JPH04251026A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JPH04251026A
JPH04251026A JP2409247A JP40924790A JPH04251026A JP H04251026 A JPH04251026 A JP H04251026A JP 2409247 A JP2409247 A JP 2409247A JP 40924790 A JP40924790 A JP 40924790A JP H04251026 A JPH04251026 A JP H04251026A
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Jinichiro Oshima
大嶋　仁一郎
Yoshimasa Oda
小田　芳正
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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    • B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は真空のチャンバ内に有
するウェハ等を搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の搬送装置は、真空のチャ
ンバ内に断面四角形の筒状隔壁あるいは断面円形の筒状
隔壁を有し、隔壁の内周面側は大気の状態が保持されて
いる。
【０００３】また、上記隔壁の外周面側には搬送棒を有
する浮上体が配設されている一方、隔壁の内周面側には
搬送機本体が設けられており、搬送機本体はその外周部
に磁気軸受部を有し、かつ隔壁の両端間を往復移動する
ように構成されている。
【０００４】なお、磁気軸受部は複数の電磁石及びセン
サ部を備え、センサ部は浮上体の浮上位置を検出する一
方、各電磁石はセンサ部から出力される検出値を基に励
磁される。これにより、磁力が隔壁を介して浮上体に作
用し、かつ浮上体を支持している。
【０００５】しかして、上記のような搬送装置は、予め
磁気軸受部で浮上体を支持しておき、その後、搬送機本
体を往復移動せしめると、この動きに追従して浮上体が
往復移動する。その結果、浮上体の搬送棒がウェハを搬
送するように構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の搬送装置にあっては、上記の如く隔壁が断面
四角形の筒状に形成されているため、隔壁の外周面側と
内周面側との圧力差により隔壁の変形が生じる。
【０００７】また、上記のような変形は隔壁の肉厚を厚
く形成すれば防止できるものの、このように形成した場
合は、電磁石から隔壁を介して浮上体に作用する磁力が
弱まるため、電磁石の励磁電流を増大せしめる必要があ
り、これにより、装置の消費電力が増加するとともに、
装置全体が発熱するという不具合が生じる。
【０００８】一方、上記のような断面四角形の筒状隔壁
に代えて断面円形の筒状隔壁を有する装置では、隔壁の
肉厚を薄く形成しても上記のような変形が生じにくいの
で、装置の低消費電力化及び発熱防止を図ることができ
るものの、このような肉厚の薄い断面円形の筒上隔壁は
製造が困難で、かつ強度的に弱い等の問題点があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は上述の事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、装置
に有する隔壁の強度を向上せしめ、かつ装置の発熱防止
及び低消費電力化を図ることにあり、上記目的を達成す
るために、この発明は断面円形の筒状隔壁と、この隔壁
の外周面側に位置しかつ搬送棒を有する浮上体と、上記
隔壁の内周面側に位置しかつ隔壁の両端間を往復移動可
能な搬送機本体と、この搬送機本体の外周面側に一体に
設置された電磁石及びセンサ部を有しかつ電磁石により
浮上体を支持する磁気軸受部とを備える搬送装置におい
て、上記磁気軸受部の電磁石及びセンサ部が対向する隔
壁側に形成された薄肉部と、上記薄肉部が対向する浮上
体側に形成されたターゲットとを設けたことを特徴とす
る。
【００１０】
【作用】この発明によれば、電磁石の磁力が隔壁の薄肉
部を介して浮上体のターゲットに作用する。このため、
薄肉部以外の隔壁の肉厚が厚く形成されているので、隔
壁の強度が向上するとともに、少量の励磁電流で浮上体
を支持できる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明に係る搬送装置の一実施例に
ついて図１及び図２を用いて詳細に説明する。
【００１２】この搬送装置は図１に示す如く真空のチャ
ンバ内に断面円形の筒状隔壁１を有し、隔壁１の内周面
１ａ側は大気の状態が保持されている。
【００１３】また、隔壁１の外周面１ｂ側には搬送棒２
（図２参照）を有する浮上体３が設けられており、浮上
体３は隔壁１の外径よりもやや大きな筒状に形成され、
かつその内周面３ａが隔壁１の外周面１ｂに臨むように
設置されている。
【００１４】一方、隔壁１の内周面１ａ側には搬送機本
体４が配設されており、搬送機本体４は隔壁１の内径よ
りもやや小さな円柱状に形成され、かつその外周面４ａ
が隔壁１の内周面１ａに臨むように設置されている。
【００１５】また、上記搬送機本体４はガイドレール５
に沿って往復移動可能に取り付けられており、ガイドレ
ール５は搬送機本体４の開口部６を貫通して隔壁１の両
端間に横架されている（図２参照）。すなわち、このよ
うな搬送機本体４はガイドレール５に沿って隔壁１の両
端間を往復移動できるように構成されている。
【００１６】さらに、搬送機本体４の開口部６にはリニ
