JPH042792A - ＦｅＣｌ↓３液の再生方法 - Google Patents
ＦｅＣｌ↓３液の再生方法Info
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- JPH042792A JPH042792A JP10051190A JP10051190A JPH042792A JP H042792 A JPH042792 A JP H042792A JP 10051190 A JP10051190 A JP 10051190A JP 10051190 A JP10051190 A JP 10051190A JP H042792 A JPH042792 A JP H042792A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はニッケルあるいはニッケルを含有する鉄合金、
例えば不変鋼（インバー）をＦｅＣｌ，を含む水溶液で
エツチングする際に生成する廃液の再生処理方法に関す
る。
例えば不変鋼（インバー）をＦｅＣｌ，を含む水溶液で
エツチングする際に生成する廃液の再生処理方法に関す
る。
近年、テレビジョンやＯＡ機器、コンピューターの発達
に伴い、ＣＲＴが多用されるようになり、しかも高精度
、高品位のものの要求が高まってき・た。これにつれて
シャドウマスクもインバーのような高ニッケル合金が使
用されるようになった。
に伴い、ＣＲＴが多用されるようになり、しかも高精度
、高品位のものの要求が高まってき・た。これにつれて
シャドウマスクもインバーのような高ニッケル合金が使
用されるようになった。
このような合金膜又は純ニツケル膜のエツチングには作
用が温和かつ確実で、ガスの発生がないところから高濃
度のＦｅＣｌ５の水溶液が蝕刻剤として用いられている
。エツチングに伴ってニッケルや鉄等の素材である金属
が部分的に溶解すると、ＦｅＣｌ５は還元されてＦｅＣ
ｌ□となる。一方鉄及びニッケルはそれぞれＦｅＣｌ＊
及びＮｉＣ１□になって溶解する。
用が温和かつ確実で、ガスの発生がないところから高濃
度のＦｅＣｌ５の水溶液が蝕刻剤として用いられている
。エツチングに伴ってニッケルや鉄等の素材である金属
が部分的に溶解すると、ＦｅＣｌ５は還元されてＦｅＣ
ｌ□となる。一方鉄及びニッケルはそれぞれＦｅＣｌ＊
及びＮｉＣ１□になって溶解する。
生成したＦｅＣｌｔは塩素ガスあるいは塩酸の存在下Ｈ
２０，を用いること等によって容易に元のＦｅＣｌ５に
酸化されるが、このような方法のみによっては系内にＮ
ｉＣｌ２が蓄積し、遂には反応速度や平衡の点からみて
使用不能に到る。従ってエツチング液を循環使用するた
めには、少なくともその一部をエツチング廃液として抜
き取ってニッケル成分を除去した後、系内に戻すことが
必要となる。このようなエツチング廃液からニッケルを
除去する方法として種々の手段が提案されている。すな
わち、（ａ＞廃液を電解してカソード還元により金属ニ
ッケルを析出させる方法（特開昭５９−３１８６８）。
２０，を用いること等によって容易に元のＦｅＣｌ５に
酸化されるが、このような方法のみによっては系内にＮ
ｉＣｌ２が蓄積し、遂には反応速度や平衡の点からみて
使用不能に到る。従ってエツチング液を循環使用するた
めには、少なくともその一部をエツチング廃液として抜
き取ってニッケル成分を除去した後、系内に戻すことが
必要となる。このようなエツチング廃液からニッケルを
除去する方法として種々の手段が提案されている。すな
わち、（ａ＞廃液を電解してカソード還元により金属ニ
ッケルを析出させる方法（特開昭５９−３１８６８）。
（ｂ）グリオキシムのようなニッケルに選択的な錯化剤
を用いて錯体として沈澱分離する方法（特開昭５９−１
