JPH0429573A - 超音波モータの駆動回路 - Google Patents
超音波モータの駆動回路Info
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- JPH0429573A JPH0429573A JP90134078A JP13407890A JPH0429573A JP H0429573 A JPH0429573 A JP H0429573A JP 90134078 A JP90134078 A JP 90134078A JP 13407890 A JP13407890 A JP 13407890A JP H0429573 A JPH0429573 A JP H0429573A
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- Japan
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- ultrasonic motor
- frequency
- voltage
- drive
- controlled oscillator
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、異なる位相に配された圧電素子に位相の異
なる高周波電圧を印加して進行性振動波を形成し、該振
動波によって被移動体を駆動する超音波モータの駆動回
路に関する。
なる高周波電圧を印加して進行性振動波を形成し、該振
動波によって被移動体を駆動する超音波モータの駆動回
路に関する。
従来の超音波モータの駆動回路としては、特開昭６３−
４３７９号公報に開示されたものがある。
４３７９号公報に開示されたものがある。
この技術は、圧電素子の振動状態を検出する電極からの
出力の絶対値が、所定の値になるように駆動周波数を制
御する構成となっている。
出力の絶対値が、所定の値になるように駆動周波数を制
御する構成となっている。
〔発明が解決しようとする課Ｍ］
しかしながら、上記従来技術の超音波モータの駆動回路
は、過負荷によって超音波モータが停止した際、負荷を
取り除いても通常の電磁モータのように再起動すること
ができないという問題点があった。
は、過負荷によって超音波モータが停止した際、負荷を
取り除いても通常の電磁モータのように再起動すること
ができないという問題点があった。
この発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、過負荷停止
時に再起動が可能な超音波モータの駆動回路を提供する
ことを目的としている。
時に再起動が可能な超音波モータの駆動回路を提供する
ことを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的は、圧電素子の振幅を検出する出力が急激に
低下したことを検知した時、若しくは、超音波モータの
使用最高温度における最大トルクに対応する駆動周波数
よりも前記駆動周波数が低下したことを検知した時は、
前記超音波モータの使用最低温度における無負荷時の駆
動周波数から除徐に駆動周波数を下げる方向に掃引する
ように構成された超音波モータ駆動回路によって達成さ
れる。
低下したことを検知した時、若しくは、超音波モータの
使用最高温度における最大トルクに対応する駆動周波数
よりも前記駆動周波数が低下したことを検知した時は、
前記超音波モータの使用最低温度における無負荷時の駆
動周波数から除徐に駆動周波数を下げる方向に掃引する
ように構成された超音波モータ駆動回路によって達成さ
れる。
上記の構成により、超音波モータのモニタ電極から検出
される振動振幅に相当する電圧の電流値が、急激に低下
することを検知して、駆動周波数を再び上限設定周波数
から下げる方向に掃引し、超音波モータの過負荷に対し
て自動的に再起動する。また、超音波モータの最大トル
クに見合う駆動周波数を検知した時、駆動周波数を再び
