JPH04289043A - Xy駆動装置 - Google Patents

Xy駆動装置

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JPH04289043A
JPH04289043A JP3074382A JP7438291A JPH04289043A JP H04289043 A JPH04289043 A JP H04289043A JP 3074382 A JP3074382 A JP 3074382A JP 7438291 A JP7438291 A JP 7438291A JP H04289043 A JPH04289043 A JP H04289043A
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belt
moving
movable
pulley
rotating body
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Seiji Takei
武井 誠治
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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H19/00Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion
    • F16H19/02Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion for interconverting rotary or oscillating motion and reciprocating motion
    • F16H19/06Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion for interconverting rotary or oscillating motion and reciprocating motion comprising flexible members, e.g. an endless flexible member
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T74/18568Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
    • Y10T74/18832Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including flexible drive connector [e.g., belt, chain, strand, etc.]
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、XY駆動装置に関し、
特に、電子部品等を回路基板に自動的に実装する装置等
に用いて好適なXYテーブルに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のXY駆動装置としては、
図1及び図4に示すものがある。図1は、Xテーブル1
とYテーブル2で構成されたXYテーブルを示す斜視図
であり、図4は、Xテーブル1(又はYテーブル2)の
移動テーブル3を含む移動機構の概略を示す分解斜視図
である。なお、Xテーブル1とYテーブル2とは、同一
の構成よりなるので、図1に示すように、一方をXテー
ブル1とし、他方をYテーブル2として説明する。
【0003】図1において、XYテーブルは、固定部(
図示せず)に固定されたX方向に長いXテーブル1と、
このXテーブル1の移動テーブル3のテーブル突部3a
上に直交させて固定され、Xテーブル1の案内レール(
後述する)に沿ってX方向に移動可能で、かつY方向に
長く構成されたYテーブル2とで構成されている。
【0004】上記Xテーブル1(又はYテーブル2)は
、図1に示すようにベース30の両側面に長手状に形成
された側板5が取付け固定されており、この側板5の一
端部に移動テーブル3の移動方向とモータ軸とが直交す
る方向に駆動手段となるモータ6が取付け固定されてい
る。このモータ6の回転軸6aは、図4に示すように回
転体としてのプーリ7の回転軸(図示せず)に連結され
、この回転軸を中心としてプーリ7が回転可能に取り付
けられている。
【0005】また、移動テーブル3の移動方向でプーリ
7と移動テーブル3を挾んで対向する端部には、回転体
としてのプーリ8がベース30上に設けられた図示せぬ
取付け部材に回転可能に取り付けられている。これらプ
ーリ7及びプーリ8間には幅広のベルト9が無端的に掛
け渡されている。このベルト9の上面には、移動テーブ
ル3が取付け固定されている。
【0006】この移動テーブル3は、図4に示すように
所定の厚さを有し、かつ側板5の幅内に収納される大き
さで構成されており、その移動方向両端部には、側板5
