JPH0424932A - シングルポイントtab方法 - Google Patents

シングルポイントtab方法

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JPH0424932A
JPH0424932A JP12639690A JP12639690A JPH0424932A JP H0424932 A JPH0424932 A JP H0424932A JP 12639690 A JP12639690 A JP 12639690A JP 12639690 A JP12639690 A JP 12639690A JP H0424932 A JPH0424932 A JP H0424932A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding
chip
inner lead
bonded
group
Prior art date
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Pending
Application number
JP12639690A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiya Nemoto
根本 俊哉
Hiroyuki Hirai
浩之 平井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH0424932A publication Critical patent/JPH0424932A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的コ (産業上の利用分野) 本発明はシングルポイントTAB方法に係り、特に被ボ
ンディング面に転写バンブを付設したインナーリードと
ICチップ面に形設された電極パッドとのシングルポイ
ントTAB方法の改良に関する。
(従来の技術) 周知のようにICチップは、各種の電子回路要素として
広く実用に供されている。たとえば、ICチップないし
パッケージ化したICチップを他の電子部品とともに、
回路基板に搭載・実装し、混成機能回路を構成して回路
機構をコンパクト化することか知られている。
ところで、前記ICチップを混成機能回路などの構成に
用いるに当り、ICチップに所要のインナーリートを接
続する一手段として、TAB(Tape Aurtom
ated Bonding)方法か知られている。すな
わち、ギイアと歯合して所定方向に搬送可能なスプロケ
ットホールを両側に形設したテープ本体、このテープ本
体に間欠的に繰抜き形設したICチップ配設領域および
前記繰抜き形設したICチップ配設領域に先端側が延出
して付設されかつ、被ボンディング面(被接合面)に転
写バンブを有するインナーリード群から成るフィルムキ
ャリアを用いる方式である。換言すると、所要のICチ
ップを配設しリード付けする構成単位が連続的に設けら
れたフィルムキャリアを間欠的に搬送ないし移動させて
、順次所要のICチ・ンプを位置決め配設し、ICチッ
プ面に形設された電極パ・ノド群に、前記対応するイン
ナーリード群をボンディングした後、インナーリード群
を所要の位置で切断・成形するとともに、前記フィルム
キャリアから切り離して、インナーリード群を備えたI
Cチ・ツブを得ている。
しかして、前記ICチップ面の電極、<・ノド群に対す
るフィルムキャリア側のインナーリード群のボンディン
グは、次のように行われている。すなわち、第2図(a
)および(b)にその実施態様の要部を平面的(第2図
(a))に、さらに側面的(第2図〈b〉)示すごとく
、先ずICチ・ツブ2をピ・ツクアップ(図示せず)に
て保持し、前記フィルムキャリア1の所定領域に、移送
して配設・位置合せする。この状態は、前記ICチ・ツ
ブ2の被ボンディング位置(電極パッド) 2a群の各
位置が、ボンディング座標2bとして予め教示されてい
る。したがって、ICチップ2面の電極パッド2a群と
対応するインナ−リード1a群とをそれぞれ転写バンプ
1bを介して重ね合せ(対接させ)だ形とした後、図示
されていない超音波発振器に接続されたトランジュウー
サを駆動し、また前記予め教示されているボンディング
座標2bを基準として、ボンディングツールによって反
時計廻り(矢印)方向に順次ボンディング(シングルポ
イントボンディング)している。
(発明が解決しようとする課題) 上記TAB方法は、ICチップのインナーリド付けを簡
便にまた連続的に行い得るなどの利点がある反面次のよ
うな不都合が認められる。すなわち、所定領域に配設し
たICチップ面2の電極パッド2a群に対するインナ−
リード1a群のボンディングか、前記ICチップ2面の
電極パッド2aをボンディング座標として行われる。
このため、前記ボンディング領域の位置ずれ、つまりI
Cチップ2面の電極パッド2aと対応するインナーリー
ドlaの転写バンプ1bとの位置ずれが起った場合、前
記ボンディングに関与するボンデインクツールは、IC
チップ2面の電極パッド2aを直接叩くことになり、I
Cチップ2面の5i02膜を破壊するなどICチップ2
の損傷を招来する場合かしばしば起る。
上記ボンディングの位置ずれの問題は、製品の歩留りや
信頼性の上で由々しいことといえる。特に、ICチップ
の大容量化などに伴う電極パッド2a数の増加ないし微
小ピッチ化、さらにインナリード1aの微細化や微小ピ
ッチ化などが望まれつつある現状下では、重要な課題の
提供といえる。
本発明は上記事情に対処してなされたもので、ボンディ
ング位置ずれなど起すことなく、常に信頼性の高いボン
ディングを容易に達成し得るシングルポイントTAB方
法の提供を目的とする。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は、TABテープの所定領域にICチップを配設
しICチップ面に形設された電極パッド群と、 前記TABテープに付設されかつ被ボンディング面に転
写ハンプを有するインナーリート群とをそれぞれ対応さ
せて自動的に順次ボンディングするシングルポイントT
AB方法において、前記インナーリード群の各転写バン
プ位置をボンディング座標として教示しておくことを特
徴とする。
(作 用) 上記のように本発明によれば、被ホンデインク面に転写
ハンプを有するインナーリードを、ICCチップ型極パ
ッドにボンディングするに当り、前記インナーリードに
付設されている転写バンプをボンディング座標として所
