JPH0427310B2

JPH0427310B2 -

Info

Publication number: JPH0427310B2
Application number: JP14341985A
Authority: JP
Inventors: Hideji Kuwajima; Mamoru Kamyama
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1985-06-28
Filing date: 1985-06-28
Publication date: 1992-05-11
Also published as: JPS624883A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はニツケル又はニツケル合金溶解用溶液
（以下溶解溶液とする）特に二種以上の金属から
特定の金属を選択的に溶解する寿命の長い溶解用
液に関する。

（従来の技術）従来ニツケルめつきの溶解用液としては濃硝酸
が一般に用いられていた。しかしながら他の金属
の表面の一部にニツケルめつきが施されている場
合、下地金属を溶解することなくニツケルめつき
を溶解することは困難であつた。例えば下地金属
が銅でる場合、銅を溶解することなくニツケルめ
つきを溶解することは困難であるため、銅の溶解
防止策として窒素、硫黄等を含む有機化合物を添
加した溶解用液が一般に用いられていた。しかし
上記の溶解用液では、例えばアニリンのような毒
性を有する化合物を添加する欠点や添加剤がキレ
ートイオンを形成するため廃水処理が複雑になる
欠点等が生じ、さらにニツケルめつきを施した
後、下地金属との密着性を高めるため熱処理を行
うがリンを含有するニツケルめつきの場合、溶解
が困難となる欠点がある。

例えば、下地金属が銅（電気銅、無酸素銅等）
でその一部に熱処理した含リンニツケルめつき
（厚さ2μm）が施されているものを、一般に用い
られている金属塩化物を含有する硝酸の溶解用液
で溶解した場合、時間がかかると共に下地の銅の
露出している部分が30〜60μm、著しい場合には
100μm以上も溶解され、その表面は荒れた状態と
なる。また従来の寿命の短い溶解用液を用いる溶
解方法では金属の溶解速度を均一にするために多
量の溶解用液を用い、これを被溶解材の入つた溶
解槽内に循環させ、この溶解用液の流れを利用す
るのが一般的であつた。このため、大きな溶解用
液のタンク、ポンプ等の循環装置など多くの設備
と多量の溶解用液が必要となつている。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は上記の欠点を解決し、ニツケル又はニ
ツケル合金を選択的に、しかも短時間で溶解し、
銅又は銅合金の溶解を全く無いか又は極くわずか
に抑え、しかも寿命の長い溶解用液を提供するこ
とを目的とする。

（問題を解決するための手段）本発明は硫酸根21.5〜66.7重量％、硝酸根3.6〜
38.1重量％、酢酸根3.6〜38.1重量％及び水3.6〜
57.1重量％の混合液からなり、該混合液中に硝酸
が20.0重量％以下、かつ硫酸と硝酸との総量を
22.5〜68.2重量％として含有してなる溶解用液に
関する。

本発明における溶解用液中の硫酸根の含有量
は、21.5〜66.7重量％、硝酸根の含有量は3.6〜
38.1重量％であり、該溶解用液中にに硝酸が20.0
重量％以下で、かつ硫酸と硝酸との総量が22.5〜
68.2重量％含有することが必要であり、硫酸根及
び硝酸根の含有量が前述の範囲未満、かつ、硫酸
と硝酸との総量が22.5重量％未満であると金属の
溶解速度が遅く、特に選択的に溶解したいニツケ
ル又はニツケル合金を銅又は銅合金を溶解するこ
となく、もしくは溶解を極くわずかに抑えて溶解
しようとしても、選択的に溶解したいニツケル又
はニツケル合金の溶解速度が遅く、溶解時間が長
くなるために銅又は銅合金の溶解を抑制すること
ができない。

硫酸根の含有量が66.7重量％を越え、かつ硫酸
と硝酸との総量が68.2重量％を越えるとニツケル
又はニツケル合金の溶解速度が遅くなり、溶解時
間が長くなるために銅又は銅合金の溶解を抑制す
ることができない。また硝酸根の含有量が38.1重
量％を越えると窒素酸化物が多量に発生し作業環
境が悪くなる。さらに硫酸と硝酸との総量が22.5
〜68.2重量％の範囲内であつても、硝酸の含有量
が０重量％を越えると銅又は銅合金の溶解を抑制
することができなくなる。

本発明における酢酸根の含有量は3.6〜38.1重
量％とされ、3.6％未満では酢酸による銅又は銅
合金の溶解抑制効果が小さく、また38.1重量％を
越えると銅又は銅合金の溶解は抑制できるが相対
的に硫酸及び硝酸の含有率が小さくなるため選択
的に溶解したいニツケル又はニツケル合金の溶解
力が低下し不経済となる。