の上端面よりも突出するテーブル突部3aが両端に平行
に設けられている。このテーブル突部3aは、移動テー
ブル3と一体成形若しくは別体の何れで構成してもよく
、このテーブル突部3aの上面に他方のテーブルとなる
Yテーブル2が固定される。このテーブル突部3aの内
側には、防塵等の作用をなすカバー10が取り付けられ
ている。
【0007】また、移動テーブル3の上下方向、即ちZ
方向の荷重を受け、かつ移動テーブル3の案内レールと
しての直動転がり案内ユニット11は、図4に示すよう
にベルト9を挾むようにベルト9の両側に平行でかつベ
ース30上に配設されている。
【0008】この直動転がり案内ユニット11は、側壁
面の左右肩部に円弧状のボール用軌道溝12が形成され
た略角柱状の軌道台13と、この軌道台13のボール用
軌道溝12に対向する内周面に円弧状のボール用軌道溝
14が形成され、かつ断面略コ字状に形成された摺動台
15と、これらボール用軌道溝12,14間の摺動方向
に等間隔に配列され、かつ回転可能にボールを保持する
平板状の保持器(図示せず)とで構成されている。なお
、この直動転がり案内ユニット11は、転動体を用いる
構成のものであればボールに限らず、ころ等の他の手段
を用いるものでもよい。
【0009】次に、上記構成よりなるXYテーブルの動
作について説明する。なお、Xテーブル1とYテーブル
2とは、同じ構成であるのでXテーブル1を中心として
以下に説明する。
【0010】まず、Xテーブル1のモータ6に電源電圧
が供給されると、駆動源となるモータ6の回転軸6aが
回転してプーリ7に回転力が伝達される。すると、プー
リ7及び8に巻回されたベルト9は所定方向に移動し、
このベルト9の上面に固定された移動テーブル3も同方
向に移動される。逆に、モータ6の回転方向が反転する
と、前記とは逆方向にベルト9が移動され、これに伴っ
て移動テーブル3も移動する。また、移動テーブル3の
移動制御は、マイクロコンピュータ等よりなる制御回路
により制御され、この制御回路への位置検出信号を出力
する検出器は、図1に示す側板5の内側で、ベース30
の上面に取付けできるように構成されている。
【0011】また、Yテーブル2は、移動テーブル3の
テーブル突部3aに取付け固定されているので、Xテー
ブル1の移動テーブル3と同じ方向であるX方向に移動
する。しかして、Yテーブル2の移動テーブル3も独立
してY方向に直線移動可能に構成されているので、これ
らを図示せぬ制御回路によって制御することにより移動
テーブル3をX方向及び/又はY方向に移動させること
ができる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
XYテーブルでは、プーリ7とプーリ8間にベルト9が
無端的に掛け渡されているので、ベルト9の移動と移動
テーブル3の移動量が同じであって、Xテーブル1の上
にYテーブル2が搭載されることにより、Xテーブル1
にYテーブル2のモータ等を含めた全ての重量負荷が加
わり、Xテーブル1に取り付けられたモータ6の推力が
不足するという問題がある。また、バックラッシュ等が
発生した場合に、ベルト9と移動テーブル3の移動量が
同じであるため、バックラッシュ等の影響を防ぐことが
できず誤差が発生するという欠点がある。
【0013】そこで、本発明は上記従来技術の欠点に鑑
みなされたもので、Xテーブルの上にYテーブルを搭載
して構成した場合であっても、従来と同一の駆動力で十
分に所望の推力が得られると共にバックラッシュ等の発
生による誤差等を生ずることのないXY駆動装置を提供
することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、X方向(又は
Y方向)に長い第1のテーブルと、該第1のテーブルに
沿って移動自在に設けられ、該第1のテーブルと互いに
直交するY方向(又はX方向)に長い第2のテーブルと
を備えたXY駆動装置において、前記第1及び第2のテ
ーブルは、所定方向に移動可能な移動テーブルと、該移
動テーブルの下面に回転可能に設けられ、該移動テーブ
ルと一体に移動する2つの第1の回転体と、該移動テー
ブルの移動方向と同方向でかつ前記第1の回転体の両端
に離間配置された第2の回転体と、該第2の回転体の一
方を駆動する駆動手段と、前記第1の回転体と第2の回
転体との間にベルトを固定するベルト固定支持手段を設
け、前記ベルトの一端は、前記ベルト固定支持手段に固
定され、他端は、前記第1の回転体の一方に巻回されて
前記第2の回転体に巻回されると共に前記第1の回転体
の他方に巻回された後、ベルト固定支持手段に固定され
るように構成したものである。
【0015】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。図1は、XテーブルとYテーブルで構成され
たXYテーブルを示す斜視図、図2は、図1に示すXテ
ーブル(又はYテーブル)の動作原理を説明する説明図
、図3は、Xテーブル(又はYテーブル)の移動テーブ
ルを含む移動機構の概略を示す分解斜視図である。なお
、図1に示す従来のXYテーブルと同じ構成のものにつ
