JPH04306891A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH04306891A JPH04306891A JP7073291A JP7073291A JPH04306891A JP H04306891 A JPH04306891 A JP H04306891A JP 7073291 A JP7073291 A JP 7073291A JP 7073291 A JP7073291 A JP 7073291A JP H04306891 A JPH04306891 A JP H04306891A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectrics
- dielectric
- discharge electrode
- discharge
- laser oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［発明の目的］
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高周波電圧を放電電極
間に印加してレーザ光を発振させるガスレーザ発振器に
関する。
間に印加してレーザ光を発振させるガスレーザ発振器に
関する。
【０００２】
【従来の技術】高周波電源を用いた従来のガスレーザ発
振器の一例を図３に示した。外部風洞１内には、内部が
外気に通じた断面Ｕ型のステンレス製またはアルミニウ
ム製の内部風洞２が設けられている。
振器の一例を図３に示した。外部風洞１内には、内部が
外気に通じた断面Ｕ型のステンレス製またはアルミニウ
ム製の内部風洞２が設けられている。
【０００３】また、外部風洞１の上部中央にはセラミッ
クなどから成る第１の誘電体３ａが気密に取付けられ、
同様に前記内部風洞２の上部には、前記１の誘電体３ａ
と対向する位置に第２の誘電体３ｂが取付けられている
。そして、この第２の誘電体３ｂによって前記断面Ｕ型
の内部風洞２の開口部が閉じられている。さらに、前記
第１の誘電体３ａの中央上面には第１の放電電極４ａが
、また、前記第２の誘電体３ｂの中央下面には第２の放
電電極４ｂが取付けられている。また、前記第１の放電
電極４ａは高周波電源５の片側に接続され、第２の放電
電極４ｂは接地された高周波電源の他側に接続されてい
る。そして、前記誘電体３ａ，３ｂの内面間で放電させ
て、紙面垂直方向にレーザ光６を発生させている。
クなどから成る第１の誘電体３ａが気密に取付けられ、
同様に前記内部風洞２の上部には、前記１の誘電体３ａ
と対向する位置に第２の誘電体３ｂが取付けられている
。そして、この第２の誘電体３ｂによって前記断面Ｕ型
の内部風洞２の開口部が閉じられている。さらに、前記
第１の誘電体３ａの中央上面には第１の放電電極４ａが
、また、前記第２の誘電体３ｂの中央下面には第２の放
電電極４ｂが取付けられている。また、前記第１の放電
電極４ａは高周波電源５の片側に接続され、第２の放電
電極４ｂは接地された高周波電源の他側に接続されてい
る。そして、前記誘電体３ａ，３ｂの内面間で放電させ
て、紙面垂直方向にレーザ光６を発生させている。
【０００４】なお、前記外部風洞１と内部風洞２の間に
は、約６０ｔｏｒｒの圧力で封入されたレーザガスが風
洞の内部に配設された送風機７によって矢印Ａのように
図中時計方向に循環され、冷却器（図示せず）によって
冷却されている。
は、約６０ｔｏｒｒの圧力で封入されたレーザガスが風
洞の内部に配設された送風機７によって矢印Ａのように
図中時計方向に循環され、冷却器（図示せず）によって
冷却されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のガスレ
ーザ発振器において、大容量化を図るために放電部を大
型化すると、放電電極間のデッドスペースがあるので、
装置自体が大型化してしまい、市場のニーズである小型
化に対応できず、極めて致命的な問題となっている。
ーザ発振器において、大容量化を図るために放電部を大
型化すると、放電電極間のデッドスペースがあるので、
装置自体が大型化してしまい、市場のニーズである小型
化に対応できず、極めて致命的な問題となっている。
【０００６】そこで、本発明のガスレーザ発振器は、上
記問題点に鑑み、放電部の大型化に対しても放電電極間
のデッドスペースを有効に活用し、装置自体を大型化さ
せることなく、市場ニーズに対応したガスレーザ発振器
を提供することを目的とする。 ［発明の構成］
記問題点に鑑み、放電部の大型化に対しても放電電極間
のデッドスペースを有効に活用し、装置自体を大型化さ
せることなく、市場ニーズに対応したガスレーザ発振器
を提供することを目的とする。 ［発明の構成］
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のガスレーザ発振器は、所定部位に金属を溶
射して形成された放電電極を有する対向配置された誘電
体と、前記放電電極に高周波電圧を印加する高周波電源
と、前記対向配置された誘電体の間隙にレーザ媒質を送
風する送風手段と、複数のミラーを組合せて構成された
共振手段とを備え、前記対向配置された誘電体を複数段
積層することを特徴とするものである。
に、本発明のガスレーザ発振器は、所定部位に金属を溶
射して形成された放電電極を有する対向配置された誘電
体と、前記放電電極に高周波電圧を印加する高周波電源
