JPH0426402B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0426402B2 JPH0426402B2 JP59035906A JP3590684A JPH0426402B2 JP H0426402 B2 JPH0426402 B2 JP H0426402B2 JP 59035906 A JP59035906 A JP 59035906A JP 3590684 A JP3590684 A JP 3590684A JP H0426402 B2 JPH0426402 B2 JP H0426402B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- length measurement
- land
- measurement sensor
- pattern
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明はプリント板の配線パターンの検査方法
に関し、特にそのランドパターンの検査方法に関
するものである。
に関し、特にそのランドパターンの検査方法に関
するものである。
従来技術と問題点
最近、プリント板の配線パターンを光学的に検
知し、それを電気信号に変換し、シヨート、断線
などの欠陥を検出する自動検査装置が開発されて
いるが、ランドパターンの欠陥の検出はできなか
つた。このためランドパターンの欠陥が検出でき
る検査法の開発が要望されている。
知し、それを電気信号に変換し、シヨート、断線
などの欠陥を検出する自動検査装置が開発されて
いるが、ランドパターンの欠陥の検出はできなか
つた。このためランドパターンの欠陥が検出でき
る検査法の開発が要望されている。
発明の目的
本発明は上記従来の要請に基いて、プリント板
のランドパターンの欠陥を検出できるパターン検
査法を提供することを目的とするものである。
のランドパターンの欠陥を検出できるパターン検
査法を提供することを目的とするものである。
発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、プリント板
の配線パターンを光学的に検知し、それを電気信
号に変換し２値化して記憶回路にたくわえた後、
その内容を読み出して検査を行なう装置におい
て、ランドパターンの縦の長さより長く、且つ横
の長さの範囲内に入る３本の平行な縦方向測長セ
ンサと、ランドパターンの横の長さより長く、且
つ縦の長さの範囲内に入る３本の平行な横方向測
長センサと、ランドパターンの斜方向の長さより
長く、且つ互いの中央で交差する２本の斜方向測
長センサを設け、且つ縦方向測長センサ及び横方
向測長センサの各中央の測長センサの各中心が斜
方向測長センサの交点に一致するように配置して
測長センサを構成し、先ず縦方向測長センサ及び
横方向測長センサの各中央の測長センサ及び斜方
向測長センサを用いてリード線より大きいパター
ン（ランドパターン）を検出し、次に縦方向の中
央の測長センサの中心からランド上端までと下端
までの長さが略等しくし、かつ横方向の中央の測
長センサの中心からランド左端までと右端までの
長さが略等しくなるようにして、該ランドパター
ンの中心を検出し、次に該ランドパターンの大き
さを前記縦方向及び横方向の各３本の測長センサ
により測定し、それらの値が正常な範囲にないと
きは欠陥であると判定することを特徴とするパタ
ーン検査法を提供することによつて達成される。
の配線パターンを光学的に検知し、それを電気信
号に変換し２値化して記憶回路にたくわえた後、
その内容を読み出して検査を行なう装置におい
て、ランドパターンの縦の長さより長く、且つ横
の長さの範囲内に入る３本の平行な縦方向測長セ
ンサと、ランドパターンの横の長さより長く、且
つ縦の長さの範囲内に入る３本の平行な横方向測
長センサと、ランドパターンの斜方向の長さより
長く、且つ互いの中央で交差する２本の斜方向測
長センサを設け、且つ縦方向測長センサ及び横方
向測長センサの各中央の測長センサの各中心が斜
方向測長センサの交点に一致するように配置して
測長センサを構成し、先ず縦方向測長センサ及び
横方向測長センサの各中央の測長センサ及び斜方
向測長センサを用いてリード線より大きいパター
ン（ランドパターン）を検出し、次に縦方向の中
央の測長センサの中心からランド上端までと下端
までの長さが略等しくし、かつ横方向の中央の測
長センサの中心からランド左端までと右端までの
