JPH04220516A - ガスレートセンサ - Google Patents
ガスレートセンサInfo
- Publication number
- JPH04220516A JPH04220516A JP41162990A JP41162990A JPH04220516A JP H04220516 A JPH04220516 A JP H04220516A JP 41162990 A JP41162990 A JP 41162990A JP 41162990 A JP41162990 A JP 41162990A JP H04220516 A JPH04220516 A JP H04220516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- gas
- gas rate
- electrode
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスレートセンサに関
し、特に、１本のセンサ体を三個の電極に接続すること
により、一対のセンサ部を構成し、各センサ部のバラツ
キをなくし、組立精度の向上を計るための新規な改良に
関する。
し、特に、１本のセンサ体を三個の電極に接続すること
により、一対のセンサ部を構成し、各センサ部のバラツ
キをなくし、組立精度の向上を計るための新規な改良に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種のガスレー
トセンサとしては種々あるが、その中で代表的な構成に
ついて述べると、図４から図６に示される特開平１−１
６７６７１号公報の従来例に開示された構成を挙げるこ
とができる。図において、符号１で示されるものは全体
がほぼ円筒状をなし、その両端が開放された形状からな
るケーシングであり、このケーシング１の各端部は、ポ
ンプホルダ２及び中継端子板３によって各々閉塞され、
ケーシング１内が外部から遮断されている。このポンプ
ホルダ２には、電歪形のセラミック円板からなる振動板
４ａが設けられ、その周縁部がポンプホルダ２に一体状
に固着されることによって、電歪振動ポンプ４（気体ポ
ンプ）が形成される。
トセンサとしては種々あるが、その中で代表的な構成に
ついて述べると、図４から図６に示される特開平１−１
６７６７１号公報の従来例に開示された構成を挙げるこ
とができる。図において、符号１で示されるものは全体
がほぼ円筒状をなし、その両端が開放された形状からな
るケーシングであり、このケーシング１の各端部は、ポ
ンプホルダ２及び中継端子板３によって各々閉塞され、
ケーシング１内が外部から遮断されている。このポンプ
ホルダ２には、電歪形のセラミック円板からなる振動板
４ａが設けられ、その周縁部がポンプホルダ２に一体状
に固着されることによって、電歪振動ポンプ４（気体ポ
ンプ）が形成される。
【０００３】又、このケーシング１の内部には、この振
動板４ａから所定距離だけ離間した位置に電極ホルダ５
が配置され、この電極ホルダ５は図５に示されるように
構成されている。すなわち、電極ホルダ５には、４個の
ガス案内孔５ａ〜５ｄが形成され、さらに、４個の電極
６ａ〜６ｄが、中心軸に対して対称的に配置されている
。これらの電極６ａ〜６ｄのうち、電極６ａ及び６ｂ間
及び６ｄ間には、ホットワイヤ７ａ及び７ｂが溶着によ
って接続されている。さらに、前記ケーシング１内にお
ける前記中継端子板３の近傍位置には、ノイズ孔８及び
補助孔９を有するノズル板１０が設けられ、この中継端
子板３とノズル板１０との間には、それらのほぼ中間位
置にダストプレート１１が設けられている。前記電歪振
動ポンプ４（気体ポンプ）の振動板４ａと前記ポンプホ
ルダ２との間には、ポンプ室１２が形成されており、こ
の電歪振動ポンプ４によって送り出されたガスは、ガス
案内孔５ａ〜５ｄを経てガス流路１３に送られる。
動板４ａから所定距離だけ離間した位置に電極ホルダ５
が配置され、この電極ホルダ５は図５に示されるように
構成されている。すなわち、電極ホルダ５には、４個の
ガス案内孔５ａ〜５ｄが形成され、さらに、４個の電極
６ａ〜６ｄが、中心軸に対して対称的に配置されている
。これらの電極６ａ〜６ｄのうち、電極６ａ及び６ｂ間
及び６ｄ間には、ホットワイヤ７ａ及び７ｂが溶着によ
って接続されている。さらに、前記ケーシング１内にお
ける前記中継端子板３の近傍位置には、ノイズ孔８及び
補助孔９を有するノズル板１０が設けられ、この中継端
子板３とノズル板１０との間には、それらのほぼ中間位
置にダストプレート１１が設けられている。前記電歪振
動ポンプ４（気体ポンプ）の振動板４ａと前記ポンプホ
ルダ２との間には、ポンプ室１２が形成されており、こ
の電歪振動ポンプ４によって送り出されたガスは、ガス
案内孔５ａ〜５ｄを経てガス流路１３に送られる。
【０００４】前記ケーシング１の中継端子板３の外方位
置には、ＩＣからなる信号処理回路部１４が設けられ、
この信号処理回路部１４は、外部から電力を受け、又、
ホットワイヤ７ａ及び７ｂの出力信号を外部へ取り出す
ための中継端子板３の中継端子１５に接続されている。 又、前記中継端子板３には、リードピン１６が設けられ
、このリードピン１６は外部ケーシング１７に設けられ
た外部端子１８に接続されている。前記外部端子１８は
