JPH04265585A - 浮動ヘッドスライダセンサ - Google Patents
浮動ヘッドスライダセンサInfo
- Publication number
- JPH04265585A JPH04265585A JP4596891A JP4596891A JPH04265585A JP H04265585 A JPH04265585 A JP H04265585A JP 4596891 A JP4596891 A JP 4596891A JP 4596891 A JP4596891 A JP 4596891A JP H04265585 A JPH04265585 A JP H04265585A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- floating head
- head slider
- piezoelectric element
- sensor
- slider sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクの検定に
用いる浮動ヘッドスライダセンサに関するものである。
用いる浮動ヘッドスライダセンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高感度な浮動ヘッドスライダセンサとし
て、特願平１−１７３１０１、同２−８１８５、同２−
８１８６が提案されている。
て、特願平１−１７３１０１、同２−８１８５、同２−
８１８６が提案されている。
【０００３】図５のＡ、Ｂは特願平１−１７３１０１に
示されている浮動ヘッドスライダセンサＳ１の説明図て
ある。この浮動ヘッドスライダセンサＳ１は、浮動ヘッ
ドスライダ本体１、この浮動ヘッドスライダ本体１と結
合したスライダ支持ジンバルばね部２、浮動ヘッドスラ
イダ本体１の背面とスライダ支持ジンバルばね部２の結
合部背面に突出加工した荷重点ピボット３、スライダ支
持ジンバルばね部２の端部と＊印部分で溶接結合した加
圧支持ばね部４、及び圧電素子５を具備する。ここで、
５ａは圧電素子５の加圧支持ばね４側の面、５ｂは浮動
ヘッドスライダ本体１側の面である。そして、この面５
ａ、５ｂにそれぞれ電極が取り付けられ、そこからセン
サ出力が取り出される。
示されている浮動ヘッドスライダセンサＳ１の説明図て
ある。この浮動ヘッドスライダセンサＳ１は、浮動ヘッ
ドスライダ本体１、この浮動ヘッドスライダ本体１と結
合したスライダ支持ジンバルばね部２、浮動ヘッドスラ
イダ本体１の背面とスライダ支持ジンバルばね部２の結
合部背面に突出加工した荷重点ピボット３、スライダ支
持ジンバルばね部２の端部と＊印部分で溶接結合した加
圧支持ばね部４、及び圧電素子５を具備する。ここで、
５ａは圧電素子５の加圧支持ばね４側の面、５ｂは浮動
ヘッドスライダ本体１側の面である。そして、この面５
ａ、５ｂにそれぞれ電極が取り付けられ、そこからセン
サ出力が取り出される。
【０００４】図６は上記した浮動ヘッドスライダセンサ
Ｓ１の動作説明図である。６は磁気ディスク、６ａはそ
の磁気ディスク６の上面の微少突起である。この浮動ヘ
ッドスライダセンサＳ１は磁気ディスク６上の突起６ａ
を検出するために使用されるものであって、以下に説明
する。
Ｓ１の動作説明図である。６は磁気ディスク、６ａはそ
の磁気ディスク６の上面の微少突起である。この浮動ヘ
ッドスライダセンサＳ１は磁気ディスク６上の突起６ａ
を検出するために使用されるものであって、以下に説明
する。
【０００５】磁気ディスク６上には希に浮動ヘッドスラ
イダ本体１が追従走行不可能な微少突起６ａが存在する
ので、このような磁気ディスク６は磁気ディスク装置へ
の組み立てに際して予め除外する必要がある。そこで、
このような突起６ａの有無を浮動ヘッドスライダセンサ
Ｓ１によって調べることが一般に行われている。
イダ本体１が追従走行不可能な微少突起６ａが存在する
ので、このような磁気ディスク６は磁気ディスク装置へ
の組み立てに際して予め除外する必要がある。そこで、
このような突起６ａの有無を浮動ヘッドスライダセンサ
