JPH0418732A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
- Publication number
- JPH0418732A JPH0418732A JP2121844A JP12184490A JPH0418732A JP H0418732 A JPH0418732 A JP H0418732A JP 2121844 A JP2121844 A JP 2121844A JP 12184490 A JP12184490 A JP 12184490A JP H0418732 A JPH0418732 A JP H0418732A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stress
- bumps
- integrated circuit
- circuit device
- semiconductor integrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/20—Bump connectors, e.g. solder bumps or copper pillars; Dummy bumps; Thermal bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/721—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
- H10W90/724—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体集積回路装置に関し、特にその突起電極
の配置に関するものである。
の配置に関するものである。
近年、電子回路の高密度実装技術の進展は目覚ましく、
特に、半導体応用製品の高機能化、高密度化の中心は、
モノリシックICの大規模化およびマルチチップ実装を
指向している。これらの高密度実装に応える一手段とし
て、半田突起電極を有するフリップチップICが採用さ
れてきている。
特に、半導体応用製品の高機能化、高密度化の中心は、
モノリシックICの大規模化およびマルチチップ実装を
指向している。これらの高密度実装に応える一手段とし
て、半田突起電極を有するフリップチップICが採用さ
れてきている。
フリップチップICを用いたフェースダウンボンディン
グをICの実装方法として採用する目的は、第1に高密
度実装、第2に組立プロセスの簡便化、第3に接続部の
機械的強度の向上環があげられる。特に自動車用のハイ
ブリッドICでは、高信頼性の要求から、接続部の強度
向」二が重視される。
グをICの実装方法として採用する目的は、第1に高密
度実装、第2に組立プロセスの簡便化、第3に接続部の
機械的強度の向上環があげられる。特に自動車用のハイ
ブリッドICでは、高信頼性の要求から、接続部の強度
向」二が重視される。
第2図は、従来採用されているフリップチップICの電
極配置およびその実装例を示す構成図である。
極配置およびその実装例を示す構成図である。
第2図(alはフリップチップICIの突起電極(以下
「ハンプ」という)2の配置を示すものであり、ICの
パターン設計上量もパターン効率が良い最外周にバンプ
2を配置している。
「ハンプ」という)2の配置を示すものであり、ICの
パターン設計上量もパターン効率が良い最外周にバンプ
2を配置している。
第2図fb)は、(alで示したフリップチップICI
を実装したハイブリッドICの構成図である。同図にお
いて、フリップチップICIは、導体配線が施されたセ
ラミック基板3上に半田付けされ、さらにセラミック基
板3は放熱のためヒートシンク4に接着樹脂5を介して
接着されている。そして、ヒートシンク4にケース6が
取り付けられている。このハイブリッドICは、最終的
にユーザのセントに組み付けられる際、ねし7によって
締めイ1けられるため、ヒートシンク4の平面度や反り
の状態によって、第2図(C1の矢印ARで示すように
、ねじ締め方向の応力がハイブリッドIC内部に加わる
ことがある。
を実装したハイブリッドICの構成図である。同図にお
いて、フリップチップICIは、導体配線が施されたセ
ラミック基板3上に半田付けされ、さらにセラミック基
板3は放熱のためヒートシンク4に接着樹脂5を介して
接着されている。そして、ヒートシンク4にケース6が
取り付けられている。このハイブリッドICは、最終的
にユーザのセントに組み付けられる際、ねし7によって
締めイ1けられるため、ヒートシンク4の平面度や反り
の状態によって、第2図(C1の矢印ARで示すように
、ねじ締め方向の応力がハイブリッドIC内部に加わる
ことがある。
従来のフリップチップICを実装したハイブリッドIC
は以」二のように構成されているため、ねじ締めによる
応力方向ARが実装されたフリップチップICIの対角
線方向と一致した場合、その応力綿l〕付近に有るフリ
ップデツプICIのコーナバンプ2の半田付は部分に応
力が集中し、実使用において断線に至るという問題があ
った。
は以」二のように構成されているため、ねじ締めによる
応力方向ARが実装されたフリップチップICIの対角
線方向と一致した場合、その応力綿l〕付近に有るフリ
ップデツプICIのコーナバンプ2の半田付は部分に応
力が集中し、実使用において断線に至るという問題があ
った。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、フリソフ゛チソフ。
の目的とするところは、フリソフ゛チソフ。
ICのコーナハンプの半田付は部分に集中する応力を他
のハンプに分散し、特定方向の応力に対する従来品の弱
点を解消し、信頼性の高いハイブリッドICを提供する
ことにある。
のハンプに分散し、特定方向の応力に対する従来品の弱
点を解消し、信頼性の高いハイブリッドICを提供する
ことにある。
このような課題を解決するために本発明は、複数個の突
起電極を同心円状に配置するようにしたものである。
起電極を同心円状に配置するようにしたものである。
本発明による半導体集積回路装置においては、あらゆる
方向からの応力に対し常に一定の応力分散が実現可能と
なり、信頼性の向上が図れる。
方向からの応力に対し常に一定の応力分散が実現可能と
なり、信頼性の向上が図れる。
以下、本発明の実施例について説明する。第1図におい
て、(a+は本発明による半導体集積回路装置の一実施
例としてのフリップチップICのバンプの配置を示す構
成図であり、(blはta+で示したフリップチップT
CIを実装したハイブリッドICの構成図である。第1