要のボンディングか進行する。したかって、被ボンディ
ング部としての電極パッドとインナーリードの転写バン
プに位置すれが生じても、ボンディングツールは常に転
写バンプを叩くことになり、またこの転写バンプの緩衝
的な作用によって、ICチップ面などが損傷するような
ことも全面的に排除される。
(実施例) 以下本発明の詳細な説明する。
先ず、所要のICチップを配設しリード付けする構成単
位か連続的に設けられたフィルムキャリアを用意し、こ
のフィルムキャリアを間欠的に搬送ないし移動させて、
順次所要のICチップを位置決め配設し、ICチップ面
に形設された電極パッド群に、フィルムキャリア面に予
め付設され、かつ被ボンディング面に転写バンプ1bを
設けである対応するインナーリード群をそれぞれ対接さ
せる。ここまでの操作は従来のシングルポイントTAB
方法の場合と同様てあが、本発明は次工程のシングルポ
イントボンディング操作に特徴かある。
つまり、本発明においては、予め教示しであるボンディ
ングツールの駆動位置、換言するとボンディングツール
か叩く位置の設定・指示を前記インナーケート1aの転
写バンプlb座標によって行う構成を採っている。しか
して、前記ICチップ面の電極パッド群に対するフィル
ムキャリア側のインナーリード群の自動的(連続的)な
ボンディングは、各インナーリード1aの転写バンプ1
bを基準ポジションとして、所要のボンディングが進行
する。
第1図(a)および(b)はその実施態様の要部を模式
的に示したもので、第1図(a)は平面的に、また第1
図(b)は側面的にそれぞれ示したものである。図に示
すごとく、前記フィルムキャリア1の所定領域に、IC
チップ2をピックアップ(図示せず)にて保持し、移送
して配設・位置合せした状態、つまりICチップ2面の
電極パッド2a群と対応するインナ−リード1a群とを
重ね合せ(対接させ)た形とした後、図示されていない
超音波発振器に接続されたトランジューサを駆動し、ト
ランジューサの先端に取着されたボンディングツールに
よって、所要のシングルポイントボンディングを行う。
このシングルポイントボンディング操作においては、前
記インナーリードlaの被ボンディング面に付設しであ
る転写バンプ1bをボンディング座標として予め教示さ
れている。したがって、所要のボンディングを行うため
駆動するボンディングツールは、前記インナーリード1
aの転写バンプ1bの位置を常くかつ確実に叩くことに
なる。つまり、正常の状態では、それぞれ対応して対接
する電極パッド2aおよびインナーリード1aかインナ
ーリード1aの被ボンディング面に付設しである転写バ
ンプ1bを介して確実にボンディングされる。また、仮
に対接する電極バッド2aおよびインナーリード1aに
位置ずれがあった場合は、インナーリード1aの被ボン
ディング面に付設しである転写バンプ1b領域を叩< 
(ICチップ2面を叩かない)ことになるため、ICチ
ップ2面上の5i02膜などを破損する恐れも全面的に
なくなる。
かくして、ICチップ2面に形設された電極バッド2a
群に、前記対応するインナ−リード1a群をそれぞれボ
ンディングした後、インナ−リード1a群を所要の位置
で切断・成形するとともに、前記フィルムキャリア1か
ら切り離すことによって、所要のインナーリード群を備
えたICチップが得られる。
[発明の効果] 上記で説明したように、本発明に係るシングルポイント
TAB方法によれば、位置決め配設されたICチップ面
の電極パッド群とフィルムキャリア面のインナーリード
群とのボンディングにおいて、ボンディングツールは、
インナーリードの被ボンディング面に付設された転写バ
ンプ上を常に叩きボンディングする。したかって、ボン
ディングされる各電極バッドと対応するインナーリード
との位置ずれか存在する場合でも、直接ICチップ面を
叩くこともなくなり、これによってICチップの破(i
なと防止するため、歩留りや生産性の上でも実用上多く
の利点をもたらす。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は本発明に係るンングルポイントTAB方
法の実施態様例を模式的に示す平面図、第1図(b)は
本発明に係るシングルポイントTAB方法の実施態様例
を模式的に示す側面図、第2図は(a)従来のシングル
ポイントTAB方法の実施態様を模式的に示す平面図、
第2図は(b)従来のシングルポイントTAB方法の実
施態様を模式的に示す側面図である。 l−・・・・・フイルムキャ 1a・・・・・・インナーリー 1b・・・・・・転写バンプ 2・・・・・・ICチップ 2a・・・・・・電極パッド リ ド

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  TABテープの所定領域にICチップを配設しICチ
    ップ面に形設された電極パッド群と、前記TABテープ
    に付設されかつ被ボンディング面に転写バンプを有する
    インナーリード群とをそれぞれ対応させて自動的に順次
    ボンディングするシングルポイントTAB方法において
    、 前記インナーリード群の各転写バンプ位置をボンディン
    グ座標として教示しておくことを特徴とするシングルポ
    イントTAB方法。
JP12639690A 1990-05-15 1990-05-15 シングルポイントtab方法 Pending JPH0424932A (ja)

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JP12639690A JPH0424932A (ja) 1990-05-15 1990-05-15 シングルポイントtab方法

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JPH0424932A true JPH0424932A (ja) 1992-01-28

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ID=14934113

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JP12639690A Pending JPH0424932A (ja) 1990-05-15 1990-05-15 シングルポイントtab方法

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