長さが略等しくなるようにして、該ランドパター
ンの中心を検出し、次に該ランドパターンの大き
さを前記縦方向及び横方向の各３本の測長センサ
により測定し、それらの値が正常な範囲にないと
きは欠陥であると判定することを特徴とするパタ
ーン検査法を提供することによつて達成される。
発明の実施例
以下、本発明実施例を図面によつて詳述する。
第１図は本発明によるパターン検査法に使用す
る測長センサを説明するための図である。本測長
センサは縦方向にLL′，YY′，RR′の３本、横方
向にUU′，XX′，DD′の３本、斜方向にFF′，
GG′の２本の合計８本の測長センサによつて構成
されている。但し本測長センサは直接プリント板
のパターンを光学的に見るものではなく、光学的
に見て記憶回路に蓄えたデータを電気的に処理す
るものである。
る測長センサを説明するための図である。本測長
センサは縦方向にLL′，YY′，RR′の３本、横方
向にUU′，XX′，DD′の３本、斜方向にFF′，
GG′の２本の合計８本の測長センサによつて構成
されている。但し本測長センサは直接プリント板
のパターンを光学的に見るものではなく、光学的
に見て記憶回路に蓄えたデータを電気的に処理す
るものである。
次にこのような測長センサを用いた本発明法を
説明する。
説明する。
先ずランドの欠陥を決定する検査論理とし、次
の３つの条件を設定する。またランドの測定位置
は第２図に示す。
の３つの条件を設定する。またランドの測定位置
は第２図に示す。
条件 （Ｘ＋X′＞ｌ）
∧（Ｙ＋Y′＞ｌ）
∧（Ｆ＋F′＞ｌ）
∧（Ｇ＋G′＞ｌ）
但しＸ＋X′とかＹ＋Y′とは測長センサXX′の
中点からそれぞれＸ方向とX′方向の長さの和、
あるいは測長センサYY′の中点からそれぞれＹ方
向とY′方向の長さの和であり、ｌはリードの太
さの上限値である。
中点からそれぞれＸ方向とX′方向の長さの和、
あるいは測長センサYY′の中点からそれぞれＹ方
向とY′方向の長さの和であり、ｌはリードの太
さの上限値である。
条件 （Ｍ＞Ｘ−X′）∧（Ｍ＞X′−Ｘ）
∧（Ｍ＞Ｙ−Y′）∧（Ｍ＞Y′−Ｙ）
但しＭは中心マージン
条件 （Ｕ＋U′＜ランド下限）
∨（Ｘ＋X′＜ランド下限）∨（Ｘ＋X′＞ラン
ド上限） ∨（Ｄ＋D′＜ランド下限）∨（Ｄ＋D′＞ラン
ド上限） ∨（Ｌ＋L′＜ランド下限）∨（Ｌ＋L′＞ランド
上限） ∨（Ｙ＋Y′＜ランド下限）∨（Ｙ＋Y′＞ラン
ド上限） ∨（Ｒ＋R′＜ランド下限）∨（Ｒ＋R′＞ラン
ド上限） 次にの条件によつて正常なリード線より大き
いパターンを検出する。次にの条件によつてラ
ンドの中心を検出する。次にの条件によつて
Ｘ，Ｙ方向の測長を行ない、それらが正常な範囲
にないときは欠陥であると判定する。即ち、 欠陥＝∧∧となる。
ド上限） ∨（Ｄ＋D′＜ランド下限）∨（Ｄ＋D′＞ラン
ド上限） ∨（Ｌ＋L′＜ランド下限）∨（Ｌ＋L′＞ランド
上限） ∨（Ｙ＋Y′＜ランド下限）∨（Ｙ＋Y′＞ラン
ド上限） ∨（Ｒ＋R′＜ランド下限）∨（Ｒ＋R′＞ラン
ド上限） 次にの条件によつて正常なリード線より大き
いパターンを検出する。次にの条件によつてラ
ンドの中心を検出する。次にの条件によつて
Ｘ，Ｙ方向の測長を行ない、それらが正常な範囲
にないときは欠陥であると判定する。即ち、 欠陥＝∧∧となる。
ただしＵ方向はリード線が引き出されるのでこ
の上限チエツクはしない。
の上限チエツクはしない。
第３図は本実施例の検査論理を実現するための
回路構成を説明するための図であり、ａは回路
図、ｂは回路記号説明図である。ａ図において鎖
線で囲つた回路１は条件を、回路２は条件
を、回路３は条件にそれぞれ対応する部分であ
る。本回路はこれら３つの回路１，２，３とこれ
らの回路からの信号のANDをとるAND回路４と
から構成され、検査したランドに欠陥があるとき
は最後のAND回路から欠陥信号が送出されるよ
うになつている。
回路構成を説明するための図であり、ａは回路
図、ｂは回路記号説明図である。ａ図において鎖
線で囲つた回路１は条件を、回路２は条件
を、回路３は条件にそれぞれ対応する部分であ
る。本回路はこれら３つの回路１，２，３とこれ
らの回路からの信号のANDをとるAND回路４と
から構成され、検査したランドに欠陥があるとき
は最後のAND回路から欠陥信号が送出されるよ
うになつている。
次に本発明の他の実施例を説明する。
本実施例は前実施例で用いた測長センサ（第１
図参照）を用いる。検査論理は、次の条件から成