、前記電歪振動ポンプ４の作動に要する電力及び前記ホ
ットワイヤ７ａ及び７ｂを加熱するために要する電力を
、信号処理回路部１４及びリードピン１６を経ると共に
、ケーシング１内の軸方向に配設された複数のリード線
１９を介して、適宜供給する作用を有している。又、こ
の外部端子１８は、信号処理回路部１４を経た後のホッ
トワイヤ７ａ及び７ｂの出力信号を外部に出力する作用
を有する。
置には、ＩＣからなる信号処理回路部１４が設けられ、
この信号処理回路部１４は、外部から電力を受け、又、
ホットワイヤ７ａ及び７ｂの出力信号を外部へ取り出す
ための中継端子板３の中継端子１５に接続されている。 又、前記中継端子板３には、リードピン１６が設けられ
、このリードピン１６は外部ケーシング１７に設けられ
た外部端子１８に接続されている。前記外部端子１８は
、前記電歪振動ポンプ４の作動に要する電力及び前記ホ
ットワイヤ７ａ及び７ｂを加熱するために要する電力を
、信号処理回路部１４及びリードピン１６を経ると共に
、ケーシング１内の軸方向に配設された複数のリード線
１９を介して、適宜供給する作用を有している。又、こ
の外部端子１８は、信号処理回路部１４を経た後のホッ
トワイヤ７ａ及び７ｂの出力信号を外部に出力する作用
を有する。
【０００５】従来のガスレートセンサは、前述したよう
に構成されており、以下に、その動作について説明する
。まず電歪振動ポンプ４（気体ポンプ）が通電されると
、振動板４ａが振動し、ポンプ室１２内のガスが圧縮さ
れ、この圧縮ガスはこの振動板４ａの吐出口４ｂ及び電
極ホルダ５の吐出口５ｅを介して流路１３に流れ、ノズ
ル板１０とダストプレート１１との間に形成された空間
に導かれ、ノズル孔８と補助口９とを経て、ケーシング
１内の中空円筒部１ａ内の空間部１ｂ内を、各電極６ａ
〜６ｄに向かって噴出される。
に構成されており、以下に、その動作について説明する
。まず電歪振動ポンプ４（気体ポンプ）が通電されると
、振動板４ａが振動し、ポンプ室１２内のガスが圧縮さ
れ、この圧縮ガスはこの振動板４ａの吐出口４ｂ及び電
極ホルダ５の吐出口５ｅを介して流路１３に流れ、ノズ
ル板１０とダストプレート１１との間に形成された空間
に導かれ、ノズル孔８と補助口９とを経て、ケーシング
１内の中空円筒部１ａ内の空間部１ｂ内を、各電極６ａ
〜６ｄに向かって噴出される。
【０００６】前述の圧縮ガスは、各電極６ａ〜６ｄに溶
接された各ホットワイヤ７ａ及び７ｂを均等に冷却した
後、ガス案内孔５ａ〜５ｄを経て振動板４ａに向かって
排出され、この排出ガスは再び電歪振動ポンプ４（気体
ポンプ）の作用によって、流路１３を経てノズル板１０
に戻り、ケーシング１内を矢印の方向に従って循環して
いる。前述の状態で、ケーシング１に角速度が印加され
ない場合には、各ホットワイヤ７ａ及び７ｂは均一に冷
却されるが、外部から角速度が加えられた場合には、ガ
ス流がケーシング１内において偏位し、各ホットワイヤ
７ａ、７ｂ間において均一状態が生じ、そのために各ホ
ットワイヤ７ａ、７ｂ間には、微少な電圧差が発生し、
この電圧差（出力差）を測定することにより、ケーシン
グ１に加わる角速度を検出することができる。
接された各ホットワイヤ７ａ及び７ｂを均等に冷却した
後、ガス案内孔５ａ〜５ｄを経て振動板４ａに向かって
排出され、この排出ガスは再び電歪振動ポンプ４（気体
ポンプ）の作用によって、流路１３を経てノズル板１０
に戻り、ケーシング１内を矢印の方向に従って循環して
いる。前述の状態で、ケーシング１に角速度が印加され
ない場合には、各ホットワイヤ７ａ及び７ｂは均一に冷
却されるが、外部から角速度が加えられた場合には、ガ
ス流がケーシング１内において偏位し、各ホットワイヤ
７ａ、７ｂ間において均一状態が生じ、そのために各ホ
ットワイヤ７ａ、７ｂ間には、微少な電圧差が発生し、
この電圧差（出力差）を測定することにより、ケーシン
グ１に加わる角速度を検出することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来のガスレートセン
サは、以上のように構成されているため、次のような課
題が存在していた。すなわち、２本の独立して構成され
たホットワイヤを各一対の電極間に接続して張設するた
め、一対の感温抵抗体（センサ部）としての特性のバラ
ツキが大きく、同一特性の一対構成を得ることが極めて
困難であった。また、一対のセンサ部を得るためには、
４ケ所の接続（例えば、溶接等）を行わなければならず
、接続時の接触抵抗のバラツキによっても、特性のバラ
ツキとなっていた。さらに、２本の短かくて極細（約１
５μ径）のセンサ部の電極に接続することは極めて難し
く、組立工数の増加によるコストアップ、並びに組立精
度の低下となっていた。
サは、以上のように構成されているため、次のような課
題が存在していた。すなわち、２本の独立して構成され
たホットワイヤを各一対の電極間に接続して張設するた
め、一対の感温抵抗体（センサ部）としての特性のバラ
ツキが大きく、同一特性の一対構成を得ることが極めて
困難であった。また、一対のセンサ部を得るためには、
４ケ所の接続（例えば、溶接等）を行わなければならず
、接続時の接触抵抗のバラツキによっても、特性のバラ
ツキとなっていた。さらに、２本の短かくて極細（約１
