JPH0415483A - 焼成炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は主としてセラミノクコンテンサ等のセラミック
電子部品の製造に使用される焼成炉に関する。

（従来の技術） 般に、セラミック電子部品の製造に使用される焼成炉に
は、連続式の焼成炉やハツチ式の焼成炉か使用される。

従来のこの種のバッチ式の焼成炉の一例の縦断面を第３
図に、その１１−■線に沿う断面を第４図にホす。

上記従来の焼成炉１は炉床昇降式のもので、リフタ５に
より、矢印ＡＩ、Δ２で示すように、炉体２の下部間［
］３に対して昇降する炉床４を有する。

上記炉体２および炉床４は、炉体２内から炉体２の外部
に逃げる熱をできるたけ少なくするため、通常、レン力
、クラスウールあるいはカオウール等の断熱材を枠体８
内に多層に重ね合せて支持する構成を有する。

−１−記炉床４は、内部にシール材９か装着された横断
面かＵ字形状を有するリンク状の溝部材１１か外嵌して
固定されている。これにより、上記炉床４か所定位置ま
で」１貸したときに、この溝部材１１の−上記ンール材
９に炉体２の枠体８のＦ端縁８ａか圧接し、炉体２の内
部をンールする。

上記炉床４の土には、焼成するセラミック成形体（図示
ぜす。）か収容された匣鉢６が積み重ねられる。そして
、上記セラミンク成形体は、炉体２の天井部２ａから炉
床４に向かって懸垂させた炭化ケイ素（ＳｉＣ）等のＵ
字状のヒータ７により加熱され、昇温、焼成および冷却
等の工程からなる予め定められた所定の焼成プログラム
に従って焼成される。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上記のように、炉体２内から炉体２の外部に
逃げる熱をできるたけ少なくするため、炉体２とその炉
床４か断熱材か多層に重ね合わされてなる焼成炉ｌては
、炉体２内の温度を、セラミック成形体の焼成に必要な
高温に保持した後、ヒータ７の電源を切って、焼成工程
から冷却工程に移行しても、炉体２内のｔ！ｌＩＸ度は
なかなか降下しない。このため、上記従来の焼成炉１て
は降温時内壁と外壁との間の空間における空気の対流に
よる熱伝達が抑えられるとともに、反射板の作用により
炉体内部から炉体外部に向かって放射される輻射熱も反
射される。これにより、昇温工程において、炉体外に熱
か逃げるのか抑えられる。

一方、冷却工程では、上記炉体の空間内には温度の低い
外気か導入されて炉体の上記空間内を流れる。これによ
り、冷却工程において、炉体の内部か速やかに冷却され
る。

（発明の効果） 本発明によれば、昇温時には、上記脱気により炉体の上
記空間における対流熱伝達が抑えられるとともに、反射
板の作用により炉体内部から炉体外部に向かって放射さ
れる輻射熱か反射されるので、昇温工程において、炉体
外に熱か逃げるのか抑えられ、熱効率が高い焼成炉を得
ることかできる。

また、本発明によれば、炉体の内壁と外壁との間の空間
内に導入される温度の低い外気により炉体か冷却される
ので、炉体内部の降温時間が短縮間が長くなり、稼動率
か低いという問題かあった。

本発明の目的は、稼動率が高く、しかも熱効率か高い焼
成炉を提供することである。

（課題を解決するための手段） このため、本発明は、被焼成物が昇温、焼成および冷却
の各二Ｆ程を経て熱処理される焼成炉において、 耐熱鋼板からなる内壁、その外側に空間をおいて配置さ
れた外壁および−１−記空間内にてこれら内壁および外
壁と対向して配置されてなる熱の反射板とからなる炉体
と、この炉体の上記空間内の空気を脱気する真空ポンプ
と、上記炉体の空間内に温度の低い外気を圧入するコン
プレッサと、上記被焼成物の昇温、焼成工程において炉
体の一］配充空間を真空ポンプにより脱気させ、上記彼
焼成物の冷却工程において炉体の上記空間内にコンプレ
ッサからの外気を導入する切替弁装置とを備えたことを
特徴としている。

（作用） 炉体内部の昇ｎ１時には、上記脱気により炉体のされ、
炉の稼動率を」−げることができ、炉体の冷却速度も任
意に制御することかできる。

（実施例） 以下に、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する
。

本発明に係るハツチ式の焼成炉の一実施例の縦断面を第
１図に、また、この第１図のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面を
第２図にそれぞれ示す。

上記焼成炉２１は、炉体２２が内壁２３、その外側に空
間２４をおいて配置された外壁２５および上記空間２４
内に内壁２３および外壁２５に対向して配置された反射
板２６からなる。約１０００°Ｃ程度の耐熱性が要求さ
れる焼成炉２１の場合、上記内壁２３および外壁２５の
うぢ、内壁２３はインコネルやステンレス等の耐熱鋼板
からなる。