る。
図参照）を用いる。検査論理は、次の条件から成
る。
条件 （Ｘ＋X′＞ｌ）
∧（Ｙ＋Y′＞ｌ）
∧（Ｆ＋F′＞ｌ）
∧（Ｇ＋G′＞ｌ）
条件
｛（Ｘ＋X′＜ランド下限）∧（Ｘ，X′≠OVF）｝
∨｛（Ｙ＋Y′＜ランド下限）∧（Ｙ，Y′≠
OVF）｝ 但しOVFはオーバフロー 条件 ｛（Ｘ＋X′＞ランド上限）∧（Ｕ＋U′＞ランド
上限）｝ ∨｛（Ｘ＋X′＞ランド上限）∧（Ｄ＋D′＞ラン
ド上限）｝ 条件 （Ｙ＋Y′＞ランド上限） 欠陥＝∧（∨∨） 本実施例は上の条件を用い、先ず条件によつ
て正常なリード線より大きいパターンを検出す
る。次に条件によつてＸ方向あるいはＹ方向が
正常なランドより小さい時欠陥とする。但しセン
サがオーバフロー（オールパターン）している
時、測長値は実際より小さくなるので検査を禁止
する。次に条件によつて、Ｘ方向が２本以上の
センサの測長値が正常なランドより大きいとき、
欠陥とする。２本以上とするのはリード線がひき
だされるためである。次に条件によつてＹ方向
が正常なランドより大きいとき欠陥とする。
OVF）｝ 但しOVFはオーバフロー 条件 ｛（Ｘ＋X′＞ランド上限）∧（Ｕ＋U′＞ランド
上限）｝ ∨｛（Ｘ＋X′＞ランド上限）∧（Ｄ＋D′＞ラン
ド上限）｝ 条件 （Ｙ＋Y′＞ランド上限） 欠陥＝∧（∨∨） 本実施例は上の条件を用い、先ず条件によつ
て正常なリード線より大きいパターンを検出す
る。次に条件によつてＸ方向あるいはＹ方向が
正常なランドより小さい時欠陥とする。但しセン
サがオーバフロー（オールパターン）している
時、測長値は実際より小さくなるので検査を禁止
する。次に条件によつて、Ｘ方向が２本以上の
センサの測長値が正常なランドより大きいとき、
欠陥とする。２本以上とするのはリード線がひき
だされるためである。次に条件によつてＹ方向
が正常なランドより大きいとき欠陥とする。
以上より、正常なリード線より大きく、且つＸ
方向あるいはＹ方向が正常なランドより小さく、
又はＸ方向のセンサの２本以上又はＹ方向が正常
なランドより大きいときは欠陥と判定する。即ち
∧（∨∨）となる。
方向あるいはＹ方向が正常なランドより小さく、
又はＸ方向のセンサの２本以上又はＹ方向が正常
なランドより大きいときは欠陥と判定する。即ち
∧（∨∨）となる。
第４図は本実施例の検査論理を実現するための
回路構成を説明するための図である。同図におい
て回路記号は前実施例と同様である。本回路は、
鎖線で囲つた１０〜１３の部分と、該１０〜１３
の回路の出力を入力とするOR回路１４と、該
OR回路の出力と回路１０の出力を入力とする
AND回路１５とから構成されており、回路１０
は前記条件に、回路１１は前記条件に、回路
１２は前記条件に、回路１３は前記条件にそ
れぞれ対応する回路であり、検査したランドに欠
陥があるときはAND回路１５から欠陥信号が送
出される。なお回路１１においてOVはオーバフ
ローのときは“０”、オーバフローしないときは
“１”とする。
回路構成を説明するための図である。同図におい
て回路記号は前実施例と同様である。本回路は、
鎖線で囲つた１０〜１３の部分と、該１０〜１３
の回路の出力を入力とするOR回路１４と、該
OR回路の出力と回路１０の出力を入力とする
AND回路１５とから構成されており、回路１０
は前記条件に、回路１１は前記条件に、回路
１２は前記条件に、回路１３は前記条件にそ
れぞれ対応する回路であり、検査したランドに欠
陥があるときはAND回路１５から欠陥信号が送
出される。なお回路１１においてOVはオーバフ
ローのときは“０”、オーバフローしないときは
“１”とする。
発明の効果
以上、詳細に説明したように本発明のパターン
検査法は縦・横方向各３本及び斜方向２本の計８
本の測長センサを構成し、それらの測長値の組合
わせによつてランドパターンの検査を行なうこと
により、従来検査できなかつたランドの検査が可
能になるといつた効果大なるものである。
検査法は縦・横方向各３本及び斜方向２本の計８
本の測長センサを構成し、それらの測長値の組合
わせによつてランドパターンの検査を行なうこと
により、従来検査できなかつたランドの検査が可
能になるといつた効果大なるものである。
第１図は本発明のパターン検査法に用いる測長
センサを説明するための図、第２図はランドパタ
ーンの測長方法を示す図、第３図は本発明のパタ
ーン検査法の検査論理を実現する回路構成を説明
するための図、第４図は本発明の他の実施例の検
査論理を実現する回路構成を説明するための図で
