JPH0422820B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0422820B2 JPH0422820B2 JP60134573A JP13457385A JPH0422820B2 JP H0422820 B2 JPH0422820 B2 JP H0422820B2 JP 60134573 A JP60134573 A JP 60134573A JP 13457385 A JP13457385 A JP 13457385A JP H0422820 B2 JPH0422820 B2 JP H0422820B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- bodies
- shaped
- link member
- delivery
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体の製造設備などの製造装置に用
いられる板状体の送出装置に関するものである。
いられる板状体の送出装置に関するものである。
従来の技術
従来複数の板状体を送出する装置は、複数の板
状体を積み上げておき、最上段の板状体より１枚
ずつ送出するものがあつた。
状体を積み上げておき、最上段の板状体より１枚
ずつ送出するものがあつた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら以上のような従来の板状体の送出
装置は動作中に板状体の補充を行うことができな
かつた。
装置は動作中に板状体の補充を行うことができな
かつた。
問題点を解決するための手段
本発明は、複数の板状体を積み上げた状態にて
収納するための収納部と、複数の板状体の最も下
側に位置する一枚の板状体を排出するように移動
可能に設けられた送出手段と、複数の板状体を送
出する方向に弾性部材により付勢された状態に
て、複数の板状体の下から２番目の板状体を保持
するように回動自在に設けられた保持部材を有す
る移動可能なリンク部材とを備え、該リンク部材
が送出手段によりその付勢方向と反対方向に移動
させられた際に、保持部材が下から２番目の板状
体を解放するように回動するように構成されてい
る。
収納するための収納部と、複数の板状体の最も下
側に位置する一枚の板状体を排出するように移動
可能に設けられた送出手段と、複数の板状体を送
出する方向に弾性部材により付勢された状態に
て、複数の板状体の下から２番目の板状体を保持
するように回動自在に設けられた保持部材を有す
る移動可能なリンク部材とを備え、該リンク部材
が送出手段によりその付勢方向と反対方向に移動
させられた際に、保持部材が下から２番目の板状
体を解放するように回動するように構成されてい
る。
作 用
上記構成により、積み重ねられた複数個の板状
体の最も下側の一枚の板状体を送出手段により送
出している際に、下から２番目の板状体を保持部
材により保持する。
体の最も下側の一枚の板状体を送出手段により送
出している際に、下から２番目の板状体を保持部
材により保持する。
実施例
第２図に示されるものは半導体のウエハー（図
示せず）をのせる板状体である。
示せず）をのせる板状体である。
１は板状体本体であり、略正方形で４隅に切に
欠き２が一対合計８つ設けられている。３は板状
体１に各辺の中央に設けられたＶ字状の切り欠き
である。
欠き２が一対合計８つ設けられている。３は板状
体１に各辺の中央に設けられたＶ字状の切り欠き
である。
４は板状体本体１の中央に設けられた開口であ
り、ここにウエハーがのせられる。
り、ここにウエハーがのせられる。
第１図に示されるものは本発明の送出装置の一
実施例の要部断面斜視図である。
実施例の要部断面斜視図である。
５，６はテーブルであり、連結板７，８によつ
て間に溝９を形成するように連結され、４隅には
断面がＬ字状のポスト１０ないし１３が設けられ
て、収納部を構成している。そして、ポスト１０
ないし１３の高さは板状体本体１を数枚積み重ね
た高さである。
て間に溝９を形成するように連結され、４隅には
断面がＬ字状のポスト１０ないし１３が設けられ
て、収納部を構成している。そして、ポスト１０
ないし１３の高さは板状体本体１を数枚積み重ね
た高さである。
１４は溝９の真下に設けられたガイドシヤフト
であり、このガイドシヤフト１４に板状体本体１
の送出の為の送出手段１５を有する移動体１６が
移動自在に取り付けられている。
であり、このガイドシヤフト１４に板状体本体１
の送出の為の送出手段１５を有する移動体１６が
移動自在に取り付けられている。
１７，１８はガイドシヤフト１４の両端を支え
る支持部材である。
