である。８は継手であり、流量センサ１
．０９と配管接続される。９は気体通過流量を収集測定
するための気体連絡路である。
上記構成において、流量検出部８部はエアシリンダ２ｏ
（第２図）によってラジアル軸受１の内部に接触するこ
となく下降し、所定の位置に止まる。次にＮＣロボット
６０かＸ軸（＋）方向に移動し、ラジアル軸受面１ａに
対し、リング状弾性体２を当接させ、ざらにロボットは
ゆっくりとしたスピードで移動し、軸受面に対し弾性体
２を押圧する。次に押付は力が圧縮バネ４より犬きくな
ると、圧縮バネ４が撓みはじめ、ピストン７をカイトに
して球面軸受３が（＋）側に移動し、あらかじめＮＣロ
ボット６０にティーチングされた位置で止まる。圧縮バ
ネ４によって弾性体２は軸受面１ａに一定圧力で押し付
けられる。この時ピン６はブラケット５の移動をガイド
し、さらに回り止めも行なう。またこの時ピストン７が
球面軸受３に支持されているため、ブラケット５に取付
けたリング状弾性体２が測定部に確実に密着され正確な
流量測定を行なうことができる。
（第２図）によってラジアル軸受１の内部に接触するこ
となく下降し、所定の位置に止まる。次にＮＣロボット
６０かＸ軸（＋）方向に移動し、ラジアル軸受面１ａに
対し、リング状弾性体２を当接させ、ざらにロボットは
ゆっくりとしたスピードで移動し、軸受面に対し弾性体
２を押圧する。次に押付は力が圧縮バネ４より犬きくな
ると、圧縮バネ４が撓みはじめ、ピストン７をカイトに
して球面軸受３が（＋）側に移動し、あらかじめＮＣロ
ボット６０にティーチングされた位置で止まる。圧縮バ
ネ４によって弾性体２は軸受面１ａに一定圧力で押し付
けられる。この時ピン６はブラケット５の移動をガイド
し、さらに回り止めも行なう。またこの時ピストン７が
球面軸受３に支持されているため、ブラケット５に取付
けたリング状弾性体２が測定部に確実に密着され正確な
流量測定を行なうことができる。
流量調整部（０部）は溶剤塗布用のスプレと流量調整す
べき範囲を制限するためのマスクを具備している。第５
図にこの０部の詳細を示す。
べき範囲を制限するためのマスクを具備している。第５
図にこの０部の詳細を示す。
Ａは側面図、Ｂは正面図、ＣはＥＥ’矢視図である。１
１は溶剤を露状にし一定量塗布させるためのスプレ本体
、１２は溶剤の吹付量を調整するための調整つまみ、１
３はスプレノズルであり、先端側面に溶剤吹出し用の穴
１３ａが設けられている。１４は流量調整すべき範囲を
制限するためのマスクであり溶剤が他の部分に回り込む
ことを防止する。１４ａは調整すべき範囲に溶剤を通過
させるための窓である。
１は溶剤を露状にし一定量塗布させるためのスプレ本体
、１２は溶剤の吹付量を調整するための調整つまみ、１
３はスプレノズルであり、先端側面に溶剤吹出し用の穴
１３ａが設けられている。１４は流量調整すべき範囲を
制限するためのマスクであり溶剤が他の部分に回り込む
ことを防止する。１４ａは調整すべき範囲に溶剤を通過
させるための窓である。
割出し部（Ｄ部）は溶剤塗布量をコントロールするため
のパターン割出部とワークを円周方向で分割、位置決め
するためのワーク割出部とにより構成される。第６図に
パターン割出部の詳細を示す。図に示すようにワーク１
とパターン１７は、ラジアル軸受１ａに対してすきまが
１ｍｍ程度になるように、円筒状に製作され、軸受面１
ａに対して同軸に配置される。第７図（Ａ）にパターン
の展開図を示す。パターン１７は円周状に等分に開口部
（１７ｇ〜１７ｋ）か５種類配置されている。各開口部
には第７図（Ｂ）に示すようにヌキ穴加工１７ａが施さ
れその径は０．５ ｍｍ程度である。各開口部の開口率
を表１に示す。
のパターン割出部とワークを円周方向で分割、位置決め
するためのワーク割出部とにより構成される。第６図に
パターン割出部の詳細を示す。図に示すようにワーク１
とパターン１７は、ラジアル軸受１ａに対してすきまが
１ｍｍ程度になるように、円筒状に製作され、軸受面１
ａに対して同軸に配置される。第７図（Ａ）にパターン
の展開図を示す。パターン１７は円周状に等分に開口部
（１７ｇ〜１７ｋ）か５種類配置されている。各開口部
には第７図（Ｂ）に示すようにヌキ穴加工１７ａが施さ
れその径は０．５ ｍｍ程度である。各開口部の開口率
を表１に示す。
表１
パターン１７は減速機付ステッピングモータ１８と連結
され、流量に応して必要開口率の割出しが行なわれる。
され、流量に応して必要開口率の割出しが行なわれる。
さらにパターン割出部はエアシリンダ２１と連結され、
流量検出時には下方に逃がされる。
流量検出時には下方に逃がされる。
