JPH04225540A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置Info
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- JPH04225540A JPH04225540A JP2408316A JP40831690A JPH04225540A JP H04225540 A JPH04225540 A JP H04225540A JP 2408316 A JP2408316 A JP 2408316A JP 40831690 A JP40831690 A JP 40831690A JP H04225540 A JPH04225540 A JP H04225540A
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- clampers
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- H10W72/522—Multilayered bond wires, e.g. having a coating concentric around a core
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボールボンディング方式
のワイヤボンディング装置に関する。
のワイヤボンディング装置に関する。
【０００２】近年、ＩＣチップの小型化に伴って、ワイ
ヤ接続用のパッドのピッチが狭くなってきており、これ
に伴って配線されたワイヤのピッチが狭くなってきてい
る。ワイヤのピッチが１００μｍ以下にまで狭くなると
、ワイヤ同士が接触してしまう虞れが出てくる。
ヤ接続用のパッドのピッチが狭くなってきており、これ
に伴って配線されたワイヤのピッチが狭くなってきてい
る。ワイヤのピッチが１００μｍ以下にまで狭くなると
、ワイヤ同士が接触してしまう虞れが出てくる。
【０００３】そこで、配線の高密度化に対する対策とし
て、絶縁材をコートした被覆ワイヤが提案されてきてい
る。
て、絶縁材をコートした被覆ワイヤが提案されてきてい
る。
【０００４】ボールボンディング方式のワイヤボンディ
ング装置は、上記の被覆ワイヤに適合した構成であるこ
とが必要とされる。
ング装置は、上記の被覆ワイヤに適合した構成であるこ
とが必要とされる。
【０００５】
【従来の技術】図５に従来のボールボンディング方式の
ワイヤボンディング装置１を示す。
ワイヤボンディング装置１を示す。
【０００６】２はセラミック性のキャピラリ、３，４は
銅製のクランパ、５は放電電圧発生回路、６は電極であ
る。キャピラリ２は矢印Ａ方向に、クランパ３，４は矢
印Ｂ，Ｃ方向に、電極６は矢印Ｄ方向に動作する。
銅製のクランパ、５は放電電圧発生回路、６は電極であ
る。キャピラリ２は矢印Ａ方向に、クランパ３，４は矢
印Ｂ，Ｃ方向に、電極６は矢印Ｄ方向に動作する。
【０００７】ワイヤ７は、クランパ３，４を通り、キャ
ピラリ２の中心孔２ａを挿通してキャピラリ２より下方
に突出する。
ピラリ２の中心孔２ａを挿通してキャピラリ２より下方
に突出する。
【０００８】クランパ３，４及び電極６が放電電圧発生
回路５と電気的に接続してある。アーク放電９が、ワイ
ヤ７の下端と電極６との間で起こり、ワイヤ７の下端に
ボール１０が形成される。
回路５と電気的に接続してある。アーク放電９が、ワイ
ヤ７の下端と電極６との間で起こり、ワイヤ７の下端に
ボール１０が形成される。
【０００９】このボール１０を利用して、ＩＣチップの
パッドに対してボールボンディングがなされる。
パッドに対してボールボンディングがなされる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】クランパ３，４は、図
６に示すように、クランプ面３ａ，３ｂが共に平坦面で
ある構成である。
６に示すように、クランプ面３ａ，３ｂが共に平坦面で
ある構成である。
【００１１】このため、ワイヤ７が被覆ワイヤの場合に
は、クランパ３，４とワイヤとの電気的接続がとれない
。従って、アーク放電が起きず、ボールが形成されず、
ボールボンディングが出来ない。
は、クランパ３，４とワイヤとの電気的接続がとれない
。従って、アーク放電が起きず、ボールが形成されず、
ボールボンディングが出来ない。
【００１２】ここで、クランパ３，４にヒータを埋め込
み、熱によって被覆を除去することが考えられるけれど