９０３６７）、（ｃ）金属鉄を用いてニッケルを置換析
出させ、次いで塩素を用いてＦｅ”＋をＦｅ３＋に酸化
する方法（特公昭６ｌ−４４８１４）、（ｄ）エツチン
グ廃液を加熱濃縮してから冷却し、先ずＦｅＣｌｘ・４
Ｈ２０の結晶を除き、母液を５〜−１０℃に冷却しつつ
ＨＣｌガスを導入してニッケルのみをＮｉＣｌ２結晶と
して析出させて回収する一方、被処理液より ＨＣｌを
ストリップすることにより、被処理液をＦｅＣｌｇの濃
厚液として回収すると共に、ストリップし回収したＨＣ
ｌを前記の冷却晶析工程にリサイクルする方法（特公昭
６３−１００９７）、（ｅ）エツチング廃液にＨＣｌガ
スを吸収させＮｉＣｌ２と同時にＦｅＣｌｚの結晶も晶
出させ、固液分離した分離液を加熱蒸留してＨＣｌガス
と水分の一部を除いた残液に水と鉄片を加えて中和後Ｃ
１，で酸化する方法（特開昭６２−２２２０８８）等が
提案されている。
を用いて錯体として沈澱分離する方法（特開昭５９−１
９０３６７）、（ｃ）金属鉄を用いてニッケルを置換析
出させ、次いで塩素を用いてＦｅ”＋をＦｅ３＋に酸化
する方法（特公昭６ｌ−４４８１４）、（ｄ）エツチン
グ廃液を加熱濃縮してから冷却し、先ずＦｅＣｌｘ・４
Ｈ２０の結晶を除き、母液を５〜−１０℃に冷却しつつ
ＨＣｌガスを導入してニッケルのみをＮｉＣｌ２結晶と
して析出させて回収する一方、被処理液より ＨＣｌを
ストリップすることにより、被処理液をＦｅＣｌｇの濃
厚液として回収すると共に、ストリップし回収したＨＣ
ｌを前記の冷却晶析工程にリサイクルする方法（特公昭
６３−１００９７）、（ｅ）エツチング廃液にＨＣｌガ
スを吸収させＮｉＣｌ２と同時にＦｅＣｌｚの結晶も晶
出させ、固液分離した分離液を加熱蒸留してＨＣｌガス
と水分の一部を除いた残液に水と鉄片を加えて中和後Ｃ
１，で酸化する方法（特開昭６２−２２２０８８）等が
提案されている。
上記従来法の（ａ）はＦｅ ｔ ＋とＮｉ２＋がそれぞ
れ金属となる標準電極電位が近い上、ニッケルは過電圧
゛を生じ易く、ニッケルのみを選択的に還元析出させる
ことが困難であり、Ｆｅ３′″も還元されるので経済的
でない。（ｂ）は脱ニツケル率は高くできるが、錯化剤
が高価であり、一般にニッケルを完全に除去する必要は
ないのでメリットが少ない。（ｃ）はＦｅ ３ ′″が
すべてＦｅ”＋に還元された後ニッケルが析出するため
多量のＦｅＣｌ□が生成するのでＦｅＣｌ３を回収する
ためには必ずしも良い方法ではない。（ｄ）は最も望ま
しい方法の一つであるが、５〜−１０℃の低温に冷却す
る必要があり、電力費が嵩む上、ＦｅＣｌ５を水溶液と
して回収している関係上再生循環するエツチング用液中
の塩化水素を充分に除去することが困難である。エツチ
ング用液が遊離の塩化水素を一定限度以上含むときはエ
ツチングに際して水素が発生する等精密かつ安定な操作
が妨げられる恐れが大きい上、安全上も問題がある。
れ金属となる標準電極電位が近い上、ニッケルは過電圧
゛を生じ易く、ニッケルのみを選択的に還元析出させる
ことが困難であり、Ｆｅ３′″も還元されるので経済的
でない。（ｂ）は脱ニツケル率は高くできるが、錯化剤
が高価であり、一般にニッケルを完全に除去する必要は
ないのでメリットが少ない。（ｃ）はＦｅ ３ ′″が
すべてＦｅ”＋に還元された後ニッケルが析出するため
多量のＦｅＣｌ□が生成するのでＦｅＣｌ３を回収する
ためには必ずしも良い方法ではない。（ｄ）は最も望ま
しい方法の一つであるが、５〜−１０℃の低温に冷却す
る必要があり、電力費が嵩む上、ＦｅＣｌ５を水溶液と
して回収している関係上再生循環するエツチング用液中
の塩化水素を充分に除去することが困難である。エツチ
ング用液が遊離の塩化水素を一定限度以上含むときはエ
ツチングに際して水素が発生する等精密かつ安定な操作
