JPH04280632A - ベーパ乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、有機溶剤のベーパを利
用して乾燥および洗浄を行うベーパ乾燥技術、特に、ベ
ーパ（蒸気）発生技術に関し、例えば、半導体装置の製
造において、水洗い後のウエハを乾燥させる技術に利用
して有効なものに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、水洗い
後のウエハを乾燥する装置として、ベーパ槽の底部にイ
ソ・プロピル・アルコール等のような有機溶剤を貯留し
、この有機溶剤を加熱してベーパを発生させ、複数枚の
ウエハを治具で保持した状態でこのベーパ雰囲気中に浸
漬し、ウエハとベーパとの温度差によって水とベーパ滴
である有機溶剤とを置換させ、その後の有機溶剤の蒸発
によってウエハを乾燥させるように構成されているベー
パ乾燥装置がある。

【０００３】なお、ベーパ乾燥装置を述べてある例とし
ては、特開昭５６−１６８０７２号公報および実開昭５
９−１３８２３２号公報、がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このようなベーパ乾燥
装置においては、有機溶剤が煮沸されることにより、ベ
ーパが発生されるため、ベーパの供給量が不安定であり
、また、有機溶剤が加熱されて使用されるため、安全性
に問題がある。

【０００５】本発明の目的は、ベーパを安定かつ安全に
供給することができるベーパ乾燥装置を提供することに
ある。

【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００８】すなわち、有機溶剤のベーパが満たされる
ベーパ槽と、ベーパ槽に有機溶剤のベーパを供給するベ
ーパ供給手段と、被処理物をベーパ槽に対して搬入搬出
する搬送手段とを備えているベーパ乾燥装置において、
前記ベーパ供給手段が有機溶剤に振動エネルギーを付勢
することにより、有機溶剤のベーパを発生させて供給す
るように構成されていることを特徴とする。

【０００９】

【作用】前記した手段によれば、有機溶剤のベーパが振
動エネルギーの付勢によって発生されるため、ベーパの
供給量は所望に応じて安定的に確保されることになる。 また、有機溶剤は加熱されないため、加熱される場合に
比べて安全性が向上されることになる。

【００１０】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるベーパ乾燥装
置を示す縦断面図である。

【００１１】本実施例において、本発明に係るベーパ乾
燥装置は、半導体装置の製造工程にあって水洗い後のウ
エハを乾燥するものとして構成されており、このベーパ
乾燥装置１はステンレスや石英ガラス等を用いられて略
箱形状に形成されているベーパ槽２を備えている。この
ベーパ槽２の上部には被処理物保持治具としてのカート
リッジ１１を出し入れするための出入口３が開設されて
おり、この出入口３付近の内周面には冷却水を循環させ
るためのコイル状の冷却パイプ４が敷設されている。

【００１２】このベーパ槽２の底部には、例えば、イソ
・プロピル・アルコール（ＩＰＡ）、トリクレンあるい
はメタノール・アルコール等の有機溶剤５が貯留されて
おり、この有機溶剤５は給液路７を通してベーパ槽２に
供給されるようになっている。ベーパ槽２の下にはベー
パ供給手段としての振動エネルギー付勢装置１３が設備
されている。この振動エネルギー付勢装置１３は振動子
１４を複数個備えており、振動子１４によってベーパ槽
２の底部に貯留された有機溶剤５に対して振動エネルギ
ー１５を付勢することにより、有機溶剤５からベーパ６
を発生させてベーパ槽２内に直接的に供給するように構
成されている。

【００１５】次に作用を説明する。ベーパ槽２の底部に
貯留されている有機溶剤５の液体は振動エネルギー付勢
装置１３の振動子１４によって振動エネルギー１５を付
勢されることにより、ベーパ６になる。ベーパ６はトレ
ー８を通過して上昇するため、ベーパ槽２内は完全にベ
ーパ雰囲気になる。

【００１６】そして、ベーパ槽２内が完全なベーパ雰囲
気になると、被処理物としてのウエハ１０が被処理物保
持治具としてのカートリッジ１１に保持された状態で、
ベーパ槽２内へ出入口３から搬送装置１２により搬入さ
れる。ウエハ１０が複数枚（通常、２５枚程度）収容さ
れたカートリッジ１１はベーパ槽２内における所定位置
に吊り下げられる。

【００１７】投入時、ウエハ１０およびカートリッジ１
１は前段工程で水洗いされているため、水により湿潤し
た状態になっているとともに、低温状態になっている。

【００１８】このように低温状態になったウエハ１０お
よびカートリッジ１１がベーパ雰囲気中に浸漬されると
、それらの表面においてベーパ６が結露して付着する。 結露した有機溶剤５はウエハ１０およびカートリッジ１
１の表面を湿潤している水分と次第に置き換わって行き
、ウエハ１０およびカートリッジ１１の表面温度がベー
パ温度と同等になった時点で置換が終了する。