図(b)において、フリップチップIC1は導体配線が
施されたセラミック基板3上に半田付げされ、さらにセ
ラミック基板3は放熱のためヒートシンク4に接着樹脂
5を介して接着されている。そして、ヒートシンク4に
ケース6が取り付けられている。
て、(a+は本発明による半導体集積回路装置の一実施
例としてのフリップチップICのバンプの配置を示す構
成図であり、(blはta+で示したフリップチップT
CIを実装したハイブリッドICの構成図である。第1
図(b)において、フリップチップIC1は導体配線が
施されたセラミック基板3上に半田付げされ、さらにセ
ラミック基板3は放熱のためヒートシンク4に接着樹脂
5を介して接着されている。そして、ヒートシンク4に
ケース6が取り付けられている。
このハイブリッドICは、最終的にユーザのセットに組
み付けられる際、ねし7によって締め付けられ°ζ使用
される。
み付けられる際、ねし7によって締め付けられ°ζ使用
される。
上述したように、バンプ2を第1図の点線で示すように
同心円状にフリップチップrC1に配置した場合、ヒー
トシンク4のねじ締め方向からの応力がハンプ2の半田
付は部分に加わっても、隣接ハンプへの応力分散がなさ
れるため、特定方向からの応力に対し各ハンプは平均的
に応力を受けることとなり、特定ハンプへの応力集中を
防ぐことが可能となる。
同心円状にフリップチップrC1に配置した場合、ヒー
トシンク4のねじ締め方向からの応力がハンプ2の半田
付は部分に加わっても、隣接ハンプへの応力分散がなさ
れるため、特定方向からの応力に対し各ハンプは平均的
に応力を受けることとなり、特定ハンプへの応力集中を
防ぐことが可能となる。
なお、第1図の点線は同心円状であることを示すための
みの線であり、実際にこのような点線がフリップチップ
ICI上に描かれている訳ではない。
みの線であり、実際にこのような点線がフリップチップ
ICI上に描かれている訳ではない。
以上説明したように本発明は、複数個の突起電極を同心
円状に配置するようにしたことにより、あらゆる方向か
らの外部応力に対して応力分散することが可能となるの
で、信頼性の高い半導体集積回路装置を提供できる効果
がある。
円状に配置するようにしたことにより、あらゆる方向か
らの外部応力に対して応力分散することが可能となるの
で、信頼性の高い半導体集積回路装置を提供できる効果
がある。
第1図は本発明による半導体集積回路装置の一実施例を
示す構成図、第2図は従来の半導体集積回路装置を示す
構成図である。 1・・・フリップチップIC,2・・・バンプ、3・・
・セラミック基板、4・・・ヒートシンク、5・・・接
着樹脂、6・・・ケース、7・・・ねじ。
示す構成図、第2図は従来の半導体集積回路装置を示す
構成図である。 1・・・フリップチップIC,2・・・バンプ、3・・
・セラミック基板、4・・・ヒートシンク、5・・・接
着樹脂、6・・・ケース、7・・・ねじ。
Claims (1)
- 複数個の突起電極を有する半導体集積回路装置におい
て、前記複数個の突起電極を同心円状に配置したことを
特徴とする半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2121844A JPH0418732A (ja) | 1990-05-12 | 1990-05-12 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2121844A JPH0418732A (ja) | 1990-05-12 | 1990-05-12 | 半導体集積回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0418732A true JPH0418732A (ja) | 1992-01-22 |
Family
ID=14821336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2121844A Pending JPH0418732A (ja) | 1990-05-12 | 1990-05-12 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0418732A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000033455A1 (fr) * | 1998-12-02 | 2000-06-08 | Seiko Epson Corporation | Dispositif piezo-electrique et son procédé de fabrication |
| WO2006090805A1 (ja) * | 2005-02-23 | 2006-08-31 | Sony Corporation | 振動型ジャイロセンサ |
| JP2007173335A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品 |
-
1990
- 1990-05-12 JP JP2121844A patent/JPH0418732A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000033455A1 (fr) * | 1998-12-02 | 2000-06-08 | Seiko Epson Corporation | Dispositif piezo-electrique et son procédé de fabrication |
| US6762537B1 (en) | 1998-12-02 | 2004-07-13 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device and method for manufacture thereof |
| WO2006090805A1 (ja) * | 2005-02-23 | 2006-08-31 | Sony Corporation | 振動型ジャイロセンサ |
| JP2006284551A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-10-19 | Sony Corp | 振動型ジャイロセンサ |
| JP2007173335A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品 |
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