いては同じ符合を用いて説明し、相違する点を中心とし
て以下に説明する。
【0016】図1に示すように、XYテーブルは、固定
部(図示せず)に固定されたX方向に長いXテーブル1
と、このXテーブル1の移動テーブル3上に直交させて
固定され、Xテーブル1の案内レールに沿ってX方向に
移動可能で、かつY方向に長く構成されたYテーブル2
で構成されている。
【0017】上記移動テーブル3の幅方向ほぼ中央下面
には、図3に示すように移動テーブル3の移動方向で対
向位置に所定距離離間配置して固定された取付け部材2
0及び21の回転軸を中心として回転体としてのプーリ
18及び19が回転可能に設けられている。これらプー
リ18及び19の移動方向両端には、プーリ7とプーリ
8が回転可能に設けられている。プーリ7の回転軸は、
駆動手段としてのモータ6の回転軸6aに連結され、こ
の回転軸を中心としてプーリ7が回転可能に取り付けら
れている。
【0018】前記プーリ18とプーリ7との間には、断
面略コ字形状の板状部材であるベルト固定支持板17が
ベース30上に取り付け固定され、また、プーリ19と
プーリ8との間には、断面略コ字形状の板状部材である
ベルト固定支持板17′がベース30上に取り付け固定
されている。
【0019】ベルト固定支持板17の上面には、ベルト
16の一端が取付け固定されており、このベルト16の
他端は、プーリ18の下端面より上端面に向かって折り
曲げられて巻回された後、プーリ7に巻回されると共に
ベルト固定支持板17及び17′の下方に挿入されてプ
ーリ8に巻回され、更にプーリ19の上端面より下端面
に向かって巻回されてベルト固定支持板17′の上面に
取付け固定される。
【0020】また、移動テーブル3の上下方向、即ちZ
軸方向の荷重を受け、かつ移動テーブル3の案内レール
としての直動転がり案内ユニット11は、ベルト固定支
持板17及び17′の両側でベルト16を挾むように平
行でかつベース30上に配設されている。
【0021】次に、上記構成よりなるXYテーブルの動
作について説明する。なお、Xテーブル1とYテーブル
2とは、同じ構成となっているのでXテーブル1を中心
として以下に説明する。
【0022】図1乃至図3に示すように、Xテーブル1
のモータ6に電源電圧が供給され駆動源となるモータ6
の回転軸6aが時計方向に回転してプーリ7に回転力が
伝達されると、図2に示すように移動テーブル3の下面
に取り付けられたプーリ18及び19は、ベルト16の
移動に伴って図2の破線で示す方向に移動する。このと
き、プーリ18及び19の移動量は、動滑車の原理によ
ってベルト16の移動量の1/2に規制される。したが
って、移動テーブル3の移動は、モータ6の回転に対し
て減速され、ベルトの駆動力Wは、W/2となるので、
移動テーブル3を移動させるモータ6への負荷を半分に
軽減することができる。
【0023】逆に、モータ6の回転軸6aが反時計方向
に回転してプーリ7に回転力が伝達されると、図2の破
線で示す位置とは反対の方向に移動テーブル3が移動さ
れることになる。
【0024】また、移動テーブル3の移動制御は、マイ
クロコンピュータ等よりなる制御回路により制御され、
この制御回路への位置検出信号を出力する検出器は、図
1に示す側板5の内側で、ベース30の上面に取り付け
できるように構成されている。
【0025】また、Yテーブル2は、移動テーブル3の
テーブル突部3aに取付け固定されているので、Xテー
ブル1の移動テーブル3と同じ方向であるX方向に移動
する。しかして、Yテーブル2の移動テーブル3も独立
してY方向に直線移動可能に構成されているので、これ
らを図示せぬ制御回路によって制御することにより移動
テーブル3をX方向及び/又はY方向に移動させること
ができる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ベ
ルトの移動量に対して移動テーブルの移動量を1/2に
規制して減速機構を構成することができるので、バック
ラッシュ等が発生した場合、これを吸収してバックラッ
シュ等の影響を防ぎ誤差を減少させることができる効果
がある。また、本発明によれば、Xテーブルの上にYテ
ーブルが搭載された場合であっても、駆動手段となるモ
ータへの負荷を軽減させ、十分な推力を得ることができ
るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、XテーブルとYテーブルで構成された
XYテーブルを示す斜視図である。
【図2】図2は、図1に示すXテーブル(又はYテーブ
ル)の動作を説明する説明図である。
【図3】図3は、Xテーブル(又はYテーブル)の移動
テーブルを含む移動機構の概略を示す分解斜視図である
【図4】図4は、Xテーブル(又はYテーブル)の移動
テーブルを含む移動機構の概略を示す分解斜視図である
【符合の説明】
1  Xテーブル 2  Yテーブル 3  移動テーブル 5  側板 6  モータ 7,8,  プーリ 9  ベルト 11  直動転がり案内ユニット 16  ベルト 17,17′  ベルト固定支持板 18,19  プーリ 20,21  取付け部材 30  ベース