【００１９】一方、有機溶剤と置換した水分は表面に残
った異物と共に表面を流下してベーパ槽２内の底部に貯
留された有機溶剤５中に滴下する。

【００２０】置換が終了した時点で、カートリッジ１１
は搬送装置１２によりベーパ槽２から引き上げられる。 このとき、カートリッジ１１およびウエハ１０はベーパ
雰囲気で加熱されて昇温しているため、これらの表面に
滴になって付着している有機溶剤５は温度を奪いながら
気化することになる。有機溶剤５が気化しきると、カー
トリッジ１１およびウエハ１０は乾燥することになる。 気化した有機溶剤５はベーパ槽２上のベンチレータ（図
示せず）により吸引されて他所へ拡散するのを防止され
る。

【００２１】前記実施例によれば次の効果が得られる。 ■　　有機溶剤に振動エネルギーを付勢することによっ
てベーパを発生させてベーパ槽に供給するように構成す
ることにより、ベーパの供給量を所望に応じて安定させ
ることができるため、常に最適の乾燥作用を維持するこ
とができる。

【００２２】■　　前記■により、ベーパの供給量を増
加させてもウエハのベーパ乾燥作用を最適に維持するこ
とができるため、生産能力を増強させることができると
ともに、省エネルギーを実現させることができる。

【００２３】■　　有機溶剤に振動エネルギーを付勢す
ることによってベーパを発生させてベーパ槽に供給する
ように構成することにより、有機溶剤を加熱しなくて済
むため、有機溶剤を加熱する場合に比べて安全性を高め
ることができる。

【００２４】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００２５】例えば、前記実施例１に加えて、図２に示
されている実施例２の如く、ベーパ槽２の下に設備した
ヒータ１６によって有機溶剤５およびベーパ６を加熱す
るように構成してもよい。

【００２６】また、図３に示されている実施例３の如く
、ベーパ槽２とは別のベーパ供給槽１７において振動エ
ネルギー付勢装置１３によって発生されたベーパ６をベ
ーパ槽２に供給するように構成してもよい。

【００２７】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
のベーパ乾燥装置に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、ホトマスクや光学レン
ズ等についてのベーパ乾燥装置全般に適用することがで
きる。

【００２８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００２９】有機溶剤に振動エネルギーを付勢すること
によってベーパを発生させてベーパ槽に供給するように
構成することにより、ベーパの供給量を所望に応じて安
定させることができるため、常に最適の乾燥を作用を維
持することができる。ベーパの供給量を増加させても被
処理物についてのベーパ乾燥を最適に維持することがで
きるため、生産能力を増強させることができるとともに
、省エネルギーを実現させることができる。さらに、有
機溶剤に振動エネルギーを付勢することによってベーパ
を発生させてベーパ槽に供給するように構成することに
より、有機溶剤を加熱しなくて済むため、有機溶剤を加
熱する場合に比べて安全性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるベーパ乾燥装置を示す
縦断面図である。

【図２】本発明の実施例２であるベーパ乾燥装置を示す
縦断面図である。

【図３】本発明の実施例３であるベーパ乾燥装置を示す
縦断面図である。

【符号の説明】

１…ベーパ乾燥装置、２…ベーパ槽、３…出入口、５…
有機溶剤（液体）、６…ベーパ、７…給液路、８…トレ
ー、９…排液路、１０…ウエハ（被処理物）、１１…カ
ートリッジ、１２…搬送装置、１３…振動エネルギー付
勢装置（ベーパ供給手段）、１４…振動子、１５…振動
エネルギー、１６…ヒータ、１７…ベーパ発生槽。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　有機溶剤のベーパが満たされるベーパ
   槽と、ベーパ槽に有機溶剤のベーパを供給するベーパ供
   給手段と、被処理物をベーパ槽に対して搬入搬出する搬
   送手段とを備えているベーパ乾燥装置において、前記ベ
   ーパ供給手段が有機溶剤に振動エネルギーを付勢するこ
   とにより、有機溶剤のベーパを発生させて供給するよう
   に構成されていることを特徴とするベーパ乾燥装置。
2. 【請求項２】　　前記ベーパ供給手段が、前記ベーパ槽
   の底部に設備されており、このベーパ槽に貯留された有
   機溶剤に振動エネルギーを付勢することにより、有機溶
   剤のベーパを発生させて、ベーパ槽内に直接的に供給す
   るように構成されていることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のベーパ乾燥装置。
3. 【請求項３】　　前記ベーパ供給手段が、前記ベーパ槽
   とは別の場所に設備されており、別の場所で発生させた
   ベーパをベーパ槽に供給するように構成されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のベーパ乾燥装
   置。