本発明における水の含有量は3.6〜57.1重量％
とされ、水が3.6重量％未満では硫酸根、硝酸根、
酢酸根などがそれらの塩により配合される場合、
これらを均一に混合することが困難となり、均一
な金属溶解性を発現させることは難しい。また
57.1重量％を越えると相対的に硫酸根、硝酸根及
び酢酸根の含有量が低下するのでニツケル又はニ
ツケル合金の溶解速度が遅く溶解時間が長くなる
ために銅又は銅合金の溶解を抑制することができ
ない。

本発明になる溶解用液はその配合によつてはス
ラリーになるが、スラリーであつてても溶解能力
には何ら欠陥を生じないので問題はない。

本発明において硫酸根は、硫酸、その塩である
硫酸銅、硫酸ニツケル、硫酸アルミニウム、硫酸
アンモニウム、硫酸カリウム等から得られ、硝酸
根は、硝酸、その塩である硝酸銅、硝酸ニツケ
ル、硝酸アルミニウム、硝酸アンモニウム、硝酸
カリウム等から得られるが、これらは溶解する金
属の種類に応じ併用される。

また酢酸根は、酢酸、その塩である酢酸銅、酢
酸ニツケル、酢酸アルミニウム、酢酸アンモニウ
ム、酢酸カリウム等から得られ、これらは必要に
応じて併用してもよいい。

本発明おける水とは一般に用いられる蒸留水、
イオン交換水等をさす。

（実施例）以下実施例により本発明を説明する。

実施例１硫酸（和光純薬製試薬１級）310重量部、酢酸
（和光純薬製試薬１級）190重量部、硝酸（和光純
薬製試薬１級）10重量部及びイオン交換水500重
量部を秤量し、イオン交換水を撹拌しながら、ま
ず酢酸を、次いで硝酸を、さらに硫酸を徐徐に添
加して均一な溶液とした。この溶液1010重量部に
硝酸ニツケル（和光純薬製試薬１級）を400重量
部添加し50℃加熱して撹拌し、スラリー状溶解用
液(A)を得た。

上記とは別に直径30mm、長さ100mmの電気銅の
円周表面リンを約90重量％含有するニツケルめつ
きを厚さ±0.2μ、長さ40±２mmに施した試料棒を
作成した。尚、ニツケルめつきは銅棒の表面を
3M社製のめつきカバー用スコツチテープ（商品
名）でマスキングし日本カニゼン製のブルーシユ
ーマ（商品名）を純水で５倍に希釈し90℃５分間
浸漬して施した。

次上記溶解用液(A)の液温を50℃に保つて、これ
に前述の試料棒を浸漬したところ、ニツケルめつ
きは４分間で溶解し、下地である金属銅の溶解量
はわずか2.5μmであり、その表面はきれいであつ
た。次に1dm²（10cm×10cm）で厚さ0.6mmの銅板
にその上下両面の中央部40mm×40mmを残して2μm
のニツケルめつきを施したものを用意し、これを
本実施例になる溶解用液(A)100ｇを50℃に保ち撹
拌しているところへ浸漬し、ニツケルめつきが完
全に落ちたら溶解終了とみなすこととして連続し
て32枚を処理することができた。

実施例１おける溶解用液中硫酸根は21.5重量
％、硝酸根は12.8重量％、酢酸根は13.2重量％、
水は46.0重量％及びこのにニツケルイオン5.7重
％、水素イオン0.7重量％含有し、また硝酸の含
有量は0.7重量％及び硫酸と硝酸との総量の含有
量は22.7重量％であつた。

実施例２硫酸（和光純薬製試薬１級）400重量部、酢酸
（和光純薬製試薬１級）100重量部及びイオン交換
水350重量部を秤量し、イオン交換水を撹拌しな
がら、まず酢酸を、次いで硫酸を徐徐に添加して
均一な溶液とした。この溶液850重量部に硝酸
（和光純薬製試薬１級）を150重量部添加し、実施
例１と同様50℃に加熱、撹拌しスラリー状の溶解
用液(B)を得た。

次に上記溶解用液(B)の液温を50℃に保つて、こ
れに実施例１で得た試料棒を浸漬したところニツ
ケルめつきは２分間で溶解し、下地である金属銅
の溶解量は2μmであり、その表面はきれいであつ
た。

尚、本実施例になる溶解用液(B)100ｇを用いて
実施例１と同様のニツケルめつきを施した銅板を
実施例１と同一の条件で連続溶解試験を行つたと
ころ23枚処理できた。

