JPH0426534U - - Google Patents
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- JPH0426534U JPH0426534U JP6787690U JP6787690U JPH0426534U JP H0426534 U JPH0426534 U JP H0426534U JP 6787690 U JP6787690 U JP 6787690U JP 6787690 U JP6787690 U JP 6787690U JP H0426534 U JPH0426534 U JP H0426534U
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- JP
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- argon
- argon ion
- wafer surface
- wiring film
- aluminum wiring
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- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 9
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims 7
- -1 argon ion Chemical class 0.000 claims 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の説明図である。
１……イオン源、２……電源、３……引出し電
源、４……加速部電源、５……真空ポンプ、６…
…真空ポンプ、７……ウエハホルダ、８……ホル
ダ電源、９……ウエハ。
源、４……加速部電源、５……真空ポンプ、６…
…真空ポンプ、７……ウエハホルダ、８……ホル
ダ電源、９……ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハ面に蒸着されたアルミニウム配線膜のヒ
ロツクを除去するイオン注入装置において、 アルゴンイオン源と、該アルゴンイオン源から
発生されたアルゴンイオンを加速すると共にアル
ゴンイオンビームを発散させてウエハ面に投射す
るアルゴンイオン投射部とからなることを特徴と
するアルミニウム配線膜のヒロツク除去専用イオ
ン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6787690U JPH0426534U (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6787690U JPH0426534U (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426534U true JPH0426534U (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=31601843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6787690U Pending JPH0426534U (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0426534U (ja) |
-
1990
- 1990-06-28 JP JP6787690U patent/JPH0426534U/ja active Pending
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