Ｓ１によって調べることが一般に行われている。
【０００６】浮動ヘッドスライダセンサＳ１は、通常の
浮動ヘッドスライダと同様に磁気ディスク６上に一定隙
間を保って浮上する。突起６ａと衝突すると、浮動ヘッ
ドスライダセンサＳ１はこれによって僅かに振動する。 この振動は、荷重点ピボット３を介して圧電素子５に加
わる。そして、この振動は圧電素子５の両面５ａ、５ｂ
の間に生じる誘起電圧として検出される。このようにし
て、磁気ディスク６の表面に存在する突起６ａの検出が
行われる。
浮動ヘッドスライダと同様に磁気ディスク６上に一定隙
間を保って浮上する。突起６ａと衝突すると、浮動ヘッ
ドスライダセンサＳ１はこれによって僅かに振動する。 この振動は、荷重点ピボット３を介して圧電素子５に加
わる。そして、この振動は圧電素子５の両面５ａ、５ｂ
の間に生じる誘起電圧として検出される。このようにし
て、磁気ディスク６の表面に存在する突起６ａの検出が
行われる。
【０００７】図７のＡ、Ｂは特願平２−２１８５号に記
載の高感度の浮動ヘッドスライダセンサＳ２の説明図で
ある。上述の浮動ヘッドスライダセンサＳ１におけるも
のと同一のものには同一の符号を付している。ここでは
、加圧支持ばね部７を、上述した浮動ヘッドスライダセ
ンサＳ１の加圧支持ばね部４の先端部を除去した形状と
し、その先端部に長尺の圧電素子８の片端を取り付け、
その圧電素子８の他端下面で荷重点ピボット３を加圧す
るようにしたものである。
載の高感度の浮動ヘッドスライダセンサＳ２の説明図で
ある。上述の浮動ヘッドスライダセンサＳ１におけるも
のと同一のものには同一の符号を付している。ここでは
、加圧支持ばね部７を、上述した浮動ヘッドスライダセ
ンサＳ１の加圧支持ばね部４の先端部を除去した形状と
し、その先端部に長尺の圧電素子８の片端を取り付け、
その圧電素子８の他端下面で荷重点ピボット３を加圧す
るようにしたものである。
【０００８】この浮動ヘッドスライダセンサＳ２では、
圧電素子８の加圧支持バネ部７側の面８ａと浮動ヘッド
スライダ本体１側の面８ｂにそれぞれ電極が取り付けら
れ、そこからセンサ出力が取り出される。
圧電素子８の加圧支持バネ部７側の面８ａと浮動ヘッド
スライダ本体１側の面８ｂにそれぞれ電極が取り付けら
れ、そこからセンサ出力が取り出される。
【０００９】以上からこの構造では、浮動ヘッドスライ
ダセンサＳ２の突起６ａ検出時の出力電圧が、圧電素子
８の曲げ歪み（曲げモード歪）による電圧となる。この
曲げモード歪みの検出により、浮動ヘッドスライダセン
サＳ１に比べて、特に低周波領域（１００Ｈｚ〜５ＫＨ
ｚ）において、感度向上が達成されている。
ダセンサＳ２の突起６ａ検出時の出力電圧が、圧電素子
８の曲げ歪み（曲げモード歪）による電圧となる。この
曲げモード歪みの検出により、浮動ヘッドスライダセン
サＳ１に比べて、特に低周波領域（１００Ｈｚ〜５ＫＨ
ｚ）において、感度向上が達成されている。
【００１０】図８のＡ、Ｂは特願平２−８１８６号に記
載された浮動ヘッドスライダセンサＳ３の説明図である
。上述の浮動ヘッドスライダセンサＳ１におけるものと
同一のものには同一の符号を付している。この浮動ヘッ
ドスライダセンサＳ３は、前述の浮動ヘッドスライダセ
ンサＳ１における荷重点ピボット３の役割とおもりの役
割を兼用するセラミックあるいは金属材料からなる球状
体１０を設けたものである。そして、加圧支持ばね部９
を前述の浮動ヘッドスラダセンサＳ１の加圧支持ばね部
４の先端部に球状体１０を埋め込んだ形状とし、圧電素
子５を浮動ヘッドスライダ本体１とスライダ支持ジンバ
ルばね部２の結合位置上部に接着配置している。
載された浮動ヘッドスライダセンサＳ３の説明図である
。上述の浮動ヘッドスライダセンサＳ１におけるものと
同一のものには同一の符号を付している。この浮動ヘッ
ドスライダセンサＳ３は、前述の浮動ヘッドスライダセ
ンサＳ１における荷重点ピボット３の役割とおもりの役
割を兼用するセラミックあるいは金属材料からなる球状
体１０を設けたものである。そして、加圧支持ばね部９