が妨げられる恐れが大きい上、安全上も問題がある。
従ってＣＲＴのシャドウマスクのような精度の高いエツ
チングを必要とする場合は、（ｅ）の例のように回収塩
化鉄溶液に多量の金属鉄や酸化鉄を投入して遊離の塩酸
を中和する必要を生ずる。しかしながらここで加えた鉄
分によって多量のＦｅ■が増加し、Ｆｅ”＋とじてエツ
チング用に回収するためには、酸化剤の消費がふえる。
チングを必要とする場合は、（ｅ）の例のように回収塩
化鉄溶液に多量の金属鉄や酸化鉄を投入して遊離の塩酸
を中和する必要を生ずる。しかしながらここで加えた鉄
分によって多量のＦｅ■が増加し、Ｆｅ”＋とじてエツ
チング用に回収するためには、酸化剤の消費がふえる。
又場合によってはバランス上過剰の鉄分を抜き出す必要
があり、これは無駄な消費であり合理的な方法とは言え
ない。
があり、これは無駄な消費であり合理的な方法とは言え
ない。
本発明は上記のような課題を解決しようとするものであ
って、その方法は、ＦｅＣｌ５の水溶液を用いるニッケ
ル又はニッケル合金のエツチング工程がら排出されるＮ
ｉＣｌ２、ＦｅＣｌ３あるいはさらにＦｅＣｌｚを含む
廃液にＨＣｌガスを吸収させ、溶解度の差により Ｎｉ
Ｃｌ２を晶折分離し、ＦｅＣｌ，とＨＣｌを回収して再
使用することを含むエツチングＩｉｌ液の再生処理方法
において、（ａ）該エツチング廃液をそのまま、あるい
は濃縮し、ＨＣｌ含有ガスと接触させてＨＣｌを吸収さ
せ、ＮｉＣ１ｔの大部分とＦｅＣｌｚおよび／又はＦｅ
Ｃｌ，の一部を１５〜３５℃において同時に晶出分離し
、ＦｅＣｌ３の大部分は塩酸溶液として回収する工程と
、（ｂ）上記ＦｅＣｌ３の塩酸溶液を濃縮器で循環Ｆｅ
Ｃｌ５溶液と混合しながら加熱もしくは減圧加熱して濃
縮し、ＨＣｌと水分の少なくとも一部を留去すると共に
、濃縮液の一部を抜き出し、晶出装置においてＦｅＣｌ
５・２．５Ｈ−０を主とする結晶と、ＦｅＣｌ５溶液と
に析離せしめてそれぞれ分離し、母液は前記循環ＦｅＣ
ｌ３溶液として濃縮器に循環し、ＦｅＣｌｚ結晶は必要
に応じて水又は系内の遊離ＨＣｌを殆ど含まない溶液で
洗浄した後、エツチング工程へ戻す工程と、（Ｃ）前工
程で留去されたＨＣｌと水の混合物から水分を分離して
ＨＣｌを濃縮し、（ａ）工程に戻す工程の少なくとも三
工程の組合わせからなる。
って、その方法は、ＦｅＣｌ５の水溶液を用いるニッケ
ル又はニッケル合金のエツチング工程がら排出されるＮ
ｉＣｌ２、ＦｅＣｌ３あるいはさらにＦｅＣｌｚを含む
廃液にＨＣｌガスを吸収させ、溶解度の差により Ｎｉ
Ｃｌ２を晶折分離し、ＦｅＣｌ，とＨＣｌを回収して再
使用することを含むエツチングＩｉｌ液の再生処理方法
において、（ａ）該エツチング廃液をそのまま、あるい
は濃縮し、ＨＣｌ含有ガスと接触させてＨＣｌを吸収さ
せ、ＮｉＣ１ｔの大部分とＦｅＣｌｚおよび／又はＦｅ
Ｃｌ，の一部を１５〜３５℃において同時に晶出分離し
、ＦｅＣｌ３の大部分は塩酸溶液として回収する工程と
、（ｂ）上記ＦｅＣｌ３の塩酸溶液を濃縮器で循環Ｆｅ
Ｃｌ５溶液と混合しながら加熱もしくは減圧加熱して濃
縮し、ＨＣｌと水分の少なくとも一部を留去すると共に
、濃縮液の一部を抜き出し、晶出装置においてＦｅＣｌ
５・２．５Ｈ−０を主とする結晶と、ＦｅＣｌ５溶液と
に析離せしめてそれぞれ分離し、母液は前記循環ＦｅＣ
ｌ３溶液として濃縮器に循環し、ＦｅＣｌｚ結晶は必要
に応じて水又は系内の遊離ＨＣｌを殆ど含まない溶液で
洗浄した後、エツチング工程へ戻す工程と、（Ｃ）前工
程で留去されたＨＣｌと水の混合物から水分を分離して
ＨＣｌを濃縮し、（ａ）工程に戻す工程の少なくとも三
工程の組合わせからなる。
以下に本発明を図示のフローチャートに基いて説明する
。
。
インバー等のニッケル合金板がＦｅＣｌ１水溶液でエツ
