JPH04239152A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロット編成技術、特に
、複数のワークが所定の条件毎のロットに編成される技
術に関し、例えば、半導体製造工程において、半導体ウ
エハを同一の処理条件毎のロットに編成するのに利用し
て有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造工程において、ワー
クとしての半導体ウエハ（以下、ウエハという。）は複
数枚（例えば、２５枚）を１ロットに編成されて取り扱
われている。このようにして、ワークとしてのウエハが
ロット編成される際、ウエハのロット編成装置やウエハ
の並び替え装置が使用される。

【０００３】従来、このようなウエハのロット形成およ
び並び替え装置として、特開昭６２−２５２１４８号公
報に記載されているものがある。すなわち、このウエハ
のロット形成および並び替え装置は、ウエハのウエハ識
別番号が認識カメラによって認識され、その番号に応じ
てウエハが移動されるとともに、ロータリステージが回
転されることにより、ウエハは所定のカセットの所定の
位置に収容されるように構成されており、ウエハに与え
る影響を少なくしつつ、ロット形成作業を自動的に実施
するようになっている。

【０００４】なお、前記以外のウエハ並び替え装置を述
べてある例としては、特開昭６０−２０１６４１号公報
、がある。

【０００５】他方、半導体製造工程においては、ワーク
としてのウエハについてのデータを管理するために、ウ
エハにロット毎の識別コードを付しておき、この識別コ
ードを各プロセスにおいて読み取ることにより、各ロッ
ト毎のウエハについてのデータを収集することが、実施
されている。

【０００６】従来、このようなウエハのデータ管理方法
として、特開昭６３−２２０５１３号公報に記載されて
いるモニタウエハのデータ管理方法、がある。すなわち
、このモニタウエハのデータ管理方法は、前記モニタウ
エハ上に予め識別コードを付し、その識別コードと前記
ロットの識別符号とを対応付けた対応ファイルをデータ
処理装置に記録しておき、前記モニタウエハに対する測
定を行って、そのモニタウエハの識別コードに対応する
測定値を前記データ処理装置に入力し、そのデータ処理
装置により、前記対応ファイルを参照しつつ、前記測定
値の履歴ファイルを作成させることを特徴とする。

【０００７】このモニタウエハの管理方法によれば、モ
ニタウエハ上に付された識別コードはモニタウエハと分
離せず、そのモニタウエハを他のモニタウエハと区別し
、ロットとの対応関係を明らかにする働きをするため、
多数のウエハが同時に測定された場合であっても、各ウ
エハの測定データは後において、識別コードを基づいて
ロット単位の測定データとして分類し得ることになる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】例えば、ＲＡＭ（ラン
ダム　　アクセス　　メモリー）等の半導体記憶装置（
メモリー）のような少品種多量生産向きの製品について
は、ワークとしてのウエハのライン投入時にロット編成
が実施された後に、そのロットを再編成する必要が殆ど
ない。

【０００９】しかしながら、マスクＲＯＭ（リード　　
オンリー　　メモリー）や、特別注文の半導体集積回路
装置（以下、ＡＳＩＣという。）等のような多品種少量
生産が要求される製品については、ワークとしてのウエ
ハのライン投入時に編成されたロットをそのまま維持し
続けたのでは、生産性がきわめて低下してしまう。すな
わち、マスクＲＯＭやＡＳＩＣでは１品種のウエハが通
常の１ロット当たりの枚数（２５枚）に至らない品種が
多々生じるため、１ロット２５枚単位で取り扱う生産ラ
インが充分に活用されない状況が発生する。そこで、ウ
エハ投入後、次のようなロット編成を実行することによ
り、生産性を高めることが考えられる。

【００１０】例えば、マスクＲＯＭやＡＳＩＣ製品のウ
エハがマスタ工程を通過した後のカスタム工程への投入
時に、カスタム工程の処理条件にそれぞれ応じて、マス
タ工程における１ロット分のウエハを複数グループに分
割するとともに、処理条件が同一のグループを１ロット
にそれぞれ合成することにより、カスタム工程での取り
扱いを可及的に１ロット２５枚単位で行う。カスタム工
程通過後、前記合成された各ロットを再分割するととも
に、同一処理が施された各ウエハを合成し直して１ロッ
ト２５枚に可及的に編成し直す。

【００１１】このようなウエハ投入後のロット編成に前
記したウエハのロット形成および並び替え装置が使用さ
れた場合、ウエハの識別コードを読み取ることによって
、ロット内のウエハを並べ替えることは実現可能である
が、各ロット毎の分割、合成はもとより、一度合成した
ロットを再分割し、さらに、元のロットや所望のロット
に合成し直すことは、実現不可能である。

【００１２】また、前記したモニタウエハのデータ管理
方法による管理データをロット編成に利用することが考
えられるが、この管理データは相異なるロットのウエハ
相互は識別可能であるが、同一ロット内におけるウエハ
相互の識別は不可能であるため、ロットの分割合成にこ
の管理データを利用することはできない。

