JPH04285809A - 粗さ測定機及びその方法 - Google Patents
粗さ測定機及びその方法Info
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- JPH04285809A JPH04285809A JP4984891A JP4984891A JPH04285809A JP H04285809 A JPH04285809 A JP H04285809A JP 4984891 A JP4984891 A JP 4984891A JP 4984891 A JP4984891 A JP 4984891A JP H04285809 A JPH04285809 A JP H04285809A
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- air
- carriage
- roughness measuring
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- Pending
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- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims abstract description 17
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
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- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は粗さ測定機及びその方法
に係り、特に被測定物の表面に沿って移動したスタイラ
スの変位で被測定物の表面粗さを測定する粗さ測定部を
３軸方向に移動可能な手段を備えた粗さ測定機及びその
方法に関する。
に係り、特に被測定物の表面に沿って移動したスタイラ
スの変位で被測定物の表面粗さを測定する粗さ測定部を
３軸方向に移動可能な手段を備えた粗さ測定機及びその
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリンダブロック等の大型被測定物の形
状を測定する場合３次元位置決め手段を備えた粗さ測定
機が使用されている。この粗さ測定機の測定方法は、先
ずＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に移動可能なＸキャリ
ッジ、Ｙキャリッジ、Ｚキャリッジのエアベアリングに
エアを供給した後、Ｘキャリッジ、Ｙキャリッジ、Ｚキ
ャリッジを移動してＺキャリッジの下端部に設けられて
いる粗さ測定部のスタイラスを被測定物に接触する。次
に粗さ測定機の駆動部を作動してスタイラスを被測定物
に沿って移動して被測定物の形状を測定する。
状を測定する場合３次元位置決め手段を備えた粗さ測定
機が使用されている。この粗さ測定機の測定方法は、先
ずＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に移動可能なＸキャリ
ッジ、Ｙキャリッジ、Ｚキャリッジのエアベアリングに
エアを供給した後、Ｘキャリッジ、Ｙキャリッジ、Ｚキ
ャリッジを移動してＺキャリッジの下端部に設けられて
いる粗さ測定部のスタイラスを被測定物に接触する。次
に粗さ測定機の駆動部を作動してスタイラスを被測定物
に沿って移動して被測定物の形状を測定する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エアベ
アリングは摺動面にエアが吹き出されて摺動面とエアベ
アリング面とを被接触状態にしてベアリングとしての機
能をもたせるので、エアベアリングにはエアの吹き出し
による微細な振動が発生している。このためＸ、Ｙ、Ｚ
キャリッジが停止している時でもＸ、Ｙ、Ｚキャリッジ
にはエアベアリングの微細な振動が伝達されている。従
ってスタイラスを所定位置に配置した後Ｘ、Ｙ、Ｚキャ
リッジを停止してスタイラスで被測定物の表面形状を測
定する場合、Ｘ、Ｙ、Ｚキャリッジの微細振動がスタイ
ラスに伝達されて被測定物の形状を正確に測定すること
ができないという問題がある。
アリングは摺動面にエアが吹き出されて摺動面とエアベ
アリング面とを被接触状態にしてベアリングとしての機
能をもたせるので、エアベアリングにはエアの吹き出し
による微細な振動が発生している。このためＸ、Ｙ、Ｚ
キャリッジが停止している時でもＸ、Ｙ、Ｚキャリッジ
にはエアベアリングの微細な振動が伝達されている。従
ってスタイラスを所定位置に配置した後Ｘ、Ｙ、Ｚキャ
リッジを停止してスタイラスで被測定物の表面形状を測
定する場合、Ｘ、Ｙ、Ｚキャリッジの微細振動がスタイ
ラスに伝達されて被測定物の形状を正確に測定すること