チングされるとＮｉＣ１を及びＦｅＣｌｔが生成してエ
ツチング液中に溶解する。通常エツチング液はＦｅＣｌ
５濃度を一定に保つため、酸化槽Ｏに循環され、Ｃ１，
等でＦｅＣｌｘがＦｅＣｌ５に酸化され濃度が恢復した
ものを別途送られるメークアップ用ＦｅＣｌ３と必要に
応じて混合して使用する。ＮｉＣ１＊濃度がある程度、
例えば５％以上になるとエツチングに不適となるので、
エツチング液の一部は配管２あるいは１から抜き取られ
てエツチング廃液として再生処理にかけられる。この廃
液は通常ＦｅＣｌ５を約４０−５０ｗｔ％、ＦｅＣｌｚ
を約０−１０ｗｔ％、ＮｉＣｌ２を２〜５ｗｔ％含有す
る。酸化後の液を酸化槽Ｏから配管２を通して抜き取れ
ば、ＦｅＣｌｚを殆ど含まないので後の操作でＦｅ”＋
を殆ど含まないＮＩＣ１２が得られる。酸化される前に
配管１を通して抜き取られた液を処理するときはｌ’１
ｉｃ１ｚと同時にＦｅＣｌ ２も晶出し易いので、Ｎｉ
Ｃ１□の純度は下がる。しかしその分酸化のための負荷
は下がる。
チングされるとＮｉＣ１を及びＦｅＣｌｔが生成してエ
ツチング液中に溶解する。通常エツチング液はＦｅＣｌ
５濃度を一定に保つため、酸化槽Ｏに循環され、Ｃ１，
等でＦｅＣｌｘがＦｅＣｌ５に酸化され濃度が恢復した
ものを別途送られるメークアップ用ＦｅＣｌ３と必要に
応じて混合して使用する。ＮｉＣ１＊濃度がある程度、
例えば５％以上になるとエツチングに不適となるので、
エツチング液の一部は配管２あるいは１から抜き取られ
てエツチング廃液として再生処理にかけられる。この廃
液は通常ＦｅＣｌ５を約４０−５０ｗｔ％、ＦｅＣｌｚ
を約０−１０ｗｔ％、ＮｉＣｌ２を２〜５ｗｔ％含有す
る。酸化後の液を酸化槽Ｏから配管２を通して抜き取れ
ば、ＦｅＣｌｚを殆ど含まないので後の操作でＦｅ”＋
を殆ど含まないＮＩＣ１２が得られる。酸化される前に
配管１を通して抜き取られた液を処理するときはｌ’１
ｉｃ１ｚと同時にＦｅＣｌ ２も晶出し易いので、Ｎｉ
Ｃ１□の純度は下がる。しかしその分酸化のための負荷
は下がる。
次にエツチング槽Ｅあるいは酸化槽Ｏから抜き取られた
廃液は配管３を経てＮｉＣｌ２晶析器５へ送られるが、
場合によってはその前に予備濃縮器（図示せず）でＦｅ
Ｃｌ，６０〜’ｒｏｗｔ％程度にまで濃縮してもよい。
廃液は配管３を経てＮｉＣｌ２晶析器５へ送られるが、
場合によってはその前に予備濃縮器（図示せず）でＦｅ
Ｃｌ，６０〜’ｒｏｗｔ％程度にまで濃縮してもよい。
濃縮によって吸収させるべきＨＣｌの量が節約できる。
特にＦｅｃｌを含有量の少ない廃液の場合に好ましい。
晶析器５には配管６を通ってＭＣＩが送られて被処理液
である廃液と接触する。
である廃液と接触する。
被処理液はポンプｐ−１，冷却器４により冷却循環され
つつ濡れ壁等適宜の手段によってＨＣｌと接触し、平均
的温度は１５〜３５℃の常温付近の温度が保たれるよう
にする。ＨＣｌを加圧で吸収させてもよい。１５℃未満
では冷却用動力費が増大し、３５℃を超えればＨＣｌや
ＮｉＣｌ２の溶解度の関係で好ましくない。ここでＮｉ
Ｃ１ｔは共通イオンであるＣＦの増大によって溶解度が
極めて小さくなり晶析する。
つつ濡れ壁等適宜の手段によってＨＣｌと接触し、平均
的温度は１５〜３５℃の常温付近の温度が保たれるよう
にする。ＨＣｌを加圧で吸収させてもよい。１５℃未満
では冷却用動力費が増大し、３５℃を超えればＨＣｌや
ＮｉＣｌ２の溶解度の関係で好ましくない。ここでＮｉ
Ｃ１ｔは共通イオンであるＣＦの増大によって溶解度が
極めて小さくなり晶析する。
ＦｅＣｌｘも同様の傾向を有する。
一方ＦｅＣｌ ｓはクロロ鉄酸錯体ＨＦｅＣｌ，となっ
て溶解度が上るので沈澱しにくくなる。ＦｅＣｌ１はＨ
Ｃｌの吸収方法によってはクロロ鉄酸錯体とする前に溶
