JPH0418430U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0418430U JPH0418430U JP5975690U JP5975690U JPH0418430U JP H0418430 U JPH0418430 U JP H0418430U JP 5975690 U JP5975690 U JP 5975690U JP 5975690 U JP5975690 U JP 5975690U JP H0418430 U JPH0418430 U JP H0418430U
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- JP
- Japan
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- mfc
- material gas
- constant temperature
- mixing
- mocvd
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 238000007865 diluting Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図はこの考案の一実施例によるＭＯＣｖＤ
結晶成長装置のブロツク図、第２図は従来のＭＯ
ＣｖＤ結晶成長装置のブロツク図である。 図において、１１，１２はＭＦＣ、１３は材料
ミキシング部、１４は恒温ユニツト付ＭＦＣ、１
５はＭＯバブラー、１６はＭＯ材料を示す。
結晶成長装置のブロツク図、第２図は従来のＭＯ
ＣｖＤ結晶成長装置のブロツク図である。 図において、１１，１２はＭＦＣ、１３は材料
ミキシング部、１４は恒温ユニツト付ＭＦＣ、１
５はＭＯバブラー、１６はＭＯ材料を示す。
Claims (1)
- 材料ガスとこれを希釈するＨ２を混ぜ合わせ材
料ガスを希釈した後、ＭＦＣでコントロールし、
この希釈した材料ガスを必要量だけ反応系へ供給
するＭＯＣｖＤ装置において、ミキシング後のガ
スの流量をコントロールするＭＦＣを恒温に保て
る恒温ユニツト付ＭＦＣにしたことを特徴とする
ＭＯＣｖＤ結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5975690U JPH0418430U (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5975690U JPH0418430U (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0418430U true JPH0418430U (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=31586536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5975690U Pending JPH0418430U (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0418430U (ja) |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP5975690U patent/JPH0418430U/ja active Pending
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