ができないという問題がある。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みて成された
もので、被測定物の形状を正確に測定することができる
粗さ測定機及びその方法を提供することを目的とする。
もので、被測定物の形状を正確に測定することができる
粗さ測定機及びその方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、テーブルと、テーブル上にＹ軸方向にエアベ
アリングを介して摺動自在に支持された門型のＹキャリ
ッジと、ＹキャリッジにＸ軸方向にエアベアリングを介
して摺動自在に支持されたＸキャリッジと、Ｘキャリッ
ジにＺ軸方向にエアベアリングを介して摺動自在に支持
されたＺキャリッジと、Ｚキャリッジの先端に設けられ
た粗さ計測部と、を有して成る粗さ計測機において、前
記夫々のエアベアリングに「ＯＮ」、「ＯＦＦ」の切換
可能な切換弁を介して空気供給源が連通されたことを特
徴とする。
する為に、テーブルと、テーブル上にＹ軸方向にエアベ
アリングを介して摺動自在に支持された門型のＹキャリ
ッジと、ＹキャリッジにＸ軸方向にエアベアリングを介
して摺動自在に支持されたＸキャリッジと、Ｘキャリッ
ジにＺ軸方向にエアベアリングを介して摺動自在に支持
されたＺキャリッジと、Ｚキャリッジの先端に設けられ
た粗さ計測部と、を有して成る粗さ計測機において、前
記夫々のエアベアリングに「ＯＮ」、「ＯＦＦ」の切換
可能な切換弁を介して空気供給源が連通されたことを特
徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によれば、Ｘ、Ｙ及びＺキャリッジに設
けられている夫々のエアベアリングに切換弁を介して空
気供給源が連通されているので、切換弁を操作して各エ
アベアリングにエアを供給する場合と、供給しない場合
とを選択することができる。従って、被測定物の測定時
に各エアベアリングにエアを供給しないようにすると各
エアベアリングに微細振動が発生しないので、Ｘ、Ｙ、
Ｚキャリッジを介してスタイラスに微細振動が伝達する
ことを防止することができる。
けられている夫々のエアベアリングに切換弁を介して空
気供給源が連通されているので、切換弁を操作して各エ
アベアリングにエアを供給する場合と、供給しない場合
とを選択することができる。従って、被測定物の測定時
に各エアベアリングにエアを供給しないようにすると各
エアベアリングに微細振動が発生しないので、Ｘ、Ｙ、
Ｚキャリッジを介してスタイラスに微細振動が伝達する
ことを防止することができる。
【０００７】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る粗さ測定
機及びその方法の好ましい実施例について説明する。図
１に示すように粗さ測定機１０は３次元位置決め部１２
及び粗さ測定部１４を備えていて、３次元位置決め部１
２のテーブル１６は除振台１８、１８、１８を介して架
台２０に載置されている。除振台１８、１８、１８は図
２に示すようにテーブル１６の前側（即ち作業者が位置
する側）の両端部に２個、テーブル１６の後側の中央部
に１個設けられている。この除振台１８はピストンとシ
リンダとから構成されていて、ピストンとシリンダとで
形成される空間には図３に示す電磁バルブ２０を介して
エア供給源２２が連通されている。
機及びその方法の好ましい実施例について説明する。図
１に示すように粗さ測定機１０は３次元位置決め部１２
及び粗さ測定部１４を備えていて、３次元位置決め部１
２のテーブル１６は除振台１８、１８、１８を介して架
台２０に載置されている。除振台１８、１８、１８は図
２に示すようにテーブル１６の前側（即ち作業者が位置
する側）の両端部に２個、テーブル１６の後側の中央部
に１個設けられている。この除振台１８はピストンとシ
リンダとから構成されていて、ピストンとシリンダとで
形成される空間には図３に示す電磁バルブ２０を介して
エア供給源２２が連通されている。
【０００８】また、図１に示すようにテーブル１６には
Ｙキャリッジ２４の脚部２４Ａ、２４Ａがエアベアリン
グ２６、２６、２６、２６を介して立脚されていると共
にＹ軸方向（図１上で紙面に直交する方向）に摺動自在
に設けられている。Ｙキャリッジ２４は略門型に形成さ
れ、その梁部２４Ｂ（すなわちＸ方向ガイド部）には図
４に示すようにエアベアリング２８、２８、２８を介し
てＸキャリッジ３０がＸ方向ガイド部２４Ｂ（すなわち
Ｘ軸方向）に沿って摺動自在に設けられている。さらに
Ｙキャリッジ２４及びＸキャリッジ３０にはエアベアリ
ング３２、３２、３２、３２を介してＺキャリッジ３４
がＺ軸方向に摺動自在に設けられている。これらのエア
ベアリング２６、２８、３２には図３に示す電磁バルブ
３６を介してエア供給源２２が連通されている。電磁バ