【００１３】本発明の目的は、ロット内の分割、ロット
間の合成等、複雑なロット編成を実現することができる
ロット編成技術を提供することにある。

【００１４】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１６】すなわち、複数のワークが所定の条件毎の
ロットに編成されるロット編成方法において、各ワーク
に光学的に読み取り可能な固有の識別コードがそれぞれ
付され、その後、ロット編成時に、各ワークに付された
識別コードがそれぞれ読み取られ、読み取られた識別コ
ードに基づいて予め設定された条件毎にワーク群が各ロ
ットにそれぞれ編成され、同時に、編成されたロットの
それぞれにおけるワーク群の識別コードが記録手段に各
ロット毎にそれぞれ記録されることを特徴とする。

【００１７】

【作用】前記した手段によれば、各ワークに固有の識別
コードがそれぞれ付されているため、１ロットに編成さ
れたワーク同士についても識別が可能である。したがっ
て、１ロット内のワーク群を複数のグループに分割して
、そのロットを編成し直すことができる。一方、各ロッ
トに編成されたワークのそれぞれの識別コードは記録手
段に記録されているため、分割されたグループが別のロ
ットに合成されても、合成後の１ロット内に含まれてい
る各ワーク同士は識別し得ることになる。そして、この
合成後の１ロット内に含まれている各ワークが認識され
ているということは、このロットを再分割再合成可能で
あることを意味している。

【００１８】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるウエハのロッ
ト編成装置を示す模式図、図２はその斜視図、図３はウ
エハを示す模式的平面図、である。

【００１９】本実施例において、本発明に係るウエハの
ロット編成装置１１はワークとしてのウエハ１の表面に
付された識別コードを光学的手段により順次読み取り、
原則として２５枚のウエハ１を１ロットに編成するよう
に構成されている。

【００２０】図３に示されているように、識別コード４
はウエハ１の第１主面２におけるオリエンテーションフ
ラット３と反対側の位置に配されており、エッチング加
工法やレーザ刻印法等のような手段が用いられて数字お
よび英文字により描画されている。本実施例において、
識別コード４は、ウエハ１のロット番号を表示する識別
コード（以下、ロットコードという。）５と、当該ロッ
ト中の個々のウエハ番号を表示する識別コード（以下、
ウエハコード）６とにより構成されている。

【００２１】本実施例に係るウエハのロット編成装置１
１は箱形状に形成されている機枠１２を備えており、こ
の機枠１２上にはローダと、アンローダと、搬送装置と
しての多関節ロボット（以下、ロボットという。）と、
識別コード読み取り装置とがそれぞれ設備されている。 ローダ１３は機枠１２上の中央部分における片側位置に
配設されている。ローダ１３はコントローラ１５により
制御されるエレベータ１４を備えており、ウエハ１が複
数枚収納されている実カセット１６からエレベータ１４
の制御により、ウエハ１を１枚宛払い出し得るように構
成されている。アンローダ１７は例えば３組のものが機
枠１２上の片側位置に横並びに配設されている。アンロ
ーダ１７はコントローラ１９により制御されるエレベー
タ１８を備えており、エレベータ１８上に乗せられる空
カセット２０へエレベータ１８の制御により、ウエハ１
を１枚宛スロットに収納させて行けるように構成されて
いる。

【００２２】ちなみに、図４に示されているように、各
空カセット２０には多数条の保持溝（スロット）Ｓ１〜
Ｓ２５が、多数段（本実施例においては、２５段）列設
されており、この保持溝内にウエハがそれぞれ挿入され
ることにより、複数枚（本実施例においては、１ロット
分）のウエハが規則的に整列された状態で収納されるよ
うになっている。

【００２３】搬送装置としてのロボット２１は機枠１２
上の中央部分における片側位置に配設されている。ロボ
ット２１はコントローラ２２により制御されるアーム２
３を備えており、アーム２３の先端部にはウエハ１を保
持するためのグリップ２４が装置されている。ロボット
２１はコントローラ２２により制御されるアーム２３の
操作により、グリップ２４においてローダ１３における
実カセット１６からウエハ１を１枚宛取り出して識別コ
ード読み取り装置３０に搬送し、さらに、当該ウエハ１
を識別コード読み取り装置３０からアンロード１７へ搬
送して、空カセット２０のスロットに収納するように構
成されている。

【００２４】識別コード読み取り装置３０は機枠１２上
の後側部分における略中央位置に配設されており、当該
箇所に読み取りステージ３１が設定されている。この読
み取りステージ３１の片脇にはスタンド３２が機枠１２
上に立設されており、スタンド３２には照明装置３３お
よび画像取り込み装置としてのテレビカメラ３５が支持
されている。照明装置３３には光源３４が光学的に接続
されており、この照明装置３３により光源３４からの光
がステージ３１に向けて調光されて照射されるようにな
っている。テレビカメラ３５はステージ３１上において
照明されたウエハ１の識別コード４を撮映するように構
成されている。

