JPH0428877A - 無電解銅めっき液 - Google Patents
無電解銅めっき液Info
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- JPH0428877A JPH0428877A JP13647990A JP13647990A JPH0428877A JP H0428877 A JPH0428877 A JP H0428877A JP 13647990 A JP13647990 A JP 13647990A JP 13647990 A JP13647990 A JP 13647990A JP H0428877 A JPH0428877 A JP H0428877A
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- copper
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- electroless copper
- plating solution
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- Pending
Links
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Landscapes
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- Chemically Coating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は無電解銅めっき液に関する
〔従来の技術〕
一般に無電解銅めっき液は銅塩、銅の錯化剤、水酸化ア
ルカリおよびホルムアルデヒドの水溶液からなり、めっ
き析出反応の安定性や析出銅皮膜の特性を向上させるも
のとして、特開昭６２−５９１８１公報に示されている
ように、上記成分にさらに一種類以上の安定剤を添加含
有させる方法がある。しかし、銅の錯化剤を固体の状態
で添加含有させた場合には、めっき析出反応が不安定に
なったり、析出銅皮膜の特性が低下してしまうという問
題点があった。
ルカリおよびホルムアルデヒドの水溶液からなり、めっ
き析出反応の安定性や析出銅皮膜の特性を向上させるも
のとして、特開昭６２−５９１８１公報に示されている
ように、上記成分にさらに一種類以上の安定剤を添加含
有させる方法がある。しかし、銅の錯化剤を固体の状態
で添加含有させた場合には、めっき析出反応が不安定に
なったり、析出銅皮膜の特性が低下してしまうという問
題点があった。
無電解銅めっき液に銅の錯化剤を固体の状態で添加含有
させる方法は、銅の錯化剤に付随する塵埃が無電解銅め
っき液に混入し、塵埃自身が銅めっきされ、銅粒子が生
成することでめっき析出反応が不安定にしたり、析出銅
皮膜の特性を低下させる原因になるという問題点があっ
た。本発明はめっき析出反応の安定性、析出銅皮膜の特
性共に優れる無電解銅めっき液を提供するものである。
させる方法は、銅の錯化剤に付随する塵埃が無電解銅め
っき液に混入し、塵埃自身が銅めっきされ、銅粒子が生
成することでめっき析出反応が不安定にしたり、析出銅
皮膜の特性を低下させる原因になるという問題点があっ
た。本発明はめっき析出反応の安定性、析出銅皮膜の特
性共に優れる無電解銅めっき液を提供するものである。
（課題を解決するための手段〕
本発明による無電解銅めっき液は、銅の錯化剤としてエ
ヂレンジアミン四酢酸水７容液もしくは１チレンジアミ
ン四酢酸塩水溶液を添加している。
ヂレンジアミン四酢酸水７容液もしくは１チレンジアミ
ン四酢酸塩水溶液を添加している。
銅イオン供給源となる銅塩は硫酸銅 ５水塩を使用し、
その濃度範囲として０，０１〜０． ｌ Ｏ−ｏｌ／
１がよく用いられている。ホルムアルデヒドは０．０１
５〜０．１０ ｍｏｌ／ １の濃度範囲が好ましい９２
２′−ジピリジル、フェロシアン化カリウム及び分子量
２０００のポリエチレングリコールの＞７． 度範囲は
それぞれ１５〜７０■／１．１〜５■／１及び１〜５ｇ
／βが好ましい。この無電解銅めっき液は６５〜７５℃
の温度範囲で使用することが好ましく、また水酸化ナト
リウムによりｐＨを調整し、そのｐＨ域は１１．５〜１
３，０の範囲が適当である。
その濃度範囲として０，０１〜０． ｌ Ｏ−ｏｌ／
１がよく用いられている。ホルムアルデヒドは０．０１
５〜０．１０ ｍｏｌ／ １の濃度範囲が好ましい９２
２′−ジピリジル、フェロシアン化カリウム及び分子量
２０００のポリエチレングリコールの＞７． 度範囲は
それぞれ１５〜７０■／１．１〜５■／１及び１〜５ｇ
／βが好ましい。この無電解銅めっき液は６５〜７５℃