ルブ３６は「ＯＮ」、「ＯＦＦ」の切換操作ができるの
で、電磁バルブ３６の操作でエアベアリング２６、２８
、３２にエアを供給する場合と供給しない場合とを選択
することができる。
Ｙキャリッジ２４の脚部２４Ａ、２４Ａがエアベアリン
グ２６、２６、２６、２６を介して立脚されていると共
にＹ軸方向（図１上で紙面に直交する方向）に摺動自在
に設けられている。Ｙキャリッジ２４は略門型に形成さ
れ、その梁部２４Ｂ（すなわちＸ方向ガイド部）には図
４に示すようにエアベアリング２８、２８、２８を介し
てＸキャリッジ３０がＸ方向ガイド部２４Ｂ（すなわち
Ｘ軸方向）に沿って摺動自在に設けられている。さらに
Ｙキャリッジ２４及びＸキャリッジ３０にはエアベアリ
ング３２、３２、３２、３２を介してＺキャリッジ３４
がＺ軸方向に摺動自在に設けられている。これらのエア
ベアリング２６、２８、３２には図３に示す電磁バルブ
３６を介してエア供給源２２が連通されている。電磁バ
ルブ３６は「ＯＮ」、「ＯＦＦ」の切換操作ができるの
で、電磁バルブ３６の操作でエアベアリング２６、２８
、３２にエアを供給する場合と供給しない場合とを選択
することができる。
【０００９】図４に示すようにＺキャリッジ３４の下端
部には粗さ測定部１４が設けられている。粗さ測定部１
４は主に検出手段４０と駆動手段４２とから成り、検出
手段４０はスタイラス４４の変位を検出器で電気信号に
変換する。そして電気信号に変換されたスタイラス４４
の変位は演算部（図示せず。）に送られ、演算部で被測
定物の表面粗さを算出する。また駆動手段４２はスタイ
ラス４４をＹ−Ｙ方向に移動する。
部には粗さ測定部１４が設けられている。粗さ測定部１
４は主に検出手段４０と駆動手段４２とから成り、検出
手段４０はスタイラス４４の変位を検出器で電気信号に
変換する。そして電気信号に変換されたスタイラス４４
の変位は演算部（図示せず。）に送られ、演算部で被測
定物の表面粗さを算出する。また駆動手段４２はスタイ
ラス４４をＹ−Ｙ方向に移動する。
【００１０】前記の如く構成された粗さ測定機の作用に
ついて説明する。先ず電磁バルブ２０と電磁バルブ３６
とを操作してエア供給源２２から除振台１８とエアベア
リング２６、２８、３２とにエアを供給する。次にＸ、
Ｙ及びＺキャリッジ２４、３０、３４を移動して粗さ測
定部１４のスタイラス４４を所定位置（すなわちスタイ
ラス４４が被測定物５０に接触した位置）に配置する。 次いで電磁バルブ３６とを操作してエア供給源２２から
エアベアリング２６、２８、３２へのエア供給を停止す
る。エア供給の停止後粗さ測定部１４の駆動手段４２を
作動してスタイラス４４を被測定物５０に沿って移動し
、被測定物５０の形状を測定する。
ついて説明する。先ず電磁バルブ２０と電磁バルブ３６
とを操作してエア供給源２２から除振台１８とエアベア
リング２６、２８、３２とにエアを供給する。次にＸ、
Ｙ及びＺキャリッジ２４、３０、３４を移動して粗さ測
定部１４のスタイラス４４を所定位置（すなわちスタイ
ラス４４が被測定物５０に接触した位置）に配置する。 次いで電磁バルブ３６とを操作してエア供給源２２から
エアベアリング２６、２８、３２へのエア供給を停止す
る。エア供給の停止後粗さ測定部１４の駆動手段４２を
作動してスタイラス４４を被測定物５０に沿って移動し
、被測定物５０の形状を測定する。
【００１１】前記実施例ではテーブル１６を除振台１８
を介して架台２０に載置したが、これに限らず、テーブ
ル１６を除振台１８を介さずに直接架台２０に載置して
もよい。
を介して架台２０に載置したが、これに限らず、テーブ
ル１６を除振台１８を介さずに直接架台２０に載置して
もよい。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る粗さ
測定機及びその方法によれば、切換弁を操作して各エア
ベアリングにエアを供給する場合と、供給しない場合と
に選択することができるので、測定時に各エアベアリン
グにエアを供給しないようにしてＸ、Ｙ、Ｚキャリッジ
の微細振動の発生を防止することができる。従って、ス
タイラスに微細振動が伝達することを防止することがで
きるので、被測定物の形状を正確に測定することができ
る。
測定機及びその方法によれば、切換弁を操作して各エア
ベアリングにエアを供給する場合と、供給しない場合と
に選択することができるので、測定時に各エアベアリン
グにエアを供給しないようにしてＸ、Ｙ、Ｚキャリッジ
の微細振動の発生を防止することができる。従って、ス
タイラスに微細振動が伝達することを防止することがで
きるので、被測定物の形状を正確に測定することができ
る。
【図１】本発明に係る粗さ測定機を示した正面図である
。
。
【図２】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】本発明に係る粗さ測定機のブロック図である。
【図４】図１のＡ−Ａ断面図である。
１０…粗さ測定機