【００２５】テレビカメラ３５には識別コード認識装置
３６が電気的に接続されており、この識別コード認識装
置３６は画像処理装置等から構成され、テレビカメラ３
５からの撮像信号に基づいてウエハ１に付された識別コ
ード４を認識し得るように構成されている。識別コード
認識装置３６にはモニタ３７が接続されており、このモ
ニタ３７によりテレビカメラ３５の撮映状況がモニタリ
ングされるようになっている。

【００２６】さらに、識別コード認識装置３６には識別
コードを逐次記録するための記録手段としてのメモリー
３８が接続されており、このメモリー３８は識別コード
認識装置３６により認識された識別コード４を逐次記録
するように構成されている。このメモリー３８はコンピ
ュータ等から構築されているデータ処理装置４０に接続
されており、データ処理装置４０によりメモリー３８に
記録されたデータが随時読み出されるようになっている
。データ処理装置４０は前記ロボット２１のコントロー
ラ２２に、後述するようなヨーイング補正信号を送給し
得るように構成されており、コントローラ２２はこの信
号に基づいてアーム２３を操作することにより、ヨーイ
ング補正を実行するようになっている。また、データ処
理装置４０はローダ１３のコントローラ１５およびアン
ローダ１９のコントローラ１９にも接続されている。 なお、メモリー３８はデータ処理装置４０側に装備して
もよい。

【００２７】次に、前記の構成に係るウエハのロット編
成装置１１の作用、および、このウエハのロット編成装
置が使用される場合の本発明の実施例であるウエハのロ
ット編成方法を、図５の工程図を参照にして説明する。

【００２８】前記構成に係るウエハのロット編成装置１
１が使用されて本発明の実施例であるウエハのロット編
成方法が実施される場合、前記構成に係るウエハのロッ
ト編成装置１１は１台または複数台が用意されるが、こ
こでは複数台が用意される場合につき説明する。そして
、複数台のウエハのロット編成装置１１は、ウエハ生産
ラインにおける各工程に適宜配置される。

【００２９】図５は本発明の一実施例であるウエハのロ
ット編成方法の工程図を、製品であるマスクＲＯＭ（読
み出し専用メモリー）が製造されるウエハ群の場合につ
き示している。マスクＲＯＭは多品種少量生産される場
合があり、しかも、その所謂前工程において、前段階が
マスタ工程またはベース工程として共通化が図られ、後
段階がカスタス工程として、個別化ないしは専用化され
ている。

【００３０】以下の説明は、次表１の条件に基づくもの
とする。

【００３１】

【００３２】なお、表１中、第１工程はマスクＲＯＭ生
産ライン前工程のカスタム工程における諸工程のうち、
例えば、ＥＥホト工程等の初期工程に相当する工程の一
例であり、マスクＲＯＭの各品種Ｗ１〜Ｗ５によって、
第１処理条件ａ（以下、ａ条件という。）、および、第
２処理条件ｂ（以下、ｂ条件という。）に分けられてい
る。第２工程は同じくアルミ配線工程等の中期工程に相
当する工程の一例であり、各品種Ｗ１〜Ｗ５によって、
第１処理条件ｃ（以下、ｃ条件という。）、および第２
処理条件ｄ（以下、ｄ条件という。）に分かれている。 第Ｎ工程は同じくダイシング工程等の最終工程に相当す
る工程の一例であって、処理条件ｆ（以下、ｆ条件とい
う。）は各品種Ｗ１〜Ｗ５に無関係に同一である。例え
ば、第１品種Ｗ１は、その生産量がウエハ枚数換算で、
２０枚、であり、第１工程ではａ条件、第２工程ではｄ
条件、第Ｎ工程ではｆ条件により処理されるということ
になる。

【００３３】図５に示されているように、生産ラインの
マスタ工程に投入される前に、識別コード付けおよびカ
セットへのロット詰め工程において、各ウエハ１にはロ
ットコード５およびウエハコード６から成る識別コード
４が、エッチング加工法やレーザ刻印法等のような適当
な手段が用いられてそれぞれ付けられる。そして、１ロ
ット当たり２５枚のウエハ１がロットコード５毎にカセ
ットにそれぞれ収納される。通常のウエハ生産の場合、
この１ロット当たり２５枚のウエハにより一貫生産され
ることになるが、例えば、マスクＲＯＭの生産において
はカスタム工程においてロットを編成し直すことが望ま
しい。

【００３４】そこで、図５に示されているように、マス
クＲＯＭの生産ラインにおいては、ロット毎に所定枚数
（２５枚）のウエハ１が収納されたカセット群は、マス
タ工程を通過後、カスタム工程の第１工程に投入される
際、前記ウエハのロット編成装置１１により処理条件に
対応してロットを編成し直される。

【００３５】ここで、前記構成に係るロット編成装置１
１の作用をまず説明する。

【００３６】ウエハのロット編成装置１１において、マ
スタ工程を通過したウエハ１が収納された実カセット１
６はローダ１３のエレベータ１４上に順次供給される。 エレベータ１４上に実カセット１６が供給されると、ロ
ボット２１はアーム２３の操作によって実カセット１６
内のウエハ１を１枚宛、グリップ２４により保持して実
カセット１６内から取り出し、識別コード読み取り装置
３０のステージ３１に順次供給して行く。