実施例２における溶解用液中の硫酸根は39.2重
量％、硝酸根は14.8重量％、酢酸根は9.8重量％、
水は35.0重量％及びこの他に水素イオン1.2重量
％含有し、また硝酸の含有量は15.0重量％及び硫
酸と硝酸との総量の含有量は55.0重量％であつ
た。

実施例３硫酸（和光純薬製試薬１級）320重量部、硫酸
銅（和光純薬製試薬１級）200重量部、酢酸（和
光純薬製試薬１級）200重量部及びイオン交換水
370重量部を秤量し、イオン交換水を撹拌しなが
ら、まず硫酸銅を次で酢酸を、さらに硫酸を徐徐
に添加して均一な溶液とした。この溶液1090重量
部に硝酸（和光純薬製試薬１級）を100重量部添
加し実施例１と同様50℃に加熱し撹拌してスラリ
ー状の溶解用液(C)を得た。

次に上記溶解用液(C)の液温を50℃に保つてこれ
に実施例１で得た試料棒を浸漬したところニツケ
ルめつきは2.5分間で溶解し、下地である金属銅
の溶解量は1.5μmであり、その表面はきれいであ
つた。

尚、本実施例になる溶解用液(C)100ｇを用いて
実施例１と同様のニツケルめつきを施した銅板を
実施例１と同一の条件で連続溶解試験を行つたと
ころ36枚処理することができた。

実施例３における溶解用液中の硫酸根は32.8重
量％、硝酸根は8.3重量％、酢酸根は16.5重量％、
水は37.1重量％及びこの他に銅イオン4.3重量％、
水素イオン1.0重量％含有し、また硝酸の含有量
は8.4重量％及び硫酸と硝酸との総量の含有量は
35.3重量％であつた。

実施例４硫酸（和光純薬製試薬１級）500重量部、硝酸
（和光純薬製試薬１級）100重量部及び蒸留水50重
量部を秤量し、蒸留水を撹拌しながら、まずず硫
酸を次いで硝酸を徐徐に添加して均一な溶液とし
た。この溶液650重量部に酢酸アンモニウム（和
光純薬製試薬１級）を350重量部添加し、実施例
１と同様50℃に加熱し撹拌して溶解用液(D)を得
た。次に上記溶解用液(D)の液温を50℃に保つて実
施例１で得た試験棒を浸漬したところニツケルめ
つきは３分間で溶解し、下地である金属銅の溶解
量はわずか1.5μmであり、その表面はきれいであ
つた。

尚、本実施例になる溶解用液(D)100ｇを用いて
実施例１と同様のニツケルめつきを施した銅板を
実施例１と同一の条件で連続溶解試験を行つたと
ころ26枚処理することができた。

実施例４における溶解用液中の硫酸根は49.0重
量％、硝酸根は9.8重量％、酢酸根は26.8重量％、
水は5.0重量％及びこの他に水素イオン1.2重量
％、アンモニウムイオン8.2重量％含有し、また
硝酸の含有量は10.0重量％及び硫酸と硝酸との総
量の含有量は60.0重量％であつた。

実施例５硫酸（和光純薬製試薬１級）650重量部、酢酸
ニツケル（和光純薬製試薬１級）100重量部、硝
酸（和光純薬製試薬１級）10重量部、イオン交換
水150重量部及び硝酸銅（和光純薬製試薬１級）
100重量部を秤量し、イオンン交換水を撹拌しな
がら、まず酢酸ニツケル、次いで硫酸、硝酸さら
に硝酸銅を徐徐に添加して均一な水溶液とした。
次にこの水溶液を実施例１と同様50℃に加熱して
撹拌して溶解用液(E)を得た。

次に上記溶解用液(E)の液温を50℃に保つて実施
例１で得た試験棒を浸漬したところニツケルめつ
きは1.5分間で溶解し、下地である金属銅の溶解
量は0.5μmであつた。そしてその表面はきれいで
あつた。

尚、本実施例になる溶解用液(E)100ｇで実施例
１と同様のニツケルめつきを施した銅板を実施例
１と同一の条件で連続して32枚処理できた。

実施例５における溶解用液中の硫酸根は63.0重
量％、硝酸根は6.1重量％、酢酸根は6.6重量％、
水は17.0重量％及びこの他に水素イオン1.4重量
％、ニツケルイオン3.3重量％、銅イオン2.6重量
％含有し、また硝酸の含有量は1.0重量及び硫酸
と硝酸との総量の含有量は65.4重量％であつた。

