JPH04204656A - ネガ型感光性組成物及びそれを用いたカラーフィルターの作成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、カラー固体搬像素子及び液晶デイスプレー素
子において色分解のために使用されるフィルターを形成
するためのネガ型感光性組成物及びそれを用いたカラー
フィルターの作成方法に関する。

［従来の技術とその問題点］ １９６０年代にカラービデオカメラ用として開発された
色分解フィルター（以下、カラーフィルターと称する）
は、現在フォトグイオードとの貼り合せ法と直接フォト
ダイオード上に形成するオンチップ法として実用化が進
められている。

ビデオカメラ用としてのカラーフィルターのサイズは、
はとんどが１０ｍｍｍ息角で赤・緑・青（Ｒ，Ｇ、Ｅ）
あるいは補色の３色画素数が１゜万以上でフォトリソグ
ラフィーを使用して製造゛する。

具体的には、基板上にカゼイン、ゼラチン等の天然蛋白
質に重クロム酸アンモンにより感光性を付与した水溶性
感光液を塗布乾燥し、その塗膜に紫外線を照射してパタ
ーン露光し、未露光部を水で溶出してドツトを形成し、
形成されたドツトを水溶性染料で染色してカラーフィル
ターを製造している。

この染色法を応用してサイズを大きくしたのがカラー液
晶デイスプレー（ＬＣＤ）用カラーフィルターである。

現在２００〜３００μｍ角のＲＧＢ画素が１０万以上で
あるのが普通である。駆動方式としては、ＴＦＴ、ＭＩ
Ｍ、ＳＴＮがあるが、その製造プロセス及びパネルが大
サイズになったために、これに使用するカラーフィルタ
ーに耐熱性、耐光性、耐溶剤性等、従来以上の特性が要
求されるようになった。

そのために未だ染色法が主流であるが、顔料分散法、染
料分散法、印刷法、電着性、干渉法、電着転写法等が開
発され一部で実用化されつつある。

主流である染色法において、レリーフパターンを形成す
る感光性樹脂としては、カゼイン、ゼラチン、フィッシ
ュグルー等の天然蛋白質に重クロム酸アンモン、重クロ
ム酸セリウム、重クロム酸ナトリウム等の重クロム酸塩
を添加したものが用いられている。これらの組成物は、
天然高分子を主成分とするもので、染色に係わりを持つ
アミン基等の官能基濃度や分子量分布はメーカーの努力
によりそれなりに安定しつつあるが、長期保存による腐
敗及び光硬化剤として人体に有害なりロム化合物を用い
る等の欠点を有している。また数十ｐｐｍものアルカリ
金属元素（Ｎａ、　Ｃａ、　Ｋ等）を含有しており、こ
れらのアルカリ金属イオンが拡散するために保護膜によ
るパシベーションはしているものの固体搬像素子の暗時
電圧上昇の経時劣化の原因の一つになっていると考えら
れている。

しかし主流となっている染色法は、水溶性感光液を使用
し水現象によるパターン露光グは、溶剤による毒性、臭
、引火性の心配がないという利点も従来の半導体製造ラ
インにない利点を与えている。

これらの利点を生かし又問題点を解決する数多くの特許
が提案されている。

特開昭５８−１９９３４２号公報には、２−ヒドロキシ
エチルメタアクリレートとＮ、Ｎ−ジメチルアミノプロ
ピルメタクリレートやそのメチルクロライド等の窒素含
有アクリル酸エステルを用いた共重合体に光架橋剤とし
てジアゾ化合物やアジド化合物を添加した感光性組成物
が記載されている。２−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト５０％、ジメチルアミノプロピルメタクリレート４０
％、メタクリルアミド１０％から成る共重合体は、全て
の官能基が大きな親水性を有することから、露光現象し
て形成したレリーフパターンは丸みを帯び、５μ以下の
ラインとスペースを埋めてしまい解像できない。又ジメ
チルアミノプロピルメタクリレートを少（して′いくと
多少丸みはなくなってくるが、本質的に丸みを解消する
ことはできず、更に平均分子量を上げたりして解像力向
上を試みたが、２−ヒドロキシエチルメタクリレートに
よるゲル分が多くなり濾過性が悪くなるばかりで解像力
の向上はそれ程望めなかった。