上限設定周波数から下げる方向に掃引し、最大トルク以
上の負荷が加わり超音波モータが停止した場合に自動的
に再起動する。
される振動振幅に相当する電圧の電流値が、急激に低下
することを検知して、駆動周波数を再び上限設定周波数
から下げる方向に掃引し、超音波モータの過負荷に対し
て自動的に再起動する。また、超音波モータの最大トル
クに見合う駆動周波数を検知した時、駆動周波数を再び
上限設定周波数から下げる方向に掃引し、最大トルク以
上の負荷が加わり超音波モータが停止した場合に自動的
に再起動する。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明に係る超音波モータの駆動回路の一実
施例を示す図である。まず回路構成を説明すると、ｌは
表面上に圧電素子が配された固定子である。固定子ｌ上
の電極は第２図の如く配されており、１ａ、ｌｂは駆動
電極で、固定子１の表面に分極処理された２つの相の圧
電素子上にそれぞれ位置し、互いに９０’位相が異なる
高周波電圧を各相の圧電素子に印加する。ＩＣはモニタ
電極で、圧電素子上に駆動電極１ａ、ｌｂとは電気的に
絶縁されて配置され、圧電素子の出力により固定子ｌの
振幅を検知する。またｌｄは駆動電極１ａ、１ｂ及びモ
ニタ電極１ｃに対する共通電極である。２は整流器で、
モニタ電極１ｃで検出される固定子１の振幅に相当する
交流電圧を整流する。３は整流器２の出力をアナログ信
号からディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器、４は演
算処理装置で、Ａ／Ｄ変換器３の出力値に応じて超音波
モータの駆動周波数を決定し、駆動周波数に相当する信
号をＤ／Ａ変換器５に送る。６は電圧制＃発振器（Ｖ／
Ｆと記す）で、Ｄ／Ａ変換器５の出ツノ値に応じた発振
周波数のパルスを発生する。
施例を示す図である。まず回路構成を説明すると、ｌは
表面上に圧電素子が配された固定子である。固定子ｌ上
の電極は第２図の如く配されており、１ａ、ｌｂは駆動
電極で、固定子１の表面に分極処理された２つの相の圧
電素子上にそれぞれ位置し、互いに９０’位相が異なる
高周波電圧を各相の圧電素子に印加する。ＩＣはモニタ
電極で、圧電素子上に駆動電極１ａ、ｌｂとは電気的に
絶縁されて配置され、圧電素子の出力により固定子ｌの
振幅を検知する。またｌｄは駆動電極１ａ、１ｂ及びモ
ニタ電極１ｃに対する共通電極である。２は整流器で、
モニタ電極１ｃで検出される固定子１の振幅に相当する
交流電圧を整流する。３は整流器２の出力をアナログ信
号からディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器、４は演
算処理装置で、Ａ／Ｄ変換器３の出力値に応じて超音波
モータの駆動周波数を決定し、駆動周波数に相当する信
号をＤ／Ａ変換器５に送る。６は電圧制＃発振器（Ｖ／
Ｆと記す）で、Ｄ／Ａ変換器５の出ツノ値に応じた発振
周波数のパルスを発生する。
また、７はＶ／Ｆ６の発振パルスを４分周するリングカ
ウンタで、トランジスタ８を０Ｎ−ＯＦＦ制御する。９
はトランスで、トランジスタ８によって駆動され、超音
波モータの駆動電極１ａ、ｌｂに印加する９０’位相が
異なる交流電圧を発生させる。１０はリレーで、超音波
モータに電源供給するトランス９を０Ｎ−ＯＦＦする機
能をもち、演算処理装置４からの起動停止信号によって
制御される。１１は超音波モータの電源スィッチである
。
ウンタで、トランジスタ８を０Ｎ−ＯＦＦ制御する。９
はトランスで、トランジスタ８によって駆動され、超音
波モータの駆動電極１ａ、ｌｂに印加する９０’位相が
異なる交流電圧を発生させる。１０はリレーで、超音波
モータに電源供給するトランス９を０Ｎ−ＯＦＦする機
能をもち、演算処理装置４からの起動停止信号によって
制御される。１１は超音波モータの電源スィッチである
。
〈実施例１〉
第１図に示す駆動回路の作用を第３図、第４図を参照し