解度の関係で沈澱させることもできるが、この場合はＮ
ｉＣ１＊を恐らく共晶として巻き込んで行くので、残存
母液中のＮｉＣ１＊濃度を大幅に下げることもできる。
て溶解度が上るので沈澱しにくくなる。ＦｅＣｌ１はＨ
Ｃｌの吸収方法によってはクロロ鉄酸錯体とする前に溶
解度の関係で沈澱させることもできるが、この場合はＮ
ｉＣ１＊を恐らく共晶として巻き込んで行くので、残存
母液中のＮｉＣ１＊濃度を大幅に下げることもできる。
この際析出させる鉄分の量はニッケル合金の場合沈澱結
晶中のＮｉ／Ｆｅの比が合金中のＮｉ／Ｆｅに等しいか
、若干大きくしておけばＦｅＣｌ５の系内への補給は不
要となり、等しいときは全系内ツバランスが成立する。
晶中のＮｉ／Ｆｅの比が合金中のＮｉ／Ｆｅに等しいか
、若干大きくしておけばＦｅＣｌ５の系内への補給は不
要となり、等しいときは全系内ツバランスが成立する。
晶析器５内で生じたＮｉＣ１，ＦｅＣｌ，場合によって
はＦｅＣｌ１を含む結晶スラリーはポンプｐ−２によっ
てＮｔＣ１ｚ濾過器７へ送られ、そこで固液の分離が行
われる。濾過は任意の装置で行い得るが、温度は晶析温
度付近が好ましい。装置としては遠心分離器や加圧濾過
器等が好適に用いられる。この際発生する恐れのあるＨ
Ｃｌガスは適宜塩酸蒸気ライン８を通して処理される。
はＦｅＣｌ１を含む結晶スラリーはポンプｐ−２によっ
てＮｔＣ１ｚ濾過器７へ送られ、そこで固液の分離が行
われる。濾過は任意の装置で行い得るが、温度は晶析温
度付近が好ましい。装置としては遠心分離器や加圧濾過
器等が好適に用いられる。この際発生する恐れのあるＨ
Ｃｌガスは適宜塩酸蒸気ライン８を通して処理される。
濾過＠＆７で分離された母液は濃厚なＦｅＣｌ，（およ
び／又はＨＦｅＣｌ、）とＨＣｌを主体とする溶液であ
る。これはポンプ蝙 ｐ−３によって脱ＨＣｌ兼ＦｅＣｌ，濃縮ｌ５１０へ供
給され蒸気１１によって加熱されＭＣＩの大部分と水分
が蒸発する。この際減圧蒸発の手段を用いてもよい。
び／又はＨＦｅＣｌ、）とＨＣｌを主体とする溶液であ
る。これはポンプ蝙 ｐ−３によって脱ＨＣｌ兼ＦｅＣｌ，濃縮ｌ５１０へ供
給され蒸気１１によって加熱されＭＣＩの大部分と水分
が蒸発する。この際減圧蒸発の手段を用いてもよい。
このＨＣｌと水の混合物は必要に応じてＨＣｌ濃縮装置
９において、例えばＣａＣ１ｚを用いる抽出蒸留、加圧
蒸留、冷却分縮等適宜の手段を用いて９０〜１００％付
近まで濃度を高めて用いることにより、晶析器５におけ
る吸収効率があがる。一方濃縮器１０内では後述する循
環ＦｅＣｌ５母液と混合され、ＦｅＣｌｚは約７５％前
後の濃度に濃縮される。濃縮温度は常圧で１８０℃程度
、減圧では６０−１２０℃程度の温度が使用される。濃
縮液は配管１５を経てＦｅＣｌ５晶析器１２へ送られる
が、図ではポンプｐ−４によって循環され、ＦｅＣｌ，
晶析用冷却器１３によって冷却されるＦｅＣｌｘスラリ
ーの通る配管１４に供給混合される。晶析器１２の温度
は約３０〜３５℃に保たれ、主としてＦｅＣｌ５・２．
５Ｈ，０の結晶が晶出し、スラリーとなってポンプｐ−
ｓを経てＦｅＣｌ３分離器１７に供給され３０℃以上の
温度で固液分離される。結晶部分は配管１６から送られ
る少量の水又は系内で発生する遊離のＨＣｌを殆ど含有
しない液、例えばＭＣＩを吸収させる前の廃液の少量を
用いて洗浄し、遊離のＨＣｌを結晶から除去する。この
際後者の方法ではＦｅＣｌ５結晶が多少Ｎｉ’Ｃ１ｇで
汚染されるが、量的に少ないので特に問題は生じない。
９において、例えばＣａＣ１ｚを用いる抽出蒸留、加圧
蒸留、冷却分縮等適宜の手段を用いて９０〜１００％付
近まで濃度を高めて用いることにより、晶析器５におけ
る吸収効率があがる。一方濃縮器１０内では後述する循
環ＦｅＣｌ５母液と混合され、ＦｅＣｌｚは約７５％前