５μ径）のセンサ部の電極に接続することは極めて難し
く、組立工数の増加によるコストアップ、並びに組立精
度の低下となっていた。
【０００８】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので特に、１本のセンサ体を三個の電極
に接続することにより、一対のセンサ部を構成し、各セ
ンサ部のバラツキをなくし、組立精度の向上を計るよう
にしたガスレートセンサを提供することを目的とする。
めになされたもので特に、１本のセンサ体を三個の電極
に接続することにより、一対のセンサ部を構成し、各セ
ンサ部のバラツキをなくし、組立精度の向上を計るよう
にしたガスレートセンサを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によるガスレート
センサは、気体ポンプから送られた気体流を、電極板の
各電極間に設けられた少なくとも一対のセンサ部に供給
し、各センサ部の出力差に基づいて角速度（ω）を検出
するようにしたガスレートセンサにおいて、三個の前記
電極を経て１本のセンサ体を接続することにより、前記
一対のセンサ部を形成するようにした構成である。
センサは、気体ポンプから送られた気体流を、電極板の
各電極間に設けられた少なくとも一対のセンサ部に供給
し、各センサ部の出力差に基づいて角速度（ω）を検出
するようにしたガスレートセンサにおいて、三個の前記
電極を経て１本のセンサ体を接続することにより、前記
一対のセンサ部を形成するようにした構成である。
【００１０】さらに詳細には、前記センサ体は、直線状
に配設された構成である。
に配設された構成である。
【００１１】さらに詳細には、前記センサ体は、前記各
電極のうち、中央に位置する中央電極を介してくの字形
に形成されている構成である。
電極のうち、中央に位置する中央電極を介してくの字形
に形成されている構成である。
【００１２】
【作用】本発明によるガスレートセンサにおいては、三
個の電極を経て１本のセンサ体を接続して張設するため
、各電極のうち中央に位置する中央電極が共通電極とな
り、１本のセンサ体が電気的に一対のセンサ部に構成さ
れる。従って、中央電極と他の各電極により三電極形の
一対の独立したセンサ部を得ることができ、気体流の偏
位に基づく角速度の入力を検出することができる。
個の電極を経て１本のセンサ体を接続して張設するため
、各電極のうち中央に位置する中央電極が共通電極とな
り、１本のセンサ体が電気的に一対のセンサ部に構成さ
れる。従って、中央電極と他の各電極により三電極形の
一対の独立したセンサ部を得ることができ、気体流の偏
位に基づく角速度の入力を検出することができる。
【００１３】
【実施例】以下、図面と共に本発明によるガスレートセ
ンサの好適な実施例について詳細に説明する。尚、従来
例と同一又は同等部分には、同一符号を付して説明する
。図１から図３迄は、本発明によるガスレートセンサを
示すためのもので、図１は概略断面図、図２は要部の拡
大斜視図、図３は図２の他の実施例を示す斜視図である
。図において符号１で示されるものは、全体形状が筒形
をなすケーシングであり、このケーシング１内には、三
個の電極６ａ，６ｂ，６ｃを有する電極板５が設けられ
ている。前記電極板５には、軸心位置にノズル孔８を有
する中空円筒部１ａが設けられており、この電極板５に
は、気体吐出孔５ｅおよび気体案内孔５ａが形成されて
いる。
ンサの好適な実施例について詳細に説明する。尚、従来
例と同一又は同等部分には、同一符号を付して説明する
。図１から図３迄は、本発明によるガスレートセンサを
示すためのもので、図１は概略断面図、図２は要部の拡
大斜視図、図３は図２の他の実施例を示す斜視図である
。図において符号１で示されるものは、全体形状が筒形
をなすケーシングであり、このケーシング１内には、三
個の電極６ａ，６ｂ，６ｃを有する電極板５が設けられ
ている。前記電極板５には、軸心位置にノズル孔８を有
する中空円筒部１ａが設けられており、この電極板５に
は、気体吐出孔５ｅおよび気体案内孔５ａが形成されて
いる。
【００１４】前記ケーシング１の一端１ａには、端栓２
が設けられていることにより、この端栓２と電極板５間
には、ポンプ室１２が形成されており、このポンプ室１
２内には、圧電板よりなる気体ポンプ４が設けられてい
る。また、前記ケーシング１の他端１ｂには、信号処理
回路等の回路部１４が設けられ、この回路部１４からは
端子１８が突出して設けられている。
が設けられていることにより、この端栓２と電極板５間
には、ポンプ室１２が形成されており、このポンプ室１
２内には、圧電板よりなる気体ポンプ４が設けられてい
る。また、前記ケーシング１の他端１ｂには、信号処理
回路等の回路部１４が設けられ、この回路部１４からは
端子１８が突出して設けられている。
【００１５】前記各電極６ａ，６ｂ，６ｃは、前記電極
板５上において、図２に示すように、一直線上に配設さ
れており、各電極６ａ，６ｂ，６ｃの上面には、１本の
ホットワイヤ等からなるセンサ体５０が溶接部５１を介
して張設されている。従って、電極６ｂを共通電極とし
、電極６ａ，６ｂ間のセンサ体５０により第１センサ部
７ａを構成し、電極６ｂ，６ｃ間のセンサ体５０により
第２センサ部７ｂを構成している。また、図３に示す他