を前述の浮動ヘッドスラダセンサＳ１の加圧支持ばね部
４の先端部に球状体１０を埋め込んだ形状とし、圧電素
子５を浮動ヘッドスライダ本体１とスライダ支持ジンバ
ルばね部２の結合位置上部に接着配置している。
【００１１】この構造から分かるように、この浮動ヘッ
ドスライダセンサＳ３の突起６ａ検出時の出力電圧は、
圧電素子５の厚み方向の歪（圧力モード歪）による電圧
として検出される。ただし、球状体１０のおもりとして
の効果によって、上記浮動ヘッドスライダセンサＳ２に
比べて、特に高周波領域（１ＫＨｚ〜２０ＫＨｚ）につ
いて感度向上が達成されている。
ドスライダセンサＳ３の突起６ａ検出時の出力電圧は、
圧電素子５の厚み方向の歪（圧力モード歪）による電圧
として検出される。ただし、球状体１０のおもりとして
の効果によって、上記浮動ヘッドスライダセンサＳ２に
比べて、特に高周波領域（１ＫＨｚ〜２０ＫＨｚ）につ
いて感度向上が達成されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、浮動ヘ
ッドスライダセンサとしては、上述した浮動ヘッドスラ
イダセンサＳ２が有する低周波領域における高感度のみ
ならず浮動ヘッドスライダセンサＳ３が有する高周波領
域における高感度も達成されることが望ましい。そこで
本発目の目的は、１００Ｈｚ〜２０ＫＨｚと低周波から
高周波の全領域にかけて検出感度の高い浮動ヘッドスラ
イダセンサを提供することである。
ッドスライダセンサとしては、上述した浮動ヘッドスラ
イダセンサＳ２が有する低周波領域における高感度のみ
ならず浮動ヘッドスライダセンサＳ３が有する高周波領
域における高感度も達成されることが望ましい。そこで
本発目の目的は、１００Ｈｚ〜２０ＫＨｚと低周波から
高周波の全領域にかけて検出感度の高い浮動ヘッドスラ
イダセンサを提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この目的達成のめたに本
発明の浮動ヘッドスライダセンサは、浮動ヘッドスライ
ダ本体と、該浮動ヘッドスライダ本体と結合したスライ
ダ支持ジンバルばね部と、該スライダ支持ジンバルばね
部端部と結合したスライダ加圧支持ばね部とを具備し、
該スライダ加圧支持ばね部から伸びるように圧電素子を
設け、該圧電素子先端部で上記スライダ支持ジンバルば
ね部結合部背面に突出加工された荷重点ピボットを介し
て上記浮動ヘッドスライダ本体に荷重を与えるように構
成したものにおいて、上記圧電素子の荷重点ピボット位
置の反対面に金属あるいはセラミック等からなる球状体
あるいは立方体のおもりを接着配置したものである。
発明の浮動ヘッドスライダセンサは、浮動ヘッドスライ
ダ本体と、該浮動ヘッドスライダ本体と結合したスライ
ダ支持ジンバルばね部と、該スライダ支持ジンバルばね
部端部と結合したスライダ加圧支持ばね部とを具備し、
該スライダ加圧支持ばね部から伸びるように圧電素子を
設け、該圧電素子先端部で上記スライダ支持ジンバルば
ね部結合部背面に突出加工された荷重点ピボットを介し
て上記浮動ヘッドスライダ本体に荷重を与えるように構
成したものにおいて、上記圧電素子の荷重点ピボット位
置の反対面に金属あるいはセラミック等からなる球状体
あるいは立方体のおもりを接着配置したものである。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１のＡ、Ｂはその一実施例の浮動ヘッドスライダセンサ
Ｓの説明図である。前述した浮動ヘッドスライダセンサ
Ｓ１〜Ｓ３におけるものと同一のものには同一の符号を
付した。本実施例は、加圧支持ばね部１１の先端部に取
り付けた長尺の圧電素子１２の下面の荷重点ピボット３
側は反対側の上面の位置に、球状体或は立方体のおもり
１３を取り付けた点に特徴を持っている。そして、圧電
素子１２の加圧支持ばね部１１側の面１２ａと浮動ヘッ
ドスライダ本体１側の面１２ｂにそれぞれ電極を取り付
けて、センサ出力をそこから取り出している。
１のＡ、Ｂはその一実施例の浮動ヘッドスライダセンサ
Ｓの説明図である。前述した浮動ヘッドスライダセンサ