これらの共重合体はメチルセロソルブ中で重合してシク
ロヘキサン中に投入して共重合体を分離乾燥することに
よって得るが、親水性が大きいために乾燥中に水素結合
がおき、一部脱水反応をおこして架橋が起きるためか水
不溶性になることが多い。又、酢酸添加による感光液の
調整及び酢酸水による現象は室内を酢酸臭にしてしまう
。

特公昭５４−１２３３１号公報には、アクリルアミド、
メタクリル酸アンモン、アクリル酸エチル、２−ヒドロ
キシエチルアクリレート共重合体にグリシジルメタクリ
レートを付加した水溶性不飽和重合体６部、アントラキ
ノン−β−スルホン酸ソーダ０．４部、４，４′−ジア
ジドスチルベン−２，２′−ジスルホン酸ソータ０．０
５部、トリメチルホスフィン０．０６部を水９４部に溶
解して水溶性感光液を調整している。この感光液を基板
に塗布し、ネガフィルムを密着させて紫外１１１ｇ光後
、木のみで未露光部を溶出して現像することが記載され
ている。これによれば、六価クロムによる環境汚染はな
くなるが、カラーフィルターの染色液に使用している酸
性染料水溶液に染色し難い。又、感光剤による架橋不足
のため１０μのラインアンドスペースが現像での流れだ
しで埋まってしまう。

特開昭５８−２０４０４２号公報には、ビニルピロリド
ン１５ｇと３−メタクリルオキシプロピルトリメチルア
ンモニウムクロライド７７゜５ｇから成る共重合体、４
４′−ジアジドスチルベン２，２′−ジスルホン酸０，
９ｇを水１００＋ｎｊ２にとかしたものを染色性を有す
る感光性組成物とし基板上に０．５μの膜厚に塗布し、
　１３０°Ｃ５０分の熱処理を行った。その後所定のマ
スクを介して紫外線照射を行い、水で現像してｐＨ７，
Ｑの酸性染料水で染色してカラーフィルターを作成する
ことが記載されている。膜薄で染色浴によく染まるが、
染まり過ぎてイエロー、シアン、マセンダの色のコント
ロールがしにくい。又ビニルとロリドンと３−メタクリ
ルオキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライドが
ら成る共重合体とアジド化合物の組み合せでは水に溶は
易く解像性がない、又アジド化合物の添加量が多いので
、２００℃の加熱の際発色して可視部での光透過率を低
下させてしまい実用的なカラーフィルタ゛−を作ること
はできない。

特開昭５９−１１６６５１号公報には、ケン化度８７％
、重合度２（１００の部分ケン化ポリビニルアルコール
にスチルベンゼンスルホン酸アンモニウム塩を２モル％
導入したレジストを水で溶解して５％のレジスト溶液を
調整した後固体撮像素子や透明支持層上にスピン塗布し
て厚さ１．０μのレジスト膜を形成し、マスクを介して
紫外線露光し、純水中に３０秒浸漬して現像してパター
ンニングした後、塩基性染料浴で６０℃で染色してカラ
ーフィルターを作成することが記載されている。