る支持部材である。
１９，２０，２１，２２は保持手段であり、そ
れぞれリンク２３，２４によつてリンク部材２５
と連動している。
れぞれリンク２３，２４によつてリンク部材２５
と連動している。
２６，２７はそれぞれリンク２３，２４の復帰
用弾性部材である。
用弾性部材である。
第３図に示されるものは本発明を用いた半導体
の製造装置の一部である。
の製造装置の一部である。
ここで２８はＸ−Ｙテーブルであり、板状体本
体１をのせるテーブル２９と、このテーブル２９
をＸ軸に沿つて駆動するＸ軸駆動装置３０と、テ
ーブル２９をＹ軸に沿つて駆動するＹ軸駆動装置
３１よりなるものである。
体１をのせるテーブル２９と、このテーブル２９
をＸ軸に沿つて駆動するＸ軸駆動装置３０と、テ
ーブル２９をＹ軸に沿つて駆動するＹ軸駆動装置
３１よりなるものである。
３２は空になつた板状体本体１の収納装置であ
る。
る。
本発明の板状体の送出装置は以上のような構造
であり、以下その動作について説明をする。
であり、以下その動作について説明をする。
まず第４図に示すように、ポスト１０ないし１
３の間に板状体本体１を数枚積み重ねる。次にガ
イドシヤフト１４上を移動体１６を矢印Ａ方向に
移動させると送出手段１５によつて押されていた
リンク部材２５が復帰用弾性部材２６，２７によ
つて第５図に示すように移動する。
３の間に板状体本体１を数枚積み重ねる。次にガ
イドシヤフト１４上を移動体１６を矢印Ａ方向に
移動させると送出手段１５によつて押されていた
リンク部材２５が復帰用弾性部材２６，２７によ
つて第５図に示すように移動する。
このため、リンク２６，２７を介してリンク部
材２５の移動によつて、保持手段１９ないし２２
が板状体本体１の方に出て、切り欠き２の中に入
る。
材２５の移動によつて、保持手段１９ないし２２
が板状体本体１の方に出て、切り欠き２の中に入
る。
さらに第６図に示すように板状体本体１が送出
手段１５によつてポスト１３より外に出された時
に、下から２番目の板状体本体１は下に落ちるが
保持手段１９ないし２２が切り欠き２の中に入つ
ているため、２番目の板状体本体１は保持手段１
９ないし２２によつて支えられテーブル５，６ま
で落ちることはない。
手段１５によつてポスト１３より外に出された時
に、下から２番目の板状体本体１は下に落ちるが
保持手段１９ないし２２が切り欠き２の中に入つ
ているため、２番目の板状体本体１は保持手段１
９ないし２２によつて支えられテーブル５，６ま
で落ちることはない。
送出手段１５によつて外に出された板状体本体
１は矢印Ｃ方向に移動しテーブル２９に乗せら
れ、ピツクアツプ（図示せず）により板状体より
ダイを多数取り出し空になつた板状体本体はさら
に矢印Ｄ方向に移動して、収納装置３２に収納さ
れる。
１は矢印Ｃ方向に移動しテーブル２９に乗せら
れ、ピツクアツプ（図示せず）により板状体より
ダイを多数取り出し空になつた板状体本体はさら
に矢印Ｄ方向に移動して、収納装置３２に収納さ
れる。
次に第７図に示されるように板状体本体１が保
持手段１９ないし２２によつて支えられているた
め送出手段１５が板状体本体１にひつかからず移
動体１６を矢印Ｂ方向に移動させることができ
る。
持手段１９ないし２２によつて支えられているた
め送出手段１５が板状体本体１にひつかからず移
動体１６を矢印Ｂ方向に移動させることができ
る。
そして、さらに送出手段１５が矢印Ｂ方向にも
どると送出手段１５によつてリンク部材２５が復
帰用弾性部材２６，２７の弾性力に抗して移動す
るため、保持手段１９ないし２２が切り欠き２よ
り引つ込み板状体本体１がテーブル５，６へ落
ち、第４図の状態へもどり、以上の動作が繰り替
えされる。
どると送出手段１５によつてリンク部材２５が復
帰用弾性部材２６，２７の弾性力に抗して移動す
るため、保持手段１９ないし２２が切り欠き２よ
り引つ込み板状体本体１がテーブル５，６へ落
ち、第４図の状態へもどり、以上の動作が繰り替
えされる。
この動作中ポスト１０ないし１３の間に積み重
ねられた板状体本体１の数が減つてきたときは上
部より板状体本体１を追加すればよい。
ねられた板状体本体１の数が減つてきたときは上
部より板状体本体１を追加すればよい。
発明の効果
以上のように本発明は板状体を複数積み上げて
保管する保管部をもうけ、保管部の下部に前記板
状体のうち最下段の板状体を排出する排出手段を
設け、排出手段が板状体を排出している期間及び
排出手段が板状体を排出する以前の原点に復帰す
る期間最下段の板状体の１段上の板状体を保持す
る保持部材を設けたものであるため本発明は最下
段の板状体より送出することができ、板状体の送
出中に板状体の供給を行うことができる。