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  X方向(又はY方向)に長い第1のテ
    ーブルと、該第1のテーブルに沿って移動自在に設けら
    れ、該第1のテーブルと互いに直交するY方向(又はX
    方向)に長い第2のテーブルとを備えたXY駆動装置に
    おいて、前記第1及び第2のテーブルは、所定方向に移
    動可能な移動テーブルと、該移動テーブルの下面に回転
    可能に設けられ、該移動テーブルと一体に移動する2つ
    の第1の回転体と、該移動テーブルの移動方向と同方向
    でかつ前記第1の回転体の両端に離間配置された第2の
    回転体と、該第2の回転体の一方を駆動する駆動手段と
    、前記第1の回転体と第2の回転体との間にベルトを固
    定するベルト固定支持手段を設け、前記ベルトの一端は
    、前記ベルト固定支持手段に固定され、他端は、前記第
    1の回転体の一方に巻回されて前記第2の回転体に巻回
    されると共に前記第1の回転体の他方に巻回された後、
    ベルト固定支持手段に固定されてなることを特徴とする
    XY駆動装置。
  2. 【請求項2】  前記回転体は、プーリよりなることを
    特徴とする請求項1記載のXY駆動装置。
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US07/849,726 US5207115A (en) 1991-03-15 1992-03-11 X-y drive apparatus
DE4208149A DE4208149A1 (de) 1991-03-15 1992-03-13 X-y-antriebseinrichtung

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5517872A (en) * 1993-05-17 1996-05-21 Nippon Thompson Co., Ltd. Drive apparatus

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05177488A (ja) * 1991-12-25 1993-07-20 Nippon Thompson Co Ltd 駆動装置
US5402691A (en) * 1993-09-13 1995-04-04 R.D. Corporation Ltd. Gantry-style apparatus for positioning a working member with respect to plurality of "X" and "Y" coordinate positions
US5413523A (en) * 1993-11-30 1995-05-09 Tsai; A-Po Driving mechanism for moving table
DE4413399C2 (de) * 1994-04-18 1998-04-09 Schaeffler Waelzlager Ohg Linearführungseinheit
US5667353A (en) * 1995-03-31 1997-09-16 Inspex Inc. Robot system
US5830094A (en) * 1995-11-03 1998-11-03 Brown & Sharpe Manufacturing Company Transmission for converting rotary motion into linear motion
US6070106A (en) * 1996-04-16 2000-05-30 Hall; Warren Grimes Tool carriage driver and positioning system
US5699602A (en) * 1996-07-05 1997-12-23 Smooth Ocean Enterprise Co., Ltd. Apparatus for adusting position of a machining unit on a chip carrier maker
DE19738988B4 (de) * 1996-09-06 2008-05-29 Bosch Rexroth Mechatronics Gmbh Linearführungseinheit
DE29805195U1 (de) * 1998-03-21 1998-08-13 Trumpf GmbH & Co., 71254 Ditzingen Maschine zum Bearbeiten von plattenartigen Werkstücken, insbesondere von Blechen
ES2163946B2 (es) * 1998-05-28 2002-11-16 Proyectos Y Fabricacion Electr Marcadora con motores fijos.
