JPH0416940B2 - - Google Patents

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JPH0416940B2
JPH0416940B2 JP59108214A JP10821484A JPH0416940B2 JP H0416940 B2 JPH0416940 B2 JP H0416940B2 JP 59108214 A JP59108214 A JP 59108214A JP 10821484 A JP10821484 A JP 10821484A JP H0416940 B2 JPH0416940 B2 JP H0416940B2
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JP
Japan
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resin
resin material
pressurizing
pot
plunger
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JP59108214A
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Michio Osada
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/01Manufacture or treatment
    • H10W74/016Manufacture or treatment using moulds
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/02Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/46Means for plasticising or homogenising the moulding material or forcing it into the mould
    • B29C45/462Injection of preformed charges of material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C70/00Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
    • B29C70/68Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts by incorporating or moulding on preformed parts, e.g. inserts or layers, e.g. foam blocks
    • B29C70/72Encapsulating inserts having non-encapsulated projections, e.g. extremities or terminal portions of electrical components

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、トランスフアーモールド成形方法
と、これに用いられる成形用金型装置の改良に関
するものであり、主として、半導体素子の樹脂モ
ールド成形技術産業の分野において利用されるも
のである。
(従来技術とその問題点) 半導体素子を樹脂モールド成形する場合は、通
常、ポツト内に供給した樹脂材料(樹脂パウダ
ー、或は、これを所要形状に固化させた樹脂タブ
レツト等)を加熱すると共に、これをプランジヤ
ーにて加圧することにより溶融化し、且つ、その
溶融樹脂をランナ及びゲート等から成る移送経路
を通して、直ちに、樹脂モールド成形用キヤビテ
イ内に加圧・注入するようにしている。
ところで、上記樹脂材料、特に、樹脂タブレツ
ト自体には空気・水分を含んでいること、ポツト
内部にも空気が存在していることから、溶融化さ
れた樹脂中に該空気等が混入した状態でキヤビテ
イ内に加圧注入されることとなる。
従つて、このような従来の樹脂モールド成形時
においては、成形樹脂体の内部或は外表面にボイ
ド(気泡)を形成し易く、例えば、発光ダイオー
ドの樹脂モールド成形品である場合は、そのレン
ズ部内或はレンズ表面に欠損部が生じて使用不能
となる等の重大な問題があり、また、その他の半
導体素子の樹脂モールド成形品においてはその耐
久性或は信頼性を著しく低下させることになると
いつた欠点を有している。
(本発明の目的) 本発明は、ポツト内の樹脂材料をプランジヤー