このポリビニルアルコールをバインダーとした感光層は
耐熱性が悪く、　１８０〜２００℃まで加熱すると可視
部の光透過率が７０％以下に低下してしまう。

特開昭５９−１５５４１２号公報には、Ｎ−ビニル−２
−ピロリジノン３０．０　ｇ、２−ヒドロキシ−３−メ
タクリルオキシプロピルトリメチルアンモニウムクロラ
イドＩＯ，［１ｇ、メククリル酸メチル１５．０ｇから
成る共重合体１ｇと４゜４′−ジアジドスチルベン−２
，２′−ジスルホン酸ナトリウム５ｍｇを水にとかして
感光性樹脂溶液を調整し、透明な基板上に塗布してマス
クを介して紫外線露光（４，５ｍｗ／ｃｍｚ　Ｘ　５秒
）し、未露光部を水で現像してパターンを形成している
。次に、スミノールミーリングレッドＧ１．０％と酢酸
２．０％の水溶性染色浴に２５℃４分間浸漬して赤色フ
ィルタ一部を形成し、上部に中間膜であるメチルメタア
クリレートポリマーをスピンナー塗布し、再び上記感光
性樹脂溶液を塗布しパターンユング後、スミノールミー
リング、ブリリアントグリーン６Ｇ２％、酢酸２．０％
の水溶性染色浴に２５℃６分浸漬して緑色フィルタ一部
を形成し、更に上記操作をくりがえして青色フィルタ一
部を形成してオンチップの色分解フィルタを作成するこ
とが記載されているが、染色が室温でできるため色濃度
のコントロールがし難く又、染色部が膨潤し易いためク
ラックが発生し易い。又、水現像でのレリーフが丸みを
帯び３μｍのラインアンドスペースを解像できない。

特開昭６２−１０９０４０号公報および特開昭６３−１
３３１４８号公報にはスチルバゾリウム基を有するポリ
ビニルアルコールを着色感光性樹脂組成物のバインダー
に使用しているが耐熱性がなく１８０〜２００℃の加熱
で可視部の光透過率が低下してしまう。

特開昭５７−１６８２４８号公報には、アクリルアミド
とジアセトンアクリルアミド（例えば、Ｎ−（１，１−
ジメチル−３−オキツブチル）アクリルアミドの共重合
体にジアゾ樹脂を２〜１０％添加した感光液が開示され
ているが、製版、印刷、製図分野に用いるために開示さ
れたものであるため１０μ以下の高解像性を要求するカ
ラーフィルターの作成には適さない。また染料の種類に
よっては高濃度に染色できないという問題があるため特
開平１−２８２５０４号公報では、平均分子量１１万の
アクリルアミドとＮ−（１，１−ジメチル−３−オキソ
ブチル）アクリルアミド（モル比５：１）共重合体にジ
アゾ樹脂を水溶性高分子に対して１０％以上混入して３
μ以下の解像度をだしているが、染色濃度がでないため
にパターン形成後無水クロム酸水溶液に浸漬したのち水
溶性染料で染色することが記載されている。ジアゾ樹脂
を水溶性高分子に対して１０％以上混入することは１８
０〜２００°Ｃの加熱の際可視部の光透過率が低下し良
好なカラーフィルターを作成することはできない。

その他、特開昭６３−１００４４３号、特開昭６２−２
８３３３９号、特開平２−１３８８０２号、特開平１−
２００３５３号、特開平１−１２８０６４号、特開平２
−９６７０４号、特開昭６２−２０９５０３号公報等多
数公開されている。これらには、染色基をもった共重合
体とアジド化合物を有機溶剤に溶解してカラーフィルタ
ー用感光性組成物を調整し、基板上に塗布してマスクを
介して紫外線露光し、未露光部を有機溶剤又は水を主成
分とする現像液で現像してパターンニングした後、水溶
性染料で染色してカラーフィルターを作成することが記
載されている。有機溶剤の毒性、臭、引火性が問題にな
るのは勿論であるが、このような有機溶剤を含む現像液
を使用すれば感光層の膨潤も大きくなり、今だに３μ以
下の解像度が得にくいのが実状である。

［発明が解決しようとする課題］ カゼイン、ゼラチンなどの天然蛋白質を重クロム酸アン
モンで感光性を付与した水溶性感光液は解像力が良好で
ある。カゼインにいたってはｉ　１Ｂステツパーを用い
れば２μのラインアンドスペースは解像することができ
るようになってきた６染色性にいたっては訓れのせいも
あるがこの様な天然蛋白質に適合した染料も見つかり、
現在カラーフィルターの生産の主流になっている。