と、前記対向配置された誘電体の間隙にレーザ媒質を送
風する送風手段と、複数のミラーを組合せて構成された
共振手段とを備え、前記対向配置された誘電体を複数段
積層することを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】このように構成された本発明のガスレーザ発振
器においては、金属を溶射して形成された放電電極を有
する平板状の誘電体を複数段積層するように構成したの
で、従来存在していた放電電極間のデッドスペースが存
在せず装置の小型化が図れる。
器においては、金属を溶射して形成された放電電極を有
する平板状の誘電体を複数段積層するように構成したの
で、従来存在していた放電電極間のデッドスペースが存
在せず装置の小型化が図れる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。
する。
【００１０】図１に示すように、本実施例のガスレーザ
発振器は両端部を折曲げ、断面形状をＵ形とした平板状
の誘電体１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１
３ｂ，１４ａ，１４ｂが長手方向に二分割され、さらに
二段に積層されている。また、誘電体１１ａと１１ｂ，
１２ａと１２ｂ，１３ａと１３ｂ，１４ａと１４ｂとは
各々対向するように設けられ、その対向面の裏面には各
々金属を溶射して形成された放電電極１５ａ，１５ｂ，
１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂを有
している。
発振器は両端部を折曲げ、断面形状をＵ形とした平板状
の誘電体１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１
３ｂ，１４ａ，１４ｂが長手方向に二分割され、さらに
二段に積層されている。また、誘電体１１ａと１１ｂ，
１２ａと１２ｂ，１３ａと１３ｂ，１４ａと１４ｂとは
各々対向するように設けられ、その対向面の裏面には各
々金属を溶射して形成された放電電極１５ａ，１５ｂ，
１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂを有
している。
【００１１】さらに、誘電体１１ａ，１１ｂと１３ａ，
１３ｂ及び誘電体１２ａ，１２ｂと１４ａ，１４ｂとは
バリア１９で仕切られており、各領域で発生する放電が
干渉しないようにされている。
１３ｂ及び誘電体１２ａ，１２ｂと１４ａ，１４ｂとは
バリア１９で仕切られており、各領域で発生する放電が
干渉しないようにされている。
【００１２】このように構成された４つの各放電部には
、各々高周波電源２０，２１，２２，２３が設けられて
いる。すなわち、放電電極１５ａは高周波電源２０の片
側に接続され、他方の放電電極１５ｂは接地された高周
波電源２０の他側に接続され、放電電極１６ａは高周波
電源２１の片側に接続され他方の放電電極１６ｂは接地
された高周波電源２１の他側に接続され、放電電極１７
ａ，１８ａは各々高周波電源２２，２３の片側に接続さ
れ、他方の放電電極１７ｂ，１８ｂは各々高周波電源２
２，２３の他側に接続されている。
、各々高周波電源２０，２１，２２，２３が設けられて
いる。すなわち、放電電極１５ａは高周波電源２０の片
側に接続され、他方の放電電極１５ｂは接地された高周
波電源２０の他側に接続され、放電電極１６ａは高周波
電源２１の片側に接続され他方の放電電極１６ｂは接地
された高周波電源２１の他側に接続され、放電電極１７
ａ，１８ａは各々高周波電源２２，２３の片側に接続さ
れ、他方の放電電極１７ｂ，１８ｂは各々高周波電源２
２，２３の他側に接続されている。
【００１３】そして、各放電電極１５ａ，１５ｂ間、１
６ａ，１６ｂ間、１７ａ，１７ｂ間、１８ａ，１８ｂ間
に高周波電圧を印加することにより、対向した各誘電体
１１ａと１１ｂ，１２ａと１２ｂ，１３ａと１３ｂ，１
４ａと１４ｂを介してグロー放電を生成し、レーザを発
生させる。また、誘電体１１ａ，１１ｂ，１３ａ１３ｂ
と誘電体１２ａ，１２ｂ，１４ａ，１４ｂは各々同一風
洞２４，２５内に気密に設けられ、それらの風洞２４，
２５内には各々誘電体１１ａ，１３ａの上部及び誘電体
１２ｂ，１４ｂの下部に軸流ファン２６，２７が設けら
れ、このファン２６，２７によりレーザガスが各誘電体
１１ａ，１１ｂ間１２ａ，１２ｂ間１３ａ，１３ｂ間１
４ａ，１４ｂ間に矢印Ａ方向に循環され加熱されたガス
はファン２６，２７の上流にある冷却器２８，２９によ
り冷却される。
６ａ，１６ｂ間、１７ａ，１７ｂ間、１８ａ，１８ｂ間
に高周波電圧を印加することにより、対向した各誘電体
１１ａと１１ｂ，１２ａと１２ｂ，１３ａと１３ｂ，１
４ａと１４ｂを介してグロー放電を生成し、レーザを発
生させる。また、誘電体１１ａ，１１ｂ，１３ａ１３ｂ
と誘電体１２ａ，１２ｂ，１４ａ，１４ｂは各々同一風
洞２４，２５内に気密に設けられ、それらの風洞２４，
２５内には各々誘電体１１ａ，１３ａの上部及び誘電体
１２ｂ，１４ｂの下部に軸流ファン２６，２７が設けら
れ、このファン２６，２７によりレーザガスが各誘電体
１１ａ，１１ｂ間１２ａ，１２ｂ間１３ａ，１３ｂ間１
４ａ，１４ｂ間に矢印Ａ方向に循環され加熱されたガス
はファン２６，２７の上流にある冷却器２８，２９によ
り冷却される。
【００１４】なお、誘電体１１ａ，１１ｂ間と１３ａ，
１３ｂ間に流れるガス流方向と誘電体１２ａ，１２ｂ間