【００３７】読み取りステージ３１において、図１に示
されているように、ウエハ１はロボット２１のアーム２
３およびグリップ２４により水平に支持されるとともに
、読み取り装置３０の照明装置３３およびテレビカメラ
３５に正対される。

【００３８】ウエハ１がテレビカメラ３５に正対される
と、図６に示されているようなフローチャートにより、
識別コード読み取り装置３０において識別コード４の読
み取り作業が実行される。

【００３９】ここで、識別コード認識装置３６における
認識が不能であった場合、ヨーイング補正信号がデータ
処理装置４０からロボット２１のコントローラ２２に送
られる。ロボットのコントローラ２２はこの補正信号に
基づいて、図７に示されているように、アーム２３を操
作することにより、ウエハ１のテレビカメラ３５に対す
る傾斜角θを所定の方向へ変更調整する。このヨーイン
グ補正作動が識別コード認識装置３６による識別コード
４の認識が実行されるまで繰り返されることにより、識
別コード４の適正な認識が確保される。

【００４０】このようにして読み取られた識別コード４
は、識別コード認識装置３６に接続されているメモリー
３８に記録される。そして、この記録データにより、後
述する通りウエハの処理およびロット来歴フアイルが作
成される。なお、テレビカメラ３５による映像はモニタ
３７に映し出され、作業者によって必要に応じて監視さ
れる。

【００４１】そして、識別コード４が読み取られると、
ウエハ１はロボット２１によりアンローダ１７に搬送さ
れて、図４に示されているように、アンローダ１７のエ
レベータ１８上に供給されている空カセット２０におけ
る所定のスロットＳｎに挿入される。

【００４２】今、例えば、識別コード読み取り装置３０
によって読み取られた識別コード４のウエハコード６の
番号が、Ｎ０．１、であった場合、アンローダ１７のコ
ントローラ１９の指令によりエレベータ１８が１ピッチ
送られ、空カセット２０における第１スロットＳ１が挿
入作動位置Ｓ０にセットされる。そして、第１スロット
Ｓ１が挿入作動位置にセットされると、ロボット２１に
より搬送されて来たウエハコードＮＯ．１のウエハ１が
この第１スロットＳ１に挿入される。

【００４３】次に、識別コード読み取り装置３０によっ
て読み取られた識別コード４のウエハコード６の番号が
、Ｎ０．３、であった場合には、アンローダ１７のコン
トローラ１９の指令によりエレベータ１８がさらに２ピ
ッチ送られ、空カセット２０における第３スロットＳ３
が挿入作動位置Ｓ０にセットされる。続いて、ロボット
２１により搬送されて来たウエハコードＮ０．３のウエ
ハ１が、この第３スロットＳ３に挿入される。

【００４４】次に、識別コード読み取り装置３０によっ
て読み取られた識別コード４のウエハコード６の番号が
、ＮＯ．２、であった場合、アンローダ１７のコントロ
ーラ１９の指令によりエレベータ１８が１ピッチ戻され
るように送られ、空カセット２０における第２スロット
Ｓ２が挿入作動位置Ｓ０にセットされる。続いて、ロボ
ット２１により搬送されて来たウエハコードＮ０．２の
ウエハ１が、この第２スロットＳ２に挿入される。

【００４５】このような作動が繰り返されることにより
、指定されたウエハコード６のウエハ１群がアンロード
１７の空カセット２０内へ、各ウエハコード６による順
番に従って、スロット番号通りに並べられて収容される
ことも可能になる。つまり、このような場合、第１スロ
ットＳ１にはウエハコードＮ０．１のウエハが、第２ス
ロットＳ２にはウエハコードＮ０．２のウエハが、第Ｎ
スロットＳｎにはウエハコードＮ０．ｎのウエハがそれ
ぞれ挿入されていることになる。

【００４６】以上の作用により、識別コード読み取り作
業およびロット編成作業が実施されるのであるが、これ
らの作業と同時に、識別コード読み取り装置３０の読み
取りデータに基づき、メモリー３８において次の表２の
ような各ウエハの処理およびロット来歴フアイルが仮想
的に作成される。

【００４７】

【００４８】なお、表２中、マスタロットコードＭ１〜
Ｍ４は初期のロット詰め工程で付与されたロットコード
を意味し、各ウエハ１の識別コード４におけるロットコ
ード５に相当する。また、マスタウエハコードは同じく
ウエハコード６に相当する。そして、このロットコード
５およびウエハコード６は物理的に不変である。

