JPH04236314A - 最小パターン間隔検査装置 - Google Patents
最小パターン間隔検査装置Info
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- JPH04236314A JPH04236314A JP3004862A JP486291A JPH04236314A JP H04236314 A JPH04236314 A JP H04236314A JP 3004862 A JP3004862 A JP 3004862A JP 486291 A JP486291 A JP 486291A JP H04236314 A JPH04236314 A JP H04236314A
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- Japan
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Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000002372 labelling Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は最小パターン間隔検査装
置、特に、光電変換スキャナで読みだした対象パターン
の最小パターン間隔を検査する最小パターン間隔検査装
置に関する。
置、特に、光電変換スキャナで読みだした対象パターン
の最小パターン間隔を検査する最小パターン間隔検査装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、例えば、「中島，
稲垣他“レーザー光によるプリント配線マスク自動検査
システム”精機学会自動組立専門委員会 研究例会
Ｎｏ．８２−１１講演前刷、ｐｐ７−１１、１９８２
」に示されるような、限定された方向のパターン検査装
置がある。この装置は、検査対象パターンに対して０，
４５，９０，１３５度の各方向のパターンエッジを検出
し、このパターンエッジ間の距離を求めてパターン幅不
良を検出する。また、ネガ／ポジを反転させてパターン
間隔の検査も行っている。
稲垣他“レーザー光によるプリント配線マスク自動検査
システム”精機学会自動組立専門委員会 研究例会
Ｎｏ．８２−１１講演前刷、ｐｐ７−１１、１９８２
」に示されるような、限定された方向のパターン検査装
置がある。この装置は、検査対象パターンに対して０，
４５，９０，１３５度の各方向のパターンエッジを検出
し、このパターンエッジ間の距離を求めてパターン幅不
良を検出する。また、ネガ／ポジを反転させてパターン
間隔の検査も行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の技術は
、あらかじめ指定した方向のみのパターン間隔検査しか
できないので、高精度のテーブルを使用して、検査対象
パターンの傾きを補正する必要があり、また、パターン
が鋭角で接続している点での正常なパターン間隔を、不
良として誤検出するという欠点があった。
、あらかじめ指定した方向のみのパターン間隔検査しか
できないので、高精度のテーブルを使用して、検査対象
パターンの傾きを補正する必要があり、また、パターン
が鋭角で接続している点での正常なパターン間隔を、不
良として誤検出するという欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の最小パターン間
隔検査装置は、 （Ａ） 測定対象パターンを光電変換スキャナで走査し
て読み出した入力画像信号を２値化画像に変換し、２値
化画像信号を出力する２値化回路、 （Ｂ） 前記２値化画像信号を、画像の接続関係にもと
づいて順次ラベル付けを行い、ラベル画像信号を出力す
るラベリング回路、 （Ｃ） 前記ラベル画像信号に対して、あらかじめ設定
した直径の円形マスクをラスタースキャンに同期して走
査し、この走査した円形マスクの中心部がパターン間隔
部にあるかどうかを判定し、検査位置検出信号を出力す
る円形マスク走査回路、 （Ｄ） 前記ラベル画像信号と前記検査位置検出信号と
にもとづいて、前記円形マスク走査回路で検出した位置
で、前記円形マスク上の向い合う２点がともに前記パタ
ーン間隔部にあり、また、これに直交する２点がパター
ン上にあって、かつ同一ラベル番号でない場合に欠陥信
号を出力するパターン間隔検査回路、とを含んで構成さ
れる。
隔検査装置は、 （Ａ） 測定対象パターンを光電変換スキャナで走査し
て読み出した入力画像信号を２値化画像に変換し、２値
化画像信号を出力する２値化回路、 （Ｂ） 前記２値化画像信号を、画像の接続関係にもと