の実施例においては、前記各電極６ａ，６ｂ，６ｃが非
直線状のくの字形に配設されており、１本のセンサ体５
０を前述の図２と同様に、各溶接部５１を介してくの字
形に張設されている。前述の構成において、各センサ部
７ａ，７ｂを図６に示す従来と同様のブリッジ回路に接
続することにより、角速度入力が発生し、気体流４Ａの
偏流が発生した場合には、各センサ部７ａ，７ｂの温度
差によって入力角速度の大きさを検出することができる
。尚、センサ体５０としてホットワイヤを用いているが
、歪センサ等を用いることもできる。
板５上において、図２に示すように、一直線上に配設さ
れており、各電極６ａ，６ｂ，６ｃの上面には、１本の
ホットワイヤ等からなるセンサ体５０が溶接部５１を介
して張設されている。従って、電極６ｂを共通電極とし
、電極６ａ，６ｂ間のセンサ体５０により第１センサ部
７ａを構成し、電極６ｂ，６ｃ間のセンサ体５０により
第２センサ部７ｂを構成している。また、図３に示す他
の実施例においては、前記各電極６ａ，６ｂ，６ｃが非
直線状のくの字形に配設されており、１本のセンサ体５
０を前述の図２と同様に、各溶接部５１を介してくの字
形に張設されている。前述の構成において、各センサ部
７ａ，７ｂを図６に示す従来と同様のブリッジ回路に接
続することにより、角速度入力が発生し、気体流４Ａの
偏流が発生した場合には、各センサ部７ａ，７ｂの温度
差によって入力角速度の大きさを検出することができる
。尚、センサ体５０としてホットワイヤを用いているが
、歪センサ等を用いることもできる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によるガスレートセンサは、以上
のように構成されているので、次のような効果を得るこ
とができる。すなわち、各センサ部を１本の連続したセ
ンサ体で構成しているため、従来構成に比較すると、各
センサ部のバラツキを大幅に少なくすることができる。 また、電極の数を従来構成よりも減らすことができ、溶
接個所の減少により、組立工数の低下、コストの低下を
得ることができる。さらに、１本のセンサ体を直線状又
はくの字形に構成しているため、組立精度の向上、信頼
性の向上を得ることができると共に、従来のように各セ
ンサ部の平行度の調整作業を不要とし、組立コストの大
幅な削減を達成することができる。
のように構成されているので、次のような効果を得るこ
とができる。すなわち、各センサ部を１本の連続したセ
ンサ体で構成しているため、従来構成に比較すると、各
センサ部のバラツキを大幅に少なくすることができる。 また、電極の数を従来構成よりも減らすことができ、溶
接個所の減少により、組立工数の低下、コストの低下を
得ることができる。さらに、１本のセンサ体を直線状又
はくの字形に構成しているため、組立精度の向上、信頼
性の向上を得ることができると共に、従来のように各セ
ンサ部の平行度の調整作業を不要とし、組立コストの大
幅な削減を達成することができる。
【図１】本発明によるガスレートセンサを示す断面図で
ある。
ある。
【図２】図１の要部の拡大斜視図である。
【図３】図２の他の実施例を示す斜視図である。
【図４】従来のガスレートセンサを示す断面図である。
【図５】図４の要部を示す平面図である。
【図６】ブロック図である。
４ 気体ポンプ
４Ａ 気体流
５ 電極板
６ａ 電極
６ｂ 〃
６ｃ 〃
７ａ センサ部
７ｂ センサ部
５０ センサ体
Claims (3)
- 【請求項１】 気体ポンプ（４）から送られた気体流
（４Ａ）を、電極板（５）の各電極（６ａ，６ｂ，６ｃ
）間に設けられた少なくとも一対のセンサ部（７ａ，７
ｂ）に供給し、各センサ部（７ａ，７ｂ）の出力差に基
づいて角速度（ω）を検出するようにしたガスレートセ
ンサにおいて、三個の前記電極（６ａ，６ｂ，６ｃ）を
経て１本のセンサ体（５０）を接続することにより、前
記一対のセンサ部（７ａ，７ｂ）を構成することを特徴
とするガスレートセンサ。 - 【請求項２】 前記センサ体（５０）は、直線状に配
設されていることを特徴とする請求項１記載のガスレー
トセンサ。 - 【請求項３】 前記センサ体（５０）は、前記各電極
（６ａ，６ｂ，６ｃ）のうち、中央に位置する電極（６
ｂ）を介してくの字形に形成されていることを特徴とす
る請求項１記載のガスレートセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41162990A JPH04220516A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | ガスレートセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41162990A JPH04220516A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | ガスレートセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04220516A true JPH04220516A (ja) | 1992-08-11 |
Family