７−７割出部は小歯車３０および大歯車４０て構成され
、小歯車３０は減速機３１の軸と嵌合される。また減速
機３１はカップリング３２を介してＤＣサーボモータ３
３と連結されている。３４はモータ固定用ブラケットで
ある。また大歯車４０はクロスローラヘアリング４１で
支持されている。４２はワーク１を支持するための治具
である。
、小歯車３０は減速機３１の軸と嵌合される。また減速
機３１はカップリング３２を介してＤＣサーボモータ３
３と連結されている。３４はモータ固定用ブラケットで
ある。また大歯車４０はクロスローラヘアリング４１で
支持されている。４２はワーク１を支持するための治具
である。
本発明の実施例について第８図を参照してさらに説明す
る。
る。
第８図は装置の構成を示すブロック図である。
図において６０は直交二軸ＮＣロボットであり、検出パ
ット２とマスク１４およびスプレガン１３をラジアル軸
受面１ａの調整ポイントに対して位置決めする。１０４
はＮＣロボット６０のモータドライバ、１０２はＮＣコ
ントローラでありＣＰＵ１１４と接続されている。メモ
リ１１５がＣＰＵ１１４に接続されている。メモリ１１
５には流量調整制御用プログラムが記憶され、ＣＰＵ１
１４はこのプログラムに基づいて後述する流量調整動作
を制御する。２２はマスクおよびスプレを上下移動させ
るためのエアシリンダ、２３はエアシリンダ２２の上昇
下降を切換えるための電磁弁、２４は電磁弁２３のドラ
イバでありＣＰＵ１１４に接続されている。２５はスプ
レカン１３に圧縮エアを間欠的に給送するための電磁弁
、２６はそのトライバでありＣＰＵ１１４に接続されて
いる。１０９は検圧される流量を電気信号に変換する流
量センサ、１１０はアナログ信号をデジタル信号に変換
するＡ／Ｄ変換器であり、ＣＰＵ１１４に接続されてい
る。２７はエアシリンダ２０の切換えを行なう電磁弁、
２８は電磁弁２７のトライバでありＣＰＵ１１４に接続
されている。２９はサーホモータ３３を動作させるモー
タトライバでありＣＰＵ１１１４に接続されている。
ット２とマスク１４およびスプレガン１３をラジアル軸
受面１ａの調整ポイントに対して位置決めする。１０４
はＮＣロボット６０のモータドライバ、１０２はＮＣコ
ントローラでありＣＰＵ１１４と接続されている。メモ
リ１１５がＣＰＵ１１４に接続されている。メモリ１１
５には流量調整制御用プログラムが記憶され、ＣＰＵ１
１４はこのプログラムに基づいて後述する流量調整動作
を制御する。２２はマスクおよびスプレを上下移動させ
るためのエアシリンダ、２３はエアシリンダ２２の上昇
下降を切換えるための電磁弁、２４は電磁弁２３のドラ
イバでありＣＰＵ１１４に接続されている。２５はスプ
レカン１３に圧縮エアを間欠的に給送するための電磁弁
、２６はそのトライバでありＣＰＵ１１４に接続されて
いる。１０９は検圧される流量を電気信号に変換する流
量センサ、１１０はアナログ信号をデジタル信号に変換
するＡ／Ｄ変換器であり、ＣＰＵ１１４に接続されてい
る。２７はエアシリンダ２０の切換えを行なう電磁弁、
２８は電磁弁２７のトライバでありＣＰＵ１１４に接続
されている。２９はサーホモータ３３を動作させるモー
タトライバでありＣＰＵ１１１４に接続されている。
４３は多孔質静圧軸受１に供給する圧縮エアのＯＮ、Ｏ
ＦＦを切換えるための電磁弁、４４は電磁弁４３のドラ
イバでありＣＰＵ１１４に接続されている。４５はパタ
ーン１７を駆動させるモータ１８のドライバでありＣＰ
Ｕ１１４に接続されている。２１はパターン割巴部を上
昇、下降させるためのエアシリンダ、４６はシリンダの
上昇下降の切換えを行なう電磁弁、４７は電磁弁４６の
ドライバでありＣＰＵＩ １４に接続されている。
ＦＦを切換えるための電磁弁、４４は電磁弁４３のドラ
イバでありＣＰＵ１１４に接続されている。４５はパタ
ーン１７を駆動させるモータ１８のドライバでありＣＰ
Ｕ１１４に接続されている。２１はパターン割巴部を上
昇、下降させるためのエアシリンダ、４６はシリンダの
上昇下降の切換えを行なう電磁弁、４７は電磁弁４６の
ドライバでありＣＰＵＩ １４に接続されている。
１０１は圧縮空気源コンプレッサてあり、上記各電磁弁
と接続されている。
と接続されている。
次に上記構成装置の動作について説明する。
ワーク（軸受）１を治具を使用して大歯車４０にセット
する。ｔｌａ弁４弁管３ンにし、ワーク１に圧縮エアを
供給する。次に流量検出部（検出パット２）をＣＰＵ１
１４からの命令によりあらかじめティーチングされた開
始ポイント（軸受１内に挿入可能な位置）に移動する。
する。ｔｌａ弁４弁管３ンにし、ワーク１に圧縮エアを