【００４９】しかし、カスタムロットコードはメモリー
３８において仮想的に付与されるロットコードであり、
カスタム工程における第１工程、第２工程、第Ｎ工程に
おいて適宜変更される。例えば、第１工程カスタムロッ
トコードＡ１は、第１工程におけるロット編成に際して
、ａ条件の処理が施されるべき２５枚のウエハ１に仮想
的に付与されるコードであり、メモリー３８において、
このコードＡ１は、各ウエハ１の物理的に不変であるロ
ットコード５とウエハコード６とにより各ウエハ１がそ
れぞれ特定されることにより、仮想的に付与されること
になる。

【００５０】次に、カスタム工程の第１工程におけるロ
ット編成作業について説明する。なお、ウエハのロット
編成作業の説明に伴って、表２に示された来歴フアイル
の作成手順も明らかにされて行く。

【００５１】前記した表１の通り、第１工程においてａ
条件の処理が施されるべきウエハの総枚数は、４０枚、
である。そこで、まず、２５枚のウエハが収納されてい
るＮＯ．１マスタロットＭ１のカセットは編成が変更さ
れることなく、第１工程のａ条件の処理が実施される製
造装置に送り込まれる。但し、メモリー３８にはそのＮ
Ｏ．１マスタロットＭ１のカセットに収納された２５枚
のウエハが、表２に示されているように、第１工程のａ
条件の処理が施されるカスタムロットコードＡ１を付与
されたウエハ群（以下、Ａ１ロットという。）として、
初期ロット詰め工程において記録されたロットコード５
およびウエハコード６により特定されて記録される。

【００５２】また、第１工程においてｂ条件の処理が施
されるべきウエハの総枚数は、４０枚であるので、同様
に、ＮＯ．２マスタロットＭ２のカセットは編成が変更
されることなく、第１工程のｂ条件の処理が実施される
製造装置に送り込まれる。但し、メモリー３８にはその
ＮＯ．２マスタロットのカセットに収納された２５枚の
ウエハが、表２に示されているように、第１工程カスタ
ムロットコードＡ２が付与されたウエハ群（以下、Ａ２
ロットという。）として初期ロット詰め工程において記
録されたロットコード５およびウエハコード６により特
定されて記録される。

【００５３】しかし、ａ条件およびｂ条件が施されるべ
きウエハの総枚数は４０枚宛であるので、１５枚のウエ
ハがそれぞれ不足する。そこで、例えば、図８に示され
ているように、ＮＯ．３マスタロットコードのカセット
Ｍ３が、まず、ロット編成装置１１におけるローダ１３
に供給される。また、空カセットＢ２がアンローダ１７
に供給される。続いて、ローダ１３のカセットＭ３に収
納されているウエハ１のうち、例えば、ＮＯ．１〜ＮＯ
．１０の１０枚のウエハが、前述した作用によって識別
コード４を読み取り装置３０により読み取られた後、空
カセットＢ２に移し換えられる。このＮＯ．１〜ＮＯ．
１０のウエハのロットコード５およびウエハコード６は
メモリー３８に記録される。

【００５４】そして、カセットＭ３に残されたＮＯ．１
１〜ＮＯ．２５の１５枚のウエハは、第１工程の第２カ
スタムロットコードＡ２が付与されたウエハ群（以下、
Ａ２ロットという。）として、初期ロット詰め工程にお
いて記録されたロットコード５およびウエハコード６に
より特定されてメモリー３８に記録される。

【００５５】次いで、カセットＭ３がローダ１３から排
出され、代わりに、ＮＯ．４マスタロットのカセットＭ
４がローダ１３に供給される。そして、ローダ１３のカ
セットＭ４に収納されているウエハ１のうち、例えば、
ＮＯ．１〜ＮＯ．５の５枚のウエハが識別コード４を読
み取られた後、アンローダ１７のＢ２カセットに移し換
えられる。移された５枚のウエハのロットコード５およ
びウエハコード６はメモリー３８に記録される。

【００５６】そして、カセットＭ４に残されたＮＯ．６
〜ＮＯ．２５の２０枚のウエハは、第１工程のカスタム
ロットコードＣが付与されたウエハ群（以下、Ｃロット
という。）として、前記の通りメモリー３８に記録され
たロットコード５およびウエハコード６により特定され
てメモリー３８に記録される。また、アンローダ１７の
カセットＢ２に移された１５枚のウエハは、カスタムロ
ットコードＢ２が付与されたウエハ群（以下、Ｂ２ロッ
トという。）として、前記の通りメモリー３８に記録さ
れたロットコード５およびウエハコード６により特定さ
れてメモリー３８に記録される。

【００５７】以上のようにして第１工程におけるロット
編成作業が完了すると、表２中、第１工程カスタムコー
ド欄までの来歴フアイルがメモリー３８に記録されたこ
とになる。そして、ロット編成された５個のカセットは
順次、第１工程の各製造装置にそれぞれ送り込まれる。 Ａ１ロットおよびＡ２ロットの計４０枚のウエハについ
てａ条件の処理が施され、Ｂ１ロットおよびＢ２ロット
の計４０枚のウエハについてｂ条件の処理が施され、Ｃ
ロットの２０枚のウエハについてｃ条件の処理が施され
る。この際、Ａ１ロットおよびＢ１ロットは各２５枚で
あるので、生産性は良好に維持されることになる。