そして、焼成炉２１が特に耐熱性が要求されるときには
、上記内壁２３の内側に断熱材２７が張り付けられる。

上記炉体２２の内壁２３と外壁２５との間の上記空間２
４内には、その内部にてこれら内壁２３および外壁２５
と対向して熱の反射板２６．２６か配置される。これら
反射板２６．２６．　　には、炉体２２の冷却時に導入
されるエアーを炉体２２の上記空間２４内にて還流させ
るために、穴２８２８、・が形成されている。

上記炉体２２には、その下側に昇降式の炉床２９か嵌合
する開口３２を有している。」１紀炉床２９は、その昇
降用のりフタ３１の」二に載置されて固定されている。

上記炉床２９は炉体２２の一部を構成しており、−１−
に構成を説明した炉体２２と同様の構成を有する。−１
−記炉床２９には、内部にシール材３３か装着された横
断面かＵ字形状を有するリング状の溝部材３／ｌか外嵌
している。−上記炉床２９が所定位置まで」１昇したと
きに、この溝部材３４の上記シール材３３に炉体２２の
外壁２５の下端縁２５ａか圧接し、炉体２２の内部を／
−ルする。

上記炉体２２および炉床２９の内壁２３と外壁２５との
間の各空間２４には、パイプｌ）１が接続され、このパ
イプＰｌは３方切替弁３５により、り成形体のヒータ４
］による加熱昇温時および高温キープ時は、炉体２２お
よびその炉床２９の内壁２３と外壁２５との間の各空間
２４のエアーが真空ポンプ３６によりたとえば１Ｏ−２
Ｔｏｒｒ程度に脱気される。これにより、上記炉体２２
の内壁２３と外壁２５との間の空間２４内での空気の対
流による熱伝達かほとんとなくなるうえに、炉体２２外
への輻射熱が反射板２６．２６．・・に反射され、炉体
２２からの放熱ロスが少なくなる。

高温キープか終了し降温工程に入ると、操作弁３８が開
かれるとともに、コンプレッサ３７によりパイプＰ１を
通して温度の低い外気が上記空間２４に送られ、上記空
間２４内に上記外気が流れる。これにより、炉体２２か
−に記エアーにより冷却されて温度が低下し、降温時間
か短縮される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る焼成炉の一実施例の縦断面図、 第２図は第１図の焼成炉の１Ｖ−ＩＶ線に沿う断面ロー
タリ式の真空ポンプ３６とコンプレッサ３７とに接続が
切り替えられる。 上記炉体２２およびその炉床２９の内壁２３と外壁２５
との間の各空間２４にはまたパイプＰ。 か接続される。このパイプＰ、には操作弁３８が接続さ
れている。この操作弁２８は、３方弁３５により、上記
各空間２４か真空ポンプ３６に接続されたときに大気に
対して閉じられ、−１−記名空間２４かコンプレッサ３
７に接続されたときに大気に開放する。 一１―記炉体２２には、炭化ケイ素等のＵ字状のヒータ
４１か、上記炉体２２の内壁２３に沿って、炉体２２の
天井部２２ａから炉床２９に向かって懸垂される。 なお、炉床２９上には、台板４２か載置され、この台板
４２の上に、焼成するセラミック成形体く図示せず。）
か収容された匣鉢４３か積み重ねられる。 このような構成において、リフタ３１によって昇降する
炉床２９に乗った匣鉢４３内のセラミソ第３図は従来の
焼成炉の一例の縦断面図、第４図は第３図の焼成炉の■
−■線に沿う断面図である。 ２１・焼成炉、２２・炉体、２３　内壁２４・空間、２
５・外壁、２６　反射板２８・穴、２９　・炉床、３５
・・・３方切替弁３６　・真空ポンプ、３７　コンプレ
ッサ３８・操作弁。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被焼成物が昇温、焼成および冷却の各工程を経て
   熱処理される焼成炉において、 耐熱鋼板からなる内壁、その外側に空間をおいて配置さ
   れた外壁および上記空間内にてこれら内壁および外壁と
   対向して配置されてなる熱の反射板とからなる炉体と、
   この炉体の上記空間内の空気を脱気する真空ポンプと、
   上記炉体の空間内に温度の低い外気を圧入するコンプレ
   ッサと、上記被焼成物の昇温、焼成工程において炉体の
   上記空間を真空ポンプにより脱気させ、上記被焼成物の
   冷却工程において炉体の上記空間内にコンプレッサから
   の外気を導入する切替弁装置とを備えたことを特徴とす
   る焼成炉。