の温度範囲で使用することが好ましく、また水酸化ナト
リウムによりｐＨを調整し、そのｐＨ域は１１．５〜１
３，０の範囲が適当である。
本発明の特徴はこのようなめっき液に、銅の錯化剤とし
てエチレンジアミン四酢酸水溶液もしくはエチレンジア
ミン四酢酸塩水溶液を添加することにある。これら銅の
錯化剤の使用量は、銅イオンを十分に錯体化するに足る
置板上であればよく、０、０５−０．３０ｍｏｌ／ｊ！
の濃度範囲で使用するのが好ましい。また、これら銅の
錯化剤の含量及びｐト（はそれぞれ４５〜５０％及び１
０．５〜１］ ５の範囲内にあることが、銅の錯化剤の
保存安定性の点が好ましい。
てエチレンジアミン四酢酸水溶液もしくはエチレンジア
ミン四酢酸塩水溶液を添加することにある。これら銅の
錯化剤の使用量は、銅イオンを十分に錯体化するに足る
置板上であればよく、０、０５−０．３０ｍｏｌ／ｊ！
の濃度範囲で使用するのが好ましい。また、これら銅の
錯化剤の含量及びｐト（はそれぞれ４５〜５０％及び１
０．５〜１］ ５の範囲内にあることが、銅の錯化剤の
保存安定性の点が好ましい。
銅の錯化剤として使用するエチレンジアミン四酢酸水溶
液もしくはエチレンジアミン四酢酸塩水溶液は、錯化剤
に付随する塵埃が無電解銅めっきに及ぼす影響を十分に
抑制できるように孔径１０μｍ以下のフィルターで濾過
したものを使用する。
液もしくはエチレンジアミン四酢酸塩水溶液は、錯化剤
に付随する塵埃が無電解銅めっきに及ぼす影響を十分に
抑制できるように孔径１０μｍ以下のフィルターで濾過
したものを使用する。
銅の錯化剤として孔径１０μ−以下のフィルターで濾過
したエチレンジアミン四酢酸水溶液もしくはエチレンジ
アミン四酢酸塩水溶液を使用することにより、無電解銅
めっき液に銅の錯化剤を固体の状態で添加含有させる方
法に較べて、無電解銅めっき液に混入する銅の錯化剤に
付随する塵埃の数量が減少する。その結果塵埃自身が銅
めっきされ、生成する銅粒子の数量が減少し、めっき析
出反応が安定し、析出銅皮膜の特性が優れる無電解銅め
っき液が提供される。
したエチレンジアミン四酢酸水溶液もしくはエチレンジ
アミン四酢酸塩水溶液を使用することにより、無電解銅
めっき液に銅の錯化剤を固体の状態で添加含有させる方
法に較べて、無電解銅めっき液に混入する銅の錯化剤に
付随する塵埃の数量が減少する。その結果塵埃自身が銅
めっきされ、生成する銅粒子の数量が減少し、めっき析
出反応が安定し、析出銅皮膜の特性が優れる無電解銅め
っき液が提供される。
ここで用いた無電解銅めっき液の基本組成は、硫酸銅・
５水塩０．０６ ｍｏｌ／ ｌ、ホルムアルデヒド０、
０８ ｍｏｌ／ １及び水酸化ナトリウムをｐＨが１２
５に調整されるように添加したものである。実施例はエ
チレンジアミン四酢酸四ナトリウム水溶液２ｍｏｌを孔
径１０μｍの循環式フィルターで濾過した後、上記の基
本浴に添加したもので、また比較例はエチレンジアミン
四酢酸２１０１を上記の基本浴に添加したもので、各々
のめっき液２１を孔径０．４５μ−のメンブランフィル
タ−で吸引濾過し捕捉された塵埃の数量を測定した。。
５水塩０．０６ ｍｏｌ／ ｌ、ホルムアルデヒド０、
０８ ｍｏｌ／ １及び水酸化ナトリウムをｐＨが１２
５に調整されるように添加したものである。実施例はエ
チレンジアミン四酢酸四ナトリウム水溶液２ｍｏｌを孔
径１０μｍの循環式フィルターで濾過した後、上記の基
本浴に添加したもので、また比較例はエチレンジアミン
四酢酸２１０１を上記の基本浴に添加したもので、各々
のめっき液２１を孔径０．４５μ−のメンブランフィル
タ−で吸引濾過し捕捉された塵埃の数量を測定した。。
この結果を第１表に示す。
第１表
この結果から実施例は比較例に比較して塵埃の数量が約
１１分の１と少なく、また塵埃の大きさも小さいことが
明らかである。
１１分の１と少なく、また塵埃の大きさも小さいことが
明らかである。
次に実際にめっき析出反応の安定性や析出銅皮膜の特性
を調べるために、実施例では１０μｍのフィルターで濾
過したエチレンジアミン四酢酸四ナトリウム水溶液０．
３０蒙０１を上記の基本浴に添加し、比較例ではエチレ
ンジアミン四酢酸０．３ｍ。
を調べるために、実施例では１０μｍのフィルターで濾
過したエチレンジアミン四酢酸四ナトリウム水溶液０．
３０蒙０１を上記の基本浴に添加し、比較例ではエチレ
ンジアミン四酢酸０．３ｍ。
ｌを上記の基本浴に添加し、両者の浴にさらに２２′−
ジピリジル、フェロシアン化カリウム及び分子量２００
０のポリエチレングリコールをそれぞれ１０■／１．１
■／１及びＩｇ／７！を添加含有させた容１２１の無電
解銅めっき液を液温７２℃、ｐＨ１２，５に保ち、負荷
４ｄ＋ｄのＳＵＳ板に銅皮膜を約３０μｍ析出させた。