【００５８】次に、カスタム工程の第２工程におけるウ
エハのロット再編成作業について説明する。

【００５９】前記の表１の通り、第２工程においてｄ条
件の処理が施されるべきウエハの総枚数は、６０枚、で
ある。そのうち、２０枚のウエハはａ条件で処理された
ウエハ、２０枚のウエハはｂ条件で処理されたウエハ、
残りの２０枚のウエハはｃ条件で処理されたウエハ、で
ある必要がある。そして、ａ条件で処理された４０枚の
ウエハはＡ１ロットに２５枚が、Ａ２ロットに１５枚が
それぞれ収納されている。また、ｂ条件で処理された４
０枚のウエハはＢ１ロットに２５枚が、Ｂ２ロットに１
５枚がそれぞれ編成されている。そして、ｃ条件で処理
された２０枚のウエハはＣロットに編成されている。

【００６０】同様に、第２工程においてｅ条件の処理が
施されるべきウエハ１の総枚数は、４０枚である。その
うち、２０枚のウエハはａ条件で処理されたウエハ、残
りの２０枚のウエハはｂ条件で処理されたウエハ、であ
る必要がある。これらの要求により、第２工程に供給さ
れる以前に、第１工程で編成されたロットを編成し直す
必要が発生する。

【００６１】例えば、図９に示されているように、アン
ローダ１７には３個の空カセット（以下、Ｅ１カセット
、Ｅ２カセット、Ｄ３カセットということがある。）が
供給される。ローダ１３にはＡ１ロットのカセットが供
給される。そして、Ａ１ロットのカセットから５枚のウ
エハが、識別コード４を読み取り装置３０により読み取
られた後、Ｅ２カセットに移される。この５枚のウエハ
のロットコード５およびウエハコード６はメモリー３８
に記録される。次いで、ローダ１３にはＢ２ロットのカ
セットが供給され、ローダ１３のＢ１ロットのカセット
から５枚のウエハが、識別コード４を読み取られた後、
Ｅ２カセットに移される。この５枚のウエハのロットコ
ード５およびウエハコード６はメモリー３８に記録され
る。さらに、ローダ１３にＢ２ロットのカセットが供給
され、Ｂ２ロットのカセットから５枚のカセットが、識
別コード４を読みとられた後、Ｅ２カセットに移される
。この５枚のウエハのロットコード５およびウエハコー
ド６はメモリー３８に記録される。これにより、Ｅ２カ
セットには合計１５枚のウエハが収納されたことにる。 そして、このＥ２カセットに収納された１５枚のウエハ
は、第２工程のカスタムロットコードＥ２が付与された
ウエハ群（以下、Ｅ２ロットという。）として、前記記
録されたロットコード５およびウエハコード６により特
定されてメモリー３８に記録される。

【００６３】続いて、ローダ１３に供給された前記Ｂ２
ロットのカセットから１０枚のウエハが、識別コード４
を読み取られた後、アンローダ１７のＥ１カセットに移
される。この１０枚のウエハのロットコード５およびウ
エハコード６はメモリー３８に記録される。次いで、ロ
ーダ１３にＡ２ロットのカセットが供給され、Ａ２カセ
ットから２０枚のウエハが、識別コード４を読み取られ
た後、アンローダのＥ１カセットに移される。この２０
枚のウエハのロットコード５およびウエハコード６はメ
モリー３８に記録される。これにより、Ｅ１カセットに
は合計２５枚のウエハが収納されたことになる。そして
、このＥ１カセットに収納された２５枚のウエハは、第
２工程のカスタムロットコードＥ１が付与されたウエハ
群（以下、Ｅ１ロットという。）として、記録されたロ
ットコード５およびウエハコード６により特定されてメ
モリーに記録される。

【００６４】次いで、ローダ１３にはＣロットのカセッ
トが供給され、Ｃロットのカセットから１０枚のウエハ
が、識別コード４を読み取られた後、アンローダ１７の
Ｄ３カセットに移される。この１０枚のウエハのロット
コード５およびウエハコード６はメモリーに記録される
。そして、このＤ３カセットに収納された１０枚のウエ
ハは、第２工程のカスタムロットコードＤ３が付与され
たウエハ群（以下、Ｄ３ロットという。）として、記録
されたロットコード５およびウエハコード６により特定
されてメモリー３８に記録される。