１４ａ，１４ｂ間に流れるガス流方向とは逆方向である
。また、各誘電体の一端部にはミラー３０，３１，３２
，３３が設けられており、ミラー３０，３１の光軸に対
し、ミラー３２，３３の光軸は４５°傾けられている。
１３ｂ間に流れるガス流方向と誘電体１２ａ，１２ｂ間
１４ａ，１４ｂ間に流れるガス流方向とは逆方向である
。また、各誘電体の一端部にはミラー３０，３１，３２
，３３が設けられており、ミラー３０，３１の光軸に対
し、ミラー３２，３３の光軸は４５°傾けられている。
【００１５】以上述べたように、本実施例によれば、放
電電極及び誘電体にて形成される放電部を二層構造とし
たので、装置の小型化が図れる。また、上層，下層のガ
ス流方向を逆方向としたので、ガス密度勾配によるレー
ザ光のゆがみを解消でき、さらに、上層，下層のミラー
を４５°ずらし４５°偏光面としたので、円偏光ユニッ
トが不要となりコストの低減及び装置の小型化が図れる
。なお、本実施例においては、放電部を二層構造とした
が、これに限定される必要はなく、三層，四層等の構造
としてもよい。
電電極及び誘電体にて形成される放電部を二層構造とし
たので、装置の小型化が図れる。また、上層，下層のガ
ス流方向を逆方向としたので、ガス密度勾配によるレー
ザ光のゆがみを解消でき、さらに、上層，下層のミラー
を４５°ずらし４５°偏光面としたので、円偏光ユニッ
トが不要となりコストの低減及び装置の小型化が図れる
。なお、本実施例においては、放電部を二層構造とした
が、これに限定される必要はなく、三層，四層等の構造
としてもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、対
向配置した誘電体、すなわち放電部を複数段積層する構
造としたので、大容量出力が可能でかつ装置自体の小型
化が図れるという極めて有用な効果を奏する。
向配置した誘電体、すなわち放電部を複数段積層する構
造としたので、大容量出力が可能でかつ装置自体の小型
化が図れるという極めて有用な効果を奏する。
【図１】本発明のガスレーザ発振器の一実施例を示す左
断面図である。
断面図である。
【図２】図１に示した一実施例の斜視図である。
【図３】従来のガスレーザ発振器の概要を示す断面図で
ある。
ある。
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１
４ａ，１４ｂ…誘電体 １５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，１
８ａ，１８ｂ…放電電極 ２０，２１，２２，２３…高周波電源 ２６，２７…軸流ファン ３０，３１，３２，３３…ミラー
４ａ，１４ｂ…誘電体 １５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，１
８ａ，１８ｂ…放電電極 ２０，２１，２２，２３…高周波電源 ２６，２７…軸流ファン ３０，３１，３２，３３…ミラー
Claims (1)
- 【請求項１】 所定部位に金属を溶射して形成された
放電電極を有する対向配置された誘電体と、前記放電電
極に高周波電圧を印加する高周波電源と、前記対向配置
された誘導体の間隙にレーザ媒質を送風する送風手段と
、複数のミラーを組合わせて構成された共振手段とを具
備し、前記対向配置された誘電体を複数段積層したこと
を特徴とするガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7073291A JPH04306891A (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7073291A JPH04306891A (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04306891A true JPH04306891A (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=13440001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7073291A Pending JPH04306891A (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04306891A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015223591A (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-14 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ発振方法 |
-
1991
- 1991-04-03 JP JP7073291A patent/JPH04306891A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015223591A (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-14 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ発振方法 |
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