ジピリジル、フェロシアン化カリウム及び分子量２００
０のポリエチレングリコールをそれぞれ１０■／１．１
■／１及びＩｇ／７！を添加含有させた容１２１の無電
解銅めっき液を液温７２℃、ｐＨ１２，５に保ち、負荷
４ｄ＋ｄのＳＵＳ板に銅皮膜を約３０μｍ析出させた。
この時めっき析出反応の安定性を調べるために、めっき
浴中の銅粒子の発生状況を調べると共に銅皮膜の展性に
ついて調べた。これを５回行った。
浴中の銅粒子の発生状況を調べると共に銅皮膜の展性に
ついて調べた。これを５回行った。
この結果を第２表に示ず。
第２表
この結果から実施例は銅粒子が生成せずめっき浴が安定
しており、これにより性銅皮膜の展性が比較例に較べて
優れていることが明らかである。
しており、これにより性銅皮膜の展性が比較例に較べて
優れていることが明らかである。
以上のことから無電解銅めっき液の銅の錯化剤として、
孔径１０μｍ以下のフィルターで濾過したエチレンジア
ミン四酢酸水溶液もしくはエチレンジアミン四酢酸塩水
溶液を添加含有させることによって、無電解銅めっき液
中の塵埃の数量及び大きさが低減し、その結果めっき液
中で銅粒子が生成しにくくなり、めっき浴が安定し、析
出銅皮膜の特性が向上することが確かめられた。
孔径１０μｍ以下のフィルターで濾過したエチレンジア
ミン四酢酸水溶液もしくはエチレンジアミン四酢酸塩水
溶液を添加含有させることによって、無電解銅めっき液
中の塵埃の数量及び大きさが低減し、その結果めっき液
中で銅粒子が生成しにくくなり、めっき浴が安定し、析
出銅皮膜の特性が向上することが確かめられた。
Claims (1)
- １．銅塩、エチレンジアミン四酢酸もしくはエチレンジ
アミン四酢酸塩、還元剤としてホルムアルデヒド、安定
剤として２，２′−ジピリジルもしくはフェロシアン化
カリウム及びポリエチレングリコールを添加含有してい
る無電解銅めっき液において、孔径１０μｍ以下のフィ
ルターで濾過したエチレンジアミン四酢酸水溶液もしく
はエチレンジアミン四酢酸塩水溶液とを添加含有させて
いることを特徴とする無電解銅めっき液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13647990A JPH0428877A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 無電解銅めっき液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13647990A JPH0428877A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 無電解銅めっき液 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0428877A true JPH0428877A (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=15176100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13647990A Pending JPH0428877A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 無電解銅めっき液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0428877A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8191538B2 (en) | 2006-04-25 | 2012-06-05 | Mahle International Gmbh | Deaerating and aerating device for a supercharged internal combustion engine |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP13647990A patent/JPH0428877A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8191538B2 (en) | 2006-04-25 | 2012-06-05 | Mahle International Gmbh | Deaerating and aerating device for a supercharged internal combustion engine |
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