によつて加圧溶融化する際に、該樹脂材料及びポ
ツト内の空気・水分を効率良く外部に排出させる
ことにより、溶融樹脂中に上記空気等が混入する
のを防止して、上述したような従来の問題を確実
に解消することを目的とするものである。
(本発明の方法及び構成) 本発明方法は、樹脂材料の供給用ポツト及び加
圧用プランジヤーを備えた樹脂材料の加圧部に樹
脂材料を供給する工程と、上記加圧部の近傍位置
側となる溶融樹脂の移送経路を遮断した状態で樹
脂材料を加熱・加圧して溶融化させながら該溶融
樹脂中の空気・水分を上記ポツトとプランジヤー
との間〓から外部に排出する工程と、上記移送経
路を連通させることにより上記加圧部の空気・水
分を含まない溶融樹脂を樹脂モールド成形用のキ
ヤビテイ内に加圧注入する工程とから成るトラン
フアーモールド成形方法に係るものである。
また、本発明装置は、樹脂材料の供給用ポツト
及び加圧用プランジヤーを備えた樹脂材料の加圧
部と、樹脂モールド成形用のキヤビテイ部と、上
記加圧部とキヤビテイ部との間を連通させる溶融
樹脂の移送経路とを備えたトランスフアーモール
ド成形用金型において、上記加圧部の近傍位置側
に、上記移送経路を連通・遮断される開閉機構を
配設すると共に、上記ポツトとプランジヤーとの
間に、空気・水分の排出用間〓を設けたことを特
徴とするトランスフアーモールド成形用金型装置
に係るものである。
(実施例) 以下、本発明を実施例図に基づいて説明する。
第1図は本発明方法に用いられるトランスフア
ーモールド成形用金型装置を示している。該金型
装置は、固定上型1と該上型に対設した可動下型
2とから構成されると共に、樹脂材料の供給用ポ
ツト3及び加圧用プランジヤー4を備えた樹脂材
料の加圧部Aと、樹脂モールド成形用のキヤビテ
イ部Bと、上記加圧部Aとキヤビテイ部Bとの間
を連通させる溶融樹脂の移送経路Cと、上記加圧
部Aの近傍位置側に上記移送経路を連通・遮断さ
せる開閉機構Dとが夫々配設されている。
また、上記ポツト3とプランジヤー4の先端加
圧部41との間には空気・水分の排出用の間〓5
が構成されている。また、上記キヤビテイ部B
は、両型1,2のパーテイングライン(P・L)
面に対設されると共に、下型2側のキヤビテイ部
には半導体素子を取り付けたリードフレームE
(第2図)をセツトするための係合凹所6が設け
られている。また、上記移送経路Cは、第1図に
示すように、ポツト3内に供給した樹脂材料(タ
ブレツト)Fを受けるカル部7と、上記キヤビテ
イ部Bとの連通口であるゲート8と、上記カル部
7とゲート8との間を連通するランナ9とから構
成されている。また、上記開閉機構Dは、上記ラ
ンナ9を連通・遮断させるものであつて、該ラン
ナの遮閉部材10と該遮閉部材の適宜な進退機構
11とから構成されるものであるが、該進退機構
11は、図例のように上型1側に設けてもよく、
或は、下型2側に配設しても差支えない。
なお、図中符号12,13,14,15で示す
ものは、上型1及び下型2に設けられた成形樹脂
体の押出用エジエクターピンである。
次に本発明の作用を説明する。
まず、前記凹所6内にリードフレームEをセツ
トして両型1,2の型締めを行なうと共に、進退
機構11により遮閉部材10をランナ9側に進行
させて該ランナの連通状態を遮断する。次に、ポ
ツト3内に樹脂材料Fを供給してこれを所要温度
まで加熱すると共に、プランジヤーの先端加圧部
1により加圧して溶融化するのであるが、この
とき、上記樹脂材料Fは、金型の加熱部からの熱
を最も多く受けるカル部7側から順次溶融化され
ていくこと、及び、その溶融化された樹脂は遮閉
部材10に遮られてキヤビテイ部B側に圧送され
ず、従つて、該ポツト3内における樹脂材料Fの
加圧力を従来装置のものよりも高めることができ
ることから、樹脂材料Fの溶融化の際に、ポツト
3内或は樹脂材料F自体に含まれる空気・水分
は、ポツト3とプランジヤーの先端加圧部41
の間〓5を通して外部に排出されることになる。
即ち、加熱且つ加圧力を受けた樹脂材料Fは、第
2図に示すように、プランジヤー先端加圧部41
とポツト3、及び、カル部7と遮られたランナ9
部とから構成される空間内で、空気・水分を含
まない溶融樹脂F1となる。次に、進退機構11
により遮閉部材10を、第3図に退行させてラン
ナ9を連通させると共に、プランジヤー先端部4
により溶融樹脂F1を更に加圧すると、該樹脂は
ランナ9及びゲート8を通してキヤビテイ部8側
に圧送されることになる。なお、このとき、上記
遮閉部材10よりもキヤビテイ部B側となるラン
ナ9及び該キヤビテイ部内に存在する空気は、溶
融樹脂F1のキヤビテイ部B側への圧送及び該キ
ヤビテイ部内への加圧注入に際して、両型1,2
のパーテイングライン間(又は、該部に設けた専