１４…粗さ測定部
１６…テーブル
１８…除振台
２２…エア供給源
２４…Ｙキャリッジ
２４Ａ…脚部
２４Ｂ…梁部
２６、２８、３２…エアベアリング
３０…Ｘキャリッジ
３４…Ｚキャリッジ
３６…電磁バルブ
４４…スタイラス
５０…被測定物
Claims (4)
- 【請求項１】 テーブルと、テーブル上にＹ軸方向に
エアベアリングを介して摺動自在に支持された門型のＹ
キャリッジと、ＹキャリッジにＸ軸方向にエアベアリン
グを介して摺動自在に支持されたＸキャリッジと、Ｘキ
ャリッジにＺ軸方向にエアベアリングを介して摺動自在
に支持されたＺキャリッジと、Ｚキャリッジの先端に設
けられた粗さ計測部と、を有して成る粗さ計測機におい
て、前記夫々のエアベアリングに「ＯＮ」、「ＯＦＦ」
の切換可能な切換弁を介して空気供給源が連通されたこ
とを特徴とする粗さ測定機。 - 【請求項２】 前記テーブルは除振台に載置されてい
ることを特徴とする請求項１記載の粗さ測定機。 - 【請求項３】 テーブルと、テーブル上にＹ軸方向に
エアベアリングを介して摺動自在に支持された門型のＹ
キャリッジと、ＹキャリッジにＸ軸方向にエアベアリン
グを介して摺動自在に支持されたＸキャリッジと、Ｘキ
ャリッジにＺ軸方向にエアベアリングを介して摺動自在
に支持されたＺキャリッジと、Ｚキャリッジの先端に設
けられた粗さ計測部と、を有して成る粗さ計測機の夫々
のエアベアリングにエアを供給し、前記Ｘ、Ｙ、Ｚキャ
リッジをそれぞれＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動して前記粗さ
計測部のスタイラスを測定物の被測定箇所に接触し、前
記夫々のエアベアリングへのエア供給を停止し、前記粗
さ計測部の駆動手段でスタイラスを前記被測定物に沿っ
て移動して該被測定物の表面形状を測定することを特徴
とする粗さ測定方法。 - 【請求項４】 前記テーブルは除振台に載置されてい
ることを特徴とする請求項１記載の粗さ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4984891A JPH04285809A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 粗さ測定機及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4984891A JPH04285809A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 粗さ測定機及びその方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04285809A true JPH04285809A (ja) | 1992-10-09 |
Family
ID=12842483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4984891A Pending JPH04285809A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 粗さ測定機及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04285809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0716107U (ja) * | 1993-08-25 | 1995-03-17 | 株式会社東京精密 | 三次元表面粗さ・輪郭形状測定機 |
| TWI463125B (zh) * | 2011-12-23 | 2014-12-01 | Stone & Resource Ind R & D Ct | Membrane Rigidity Testing Platform for Air Floating Plane Bearing and Its Application |
-
1991
- 1991-03-14 JP JP4984891A patent/JPH04285809A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0716107U (ja) * | 1993-08-25 | 1995-03-17 | 株式会社東京精密 | 三次元表面粗さ・輪郭形状測定機 |
| TWI463125B (zh) * | 2011-12-23 | 2014-12-01 | Stone & Resource Ind R & D Ct | Membrane Rigidity Testing Platform for Air Floating Plane Bearing and Its Application |
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