JPH0423252U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0423252U JPH0423252U JP6444790U JP6444790U JPH0423252U JP H0423252 U JPH0423252 U JP H0423252U JP 6444790 U JP6444790 U JP 6444790U JP 6444790 U JP6444790 U JP 6444790U JP H0423252 U JPH0423252 U JP H0423252U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- finishing
- weight
- semiconductor substrate
- stacked
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に用いるウエイトの実施例を示
すａ平面図およびｂＡ−Ａ矢視側面図、第２図は
本考案のウエイトを装置加圧部内に積み重ねた状
態を示す平面図、第３図は半導体基板のサイズと
研磨速度の関係を示す特性図、第４図は半導体基
板のサイズと歩留りの関係を示す特性図、第５図
はウエイトの従来例を示すａ平面図、ｂ側断面図
、第６図は加圧部の従来例を示す断面図である。 ２……加圧部昇降用シヤフト、３……加圧部底
板、４……ボルト、５……セラミツクプレート、
６……定盤、７……不織布、８……半導体基板、
９……ノズル、１０……ウエイト、１１，２１…
…半円状ウエイト。
すａ平面図およびｂＡ−Ａ矢視側面図、第２図は
本考案のウエイトを装置加圧部内に積み重ねた状
態を示す平面図、第３図は半導体基板のサイズと
研磨速度の関係を示す特性図、第４図は半導体基
板のサイズと歩留りの関係を示す特性図、第５図
はウエイトの従来例を示すａ平面図、ｂ側断面図
、第６図は加圧部の従来例を示す断面図である。 ２……加圧部昇降用シヤフト、３……加圧部底
板、４……ボルト、５……セラミツクプレート、
６……定盤、７……不織布、８……半導体基板、
９……ノズル、１０……ウエイト、１１，２１…
…半円状ウエイト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 半導体基板の表面を円板状のウエイトを装着
した加圧部を用いて不織布に押しつけながら鏡面
に仕上げる鏡面化加工装置において、前記ウエイ
トは２分割されて半円形状とされ、その一方の面
に凹部が他方の面に凸部がそれぞれ設けられ、凹
部に凸部を嵌合させて積み重ねるようにしたこと
を特徴とする半導体基板の鏡面化加工装置。 ２ 前記ウエイトを９０°ずつずらして積み重ね
ることを特徴とする請求項１記載の半導体基板の
鏡面化加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6444790U JPH0423252U (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6444790U JPH0423252U (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0423252U true JPH0423252U (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=31595407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6444790U Pending JPH0423252U (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0423252U (ja) |
-
1990
- 1990-06-20 JP JP6444790U patent/JPH0423252U/ja active Pending