保管する保管部をもうけ、保管部の下部に前記板
状体のうち最下段の板状体を排出する排出手段を
設け、排出手段が板状体を排出している期間及び
排出手段が板状体を排出する以前の原点に復帰す
る期間最下段の板状体の１段上の板状体を保持す
る保持部材を設けたものであるため本発明は最下
段の板状体より送出することができ、板状体の送
出中に板状体の供給を行うことができる。
第１図は本発明の一実施例における斜視図、第
２図は本発明に用いられる板状体本体の斜視図、
第３図は本発明を用いた半導体の製造装置の要部
斜視図、第４図ないし第７図は本発明の一実施例
の動作過程を示す側面図である。 １……板状体本体、２……切り欠き、５，６…
…テーブル、１０−１３……ポスト、１４……ガ
イドシヤフト、１５……送出手段、１６……移動
体、１９−２２……保持手段、２３，２４……リ
ンク、２５……リンク部材、２６，２７……復帰
用弾性部材。
２図は本発明に用いられる板状体本体の斜視図、
第３図は本発明を用いた半導体の製造装置の要部
斜視図、第４図ないし第７図は本発明の一実施例
の動作過程を示す側面図である。 １……板状体本体、２……切り欠き、５，６…
…テーブル、１０−１３……ポスト、１４……ガ
イドシヤフト、１５……送出手段、１６……移動
体、１９−２２……保持手段、２３，２４……リ
ンク、２５……リンク部材、２６，２７……復帰
用弾性部材。
Claims (1)
- １ 複数の板状体を積み上げた状態にて収納する
ための収納部と、複数の板状体の最も下側に位置
する一枚の板状体を排出するように移動可能に設
けられた送出手段と、複数の板状体を送出する方
向に弾性部材により付勢された状態にて、複数の
板状体の下から２番目の板状体を保持するように
回動自在に設けられた保持部材を有する移動可能
なリンク部材とを備え、該リンク部材が上記送出
手段によりその付勢方向と反対方向に移動させら
れた際に、上記保持部材が下から２番目の板状体
を解放するように回動することを特徴とする送出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60134573A JPS61291336A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | 送出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60134573A JPS61291336A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | 送出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61291336A JPS61291336A (ja) | 1986-12-22 |
| JPH0422820B2 true JPH0422820B2 (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=15131505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60134573A Granted JPS61291336A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | 送出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61291336A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG11201607061WA (en) | 2014-02-25 | 2016-09-29 | Entegris Inc | Wafer shipper with stacked support rings |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4332084Y1 (ja) * | 1966-04-14 | 1968-12-27 | ||
| JPS5845492Y2 (ja) * | 1978-08-03 | 1983-10-15 | オ−パツク株式会社 | 小形モ−タのブラシ装置 |
-
1985
- 1985-06-20 JP JP60134573A patent/JPS61291336A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61291336A (ja) | 1986-12-22 |
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