【００６５】次いで、Ｅ１ロット、Ｅ２ロットおよびＤ
２ロットの各カセットはアンローダ１７から下ろされ、
アンローダ１７にはＡ１ロットのカセットおよびＢ１ロ
ットのカセットが供給される（図示せず）。そして、Ｃ
ロットのカセットから５枚のウエハが、識別コード４を
読み取られた後、Ａ１ロットのカセットに移されるとと
もに、残りの５枚のウエハが、同様に、Ｂ１ロットのカ
セットに移される。これら５枚宛のウエハのロットコー
ド５およびウエハコード６はメモリー３８にそれぞれ記
録される。これにより、Ａ１ロットのカセットには合計
２５枚のウエハが収納されたことになり、このカセット
に収納された２５枚のウエハは、第２工程のカスタムロ
ットコードＤ１が付与されたウエハ群（以下、Ｄ１ロッ
トという。）として、記録されたロットコード５および
ウエハコード６により特定されてメモリー３８に記録さ
れる。また、Ｂ１ロットのカセットには合計２５枚のウ
エハが収納されたことになり、このカセットに収納され
た２５枚のウエハは第２工程のカスタムロットコードＤ
２が付与されたウエハ群（以下、Ｄ２ロットという。）
として、記録されたロットコード５およびウエハコード
６により特定されてメモリー３８に記録される。

【００６６】以上のようにして第２工程におけるロット
編成作業が終了すると、表２中、第２工程カスタムコー
ド欄までの来歴フアイルがメモリー３８に記録されたこ
とになる。そして、ロット編成された５個のカセットは
第２工程の各製造装置に順次送り込まれる。次いで、Ｄ
１ロット、Ｄ２ロットおよびＤ３ロットの計６０枚のウ
エハについてｄ条件の処理が施され、Ｅ１ロットおよび
Ｅ２ロットの計４０枚のウエハについてｅ条件の処理が
施される。この際、Ｄ１ロット、Ｄ２ロットおよびＥ１
ロットはいずれも２５枚のロットであるため、生産性の
低下が抑制されることになる。

【００６７】次に、カスタム工程の第Ｎ工程におけるウ
エハのロット再編成作業について説明する。

【００６８】前記した表１の通り、第Ｎ工程においては
全てのウエハについてｆ条件で処理が施され、そのウエ
ハの総枚数は、１００枚、である。したがって、１ロッ
ト＝２５枚に編成することが可能であり、そうすること
が生産性向上の観点から望ましい。そこで、前記ロット
が再編成されることになる。

【００６９】まず、Ｄ１ロットのカセット、Ｄ２ロット
のカセットおよびＥ１ロットのカセットには、いずれも
２５枚のウエハがそれぞれ収納されているので、前記し
たロットについての編成のし直しを実施することなく、
そのまま、第Ｎ工程のカスタムロットコードＦ１、Ｆ２
およびＦ３が付与されたウエハ群（以下、Ｆ１ロット、
Ｆ２ロットおよびＦ３ロットという。）として、メモリ
ー３８に記録された元のロットコード５およびウエハコ
ード６により特定されてメモリー３８に更新記録される
とともに、第３工程に送られる。

【００７０】しかし、Ｄ３ロットのカセットには１０枚
のウエハが収納されており、Ｅ２ロットのカセットには
１５枚のウエハが収納されているので、両ロットのウエ
ハ群を合成するロット再編成が実施されることになる。

【００７１】図１０に示されているように、ローダ１３
にはＤ３ロットのカセットが供給され、アンローダ１７
にはＥ２ロットのカセットが供給される。そして、Ｄ３
ロットから１０枚のウエハが、識別コード４を読み取り
装置３０で読み取られた後、Ｅ２ロットのカセットに移
される。この１０枚のウエハのロットコード５およびウ
エハコード６はメモリー３８に記録される。アンローダ
１７のカセットには計２５枚のウエハが収納されたこと
になり、この２５枚のウエハは第Ｎ工程のカスタムロッ
トコードＦ４が付与されたウエハ群（以下、Ｆ４ロット
という。）として、メモリー３８に記録されたロットコ
ード５およびウエハコード６により特定されてメモリー
３８に記録される。

【００７２】以上のようにして第Ｎ工程におけるロット
編成作業が終了すると、表２中、第Ｎ工程カスタムコー
ド欄までの来歴フアイルがメモリー３８に記録されたこ
とになる。そして、ロット編成された４個のカセットは
、第Ｎ工程の製造装置に順次送り込まれる。そして、Ｆ
１〜Ｆ４ロットの計１００枚のウエハについてｆ条件の
処理が施される。この際、Ｆ１〜Ｆ４ロットのいずれも
が２５枚のロットであるため、生産性の低下が抑制され
ることになる。

【００７３】そして、以上のようにして作成されたウエ
ハおよびロットの来歴フアイルによれば、個々のウエハ
の来歴をいつでも検索することができる。例えば、表２
中、ＮＯ．１マスタロットＭ１内のＮＯ．１ウエハは、
第１工程においてａ条件の処理が施され、第２工程にお
いてｄ条件の処理が施され、第Ｎ工程においてｆ条件の
処理が施された来歴を有するとともに、ＮＯ．１マスタ
ロットＭ１からＡ１ロットおよびＤ１ロットを経てＦ１
ロットに至った来歴を有する。

【００７４】前記実施例によれば次の効果が得られる。 ■　　ワークとしてのウエハのそれぞれに固有の識別コ
ードを付することにより、１ロットに編成されたウエハ
同士についても識別可能であるため、１ロット内のウエ
ハ群を複数のグループに分割して、ロットを編成し直す
ことができる。