比較例１硫酸（和光純薬製試薬１級）150重量部、酢酸
（和光純薬製試薬１級）100重量部、硝酸（和光純
薬製試薬１級）70重量部及びイオン交換水680重
量部を秤量し、以下実施例１と同一の方法で混合
し均一な溶液を得た。この溶液1000重量部に硝酸
銅（和光純薬製試薬１級）40重量部添加し実施例
１と同様50℃に加熱して撹拌して溶解用液(F)を得
た。

次に上記溶解用液(F)の液温を50℃に保つて実施
例１で得た試験棒を浸漬したところニツケルめつ
きは13.5分間で溶解し、下地であある金属銅の溶
解量は40μmであつた。そしてその表面は荒れた
ものであつた。

尚、比較例１で得た溶解用液(F)を100ｇを用い
て実施例１と同様のニツケルめつきを施した銅板
を実施例１と同一の条件で連続溶解試験を行つた
ところろ処理枚数はわずか11枚であつた。

比較例１における溶解用液中の硫酸根は14.1重
量％、硝酸根は8.6重量％、酢酸根は9.5重量％、
水は66.2重量％及びこの他に水素イオン0.6重量
％、銅イオン1.0重量％含有し、また硝酸の含有
量は6.7重量％及び硫酸と硝酸との総量の含有量
は21.1重量％であつた。

比較例２硫酸（和光純薬製試薬１級）750重量部、酢酸
（和光純薬製試薬１級）20重量部及び蒸留水230重
量部を秤量し、蒸留水を撹拌しながら、まず酢酸
を、次いで硫酸を徐徐に添加して均一な水溶液と
した。次にこの水溶液1000重量部に硝酸銅（和光
純薬製試薬１級）を20重量部添加し実施例１と同
様50℃に加熱し撹拌して溶解用液(G)を得た。

次に上記溶解用液(G)の液温を50℃に保つてこれ
に実施例１で得た試験棒を浸漬したところニツケ
ルめつきは16分間で溶解し、下地である金属銅の
溶解量は45μmであつた。そしてその表面は荒れ
たものであつた。

尚、比較例２で得た溶解用液(G)100ｇを用いて
実施例１と同様のニツケルめつきを施した銅板を
実施例１と同一の条件で連続溶解試験を行つたと
ころ処理枚数はわずか８枚であつた。比較例22に
おける溶解用液中の硫酸根は72.0重量％、硝酸根
は1.0重量％、酢酸根は1.9重量％、水は23.0重量
％及びこの他に水素イオン1.6重量％、銅イオン
0.5重量％含有し、また硝酸は含有せず、硫酸の
含有量は73.5重量％であつた。

本発明の実施例では、金属銅の表面にニツケル
めつきを施したものみを説明したが、本発明は、
プラスチツク材料、セラミツク材料など非金属材
料の表面に物理的（めつき、溶射、嵌合など）手
段により形成した銅又は銅合金と同様に形成され
たニツケル又はニツケル合金とがそれぞれ別個の
箇所に独立して形成されている場合、前記プラス
チツク材料、セラミツク材料などの非金属材料の
表面に物理的手段によりり形成された銅又は銅合
金の表面に同様な方法でニツケル又はニツケル合
金が形成されている場合等において選択的ニツケ
ル又はニツケル合金のみを溶解する場合に有効で
ある。

（発明の効果）本発明になる溶解用液を用いればニツケル又は
ニツケル合金と銅又は銅合金とがある場合、ニツ
ケル又はニツケル合金を選択的にしかも短時間で
溶解することができ、銅又は銅合金の溶解を全く
無くするか又は極くわずかに抑えることができ
る。また、溶解用液がスラリー状であるため、こ
の粒子を含んだ液を撹拌することにより、被溶解
材の表面を研磨する機能が発生し、被溶解材表面
に発生するノロ状のものを除去することができ、
溶解速度を均一にすることができる。さらに本発
明は、溶解用液の寿命を従来のものに比べ倍以上
に延ばすことができるため、従来のような大がか
りな液循環装置などは不要となり、撹拌装置だけ
で済し、使用する溶解用液の量も溶解槽に入れる
分だけでよい。

Claims

【特許請求の範囲】

１硫酸根21.5〜66.7重量％、硝酸根3.6〜38.1重
量％、酢酸根3.6〜38.1重量％及び水3.6〜57.1重
量％の混合液からなり、該混合液中に硝酸が20.0
重量％以下、かつ硫酸と硝酸との総量を22.5〜
68.2重量％として含有してなるニツケル又はニツ
ケル合金溶解用溶液。