しかし蛋白質であるから細菌やバクテリアなどの微生物
によって分解されやすく、また微生物の分泌する蛋白分
解酵素あるいは老廃物によって変質しやすい。さらにゼ
ラチン、カゼインなどの弱アルカリ性コロイド溶液は、
保存中にコロイドの凝集が起りやすく不安定であるが、
冷蔵庫中に保存して使用時濾過することによりこの凝集
物を取り除けば問題が解決することも判明しつつある。

天然物の蛋白質であるゼラチン、カゼインなどにはナト
リウム、カリウム、カルシウム、マグネシウム、鉄、銅
等の金属類が含まれており、これらを除去することは非
常に困難であったがメーカーの努力によりそれなりに少
くなりつつあるが完全に除去することは至難の術である
。パシベーションはしているものの半導体の生産現場に
おいて、固体擬像素子や液晶デイスプレーに用いた場合
には固体搬像素子や液晶中にこれらの金属類が拡散し、
誤動作や故障の原因になると疑われ易い。

天然蛋白質と重クロム酸塩との水溶性感光液は、メーカ
ーの努力によりそれなりに使い易くなってきつつある。

又六価クロムの処理も容易になりそれなりに問題が解消
されつつあるが、六価クロムの有害性が消滅したわけで
なく、又半導体の生産現場に金属等を含む感光液をもち
込むことそれ自体がイメージダウンにつながっている。

［課題を解決するための手段］ 本発明者らは、このような問題点を解決すべく鋭意研究
を重ねた結果、水溶性ジアゾ樹脂と重量平均分子量が５
０００〜ＩＯ万の範囲の次の一般式： （式中、Ｒ１は水素原子又はＣＨ，を示し、Ｒ２及びＲ
３は互いに独立してＣＨ３、Ｃ２Ｈ５，Ｃ６Ｈ＊等のア
ルキル基又はアリル基を示し、ｎは１〜１０を示す。）
で示される染色基を担当するアクリル系単量体５〜２０
％（仕込重量％）、２−ヒドロキシエチルメタアクリレ
ート４５〜５５％、メククリルアミド２０〜３０％、ベ
ンジルメタアクリレート５〜２０％からなる共重合体及
びオキシ多塩基酸類を水に溶解したことを特徴とするネ
ガ型感光性組成物を完成した。

又本発明は、上記ネガ型感光性組成物を基板上に塗布し
紫外線露光後水のみで未露光部を溶出させてパターンを
形成したのち水溶性染料で染色するカラーフィルターの
作成方法にも関する。

本発明で使用する水溶性ジアゾ樹脂は、例えば次ぎの方
法で作ることができる。

４−ジアゾジフェニルアミン及び３−メトキシ−４−ジ
アゾジフェニルアミンの塩化亜鉛や硫酸塩の複塩を濃硫
酸や濃リン酸の混液に冷却しながら溶解する８撹拌しな
がらバラホルムアルデヒドをジアゾ化合物に対し０５〜
１．１モル％加え、５〜６℃で３時間線合反応する。反
応液をイソプロピルアルコール中に注加して沈澱析出さ
せる。

水−イソプロピルアルコールで再沈精製を（つかえして
金属ＮａやＫの少いジアゾ樹脂の硫酸塩や硫酸及びリン
酸塩の混酸塩を生成させる。

この水溶性ジアゾ樹脂の紫外吸収スペクトルは遠紫外域
から５００ｎｍの可視域まで広がり　３７５ｎｍに最大
吸収ピークがある。そのため光硬化させる露光装置とし
ては、感度及び解像力からいってＧ線ステッパーよりｉ
線ステッパーを使用する方が有利であることは明白であ
る。水溶性ジアゾ樹脂の添加量は、加熱時の可視域での
光透過率の低下を考えると共重合体に対して５〜１５％
の範囲が好ましい。