供給する。次に流量検出部（検出パット２）をＣＰＵ１
１４からの命令によりあらかじめティーチングされた開
始ポイント（軸受１内に挿入可能な位置）に移動する。
この位置で電磁弁２７を切換え、シリンダ２０を動作さ
せ流量検圧部をラジアル軸受１の内部まで下降させる。
せ流量検圧部をラジアル軸受１の内部まで下降させる。
さらにＣＰＵ１１４からの命令によりＮＣロボット６０
がＸ軸方向に移動し、バッド２がラジアル軸受面１ａに
押付けられ流量が検出される。この時パターン１７は下
降しラジアル軸受面から図中下方に離れ退避した状態に
なっている。検出された流量は流量センサ１０９によっ
て電気信号に変換され、ざらにＡ／Ｄ変換器１１０によ
ってデジタル信号にされＣＰＵ１１４に送られる。次に
電磁弁２７が切換えられシリンダ２０が動作し、検出部
は上昇する。
がＸ軸方向に移動し、バッド２がラジアル軸受面１ａに
押付けられ流量が検出される。この時パターン１７は下
降しラジアル軸受面から図中下方に離れ退避した状態に
なっている。検出された流量は流量センサ１０９によっ
て電気信号に変換され、ざらにＡ／Ｄ変換器１１０によ
ってデジタル信号にされＣＰＵ１１４に送られる。次に
電磁弁２７が切換えられシリンダ２０が動作し、検出部
は上昇する。
ＣＰＵＩ １４では取り込まれた流量データに基づき予
めプログラムされた演算方法により適切なパターン１７
（第７図）が選択される。次にＣＰＵ１１４よりトライ
バ４５に命令が出されモータ１８が動作し選択されたパ
ターン１７の割出しが行なわれる。さらに、電磁弁４６
が切換えられシリンダ２１が動作し、パターン１７は上
昇しラジアル軸受１内に挿入される。次にＮＣロボット
６０に命令が出され、予めティーチングされた位置にマ
スク１４と流量検出部２の位置が切換えられる。さらに
、ＣＰＵ１１４より命令が出され電磁弁２３が切換えら
れ、シリンダ２２が動作しマスク１４、スプレ１３が下
降する。さらに電磁弁２５が間欠操作され、スプレガン
本体１１に圧縮エアが供給され、ノズル１３先端より溶
剤が霧状になって、マスク１４とパターン１７を介して
ラジアル軸受面１ａに吹付けられる。この溶剤の吹付は
状態を第９図に示す。スプレノズル１３およびマスク１
４はパターン１７の内部側に挿入されている。
めプログラムされた演算方法により適切なパターン１７
（第７図）が選択される。次にＣＰＵ１１４よりトライ
バ４５に命令が出されモータ１８が動作し選択されたパ
ターン１７の割出しが行なわれる。さらに、電磁弁４６
が切換えられシリンダ２１が動作し、パターン１７は上
昇しラジアル軸受１内に挿入される。次にＮＣロボット
６０に命令が出され、予めティーチングされた位置にマ
スク１４と流量検出部２の位置が切換えられる。さらに
、ＣＰＵ１１４より命令が出され電磁弁２３が切換えら
れ、シリンダ２２が動作しマスク１４、スプレ１３が下
降する。さらに電磁弁２５が間欠操作され、スプレガン
本体１１に圧縮エアが供給され、ノズル１３先端より溶
剤が霧状になって、マスク１４とパターン１７を介して
ラジアル軸受面１ａに吹付けられる。この溶剤の吹付は
状態を第９図に示す。スプレノズル１３およびマスク１
４はパターン１７の内部側に挿入されている。
次に電磁弁２３と４６が同時に切換えられシリンダ２２
．２１が動作しマスク１４、スプレ１３′は上昇し、パ
ターン割出部は下降する。さらにロボットに命令が出さ
れ検出部とマスク、スプレ部の位置を切換え、スプレ後
の流量を検出する。
．２１が動作しマスク１４、スプレ１３′は上昇し、パ
ターン割出部は下降する。さらにロボットに命令が出さ
れ検出部とマスク、スプレ部の位置を切換え、スプレ後
の流量を検出する。
以上の動作を繰返しあらかじめ設定さねた流量範囲の流
量検出を終了する。次に検出バッド２を逃げ位置に移動
し、ＮＣロボット６０を下方に動かして検出部を下方に
スライドし、軸受１の上下方向に沿った次ポイント（次
の測定範囲）に位置決めする。ここで上記と同様の調整
が実施され、上下方向の分割ポイントの調整が全て終了
すると検出部は上方に逃がされ、ＣＰＵ１１４から２１
のモータドライバに命令が比され、サーボモータ３３が
動作され、ラジアル軸受面１ａの円周方向の次ポイント
の割出しが行なわわる。以上の動作を順次繰返し、分割
された全てのポイントで流量調整か終了すると初期状態
に復帰し、全ての動作を完了する。
量検出を終了する。次に検出バッド２を逃げ位置に移動
し、ＮＣロボット６０を下方に動かして検出部を下方に
スライドし、軸受１の上下方向に沿った次ポイント（次