後の濃度に濃縮される。濃縮温度は常圧で１８０℃程度
、減圧では６０−１２０℃程度の温度が使用される。濃
縮液は配管１５を経てＦｅＣｌ５晶析器１２へ送られる
が、図ではポンプｐ−４によって循環され、ＦｅＣｌ，
晶析用冷却器１３によって冷却されるＦｅＣｌｘスラリ
ーの通る配管１４に供給混合される。晶析器１２の温度
は約３０〜３５℃に保たれ、主としてＦｅＣｌ５・２．
５Ｈ，０の結晶が晶出し、スラリーとなってポンプｐ−
ｓを経てＦｅＣｌ３分離器１７に供給され３０℃以上の
温度で固液分離される。結晶部分は配管１６から送られ
る少量の水又は系内で発生する遊離のＨＣｌを殆ど含有
しない液、例えばＭＣＩを吸収させる前の廃液の少量を
用いて洗浄し、遊離のＨＣｌを結晶から除去する。この
際後者の方法ではＦｅＣｌ５結晶が多少Ｎｉ’Ｃ１ｇで
汚染されるが、量的に少ないので特に問題は生じない。
ＦｅＣｌ１・２．５Ｈ１０を主とする結晶を分離した母
液はＦｅＣｌ５濃縮器循環液としてポンプｐ−６を経て
濃縮器１０に戻される。
液はＦｅＣｌ５濃縮器循環液としてポンプｐ−６を経て
濃縮器１０に戻される。
本発明で得られるＦｅＣｌ、の結晶は粘着性が少なく、
母液の分離性も良いので遊離ＨＣｌの分離は極めて良好
に行われ、化学的な除去操作は殆ど不用で、必要な場合
でもそのための鉄あるいは酸化鉄等の所要量は極く僅か
である。
母液の分離性も良いので遊離ＨＣｌの分離は極めて良好
に行われ、化学的な除去操作は殆ど不用で、必要な場合
でもそのための鉄あるいは酸化鉄等の所要量は極く僅か
である。
このようにして得られたＦｅＣｌ，・２．５Ｈ，Ｏを主
とする結晶は溶解槽Ｓへ送られてＦｅＣｌ，溶液として
エツチング槽に供給再使用される。
とする結晶は溶解槽Ｓへ送られてＦｅＣｌ，溶液として
エツチング槽に供給再使用される。
図のフローチャートに従って操業を行った結果を以下の
表１に示す。なおここで用いたエツチング廃液は図示し
てない濃縮器で約６０６／’ ＦｅＣｌ＋濃度まで濃縮
したものである。表中の位置番号は図中のそれに対応す
る。
表１に示す。なおここで用いたエツチング廃液は図示し
てない濃縮器で約６０６／’ ＦｅＣｌ＋濃度まで濃縮
したものである。表中の位置番号は図中のそれに対応す
る。
（以下余白）
〔発明の効果〕
本発明は特に今後盤々増加する傾向にある高細精度のＣ
ＲＴのシャドウマスク用のニッケル合金のエツチング廃
液の再生回収に有効であって、各種結晶の晶出温度が高
いので、エネルギー的に有利であり、回収ＦｅＣｌ ｓ
中の遊離ＨＣｌの除去も容易であるから産業上極めて優
れた方法である。
ＲＴのシャドウマスク用のニッケル合金のエツチング廃
液の再生回収に有効であって、各種結晶の晶出温度が高
いので、エネルギー的に有利であり、回収ＦｅＣｌ ｓ
中の遊離ＨＣｌの除去も容易であるから産業上極めて優
れた方法である。
第１図は本発明の実施態様の一つを示すフローチャート
である。 １．２．３・・・・・配管 ４・・・・・冷却器５
・・・・・ＮｉＣ１１晶析器 ６・・・・・配管７・
・・・・ＮｉＣｌ２濾過５８・・・・・塩酸蒸気ライン
９・・・・・ＨＣｌ濃縮装置 １０・・・・・脱ＨＣｌ
兼ＦｅＣｌ５濃縮器１１・・・・・スチーム １２
・・・・・ＦｅＣｌ，晶析器１３・・・・・ＦｅＣｌ５
晶析用冷却器１４、１５．１６・・・・・配管 １７
・・・・・ＦｅＣｌ，分離器ｐ−１，２，３，４，５，
６・・・・・ポンプＥ・・・・・エツチング槽 Ｏ・・
・・・酸化槽Ｓ・・・・・溶解槽
である。 １．２．３・・・・・配管 ４・・・・・冷却器５
・・・・・ＮｉＣ１１晶析器 ６・・・・・配管７・
・・・・ＮｉＣｌ２濾過５８・・・・・塩酸蒸気ライン
９・・・・・ＨＣｌ濃縮装置 １０・・・・・脱ＨＣｌ
兼ＦｅＣｌ５濃縮器１１・・・・・スチーム １２