【００７５】■　　各ロットに編成されたウエハのそれ
ぞれの識別コードを記録手段に記憶することにより、分
割されたグループが別のロットに合成されても、合成後
のロット内に含まれている各ウエハ同士を識別すること
ができるため、ロットの再分割再合成が可能である。

【００７６】■　　ロットの再編成を実現することによ
り、多品種少量生産のマスクＲＯＭやＡＳＩＣ等のウエ
ハにおいて、最適のロットを編成することができるため
、多品種少量生産における生産性の低下を防止すること
ができる。

【００７７】■　　また、ロット数を低減することによ
り、段取り時間の低減、工完短縮、仕掛ロット保管場所
の低減等を実現することができる。

【００７８】■　　さらに、ロット単位で抜き取り検査
が実施される工程においては、検査回数を大幅に低減す
ることができる他、検査のためのウエハのハンドリング
回数を低減することにより、ウエハへの付着異物および
ウエハ汚染数を低減することができ、歩留りを低減する
ことができる。

【００７９】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００８０】例えば、ウエハのロット編成装置の具体的
構造、並びに、ウエハのロット編成方法の具体的構成は
、前記実施例に限らず、使用条件や環境等に対応して適
宜選定することができる。

【００８１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
のロット編成技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、フロッピディスク、ハ
ードディスク、コンパクトディスク等のデータ記憶媒体
や、その他、ロットで生産され、かつ、識別コードを付
することが可能なワーク全般のロット編成技術に適用す
ることができる。

【００８２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００８３】ワークのそれぞれに固有の識別コードを付
することにより、１ロットに編成されたワーク同士につ
いても識別可能であるため、１ロット内のワーク群を複
数のグループに分割して、ロットを編成し直すことがで
きる。また、各ロットに編成されたワークのそれぞれの
識別コードを記録手段に記憶することにより、分割され
たグループが別のロットに合成されても、その合成後の
ロット内に含まれている各ワーク同士を識別することが
できるため、各ロットの再分割再合成が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるロット編成装置を示す
模式図である。

【図２】その斜視図である。

【図３】ウエハを示す模式的平面図である。

【図４】カセットを示す斜視図である。

【図５】本発明の一実施例であるロット編成方法を示す
工程図である。

【図６】識別コード読み取り作用を示すフローチャート
図である。

【図７】ヨーイング補正作業を示す斜視図である。

【図８】第１工程におけるウエハのロット編成作業を示
す模式図である。

【図９】第２工程におけるウエハのロット編成作業を示
す模式図である。

【図１０】第Ｎ工程におけるウエハのロット編成作業を
示す模式図である。

【符号の説明】

１…ウエハ、２…第１主面、３…オリエンテーションフ
ラット、４…識別コード、５…ロットコード、６…ウエ
ハコード、１１…ウエハのロット編成装置、１２…機枠
、１３…ローダ、１４…エレベータ、１５…コントロー
ラ、１６…実カセット、１７…アンローダ部、１８…コ
ンベア、１９…コントローラ、２０…カセット、２１…
ロボット、２２…コントローラ、２３…アーム、２４…
グリップ、３０…識別コード読み取り装置、３１…読み
取りステージ、３２…スタンド、３３…照明装置、３４
…光源、３５…テレビカメラ、３６…識別コード認識装
置、３７…モニタ、３８…メモリー、４０…データ処理
装置。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　複数のワークが所定の条件毎のロット
   に編成されるロット編成方法において、各ワークに光学
   的に読み取り可能な固有の識別コードがそれぞれ付され
   、その後、ロット編成時に、各ワークに付された識別コ
   ードがそれぞれ読み取られ、読み取られた識別コードに
   基づいて予め設定された条件毎にワーク群が各ロットに
   それぞれ編成され、同時に、編成されたロットのそれぞ
   れにおけるワーク群の識別コードが記録手段に各ロット
   毎にそれぞれ記録されることを特徴とするロット編成方
   法。
2. 【請求項２】　　請求項１に記載のロット編成方法にお
   いて、前記ロット毎にそれぞれ記録された識別コードの
   データに基づいて、複数のロットにおけるワーク群が所
   定のロットにそれぞれ再編成されることを特徴とするロ
   ット編成方法。
3. 【請求項３】　　複数のワークが所定の条件毎のロット
   に編成されるロット編成装置において、それぞれに固有
   の識別コードが付されているワークが複数収納された実
   カセットが供給されるローダと、ローダとは別にカセッ
   トが供給されるアンローダと、各ワークに付されている
   識別コードを光学的にそれぞれ読み取る読み取り装置と
   、前記ローダの実カセットからワークをそれぞれ取り出
   して、前記読み取り装置に搬送するとともに、読み取ら
   れたワークを前記アンローダのカセットに受け渡す搬送
   装置と、前記読み取り装置によりそれぞれ読み取られた
   各ワークの識別コードを逐次記録する記録手段と、を備
   えていることを特徴とするロット編成装置。