の測定範囲）に位置決めする。ここで上記と同様の調整
が実施され、上下方向の分割ポイントの調整が全て終了
すると検出部は上方に逃がされ、ＣＰＵ１１４から２１
のモータドライバに命令が比され、サーボモータ３３が
動作され、ラジアル軸受面１ａの円周方向の次ポイント
の割出しが行なわわる。以上の動作を順次繰返し、分割
された全てのポイントで流量調整か終了すると初期状態
に復帰し、全ての動作を完了する。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明により多孔質静圧気体軸受
の流量測定を確実に精度よく行なって流量調整を自動連
続作業することができこれにより作業工数の低減による
コスト低下が図られまた均一な品質が得られる。
の流量測定を確実に精度よく行なって流量調整を自動連
続作業することができこれにより作業工数の低減による
コスト低下が図られまた均一な品質が得られる。
第１図は本発明の実施例の構成を示す平面図、第２図は
第１図の実施例の構成を示す側面図、第３図（Ａ）（Ｂ
）は各々多孔質静圧気体軸受の外観図と断面図、 第４図（Ａ）（Ｂ）は各々流量検出部の平面図と縦断面
図、 第５図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は各々スプレおよびマスクの
側面図と正面図と横断面図、 第６図はパターンと多孔質静圧軸受の外観図、第７図（
Ａ）（Ｂ）は各々パターンの展開図と小孔の詳細図、 第８図は本発明の実施例の構成を示すブロック図、 第９図は本発明の実施例の溶剤塗布時の外観図、 第１０図は従来技術の説明図である。 １・多孔質静圧気体軸受、 ２：リング状弾性体、 １１ニスプレガン本体、 １３ニスブレノズル、 １４：マスク、 １７・パターン、 ６０：直交Ｚ軸（Ｘ、Ｚ）ＮＣロボット、１０トコンブ
レッサ。 特許出願人 キャノン株式会社 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 代理人 弁理士 伊 東 辰 雄 第 図 第 図 第 ｆｉ（Ａ） 第 図 （Ｂ） 第 図 （Ａ） （Ｂ） 第 図 （Ｃ） 第 鴻（Ａ） 第 図（Ｂ） 第 図 １ｒ
第１図の実施例の構成を示す側面図、第３図（Ａ）（Ｂ
）は各々多孔質静圧気体軸受の外観図と断面図、 第４図（Ａ）（Ｂ）は各々流量検出部の平面図と縦断面
図、 第５図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は各々スプレおよびマスクの
側面図と正面図と横断面図、 第６図はパターンと多孔質静圧軸受の外観図、第７図（
Ａ）（Ｂ）は各々パターンの展開図と小孔の詳細図、 第８図は本発明の実施例の構成を示すブロック図、 第９図は本発明の実施例の溶剤塗布時の外観図、 第１０図は従来技術の説明図である。 １・多孔質静圧気体軸受、 ２：リング状弾性体、 １１ニスプレガン本体、 １３ニスブレノズル、 １４：マスク、 １７・パターン、 ６０：直交Ｚ軸（Ｘ、Ｚ）ＮＣロボット、１０トコンブ
レッサ。 特許出願人 キャノン株式会社 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 代理人 弁理士 伊 東 辰 雄 第 図 第 図 第 ｆｉ（Ａ） 第 図 （Ｂ） 第 図 （Ａ） （Ｂ） 第 図 （Ｃ） 第 鴻（Ａ） 第 図（Ｂ） 第 図 １ｒ
Claims (3)
- （１）円筒状の多孔質静圧気体軸受内側のラジアル軸受
面に対し、流量計測手段に連結する流量検出部をリング
状弾性体を介して圧縮バネおよびガイド手段を用いて一
定圧力で一定方向に押圧し、該リング状弾性体を通して
前記軸受の透過流量を検出することを特徴とする多孔質
静圧気体軸受の流量測定方法。 - （２）前記静圧気体軸受は軸廻りに回転可能な測定位置
の割り出し手段に装着され、前記流量検出部は前記軸に
沿ったＺ方向および軸に垂直なＸ方向に移動可能な位置
決め手段に連結されたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の多孔質静圧気体軸受の流量測定方法。 - （３）前記流量検出部は気体通路が貫通するピストンお
よびピストンが挿入された球面軸受からなることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の多孔質静圧気体軸受
の流量測定方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2265084A JP2729700B2 (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 多孔質静圧気体軸受の流量測定装置 |