Ｓ１〜Ｓ３におけるものと同一のものには同一の符号を
付した。本実施例は、加圧支持ばね部１１の先端部に取
り付けた長尺の圧電素子１２の下面の荷重点ピボット３
側は反対側の上面の位置に、球状体或は立方体のおもり
１３を取り付けた点に特徴を持っている。そして、圧電
素子１２の加圧支持ばね部１１側の面１２ａと浮動ヘッ
ドスライダ本体１側の面１２ｂにそれぞれ電極を取り付
けて、センサ出力をそこから取り出している。
【００１５】前述と同様に、この浮動ヘッドスライダセ
ンサＳは、磁気ディスク６上の突起６ａとの衝突によっ
て生じる浮動ヘッドスライダ本体１の微少な振動を検出
するものである。本実施例では、浮動ヘッドスライダ本
体１の振動は、荷重点ピボット３を介して圧電素子１２
の先端部に加わる。このとき低周波領域（１００Ｈｚ〜
５ＫＨｚ）の振動は、圧電素子１２の曲げモード歪とし
て検出される。また、高周波領域（１ＫＨｚ〜１０ＫＨ
ｚ）の振動は、おもり１０の効果によって圧電素子８の
圧力モード歪として検出される。
ンサＳは、磁気ディスク６上の突起６ａとの衝突によっ
て生じる浮動ヘッドスライダ本体１の微少な振動を検出
するものである。本実施例では、浮動ヘッドスライダ本
体１の振動は、荷重点ピボット３を介して圧電素子１２
の先端部に加わる。このとき低周波領域（１００Ｈｚ〜
５ＫＨｚ）の振動は、圧電素子１２の曲げモード歪とし
て検出される。また、高周波領域（１ＫＨｚ〜１０ＫＨ
ｚ）の振動は、おもり１０の効果によって圧電素子８の
圧力モード歪として検出される。
【００１６】すなわち、本実施例の浮動ヘッドスライダ
センサＳは、従来の低周波領域に感度が高い、圧電素子
の曲げモード歪を利用した浮動ヘッドスライダセンサＳ
２と、従来の高周波領域に感度が高い、圧電素子の圧力
モード歪を利用した浮動ヘッドスライダセンサＳ３の両
者の特性を兼ね備えた浮動ヘッドスライダセンサという
ことができる。
センサＳは、従来の低周波領域に感度が高い、圧電素子
の曲げモード歪を利用した浮動ヘッドスライダセンサＳ
２と、従来の高周波領域に感度が高い、圧電素子の圧力
モード歪を利用した浮動ヘッドスライダセンサＳ３の両
者の特性を兼ね備えた浮動ヘッドスライダセンサという
ことができる。
【００１７】これを確認するために、図２に示すように
、厚さ０．３ｍｍ、幅０．８ｍｍ、長さ５ｍｍの圧電素
子２１を加圧ばね２２の先端部に配置し、ａ点（圧電素
子２１の先端から０．５ｍｍ位置）、ｂ点（同先端から
３．５ｍｍ位置）を加振器２３の先端部（荷重点ピボッ
トに相当する。）で矢印方向に加振した場合の、加振器
入力対圧電素子出力の周波数特性を測定した。更に、本
実施例に相当する圧電素子加振点（ａ点）の裏面に直径
３ｍｍの鋼球２４を接着した場合の同様の周波数特性を
測定した。
、厚さ０．３ｍｍ、幅０．８ｍｍ、長さ５ｍｍの圧電素
子２１を加圧ばね２２の先端部に配置し、ａ点（圧電素
子２１の先端から０．５ｍｍ位置）、ｂ点（同先端から
３．５ｍｍ位置）を加振器２３の先端部（荷重点ピボッ
トに相当する。）で矢印方向に加振した場合の、加振器
入力対圧電素子出力の周波数特性を測定した。更に、本
実施例に相当する圧電素子加振点（ａ点）の裏面に直径
３ｍｍの鋼球２４を接着した場合の同様の周波数特性を
測定した。
【００１８】まず、図３はａ点加振時およびｂ点加振時
に測定して得た周波数特性を示すものである。ａ点加振
時は曲げモード歪の検出となり、前述の浮動ヘッドスラ
イダセンサＳ２の周波数特性に相当する。ｂ点加振時は
圧力モード歪の検出となり、前出の浮動ヘッドスライダ
センサＳ１の周波数特性に相当する。曲げモード歪の検
出による利得増加分（圧力モード歪の検出に対する）を
斜線で示した。この結果から、曲げモード歪の検出によ
って低周波領域の感度を約１０ｄｂ向上させることがで
きた。ただし、高周波領域の浮動ヘッドスライダ空気膜
共振周波数１０ＫＨｚ〜２０ｋＨｚにおける利得が、網
点で示すように数ｄｂ低下している。
に測定して得た周波数特性を示すものである。ａ点加振
時は曲げモード歪の検出となり、前述の浮動ヘッドスラ