アモータコイル７を有し、このリニアモータコイル７に
対面するガイドレール５にはモータ２次導体を備え、こ
れらのリニアモータコイル７及びモータ２次導体８によ
り、上記搬送機本体４はガイドレール５に沿って移動せ
しめられるように構成されている。
【００１７】また、上記搬送機本体４には一対の磁気軸
受部９，９が配設されており（図２参照）、各磁気軸受
部９，９は軸Ｖ上に２つの電磁石１０，１０を、軸Ｗ上
に２つの電磁石１１，１１をそれぞれ有するとともに、
センサ部１２，１３をそれぞれ備え、各電磁石１０，１
１及び各センサ部１２，１３は、搬送機本体４の外周面
４ａ側に一体に設置され、かつ隔壁１の内周面１ａに臨
むように設けられている。
【００１８】なお、センサ部１２は軸Ｖ上の近傍に位置
し、かつ軸Ｖ上における浮上体３の浮上位置を検出する
一方、センサ部１３は軸Ｗ上の近傍に位置し、かつ軸Ｗ
上における浮上体３の浮上位置を検出するように構成さ
れている。
【００１９】しかして、このような一対の磁気軸受部９
，９は、各センサ部１２，１３から出力される検出値を
基に各電磁石１０，１１がそれぞれ励磁され、その磁力
で浮上体３を支持するように構成されている。
【００２０】ところで、上記隔壁１には４箇所に薄肉部
１４，１４…が設けられており、これらの薄肉部１４，
１４…は隔壁１の外周面１ａをその長手方向に亘ってそ
れぞれ切欠き形成したもので（図２参照）、かつ上記各
電磁石１０，１１及びセンサ部１２，１３がそれぞれ対
向する位置に設けられている。
【００２１】また、上記浮上体３の内周面３ａには、４
つのターゲット１５，１５…が設けられており、これら
のターゲット１５，１５…は磁性材料より形成され、か
つ上記４つの薄肉部１４，１４…にそれぞれ対向する位
置に配設されている。
【００２２】なお、隔壁１は支持部１６を介して回転軸
１７に連結され、かつその回転軸１７の回動により３６
０度回転するように構成されている。
【００２３】次に、上記の如く構成された搬送装置の動
作について図１及び図２を基に説明する。
【００２４】この搬送装置によれば、予め一対の磁気軸
受部９，９で浮上体３を支持する。この際、磁気軸受部
９の各電磁石１０，１１から、磁力が各薄肉部１４，１
４…を介して各ターゲット１５，１５…にそれぞれ作用
する。
【００２５】そして、上記の如く浮上体３を支持した状
態で、搬送機本体４を往復移動せしめると、この動きに
追従して浮上体３が往復移動する。これにより、浮上体
３の搬送棒２がウェハＷを搬送する。
【００２６】また、このような装置では、回転軸１７を
回動せしめて隔壁１を回転させれば、搬送棒２の搬送方
向を３６０度変更することもできる。
【００２７】したがって、上記のような実施例によれば
、電磁石及びセンサ部が対向する隔壁側に薄肉部を形成
する一方、その薄肉部に対向する浮上体側にターゲット
を設けたため、薄肉部以外の隔壁の肉厚が厚く形成され
ているので、隔壁の製造が容易で、かつ隔壁の強度が向
上する。
【００２８】しかも、このような装置では、電磁石の磁
力が薄肉部を介してターゲットに作用するので、少量の
励磁電流で浮上体を支持でき、装置の発熱防止及び低消
費電力化を図れる
【００２９】
【発明の効果】この発明に係る搬送装置は、上記の如く
磁気軸受部の電磁石及びセンサ部が対向する隔壁側に薄
肉部を形成する一方、その薄肉部に対向する浮上体側に
ターゲットを設けたため、薄肉部以外の隔壁の肉厚が厚
く形成されているので、隔壁の製造が容易で、かつ隔壁
の強度が向上する。
【００３０】しかも、この装置では電磁石の磁力が薄肉
部を介してターゲットに作用するので、少量の励磁電流
で浮上体を支持でき、装置の発熱防止及び低消費電力化
を図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る搬送装置の要部断面図。
【図２】本装置の側面部分断面図。
【符号の説明】
１　　隔壁 ２　　搬送棒 ３　　浮上体 ４　　搬送機本体 ９　　磁気軸受部 １４　　薄肉部 １５　　ターゲット

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】断面円形の筒状隔壁と、この隔壁の外周面
    側に位置しかつ搬送棒を有する浮上体と、上記隔壁の内
    周面側に位置しかつ隔壁の両端間を往復移動可能な搬送
    機本体と、この搬送機本体の外周面側に一体に設置され
    た電磁石及びセンサ部を有しかつ電磁石により浮上体を
    支持する磁気軸受部とを備える搬送装置において、上記
    磁気軸受部の電磁石及びセンサ部が対向する隔壁側に形
    成された薄肉部と、　　上記薄肉部が対向する浮上体側
    に形成されたターゲットとを設けたことを特徴とする搬
    送装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004040089A (ja) * 2002-05-21 2004-02-05 Otb Group Bv 基板処理装置
JPWO2008066103A1 (ja) * 2006-11-29 2010-03-11 東京エレクトロン株式会社 基板の処理装置

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5388526A (en) * 1992-04-15 1995-02-14 I. Tech Inc. Conveyer system having flexible magnetic inner slider for propelling outer member
US5476046A (en) * 1994-09-14 1995-12-19 Northrop Grumman Corporation Magnetic suspension and guidance system and method
