JPH041945A - 光ディスク媒体の製造方法 - Google Patents
光ディスク媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH041945A JPH041945A JP2102257A JP10225790A JPH041945A JP H041945 A JPH041945 A JP H041945A JP 2102257 A JP2102257 A JP 2102257A JP 10225790 A JP10225790 A JP 10225790A JP H041945 A JPH041945 A JP H041945A
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- JP
- Japan
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- signal intensity
- part signal
- film
- land
- substrate
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光ディスク媒体の製造方法に関し、とくにラ
ンド巾とグルーブ巾が１：１に設計されたプリグルーブ
をもつ光ディスク基板を用いた媒体の製造方法に関する
ものである。
ンド巾とグルーブ巾が１：１に設計されたプリグルーブ
をもつ光ディスク基板を用いた媒体の製造方法に関する
ものである。
（従来の技術）
光ディスク媒体においては、プラスチックもしくはガラ
スのプリグルーブをもつ基板に、記録膜、保護膜、反射
膜などが成膜されることによって作られている。そのほ
かの工程としては、基板のクリーニングあるいは膜の付
着力を増加させる目的で、基板に紫外線を照射させたり
、プラズマ雰囲気にさらすなどの工程がとりいれられる
場合もある。
スのプリグルーブをもつ基板に、記録膜、保護膜、反射
膜などが成膜されることによって作られている。そのほ
かの工程としては、基板のクリーニングあるいは膜の付
着力を増加させる目的で、基板に紫外線を照射させたり
、プラズマ雰囲気にさらすなどの工程がとりいれられる
場合もある。
ランド巾とグルーブ巾が１＝１になるように設計された
基板を用いた媒体は、主に、ランド部とグルーブ部の両
方に記録をおこない、３つのレーザービームを用いた読
み出しをおこない、信号処理によりクロストークをキャ
ンセルするというトラック倍密度記録方式において用い
られる。この方式においては１つのランド部（もしくは
グルーブ部）を読み出す場合、その前後のグルーブ部（
もしくはランド部）を読みだし、信号の遅延時間相関を
利用することによりクロストークをキャンセルする。こ
の場合、１周毎によみだそうとする部分がランドからグ
ルーブ、グルーブからランドへと変わる。信号処理のた
めには、ランドをよみだしているときの信号強度とグル
ーブを読みだしているときの信号強度が±１ｄＢ以内の
程度に同一であることが望ましい。
基板を用いた媒体は、主に、ランド部とグルーブ部の両
方に記録をおこない、３つのレーザービームを用いた読
み出しをおこない、信号処理によりクロストークをキャ
ンセルするというトラック倍密度記録方式において用い
られる。この方式においては１つのランド部（もしくは
グルーブ部）を読み出す場合、その前後のグルーブ部（
もしくはランド部）を読みだし、信号の遅延時間相関を
利用することによりクロストークをキャンセルする。こ
の場合、１周毎によみだそうとする部分がランドからグ
ルーブ、グルーブからランドへと変わる。信号処理のた
めには、ランドをよみだしているときの信号強度とグル
ーブを読みだしているときの信号強度が±１ｄＢ以内の
程度に同一であることが望ましい。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、従来の光ディスク媒体の製造方法では、
ランド部信号強度とグルーブ部信号強度はそのグルーブ
形状のロット間のバラツキにより、同一とすることは困
難であった。
ランド部信号強度とグルーブ部信号強度はそのグルーブ
形状のロット間のバラツキにより、同一とすることは困
難であった。
本発明は、ランド部信号強度とグルーブ部信号強度かつ
同一の基板を容易に製造できる光ディスク媒体の製造方
法を提供するものである。
同一の基板を容易に製造できる光ディスク媒体の製造方
法を提供するものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、ランド部信号強度とグルーブ部信号強度を同
一とするように、基板面もしくは記録膜成膜前の成膜面
を逆スパッタする。
一とするように、基板面もしくは記録膜成膜前の成膜面
を逆スパッタする。
（作用）
本発明は基板面もしくは記録膜成膜前の成膜面、たとえ
ば保護膜として用いられている窒化シリコン膜面を記録
膜形成前に逆スパッタすることにより、ランド部信号強
度は減少し、グルーブ部信号強度は増大するという現象
を発見したことにもとづいている。これは逆スパッタに
よりグルーブの側壁の肩の部分が優先的にスパッタされ
ることによっているものと考えられる。ランド部信号強
度とグルーブ部信号強度の差の原因となるグルーブ形状
のバラツキは、主としてスタンパによっており、同一ス
タンパの成形品内においては安定している。バラツキは
通常５％〜１０％程度である。
ば保護膜として用いられている窒化シリコン膜面を記録
膜形成前に逆スパッタすることにより、ランド部信号強
度は減少し、グルーブ部信号強度は増大するという現象
を発見したことにもとづいている。これは逆スパッタに
よりグルーブの側壁の肩の部分が優先的にスパッタされ
ることによっているものと考えられる。ランド部信号強
度とグルーブ部信号強度の差の原因となるグルーブ形状
のバラツキは、主としてスタンパによっており、同一ス
タンパの成形品内においては安定している。バラツキは
通常５％〜１０％程度である。
初期状態において、ランド部信号強度がグルーブ部信号
強度より大きければ、本発明により、ランド部信号強度
とグルーブ部信号強度を同一にすることができる。
強度より大きければ、本発明により、ランド部信号強度
とグルーブ部信号強度を同一にすることができる。
（実施例）
スタンパ設計において、ランド巾０．８νｍ、グルーブ
巾０゜８ｐｍとして、スタンパを作成した。グルーブ深
さは５ｏｏＡである。このスタンパを用いて、ポリカー
ボネート基板を出射成形した。この基板にテスト１とし
て５ｉＮ９００人、ＴｂＦｅＣｏ３５０人、５ｉＮ４０
０人、Ａ１５００人の成膜を行い、光ディスク（比較例
１）を作成した。このディスクのランド部Ｃ／Ｎは９．