| US07/769,215 US5203204A (en) | 1990-10-04 | 1991-10-01 | Flow regulating apparatus and flow measuring apparatus for porous hydrostatic bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2265084A JP2729700B2 (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 多孔質静圧気体軸受の流量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04145221A true JPH04145221A (ja) | 1992-05-19 |
| JP2729700B2 JP2729700B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=17412379
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2265084A Expired - Fee Related JP2729700B2 (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 多孔質静圧気体軸受の流量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2729700B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006195138A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Ricoh Co Ltd | ロール貫通穴検査装置 |
| JP2007315611A (ja) * | 2007-09-06 | 2007-12-06 | Nsk Ltd | スラスト静圧軸受パッド |
| CN107228127A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-10-03 | 天津航天机电设备研究所 | 一种气浮轴承 |
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5315189A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Packing apparatus for object tested in porous sintered body automatic testing machine |
-
1990
- 1990-10-04 JP JP2265084A patent/JP2729700B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5315189A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Packing apparatus for object tested in porous sintered body automatic testing machine |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2006195138A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Ricoh Co Ltd | ロール貫通穴検査装置 |
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| CN107228127A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-10-03 | 天津航天机电设备研究所 | 一种气浮轴承 |
| CN107228127B (zh) * | 2017-07-21 | 2023-06-06 | 天津航天机电设备研究所 | 一种气浮轴承 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2729700B2 (ja) | 1998-03-18 |
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