も、このようにすると、被覆が除去される部分が広くな
ってしまい、配線状態におけるワイヤ間の絶縁性が損な
われてしまう。
み、熱によって被覆を除去することが考えられるけれど
も、このようにすると、被覆が除去される部分が広くな
ってしまい、配線状態におけるワイヤ間の絶縁性が損な
われてしまう。
【００１３】本発明は、被覆ワイヤを使用したボールボ
ンディングを可能としたワイヤボンディング装置を提供
することを目的とする。
ンディングを可能としたワイヤボンディング装置を提供
することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、クラ
ンパを、そのクランプ面に、クランプ時にワイヤの絶縁
性被覆部に喰い込んでワイヤ本体に到る大きさの突部を
設けた構成としたものである。
ンパを、そのクランプ面に、クランプ時にワイヤの絶縁
性被覆部に喰い込んでワイヤ本体に到る大きさの突部を
設けた構成としたものである。
【００１５】請求項２の発明は、突部を、ワイヤに対し
て直交する方向に延在する突条部としたものである。
て直交する方向に延在する突条部としたものである。
【００１６】請求項３の発明は、突条部を複数設けた構
成としたものである。請求項４の発明は、突条部を断面
三角形としたものである。
成としたものである。請求項４の発明は、突条部を断面
三角形としたものである。
【００１７】
【作用】請求項１の発明の突部は、被覆の破壊を極く局
部的にとどめた状態で、クランパとワイヤ本体との電気
的導通を確保する。
部的にとどめた状態で、クランパとワイヤ本体との電気
的導通を確保する。
【００１８】請求項２の発明の突条部は、ワイヤがクラ
ンパ上のどの位置にあっても、クランパをワイヤ本体と
電気的に導通させる。
ンパ上のどの位置にあっても、クランパをワイヤ本体と
電気的に導通させる。
【００１９】請求項３の発明の複数の突条部は、クラン
パとワイヤ本体との電気的導通個所を複数として、電気
的導通を確実とする。
パとワイヤ本体との電気的導通個所を複数として、電気
的導通を確実とする。
【００２０】請求項３の発明の断面が三角形状の突条部
は、突条部の被覆内への喰い込みを確実とする。
は、突条部の被覆内への喰い込みを確実とする。
【００２１】
【実施例】図１は本発明の一実施例になるワイヤボンデ
ィング装置２０を示す。図中、図に示す構成部分と対応
する部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
ィング装置２０を示す。図中、図に示す構成部分と対応
する部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００２２】２１は被覆ワイヤであり、径ｄが例えば２
５μｍの金製のワイヤ本体２２に、厚さｔが例えば０．
７５μｍの耐熱ポリウレタン製である絶縁性被覆２３を
設けた構成である。
５μｍの金製のワイヤ本体２２に、厚さｔが例えば０．
７５μｍの耐熱ポリウレタン製である絶縁性被覆２３を
設けた構成である。
【００２３】２４，２５はクランパであり、図２に併せ
て示すように、径Ｄが１０ｍｍの銅製であり、平坦なク
ランプ面２４ａ，２５ａを有する。
て示すように、径Ｄが１０ｍｍの銅製であり、平坦なク
ランプ面２４ａ，２５ａを有する。
【００２４】２６，２７は突条部であり、クランプ面２
４ｂ上に、クランプされた被覆ワイヤ２１に対して直交
する方向に延在して二本並んで形成してある。
４ｂ上に、クランプされた被覆ワイヤ２１に対して直交
する方向に延在して二本並んで形成してある。
【００２５】突条部２６，２７は、断面が三角形状であ
り、この高さｈは、上記絶縁性被覆２３の厚さｔと略等
しく定めてある。
り、この高さｈは、上記絶縁性被覆２３の厚さｔと略等
しく定めてある。
【００２６】同様に、クランパ２５のクランプ面２５ａ
にも、突条部２８，２９が形成してある。
にも、突条部２８，２９が形成してある。
【００２７】次に、上記構成のワイヤボンディング装置
２０の動作について説明する。図１に示すように、クラ
ンパ２４，２５は非クランプ状態にあり、ワイヤ巻回体
（図示せず）より引き出された被覆ワイヤ２１がクラン
パ２４，２５の間を通り、キャピラリ２の中心孔２ａを
通ってキャピラリ２に支持され、被覆ワイヤ２１の先端
２１ａがキャピラリ２より寸法ｌ突出している。
２０の動作について説明する。図１に示すように、クラ
ンパ２４，２５は非クランプ状態にあり、ワイヤ巻回体