づいて順次ラベル付けを行い、ラベル画像信号を出力す
るラベリング回路、 （Ｃ） 前記ラベル画像信号に対して、あらかじめ設定
した直径の円形マスクをラスタースキャンに同期して走
査し、この走査した円形マスクの中心部がパターン間隔
部にあるかどうかを判定し、検査位置検出信号を出力す
る円形マスク走査回路、 （Ｄ） 前記ラベル画像信号と前記検査位置検出信号と
にもとづいて、前記円形マスク走査回路で検出した位置
で、前記円形マスク上の向い合う２点がともに前記パタ
ーン間隔部にあり、また、これに直交する２点がパター
ン上にあって、かつ同一ラベル番号でない場合に欠陥信
号を出力するパターン間隔検査回路、とを含んで構成さ
れる。
【０００５】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
【０００６】図１は本発明の一実施例を示すブロック図
である。図１に示す最小パターン間隔検査装置は、（Ａ
） 測定対象パターンを光電変換スキャナ１で走査して
読み出した入力画像信号ａを２値化画像に変換し、２値
化画像信号ｂを出力する２値化回路２、（Ｂ） ２値化
画像信号ｂを、画像の接続関係にもとづいて順次ラベル
付けを行い、ラベル画像信号ｃを出力するラベリング回
路３、 （Ｃ） ラベル画像信号ｃに対して、あらかじめ設定し
た直径の円形マスクをラスタースキャンに同期して走査
し、この走査した円形マスクの中心部がパターン間隔部
にある場合に、検査位置検出信号ｄを出力する円形マス
ク走査回路４、 （Ｄ） ラベル画像信号ｃと検査位置検出信号ｄとにも
とづいて、円形マスク走査回路４で検出した位置で、前
記円形マスク上の向い合う２点がともに前記パターン間
隔部にあり、また、これに直交する２点がパターン上に
あって、かつ同一ラベル番号でない場合に、最小パター
ン間隔不良として欠陥信号ｅを出力するパターン間隔検
査回路５、とを含んで構成される。
である。図１に示す最小パターン間隔検査装置は、（Ａ
） 測定対象パターンを光電変換スキャナ１で走査して
読み出した入力画像信号ａを２値化画像に変換し、２値
化画像信号ｂを出力する２値化回路２、（Ｂ） ２値化
画像信号ｂを、画像の接続関係にもとづいて順次ラベル
付けを行い、ラベル画像信号ｃを出力するラベリング回
路３、 （Ｃ） ラベル画像信号ｃに対して、あらかじめ設定し
た直径の円形マスクをラスタースキャンに同期して走査
し、この走査した円形マスクの中心部がパターン間隔部
にある場合に、検査位置検出信号ｄを出力する円形マス
ク走査回路４、 （Ｄ） ラベル画像信号ｃと検査位置検出信号ｄとにも
とづいて、円形マスク走査回路４で検出した位置で、前
記円形マスク上の向い合う２点がともに前記パターン間
隔部にあり、また、これに直交する２点がパターン上に
あって、かつ同一ラベル番号でない場合に、最小パター
ン間隔不良として欠陥信号ｅを出力するパターン間隔検
査回路５、とを含んで構成される。
【０００７】図２は、図１に示すパターン間隔検査回路
の動作を説明する模式図である。検査位置Ｃ１５で、あ
らかじめ設定した直径の円形マスク１３を走査すると、
円形マスク１３の向い合う２点（例えば、点ｎ，ｏ）が
ともにパターン間隔部にあり、これに直交する２点（例
えば、点ｐ，ｑ）もパターン間隔部にあるので、パター
ン間隔不良として検出しない。また、検査位置Ａ１２で
円形マスク１３を走査すると、円形マスク１３の向い合
う２点（例えば、点ｄ，ｅ）がともにパターン間隔部に
あり、これに直交する２点（例えば、点ａ，ｂ）もパタ
ーン上にあるが、同一のラベル番号Ｋパターン１１上に
あるので、パターン間隔不良として検出しない。
の動作を説明する模式図である。検査位置Ｃ１５で、あ
らかじめ設定した直径の円形マスク１３を走査すると、
円形マスク１３の向い合う２点（例えば、点ｎ，ｏ）が
ともにパターン間隔部にあり、これに直交する２点（例
えば、点ｐ，ｑ）もパターン間隔部にあるので、パター
ン間隔不良として検出しない。また、検査位置Ａ１２で
円形マスク１３を走査すると、円形マスク１３の向い合
う２点（例えば、点ｄ，ｅ）がともにパターン間隔部に
あり、これに直交する２点（例えば、点ａ，ｂ）もパタ
ーン上にあるが、同一のラベル番号Ｋパターン１１上に
あるので、パターン間隔不良として検出しない。
【０００８】しかし、検査位置Ｂ１４で円形マスク１３
を走査すると、円形マスク１３の向い合う２点（例えば
、点ｌ，ｍ）がともにパターン間隔部にあり、これに直
交する２点（例えば、点ｇ，ｈ）もパターン上にあり、
異なる（ラベル番号Ｋパターン１１とラベル番号Ｊパタ
ーン１６）上にあるので、パターン間隔不良として検出
する。