本発明の共重合体の構成単位として用いられる一般式で
示される染色基を担当するアクリル系単量体の好適な例
としては、Ｎ、Ｎ−ジメチルアミノエチルメタアクリレ
ート、Ｎ、Ｎ−ジメチルアミノプロピルメタアクリレー
ト、アクリル酸ジエチルアミノエチル、Ｎ、Ｎ−ジプロ
ピルアミノエチルメタアクリレート、Ｎ、Ｎ−ジメチル
アミノヘキシルメタクリレート、Ｎ−メチル−Ｎ−ペン
ジルエチルメククリレート等が挙げられ、その使用量が
少なすぎると樹脂層の染色性が不十分で多過ぎると共重
合体の光硬化性が不十分になるので、共重合体に対し仕
込み重量が５〜２０％の範囲が好ましい。アルキル基や
アリル基が多（なる程染色液中での膨潤が少なくひび割
れがおこりにくい傾向がある。

共重合体の構成単位である２−ヒドロキシメクアクリレ
ートは、基板との密着性を上げると同時に光架橋反応を
促進させる。その使用量が少いと光硬化性が不十分とな
り多すぎると共重合体の製造時ゲルが多発するので、仕
込重量は４５〜５５％の範囲が好ましい。

共重合体の構成単位であるメタアクリルアミドは、本発
明の感光性組成物を水のみで溶解し又未露光部を水のみ
で溶出（現像）するのに必須である。その使用量が少い
と水現像ができなくなり多すぎると膨潤がひどく解像力
を低下させるので、仕込み重量は２０〜３０％の範囲が
好ましい。

更に共重合体の構成単位であるベンジルメタクリレート
は、水現像での膨潤を抑え、又染色すぎないようにコン
トロールするために共重合される。その使用量が多すぎ
ると共重合体のゲル分が多くなり濾過が困難になる６仕
込重量は５〜２５％の範囲が好ましい。ベンジルメタク
リレートは、メチルメタクリレート、アクリル酸ブチル
、スチレンと同じように共重合体に疎水性を与えるのに
寄与しているが、ベンジルメタクリレート以外の疎水性
を与える単量体を共重合しても水現像不能になったり又
染色でのコントロールをすることはできなかった。

本発明の共重合体は、各アクリル系単量体をエチレング
リコールモノメチルエーテル（メチルセロソルブ）に３
０〜４０％に溶解し、重合開始剤としてアゾビスイソブ
チロニトリルを単量体に対し０．１〜１％の範囲で添加
し、窒素パージして８０℃で４〜６時間重合反応をする
０重合液を多量の酢酸エチルに滴下していき沈澱精製し
真空乾燥する６本発明の共重合体の重量平均分子量は５
０００〜１０万の範囲が好ましい。

重量平均分子量が１０万より大き過ぎると水に溶解しに
くく白濁して濾過不能になる場合がある。必要ならば、
本発明の共重合体の耐光性を向上する目的で２−ヒドロ
キシ−４−（２−メタクリロキシエトキシ）ベンゾフェ
ノン及び１．２，２，６．６−パンクメチル−４−ピペ
リジルメタクリレート等の反応性紫外線吸収剤を数パー
セント共重合させてもよい。

本発明に使用されるオキシ多塩基酸類は、本発明の共重
合体を水に溶解するための助剤になる。酢酸のように室
温で臭の発生がないリンゴ酸、酒石酸、クエン酸等が使
用される。使用量は本発明の共重合体に対して５〜１５
％の範囲が好ましい。

本発明のカラーフィルター用感光性組成物は、共重合体
オキシ多塩基酸類を精製水に溶解し、必要ならばその地
塗布ムラを防止するための界面活性剤及び消泡剤及び防
腐剤等を添加し、最終濾過を０．２μの孔を有するフィ
ルターを用いて行う、他方、水溶性ジアゾ樹脂は共重合
体に対し５〜１５％の範囲になるように別に精製水に溶
解し、最終濾過を０．２ｕの孔を有するフィルターを用
いて濾過し、使用時共重合体水溶液と混合して使用する
とよい。

上記条件で調整される本発明の感光性組成物は、固体撮
像素子や液晶デイスプレー素子等の基板上にロールコー
ト、スピンコード、スプレー塗布等で塗布され、乾燥後
原版マスクを介して光硬化される。水によって未露光部
分を除去し、レリーフパターンを作ることができる。