用のエアベント)を通して外部に排出されるもの
であるから、結局、リードフレームE上の半導体
素子を樹脂モールドする成形樹脂体F2はその内
部及び外表面のいずれにもボイドを形成すること
がないのである。
(本発明の作用・効果) 本発明方法によれば、樹脂材料の加熱・加圧に
よる溶融化の過程において、ポツト内及び樹脂材
料自体に含まれる空気・水分をポツトとプランジ
ヤーとの間〓から効率良く外部に排出するため、
溶融樹脂中に空気・水分が混入することなく、従
つて、この溶融樹脂をキヤビテイ部内に加圧注入
することにより、その成形樹脂体内部或は外表面
にボイドが形成されるのを確実に防止することが
できて、この種樹脂モールド成形品に要求される
高品質性及び高信頼性の向上を図ることができる
といつた優れた効果を奏するものである。特に、
従来方法においては、樹脂モールド成形サイクル
の短縮化を図るといつた観点から、ポツト内の樹
脂材料の溶融化とそのキヤビテイ部内への加圧注
入作用を可及的に迅速に行なうようにしているこ
とから、溶融樹脂中に上記した空気等が混入する
のを避けられないといつた現状にある。更に、こ
のような弊害を除去する目的で樹脂材料の溶融化
とキヤビテイ部への圧送時間を遅くすることは、
作業能率が著しく低下するのみならず、使用され
る樹脂材料が熱硬化樹脂であることとも相俟つ
て、キヤビテイ部内への樹脂充填不足等の重大な
問題を生ずるものであるが、本発明方法によれ
ば、上述したような従来の問題点を確実に解消で
きる優れた効果を奏するものである。
また、本発明装置によれば、樹脂材料の加圧部
の近傍位置側となる溶融樹脂の移送経路を連通・
遮断させることができるので、樹脂材料の加熱・
加圧による溶融化の際に、ポツト内及び樹脂材料
自体に含まれる空気・水分をポツトとプランジヤ
ーの間〓から効率良く外部に排出させ得て、その
溶融樹脂中に上記した空気等の混入を確実に防止
するといつた優れた効果を奏するものである。特
に、従来装置においては、樹脂材料の溶融化と同
時的にその圧送及びキヤビテイ部内への加圧注入
作用が行なわれることから溶融樹脂中に空気・水
分等が残溜し易い欠点があるが、本発明装置にお
いては、樹脂材料の溶融化の過程において、溶融
樹脂中から空気等を除去し、その後に、これをキ
ヤビテイ部内に加圧注入することになるから、成
形樹脂体の内部或は外表面にボイドが形成される
のを確実に防止することができるため、半導体素
子の樹脂モールド成形用金型装置として最適であ
る等の優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の実施例を示すものであり、第1図
はその金型装置の要部を示す縦断面図、第2図及
び第3図は本発明方法の作用説明図である。 A……加圧部、B……キヤビテイ部、C……移
送経路、D……開閉機構、F……樹脂材料、3…
…ポツト、4……プランジヤー、5……間隙。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 樹脂材料の供給用ポツト及び加圧用プランジ
    ヤーを備えた樹脂材料の加圧部に樹脂材料を供給
    する工程と、上記加圧部の近傍位置側となる溶融
    樹脂の移送経路を遮断した状態で樹脂材料を加
    熱・加圧して溶融化させながら該溶融樹脂中の空
    気・水分を上記ポツトとプランジヤーとの間〓か
    ら外部に排出する工程と、上記移送経路を連通さ
    せることにより上記加圧部の空気・水分を含まな
    い溶融樹脂を樹脂モールド成形用のキヤビテイ内
    に加圧注入する工程とから成るトランスフアーモ
    ールド成形方法。 2 樹脂材料の供給用ポツト及び加圧用プランジ
    ヤーを備えた樹脂材料の加圧部と、樹脂モールド
    成形用のキヤビテイ部と、上記加圧部とキヤビテ
    イ部との間を連通させる溶融樹脂の移送経路とを
    備えたトランスフアーモールド成形用金型におい
    て、上記加圧部の近傍位置側に、上記移送経路を
    連通・遮断させる開閉機構を配設すると共に、上
    記ポツトとプランジヤーとの間に、空気・水分の
    排出用間〓を設けたことを特徴とするトランスフ
    アーモールド成形用金型装置。
JP59108214A 1984-05-28 1984-05-28 トランスフア−モ−ルド成形方法及びその成形用金型装置 Granted JPS60251635A (ja)

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JPS60251635A (ja) 1985-12-12

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