イダセンサＳ２の周波数特性に相当する。ｂ点加振時は
圧力モード歪の検出となり、前出の浮動ヘッドスライダ
センサＳ１の周波数特性に相当する。曲げモード歪の検
出による利得増加分（圧力モード歪の検出に対する）を
斜線で示した。この結果から、曲げモード歪の検出によ
って低周波領域の感度を約１０ｄｂ向上させることがで
きた。ただし、高周波領域の浮動ヘッドスライダ空気膜
共振周波数１０ＫＨｚ〜２０ｋＨｚにおける利得が、網
点で示すように数ｄｂ低下している。
【００１９】図４はａ点加振時において鋼球２４の有り
／無しで測定して得た周波数特性である。鋼球２４無し
のときは、上述したように曲げモード歪の検出で浮動ヘ
ッドスライダセンサＳ２の周波数特性に相当する。鋼球
２４有りのときは、この曲げモード歪の検出出力に鋼球
２４のおもり効果による圧力モード歪の検出出力を加え
たものとなり、本実施例の浮動ヘッドスライダセンサＳ
の場合に相当する。この図４では鋼球２４の付加による
利得増加分を斜線で示した。この結果から、鋼球２４の
付加によって、曲げモード歪の検出に特徴的な低周波領
域の感度が損なわれることなく、高周波領域の浮動ヘッ
ドスライダ空気膜共振周波数１０ＫＨｚ〜２０ＫＨｚに
おける利得が１０ｄｂ以上向上していることが分かる。 上述したｂ点加振時の周波数特性との比較でも、１０Ｋ
Ｈｚ〜２０ＫＨｚにおいて数ｄｂ感度が高い。
／無しで測定して得た周波数特性である。鋼球２４無し
のときは、上述したように曲げモード歪の検出で浮動ヘ
ッドスライダセンサＳ２の周波数特性に相当する。鋼球
２４有りのときは、この曲げモード歪の検出出力に鋼球
２４のおもり効果による圧力モード歪の検出出力を加え
たものとなり、本実施例の浮動ヘッドスライダセンサＳ
の場合に相当する。この図４では鋼球２４の付加による
利得増加分を斜線で示した。この結果から、鋼球２４の
付加によって、曲げモード歪の検出に特徴的な低周波領
域の感度が損なわれることなく、高周波領域の浮動ヘッ
ドスライダ空気膜共振周波数１０ＫＨｚ〜２０ＫＨｚに
おける利得が１０ｄｂ以上向上していることが分かる。 上述したｂ点加振時の周波数特性との比較でも、１０Ｋ
Ｈｚ〜２０ＫＨｚにおいて数ｄｂ感度が高い。
【００２０】このように本実施例の浮動ヘッドスライダ
センサＳでは、低周波領域に感度の高い従来の浮動ヘッ
ドスライダセンサＳ２の特性と、高周波領域に感度の高
い従来の浮動ヘッドスライダセンサＳ３の特性を合わせ
持った浮動ヘッドスライダセンサを実現できることが判
る。
センサＳでは、低周波領域に感度の高い従来の浮動ヘッ
ドスライダセンサＳ２の特性と、高周波領域に感度の高
い従来の浮動ヘッドスライダセンサＳ３の特性を合わせ
持った浮動ヘッドスライダセンサを実現できることが判
る。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、１
００Ｈｚ〜２０ＫＨｚと低周波から高周波の全領域にか
けて検出感度が高くなり、磁気ディスク表面に存在する
微少突起の検出、或は磁気ディスクのうねり、更にはス
ライダ支持系の共振に起因する振動の検出に有用な高感
度の浮動ヘッドスライダセンサを実現できるという利点
がある。
００Ｈｚ〜２０ＫＨｚと低周波から高周波の全領域にか
けて検出感度が高くなり、磁気ディスク表面に存在する
微少突起の検出、或は磁気ディスクのうねり、更にはス
ライダ支持系の共振に起因する振動の検出に有用な高感
度の浮動ヘッドスライダセンサを実現できるという利点
がある。
【図１】 本発明の一実施例の浮動ヘッドスライダセ
ンサの説明図である。
ンサの説明図である。
【図２】 浮動ヘッドスライダセンサの実験構造の説
明図である。
明図である。
【図３】 第１実験結果の特性図である。
【図４】 第２実験結果の特性図である。
【図５】 従来の浮動ヘッドスライダセンサの説明図
である。
である。
【図６】 図５に示した浮動ヘッドスライダセンサの
動作説明図である。
動作説明図である。
【図７】 従来の別の浮動ヘッドスライダセンサの説
明図である。
明図である。
【図８】 従来の更に別の浮動ヘッドスライダセンサ