ある。 図面において、１，２，３はそれぞれ検査論理
の条件、、に対応する回路、４はAND回
路、１０，１１，１２，１３は他の実施例の検査
論理の条件にそれぞれ対応する回路、１
４はOR回路、１５はAND回路をそれぞれ示す。
センサを説明するための図、第２図はランドパタ
ーンの測長方法を示す図、第３図は本発明のパタ
ーン検査法の検査論理を実現する回路構成を説明
するための図、第４図は本発明の他の実施例の検
査論理を実現する回路構成を説明するための図で
ある。 図面において、１，２，３はそれぞれ検査論理
の条件、、に対応する回路、４はAND回
路、１０，１１，１２，１３は他の実施例の検査
論理の条件にそれぞれ対応する回路、１
４はOR回路、１５はAND回路をそれぞれ示す。
Claims (1)
- １ プリント板の配線パターンを光学的に検知
し、それを電気信号に変換し２値化して記憶回路
にたくわえた後、その内容を読み出して検査を行
う装置において、ランドパターンの縦の長さより
長く、且つ横の長さの範囲内に入る３本の平行な
縦方向測長センサと、ランドパターンの横の長さ
より長く、且つ縦の長さの範囲内に入る３本の平
行な横方向測長センサと、ランドパターンの斜方
向の長さより長く、且つ互いの中央で交差する２
本の斜方向測長センサを設け、且つ縦方向測長セ
ンサ及び横方向測長センサの各中央の測長センサ
の各中心が斜方向測長センサの交点に一致するよ
うに配置して測長センサを構成し、先ず縦方向測
長センサ及び横方向測長センサの各中央の測長セ
ンサ及び斜方向測長センサを用いてリード線より
大きいパターン（ランドパターン）を検出し、次
に縦方向の中央の測長センサの中心からランド上
端までと下端までの長さが略等しくし、かつ横方
向の中央の測長センサの中心からランド左端まで
と右端までの長さが略等しくなるようにして、該
ランドパターンの中心を検出し、次に該ランドパ
ターンの大きさを前記縦方向及び横方向の各３本
の測長センサにより測定し、それらの値が正常な
範囲にないときは欠陥であると判定することを特
徴とするパターン検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3590684A JPS60203803A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | パタ−ン検査法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3590684A JPS60203803A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | パタ−ン検査法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60203803A JPS60203803A (ja) | 1985-10-15 |
| JPH0426402B2 true JPH0426402B2 (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=12455068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3590684A Granted JPS60203803A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | パタ−ン検査法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60203803A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6256442A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-12 | Sumikin Coke Co Ltd | ナフタレンの精製方法 |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP3590684A patent/JPS60203803A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60203803A (ja) | 1985-10-15 |
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