JP2001343058A (ja) * 2000-03-30 2001-12-14 Thk Co Ltd 幅広構造の駆動装置
US6754551B1 (en) * 2000-06-29 2004-06-22 Printar Ltd. Jet print apparatus and method for printed circuit board manufacturing
US7109412B2 (en) * 2002-03-08 2006-09-19 Smc Kabushiki Kaisha Cable structure
JP3937067B2 (ja) * 2002-03-18 2007-06-27 Smc株式会社 電動アクチュエータおよびその組み付け方法
US6869191B2 (en) * 2002-04-29 2005-03-22 The Boeing Company Method and apparatus for selectively positioning dual projectors
JP2003343677A (ja) * 2002-05-27 2003-12-03 Smc Corp 電動アクチュエータ
DE102004009175A1 (de) * 2003-03-10 2004-12-09 Smc K.K. Kabelstruktur
JP4628012B2 (ja) * 2004-04-15 2011-02-09 津田駒工業株式会社 傾斜テーブル装置
US7240580B2 (en) * 2004-11-02 2007-07-10 Everman Michael R Single degree of freedom axis positioner
US7437785B2 (en) * 2006-03-31 2008-10-21 General Electric Company Drive system for imaging device
US7667466B2 (en) * 2007-01-31 2010-02-23 Benchmark Electronics Target tester interface
JP5821945B2 (ja) * 2011-02-28 2015-11-24 村田機械株式会社 上肢訓練装置
RU2469426C1 (ru) * 2011-12-22 2012-12-10 Общество с ограниченной ответственностью "ВЕСТТРЭЙД ЛТД" Механизм перемещения
CN104791442B (zh) * 2014-01-22 2018-02-09 珠海格力电器股份有限公司 同步传动装置
US20150366408A1 (en) 2014-06-20 2015-12-24 Kohler Co. Bathing area accessories
US9555888B2 (en) 2014-10-10 2017-01-31 Goodrich Corporation Pressure compensating air curtain for air cushion supported cargo loading platform
US9387931B2 (en) * 2014-10-10 2016-07-12 Goodrich Corporation Air cushion aircraft cargo loading systems and shuttle drive unit
US10196146B2 (en) 2014-10-10 2019-02-05 Goodrich Corporation Self propelled air cushion supported aircraft cargo loading systems and methods
US9284130B1 (en) 2014-10-10 2016-03-15 Goodrich Corporation Multi-zone load leveling system for air cushion supported aircraft cargo loading robot
US9352835B2 (en) 2014-10-10 2016-05-31 Goodrich Corporation Wedge lift jacking system for crawler supported aircraft loading robot
US9567166B2 (en) 2014-10-10 2017-02-14 Goodrich Corporation Compact centrifugal air blowers for air cushion supported cargo loading platform
US9643723B2 (en) 2014-10-10 2017-05-09 Goodrich Corporation Slide bushing supported aircraft cargo loading systems and methods
US9511861B2 (en) 2014-10-10 2016-12-06 Goodrich Corporation Noise reduction barrier for air cushion supported aircraft cargo loading robot
US9511860B2 (en) 2014-10-10 2016-12-06 Goodrich Corporation Air cushion aircraft cargo loading systems and wireless communication unit
US9764840B2 (en) 2014-10-10 2017-09-19 Goodrich Corporation Air cushion aircraft cargo loading systems and wireless charging unit
US10393225B2 (en) 2015-01-05 2019-08-27 Goodrich Corporation Integrated multi-function propulsion belt for air cushion supported aircraft cargo loading robot
US9580250B2 (en) 2015-01-30 2017-02-28 Goodrich Corporation Bushing cleaner systems and methods
CN111113123A (zh) * 2020-01-14 2020-05-08 浙江宝得数控机床有限公司 随动支撑螺母旋转丝杆副

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3155383A (en) * 1962-10-11 1964-11-03 Link Division Of General Prec Precision positioning apparatus
FR2512909B1 (fr) * 1981-09-15 1987-02-20 Renault Mecanisme de translation rectiligne a poulies et courroies
JP6359814B2 (ja) 2013-09-17 2018-07-18 太陽インキ製造株式会社 感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5517872A (en) * 1993-05-17 1996-05-21 Nippon Thompson Co., Ltd. Drive apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP3293638B2 (ja) 2002-06-17
DE4208149A1 (de) 1992-09-17
US5207115A (en) 1993-05-04

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