の説明図である。
の説明図である。
Ｓ：本実施例の浮動ヘッドスライダセンサ、Ｓ１、Ｓ２
、Ｓ３：従来の浮動ヘッドスライダセンサ。 １：浮動ヘッドスライダ本体、２：スライダ支持ジンバ
ルばね部、３：荷重点ピボット、４：加圧支持ばね部、
５：圧電素子、６：磁気ディスク、６ａ：微少突起、７
：加圧支持ばね部、８：圧電素子、９：加圧支持ばね部
、１０：球状体、１１：加圧支持ばね部、１２：圧電素
子、１３：おもり、２１：圧電素子、２２：加圧ばね、
２３：加振器、２４：鋼球。
、Ｓ３：従来の浮動ヘッドスライダセンサ。 １：浮動ヘッドスライダ本体、２：スライダ支持ジンバ
ルばね部、３：荷重点ピボット、４：加圧支持ばね部、
５：圧電素子、６：磁気ディスク、６ａ：微少突起、７
：加圧支持ばね部、８：圧電素子、９：加圧支持ばね部
、１０：球状体、１１：加圧支持ばね部、１２：圧電素
子、１３：おもり、２１：圧電素子、２２：加圧ばね、
２３：加振器、２４：鋼球。
Claims (1)
- 【請求項１】 浮動ヘッドスライダ本体と、該浮
動ヘッドスライダ本体と結合したスライダ支持ジンバル
ばね部と、該スライダ支持ジンバルばね部端部と結合し
たスライダ加圧支持ばね部とを具備し、該スライダ加圧
支持ばね部から伸びるように圧電素子を設け、該圧電素
子先端部で上記スライダ支持ジンバルばね部結合部背面
に突出加工された荷重点ピボットを介して上記浮動ヘッ
ドスライダ本体に荷重を与えるように構成した浮動ヘッ
ドスライダセンサにおいて、上記圧電素子の荷重点ピボ
ット位置の反対面に金属あるいはセラミック等からなる
球状体あるいは立方体のおもりを接着配置したことを特
徴とする浮動ヘッドスライダセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4596891A JPH04265585A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 浮動ヘッドスライダセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4596891A JPH04265585A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 浮動ヘッドスライダセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04265585A true JPH04265585A (ja) | 1992-09-21 |
Family
ID=12734033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4596891A Withdrawn JPH04265585A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 浮動ヘッドスライダセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04265585A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7006333B1 (en) * | 2001-06-28 | 2006-02-28 | Magnecomp Corporation | Suspension with flexure mounted microactuator |
| US20090262460A1 (en) * | 2005-04-27 | 2009-10-22 | Seagate Technology Llc | Head assembly having a sensing element |
-
1991
- 1991-02-19 JP JP4596891A patent/JPH04265585A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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