本発明の感光性樹脂を染色するのに用いられる染料とし
ては、ラナゾールブルー８Ｇ（チバガイギー社製）、ス
ミライトスプラ、ブリリアントブルーＧ、スミフィクス
ターキスブル−〇Ｘ、スミノールファストレッドＧ、ス
ミノールミーリングブリリアントレッド４ＢＳ、スミノ
ールミーリングイエローＭＲ、スミノールファストイエ
ローＧ（以上住人化学社製）、カヤノールサイアニンＧ
、カヤノールイエローＭＳＧ、カヤノールミーリングレ
ッドＲＳ（以上日本化薬社製）等が挙げられ、その染色
条件は必要な分光濃度に応じて染料及び染色温度、時間
が決定されるものである。

又本発明の感光性組成物は、水のみで処理する製版工程
の性質上シャドウマスクやリードフレームの加工に使用
するフォトレジストとしても応用可能である。

［実施例］ 次に実施例及び比較例を挙げて本発明の詳細な説明する
が、本発明はこれに限定されない。

実施例１ ３００ｍβの丸底フラスコに下記の重量比率で単量体溶
剤、重合開始剤を仕込み、窒素ガスを吹き込みながら混
合溶解し、８０℃まで昇温しそのまま５時間かきまぜて
重合した。重合液を多量の酢酸エチルに滴下していき沈
澱精製し、真空乾燥した。共重合体４６ｇを得た。

２−ヒドロキシエチルメク クリレート　　　　　　　　　　５０ｇ　（ＨＥＭＡＩ
ジメチルアミノエチルメタ アクリレート　　　　　　　　　１５ｇ　（ＤＭＡＥＭ
ＡＩメチルメタアクリルアミド　　２５ｇ　ｆＭＡＡ）
ベンジルメタアクリレート１０ｇＦＢＺ）アゾビスイソ
ブチロニトリル　０．２ｇ　ｆＡＩＢＮ）メチルセロソ
ルブ　　　　　　２００ｇこの共重合体は重量平均分子
量ｆＭｗ）　＝　２６９５０で数平均分子量（Ｍｎ）　
＝　６６５０であった。この共重合体１２ｇとクエン酸
１．２ｇを精製水８８ｇに撹拌して溶解し、濾紙濾過し
、１μの孔を有するフィルター濾過後、０．４５μの孔
を有するフィルター濾過、最後に０．２μの孔を有する
テフロン製フィルターを用いて濾過した。

別に元素分析値が炭素４７．１％、水素３．９％、窒素
１４．１％、硫黄７．６％、燐０．３４％を有するジア
ゾ樹脂１．２ｇを精製水２０ｇに溶解し、濾紙濾過後、
　０．２μの孔を有するテフロンフィルターを用いて濾
過した。

共重合体水溶液とジアゾ樹脂水溶液を混合して臭の全く
ない水溶性感光液を調整した。この感光液をシリコンウ
ェハ上にスピンナー１５０゜ｒｐｍで回転塗布し、ホッ
トプレート上で８０°Ｃ５分加熱乾燥して膜厚１．０μ
ｍの被膜を得た。マスクを介して縮小投影露光装置Ｄ　
Ｓ　Ｗ　−６５００Ａ（Ｇ線ステッパーＧＣＡ社製、Ｎ
　Ａ　＝　０．３０１．５秒露光（約６００ｍｊ／ｃｍ
２）　Ｌ／、精製水で６０秒間浸漬現像後エタノールで
３０秒間リンスし、乾燥してパターンを形成した。レリ
ーフパターンは多少の丸みをおびているものの最小線巾
３μｍのラインアンドスペースを解像していた。