（図示せず）より引き出された被覆ワイヤ２１がクラン
パ２４，２５の間を通り、キャピラリ２の中心孔２ａを
通ってキャピラリ２に支持され、被覆ワイヤ２１の先端
２１ａがキャピラリ２より寸法ｌ突出している。
【００２８】この状態で、図３に示すように、クランパ
２４，２５が被覆ワイヤ２１をクランプすると共に電極
６が移動して被覆ワイヤ２１の先端２１ａに対向する。
２４，２５が被覆ワイヤ２１をクランプすると共に電極
６が移動して被覆ワイヤ２１の先端２１ａに対向する。
【００２９】クランパ２４，２５はクランプ面２４ａ，
２５ａの間で被覆ワイヤ２１をクランプする。
２５ａの間で被覆ワイヤ２１をクランプする。
【００３０】突条部２６〜２９は、絶縁性被覆２３を突
き破ってワイヤ本体２２に接触し、クランパ２４，２５
は４個所で被覆ワイヤ２１と電気的に導通接続された状
態となる。
き破ってワイヤ本体２２に接触し、クランパ２４，２５
は４個所で被覆ワイヤ２１と電気的に導通接続された状
態となる。
【００３１】この状態で放電電圧発生回路５が動作され
、電極６と被覆ワイヤ２１の先端２１ａとの間でアーク
放電３０が起き、被覆ワイヤ２１の先端２１ａが溶融し
て、図４に示すように、被覆ワイヤの線径の２〜３倍の
大きさのボール３１が正常に形成される。
、電極６と被覆ワイヤ２１の先端２１ａとの間でアーク
放電３０が起き、被覆ワイヤ２１の先端２１ａが溶融し
て、図４に示すように、被覆ワイヤの線径の２〜３倍の
大きさのボール３１が正常に形成される。
【００３２】以降、ワイヤボンディング装置２０は従来
のワイヤボンディング装置１と同様に動作し、このボー
ル３１を利用することにより、ボールボンディングが正
常に行われる。
のワイヤボンディング装置１と同様に動作し、このボー
ル３１を利用することにより、ボールボンディングが正
常に行われる。
【００３３】また、クランパ２４，２５は再び非クラン
プ状態とされる。突条部２６〜２９は、絶縁性被覆２３
を極く局部的に破損するだけであり、ボール２９を形成
した後に被覆ワイヤ２１の絶縁性被覆２３に残る傷跡３
２〜３５は極く小さなものにとどまる。
プ状態とされる。突条部２６〜２９は、絶縁性被覆２３
を極く局部的に破損するだけであり、ボール２９を形成
した後に被覆ワイヤ２１の絶縁性被覆２３に残る傷跡３
２〜３５は極く小さなものにとどまる。
【００３４】このため、ＩＣチップにボンディングして
配線した状態で、ワイヤ間の電気的絶縁性は何ら損なわ
れない。
配線した状態で、ワイヤ間の電気的絶縁性は何ら損なわ
れない。
【００３５】次に、突条部２６〜２８の特長について説
明する。■突条部２６〜２９は図２に示すように、クラ
ンプされる被覆ワイヤ２１と直交する方向に延在してい
る。
明する。■突条部２６〜２９は図２に示すように、クラ
ンプされる被覆ワイヤ２１と直交する方向に延在してい
る。
【００３６】このため、被覆ワイヤ２１の位置が所定の
位置よりずれていても、クランプ面２４ａ，２５ａ内に
位置する限りにおいては、必ず絶縁性被覆２３に喰い込
む。従って、クランパ２４，２５とワイヤ本体２２とを
確実に電気的に導通接続し得る。
位置よりずれていても、クランプ面２４ａ，２５ａ内に
位置する限りにおいては、必ず絶縁性被覆２３に喰い込
む。従って、クランパ２４，２５とワイヤ本体２２とを
確実に電気的に導通接続し得る。
【００３７】■突条部２６〜２９は二つ設けてあるため
、クランパ２４，２５とワイヤ本体２２との電気的導通
接続は４個所でなされることになり、電気的導通接続は
信頼性良く行われる。
、クランパ２４，２５とワイヤ本体２２との電気的導通
接続は４個所でなされることになり、電気的導通接続は
信頼性良く行われる。
【００３８】■突条部２６〜２９は断面が三角形状であ
るため、この頂部が絶縁性被覆２３に確実に喰い込む。
るため、この頂部が絶縁性被覆２３に確実に喰い込む。
【００３９】■突条部２６〜２９の高さｈを絶縁性被覆
２３の厚さｔと略等しく定められているため、突条部２
６〜２９はワイヤ本体２２に過度に喰い込むことが無く
、ワイヤ本体２２が無用に傷められることが避けられる
。
２３の厚さｔと略等しく定められているため、突条部２
６〜２９はワイヤ本体２２に過度に喰い込むことが無く
、ワイヤ本体２２が無用に傷められることが避けられる
。
【００４０】
【発明の効果】以上説明した様に、請求項１の発明によ
れば、被覆ワイヤを使用して、しかも被覆の破壊を最小
限にとどめた状態で、ボールボンディングを行うことが