４ｍ／ｓ、６．２ＭＨｚにて４９ｄＢ、グルーブ部Ｃ／
Ｎは同一条件にて４３ｄＢであった。次に、テスト２と
して５ｉＮ９５０人成膜後、この膜面を５分間逆スパッ
タした。その後ＴｂＦｅＣｏ３５０人、５ｉＮ４００人
、Ａ１５００人の成膜を行い光ディスク（比較例２）を
作成した。このディスクのランド部Ｃ／Ｎは上記条件で
、４７ｄＢ、グルーブ部Ｃ／Ｎは４５ｄＢであった。こ
れらの結果にもとづき、５ｉＮ９５０人成膜後この膜面
を７．５分間逆スパッタした。その後ＴｂＦｅＣｏ３５
０人、５ｉＮ４００人、Ａ１５００人の成膜を行ない光
ディスク（実施例１）を作成した。上記条件でのＣ／Ｎ
はランド部、グルーブ部ともに４６ｄＢであった。また
ノイズレベルもほぼ同一であった。
巾０゜８ｐｍとして、スタンパを作成した。グルーブ深
さは５ｏｏＡである。このスタンパを用いて、ポリカー
ボネート基板を出射成形した。この基板にテスト１とし
て５ｉＮ９００人、ＴｂＦｅＣｏ３５０人、５ｉＮ４０
０人、Ａ１５００人の成膜を行い、光ディスク（比較例
１）を作成した。このディスクのランド部Ｃ／Ｎは９．
４ｍ／ｓ、６．２ＭＨｚにて４９ｄＢ、グルーブ部Ｃ／
Ｎは同一条件にて４３ｄＢであった。次に、テスト２と
して５ｉＮ９５０人成膜後、この膜面を５分間逆スパッ
タした。その後ＴｂＦｅＣｏ３５０人、５ｉＮ４００人
、Ａ１５００人の成膜を行い光ディスク（比較例２）を
作成した。このディスクのランド部Ｃ／Ｎは上記条件で
、４７ｄＢ、グルーブ部Ｃ／Ｎは４５ｄＢであった。こ
れらの結果にもとづき、５ｉＮ９５０人成膜後この膜面
を７．５分間逆スパッタした。その後ＴｂＦｅＣｏ３５
０人、５ｉＮ４００人、Ａ１５００人の成膜を行ない光
ディスク（実施例１）を作成した。上記条件でのＣ／Ｎ
はランド部、グルーブ部ともに４６ｄＢであった。また
ノイズレベルもほぼ同一であった。
本実施例においては基板上に形成されたＳｉＮ膜を逆ス
パッタする方法をのべたが、基板面を直接逆スパッタし
てもよい。初期状態でランド部信号強度側がおおきくな
るように調整する方法はスタンパ作成条件によっである
程度可能であるが、他の方法として、基板上に、基板と
ほぼ同一の屈折率をもつ、たとえば５ｉ０２膜を成膜す
ることにより、ランド部信号強度を増加させることがで
きる。この膜面を逆スパッタしても同一の効果が得られ
る。
パッタする方法をのべたが、基板面を直接逆スパッタし
てもよい。初期状態でランド部信号強度側がおおきくな
るように調整する方法はスタンパ作成条件によっである
程度可能であるが、他の方法として、基板上に、基板と
ほぼ同一の屈折率をもつ、たとえば５ｉ０２膜を成膜す
ることにより、ランド部信号強度を増加させることがで
きる。この膜面を逆スパッタしても同一の効果が得られ
る。
（発明の効果）
本発明により、ランド部信号強度とグルーブ部信号強度
が同一である基板を容易に作成できるようになった。
が同一である基板を容易に作成できるようになった。
Claims (1)
- プリグルーブをもつ光ディスク基板の基板面もしくは成
膜面を逆スパッタすることによりランド巾とグルーブ巾
とを１：１に制御し、その後記録膜を成膜することを特
徴とする光ディスク媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102257A JP2661323B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 光ディスク媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102257A JP2661323B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 光ディスク媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH041945A true JPH041945A (ja) | 1992-01-07 |
| JP2661323B2 JP2661323B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=14322541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2102257A Expired - Lifetime JP2661323B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 光ディスク媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2661323B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01271936A (ja) * | 1988-04-23 | 1989-10-31 | Hitachi Maxell Ltd | 光情報記録媒体 |
| JPH027245A (ja) * | 1988-06-25 | 1990-01-11 | Hitachi Maxell Ltd | 光情報記録媒体の製造方法、および光情報記録媒体の製造装置 |
| JPH0244545A (ja) * | 1988-08-03 | 1990-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ディスク原盤の製造方法 |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP2102257A patent/JP2661323B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01271936A (ja) * | 1988-04-23 | 1989-10-31 | Hitachi Maxell Ltd | 光情報記録媒体 |
| JPH027245A (ja) * | 1988-06-25 | 1990-01-11 | Hitachi Maxell Ltd | 光情報記録媒体の製造方法、および光情報記録媒体の製造装置 |
| JPH0244545A (ja) * | 1988-08-03 | 1990-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ディスク原盤の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2661323B2 (ja) | 1997-10-08 |
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