１３０℃で１０分間ホットプレート上で加熱乾燥した後
ＤＦＣＯＩ−１０（冨士薬品工業■販売のカラーフィル
ター用染色液シアン色）を７０°Ｃに加温した洛中に１
０分間浸漬した後水洗し、　１００℃１０分間乾燥する
ことによりシアン色に染色されたカラーフィルターを形
成した。次に防染層としてＦＶＲ−１０（富士薬品工業
■カラーフィルター用アクリル系透明感光性樹脂）を３
００Ｏｒｐｍで回転塗布し、　１５０℃で３０分加熱処
理して０．６μ厚の乾燥に中間保護被膜を得た。次に上
記に調整したカラーフィルター用染色感光液を同様に塗
布加熱乾燥して膜厚１．０μの被膜を得た。マスクを介
して同様に露光後、精製水で６０秒間浸漬現像した後エ
タノールで３０秒間リンスし、乾燥してパターンを形成
した。レリーフパターンは中間保護膜上でも密着性がよ
＜３μｍのラインアンドスペースを解像していた。　１
３０°Ｃ１０分間ホットプレート上で加熱乾燥した後、
ＤＦＹＯＩ−１０（イエロー色）を７０℃に加温した洛
中に１０分間浸漬した後水洗し、　１００°Ｃで１０分
間乾燥することによりイエロー色に染色されたカラーフ
ィルターを形成した。再びＦＶＲ−１０で上記と同様に
して０．６ｕ厚の中間保護膜を得た。更に上記で調整し
たカラーフィルター用染色感光液を同様に塗布乾燥して
膜厚１．０μの被膜を得た。マスクを介して同様に露光
した後、精製水で６０秒浸漬現像後エタノールで３Ｄ秒
間リンス乾燥してパターンを形成した。レリーフパター
ンは、多少の段差のある上でも密着のよい最小線巾３ｕ
ｍのラインアンドスペースを解像していた。１３０°Ｃ
ＩＯ分間加熱乾燥した後ＤＦＭＯＩ−１０（マゼンタ色
）を７０°Ｃに加温した洛中に１０分間浸漬した後水洗
し、　１００°Ｃ１０分間乾燥することによりマゼンタ
色に染色されたカラーフィルターを形成した。

これら補色フィルターは、図に示すようにカゼイン−重
クロム酸アンモンからなる感光液を使用して形成した補
色フィルターの分光透過率曲線と同じ分光透過率曲線を
示した。

実施例２〜６　比較例１〜５ 実施例１と同様な処方にて表１、表２に示した組成の樹
脂の重合、評価を行った。

【発明の効果〕

以上のように本発明のネガ型感光性組成物及びそれを用
いたカラーフィルターの作成方法を使用することにより
カラーフィルターの製造工程における無公害化を実現し
たばかりか、天然物に含まれるアルカリ金属元素による
経時劣化の原因からの解放等が達成され、本発明はカラ
ー固体撮像素子及び液晶デイスプレー素子に使用される
色分解フィルターの製造に多大の貢献をなすものである
。

【図面の簡単な説明】

図は実施例１によって得られた補色フィルターの分光透
過率曲線示すグラフである。 特許出願人　冨士薬品工業株式会社 （ばか２名）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）水溶性ジアゾ樹脂と重量平均分子量が５０００〜
   １０万の範囲の次の一般式： ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中、Ｒ＿１は水素原子又はＣＨ＿３を示し、Ｒ＿２
   及びＲ＿３は互いに独立してＣＨ＿３、Ｃ＿２Ｈ＿５、
   Ｃ＿６Ｈ＿５等のアルキル基又はアリル基を示し、ｎは
   １〜１０を示す。）で示される単量体５〜２０％、２−
   ヒドロキシエチルメタアクリレート４５〜５５％、メタ
   クリルアミド２０〜３０％、ベンジルメタアクリレート
   ５〜２０％からなる共重合体及びオキシ多塩基酸類を水
   に溶解したことを特徴とするネガ型感光性組成物。
2. （２）請求項第１項記載のネガ型感光性組成物を基板上
   に塗布し、紫外線露光後水のみで未露光部を溶出させて
   パターンを形成したのち、水溶性染料で染色することを
   特徴とするカラーフィルターの作成方法。