ID=18520599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP41162990A Pending JPH04220516A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | ガスレートセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04220516A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002130138A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-09 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 気体レートセンサ |
| JP2008509390A (ja) * | 2004-08-06 | 2008-03-27 | ハンクック センシス カンパニー リミテッド | 流体の熱対流を利用した加速度及び傾斜角測定装置とその測定方法 |
| JP2009145317A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-07-02 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 流体レートジャイロ |
-
1990
- 1990-12-19 JP JP41162990A patent/JPH04220516A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002130138A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-09 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 気体レートセンサ |
| JP2008509390A (ja) * | 2004-08-06 | 2008-03-27 | ハンクック センシス カンパニー リミテッド | 流体の熱対流を利用した加速度及び傾斜角測定装置とその測定方法 |
| JP2009145317A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-07-02 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 流体レートジャイロ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002522781A (ja) | 渦流検出装置 | |
| KR100684329B1 (ko) | 전자기밸브 일체형 압력센서 조립구조 | |
| JP2961186B2 (ja) | 気体レートセンサ | |
| JP2530877B2 (ja) | ガスレ―トセンサ | |
| JP3004737B2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH0452686Y2 (ja) | ||
| JPH01167671A (ja) | ガスレートセンサ | |
| JP2961185B2 (ja) | 気体レートセンサ | |
| JPH079102Y2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JP2967147B2 (ja) | 気体レートセンサ | |
| JP3061290B2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH0641171Y2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH10185939A (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH07167657A (ja) | ガスレートセンサの製法及びガスレートセンサ | |
| JPH1164361A (ja) | ガスレートセンサのホットワイヤ構造 | |
| JPS63308568A (ja) | ガスレ−トセンサ | |
| JP2599323B2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPS6381270A (ja) | ガスレ−トセンサ | |
| JP2889008B2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JP2961183B2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH075417Y2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH04158264A (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH08334329A (ja) | ガスレートセンサ | |
| JPH0236360A (ja) | ガスレートセンサのホットワイヤ構造及びその製法 | |
| JPH0510962A (ja) | ガスレートセンサ |