を走査すると、円形マスク１３の向い合う２点（例えば
、点ｌ，ｍ）がともにパターン間隔部にあり、これに直
交する２点（例えば、点ｇ，ｈ）もパターン上にあり、
異なる（ラベル番号Ｋパターン１１とラベル番号Ｊパタ
ーン１６）上にあるので、パターン間隔不良として検出
する。
【０００９】
【発明の効果】本発明の最小パターン間隔検査装置は、
限定された方向に対するパターン間隔を算出する代わり
に、あらかじめ設定した直径の円形マスクを走査してパ
ターン幅検査を行うので、検査対象パターンの傾きを補
正することなく検査が可能であり、また、異なるラベル
画像間でのみパターン間隔検査を行うので、鋭角コーナ
ー部でのパターン間隔の狭い箇所を不良と誤検出しない
という効果がある。
限定された方向に対するパターン間隔を算出する代わり
に、あらかじめ設定した直径の円形マスクを走査してパ
ターン幅検査を行うので、検査対象パターンの傾きを補
正することなく検査が可能であり、また、異なるラベル
画像間でのみパターン間隔検査を行うので、鋭角コーナ
ー部でのパターン間隔の狭い箇所を不良と誤検出しない
という効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１に示すパターン間隔検査回路の動作を説明
する模式図である。
する模式図である。
１ 光電変換スキャナ
２ ２値化回路
３ ラベリング回路
４ 円形マスク走査回路
５ パターン間隔検査回路
ａ 入力画像信号
ｂ ２値化画像信号
ｃ ラベル画像信号
ｄ 検査位置検出信号
ｅ 欠陥信号
Claims (1)
- 【請求項１】（Ａ） 測定対象パターンを光電変換スキ
ャナで走査して読み出した入力画像信号を２値化画像に
変換し、２値化画像信号を出力する２値化回路、（Ｂ）
前記２値化画像信号を、画像の接続関係にもとづいて
順次ラベル付けを行い、ラベル画像信号を出力するラベ
リング回路、 （Ｃ） 前記ラベル画像信号に対して、あらかじめ設定
した直径の円形マスクをラスタースキャンに同期して走
査し、この走査した円形マスクの中心部がパターン間隔
部にあるかどうかを判定し、検査位置検出信号を出力す
る円形マスク走査回路、 （Ｄ） 前記ラベル画像信号と前記検査位置検出信号と
にもとづいて、前記円形マスク走査回路で検出した位置
で、前記円形マスク上の向い合う２点がともに前記パタ
ーン間隔部にあり、また、これに直交する２点がパター
ン上にあって、かつ同一ラベル番号でない場合に欠陥信
号を出力するパターン間隔検査回路、とを含むことを特
徴とする最小パターン間隔検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004862A JP2674320B2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 最小パターン間隔検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004862A JP2674320B2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 最小パターン間隔検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236314A true JPH04236314A (ja) | 1992-08-25 |
| JP2674320B2 JP2674320B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=11595488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004862A Expired - Lifetime JP2674320B2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 最小パターン間隔検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2674320B2 (ja) |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP3004862A patent/JP2674320B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2674320B2 (ja) | 1997-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970617 |
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