US5980193A (en) * 1996-09-18 1999-11-09 Magnetic Bearing Technologies, Inc. Magnetically levitated robot and method of increasing levitation force
GB9620276D0 (en) * 1996-09-28 1996-11-13 British Nuclear Fuels Plc Transportation system and apparatus for remote handling
US6145444A (en) * 1998-12-16 2000-11-14 Wilkinson; Kerry E. Micro clean sealed tubular transporter apparatus
US6374746B1 (en) * 1999-06-21 2002-04-23 Orlo James Fiske Magnetic levitation transportation system and method
US7988398B2 (en) 2002-07-22 2011-08-02 Brooks Automation, Inc. Linear substrate transport apparatus
US7959395B2 (en) 2002-07-22 2011-06-14 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
US8602706B2 (en) * 2009-08-17 2013-12-10 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
US9085304B2 (en) * 2013-03-15 2015-07-21 Daryl Oster Evacuated tube transport system with improved cooling for superconductive elements
CN113678238B (zh) * 2019-03-27 2025-04-08 应用材料公司 磁悬浮系统和测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法
CN110422051B (zh) * 2019-06-06 2020-09-01 江西理工大学 一种永磁磁悬浮管轨运输系统
US11982585B2 (en) * 2021-09-23 2024-05-14 Rockwell Automation Technologies, Inc. System and method for strain and acceleration based analytics in an independent cart system
CN117755829B (zh) * 2023-12-25 2026-05-19 中国科学院物理研究所 低温真空样品转移系统

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2530216A1 (de) * 1975-07-07 1977-02-03 Dieter Schempp Zwangsgefuehrte schnellbahn
US4392435A (en) * 1979-08-03 1983-07-12 United Kingdom Atomic Energy Authority Transport apparatus
US4540326A (en) * 1982-09-17 1985-09-10 Nacom Industries, Inc. Semiconductor wafer transport system
JPS5950538A (ja) * 1982-09-17 1984-03-23 Hitachi Ltd ウエハ搬送装置
US4624617A (en) * 1984-10-09 1986-11-25 David Belna Linear induction semiconductor wafer transportation apparatus
JPS62114403A (ja) * 1985-11-13 1987-05-26 Fuji Electric Co Ltd 搬送装置
JP2547403B2 (ja) * 1986-10-06 1996-10-23 日本真空技術株式会社 真空装置用磁気浮上搬送装置
JPS63157605A (ja) * 1986-12-19 1988-06-30 Seiko Seiki Co Ltd 磁気浮上型搬送装置
JPS63178704A (ja) * 1987-01-19 1988-07-22 Seiko Seiki Co Ltd 磁気浮上型搬送装置
JPH0671041B2 (ja) * 1987-10-16 1994-09-07 セイコー精機株式会社 真空室内搬送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004040089A (ja) * 2002-05-21 2004-02-05 Otb Group Bv 基板処理装置
JPWO2008066103A1 (ja) * 2006-11-29 2010-03-11 東京エレクトロン株式会社 基板の処理装置
US8337621B2 (en) 2006-11-29 2012-12-25 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2858275B2 (ja) 1999-02-17
US5241912A (en) 1993-09-07

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