・・・・・ＦｅＣｌ，晶析器１３・・・・・ＦｅＣｌ５
晶析用冷却器１４、１５．１６・・・・・配管 １７
・・・・・ＦｅＣｌ，分離器ｐ−１，２，３，４，５，
６・・・・・ポンプＥ・・・・・エツチング槽 Ｏ・・
・・・酸化槽Ｓ・・・・・溶解槽
Claims (1)
- （１）ＦｅＣｌ＿３，の水溶液を用いるニッケル又はニ
ッケル合金のエッチング工程から排出されるＮｉＣｌ＿
２，ＦｅＣｌ＿３，あるいはさらにＦｅＣｌ＿２を含む
廃液にＨＣｌガスを吸収させ、溶解度の差によりＮｉＣ
ｌ＿２を晶析分離し、ＦｅＣｌ＿３とＨＣｌを回収して
再使用することを含むエッチング廃液の再生処理方法に
おいて、 （ａ）該エッチング廃液をそのまま、あるいは濃縮し、
ＨＣｌ含有ガスと接触させてＨＣｌを吸収させ、ＮｉＣ
ｌ＿２の大部分とＦｅＣｌ＿２および／又はＦｅＣｌ＿
３の一部を１５〜３５℃において同時に晶出分離し、Ｆ
ｅＣｌ＿３の大部分は塩酸溶液として回収する工程と、 （ｂ）上記ＦｅＣｌ＿３の塩酸溶液を濃縮器で循環Ｆｅ
Ｃｌ＿３溶液と混合しながら加熱もしくは減圧加熱して
濃縮し、ＨＣｌと水分の少なくとも一部を留去すると共
に、濃縮液の一部を抜出し、晶出装置においてＦｅＣｌ
＿３・２．５Ｈ＿２Ｏを主とする結晶と、ＦｅＣｌ＿３
溶液とに折離せしめてそれぞれ分離し、母液は前記循環
ＦｅＣｌ＿３溶液として濃縮器に循環し、ＦｅＣｌ＿３
結晶は必要に応じて水又は系内の遊離ＨＣｌを殆ど含ま
ない溶液で洗浄した後、エッチング工程へ戻す工程と、 （ｃ）前工程で留去されたＨＣｌと水の混合物から水分
を分離してＨＣｌを濃縮し、（ａ）工程に戻す工程の少
なくとも三工程を含むＦｅＣｌ＿３液の再生方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2100511A JP2714594B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | ＦｅＣｌ▲下３▼液の再生方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2100511A JP2714594B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | ＦｅＣｌ▲下３▼液の再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042792A true JPH042792A (ja) | 1992-01-07 |
| JP2714594B2 JP2714594B2 (ja) | 1998-02-16 |
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ID=14275977
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2100511A Expired - Fee Related JP2714594B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | ＦｅＣｌ▲下３▼液の再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2714594B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5718874A (en) * | 1996-12-19 | 1998-02-17 | Thomson Consumer Electronics, Inc. | Solvent extraction method of separating ferric chloride from nickel chloride |