出来る。
れば、被覆ワイヤを使用して、しかも被覆の破壊を最小
限にとどめた状態で、ボールボンディングを行うことが
出来る。
【００４１】請求項２の発明によれば、クランパ上被覆
ワイヤの位置が中心よりずれている場合であっても、ク
ランパとワイヤ本体とを電気的に接続させることが出来
、ボールの形成を確実に行うことが出来る。
ワイヤの位置が中心よりずれている場合であっても、ク
ランパとワイヤ本体とを電気的に接続させることが出来
、ボールの形成を確実に行うことが出来る。
【００４２】請求項３の発明によれば、クランパとワイ
ヤ本体とを複数個所で電気的に接続することが出来、ボ
ールの形成を確実に行うことが出来る。
ヤ本体とを複数個所で電気的に接続することが出来、ボ
ールの形成を確実に行うことが出来る。
【００４３】請求項４の発明によれば、突条部の絶縁性
を被覆内への喰い込みが確実に行われ、クランパとワイ
ヤ本体との電気的接続を確実に行わしめることが出来る
。
を被覆内への喰い込みが確実に行われ、クランパとワイ
ヤ本体との電気的接続を確実に行わしめることが出来る
。
【図１】本発明の一実施例のワイヤボンディング装置の
要部を示す図である。
要部を示す図である。
【図２】図１中、クランパの斜視図である
【図３】ボー
ルを形成するときの状態を示す図である。
ルを形成するときの状態を示す図である。
【図４】ボールが形成された後の状態を示す図である。
【図５】従来例を示す図である。
【図６】図５中のクランパの斜視図である。
２ キャピラリ
５ 放電電圧発生回路
６ 電極
２０ ワイヤボンディング装置
２１ 被覆ワイヤ
２１ａ 先端
２２ ワイヤ本体
２３ 絶縁性被覆
２４，２５ クランパ
２４ａ，２５ａ クランプ面
２６，２７，２８，２９ 突条部
３０ アーク放電
３１ ボール
３２〜３５ 傷跡
Claims (4)
- 【請求項１】 放電電圧発生回路（５）と電気的に接
続されており、ワイヤをクランプする金属製のクランプ
（２４，２５）と、該クランパより更に延出するワイヤ
が内部を通される絶縁性のキャピラリ（２）と、上記放
電電圧発生回路と接続してあり、上記キャピラリより突
出したワイヤの先端（２１ａ）との間にアーク放電させ
てボールを形成する電極（６）とよりなるワイヤボンデ
ィング装置において、上記クランパ（２４，２５）を、
そのクランプ面（２４ａ，２５ａ）に，クランプ時に上
記ワイヤの絶縁性被覆（２３）に喰い込んでワイヤ本体
（２２）に到る大きさの突部２６〜２９）を設けた構成
としたことを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 【請求項２】 請求項１の突部は、上記クランプ面を
、上記ワイヤに対して実質上直交する方向に延在する突
条部（２６〜２９）であることを特徴とするワイヤボン
ディング装置。 - 【請求項３】 請求項２の突条部（２６〜２９）は、
上記クランプ面（２４ａ，２５ａ）上に、複数形成して
あることを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 【請求項４】 請求項２の突条部（２６〜２９）は、
断面が三角形であることを特徴とするワイヤボンディン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2408316A JPH04225540A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2408316A JPH04225540A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225540A true JPH04225540A (ja) | 1992-08-14 |
Family
ID=18517781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2408316A Withdrawn JPH04225540A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04225540A (ja) |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP2408316A patent/JPH04225540A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980312 |