| WO2006028303A1 (en) * | 2004-09-08 | 2006-03-16 | Sam Do Chemical Co., Ltd | Method for recovery of nikel and regeneration of etching solution from a spent fecl3 etching solution |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222087A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-30 | Osaka Soda Co Ltd | エツチング廃液の再生方法 |
| JPH01108999A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Tosoh Corp | 核酸塩基配列における突然変異の検出法 |
| JPH01317128A (ja) * | 1988-04-29 | 1989-12-21 | Soc Atochem | 希塩酸から塩化第二鉄を製造する方法 |
| JPH03291388A (ja) * | 1990-04-10 | 1991-12-20 | Nittetsu Kakoki Kk | エッチング廃液処理方法 |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP2100511A patent/JP2714594B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222087A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-30 | Osaka Soda Co Ltd | エツチング廃液の再生方法 |
| JPH01108999A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Tosoh Corp | 核酸塩基配列における突然変異の検出法 |
| JPH01317128A (ja) * | 1988-04-29 | 1989-12-21 | Soc Atochem | 希塩酸から塩化第二鉄を製造する方法 |
| JPH03291388A (ja) * | 1990-04-10 | 1991-12-20 | Nittetsu Kakoki Kk | エッチング廃液処理方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5718874A (en) * | 1996-12-19 | 1998-02-17 | Thomson Consumer Electronics, Inc. | Solvent extraction method of separating ferric chloride from nickel chloride |
| WO2006028303A1 (en) * | 2004-09-08 | 2006-03-16 | Sam Do Chemical Co., Ltd | Method for recovery of nikel and regeneration of etching solution from a spent fecl3 etching solution |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2714594B2 (ja) | 1998-02-16 |
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