て説明する。第３図は第１図駆動回路の演算処理装置４
による本実施例の作動プログラムを示す図、第４図は第
３図実施例の動作説明図で、経過時間に対する駆動周波
数（ａ）、振動振幅（ｂ）、振動振幅勾配（Ｃ）、超音
波モータ回転数（ｄ）を示す特性図である。
て説明する。第３図は第１図駆動回路の演算処理装置４
による本実施例の作動プログラムを示す図、第４図は第
３図実施例の動作説明図で、経過時間に対する駆動周波
数（ａ）、振動振幅（ｂ）、振動振幅勾配（Ｃ）、超音
波モータ回転数（ｄ）を示す特性図である。
電源スィッチ１１をＯＮすると、演算処理装置４が作動
し、演算処理装置４は超音波モータの駆動周波数として
上限周波数の□出力を指示（第３図３１）する。この時
、駆動周波数は超音波モータの共振周波数よりもかなり
高いため超音波モータは回転しない。
し、演算処理装置４は超音波モータの駆動周波数として
上限周波数の□出力を指示（第３図３１）する。この時
、駆動周波数は超音波モータの共振周波数よりもかなり
高いため超音波モータは回転しない。
次に演算処理装置４はモニタ電極ＩＣにより検出される
振幅の出力電圧を整流器２で整流し、さらにＡ／Ｄ変換
器３により変換したディジタル値の読み込み（第３図３
２）を行なう。
振幅の出力電圧を整流器２で整流し、さらにＡ／Ｄ変換
器３により変換したディジタル値の読み込み（第３図３
２）を行なう。
出力された駆動周波数は、超音波モータの共振周波数よ
りもかなり高いため、圧電素子はほとんど振動しない。
りもかなり高いため、圧電素子はほとんど振動しない。
そこで演算処理装置４は駆動周波数を０．１ｋＨ２低下
（第３図３４）するよう指示する。
（第３図３４）するよう指示する。
演算処理装置４からの指令を受けてＤ／Ａ変換器５、電
圧制御発振器６、リングカウンタ７、トランジスタ８を
経てトランス９に与えられる周波数は０．１ｋＨｚ下げ
られ、これにより超音波モータの圧電素子電極１ａ、１
ｂに印加される駆動電圧の周波数は０．１ｋＨｚ下げら
れる。超音波モータが回転していないため、モニタ電極
ＩＣから検出される振動振幅は、所定の基準値Ａよりも
小さいので駆動周波数を０．１ｋＨｚずつ下げて超音波
モータの共振周波数に近づけていく。（第４図Ｔ１区間
参照） 次に、駆動周波数が共振周波数付近まで低下してくると
超音波モータは回転し始める。（第４図し、参照） しかしモニタ電極からの振動振幅は依然として所定の前
記基準値Ａに達していないため、演算処理装置４はさら
に駆動周波数の低下を継続するよう指令する。
圧制御発振器６、リングカウンタ７、トランジスタ８を
経てトランス９に与えられる周波数は０．１ｋＨｚ下げ
られ、これにより超音波モータの圧電素子電極１ａ、１
ｂに印加される駆動電圧の周波数は０．１ｋＨｚ下げら
れる。超音波モータが回転していないため、モニタ電極
ＩＣから検出される振動振幅は、所定の基準値Ａよりも
小さいので駆動周波数を０．１ｋＨｚずつ下げて超音波
モータの共振周波数に近づけていく。（第４図Ｔ１区間
参照） 次に、駆動周波数が共振周波数付近まで低下してくると
超音波モータは回転し始める。（第４図し、参照） しかしモニタ電極からの振動振幅は依然として所定の前
記基準値Ａに達していないため、演算処理装置４はさら
に駆動周波数の低下を継続するよう指令する。
駆動周波数が最適周波数に近づくに従い超音波モータは
回転数とトルクを徐徐に増加する。しかし、さらに駆動
周波数を下げ、超音波モータの共振周波数と駆動周波数
が完全に一致する共振点では、超音波モータのインピー
ダンスが急激に小さくなるため、過大電流が流れ込み圧
電素子を焼損するに至る。
回転数とトルクを徐徐に増加する。しかし、さらに駆動
周波数を下げ、超音波モータの共振周波数と駆動周波数
が完全に一致する共振点では、超音波モータのインピー
ダンスが急激に小さくなるため、過大電流が流れ込み圧
電素子を焼損するに至る。
そこで共振点に突入する前にモニタ電極１ｃから検出さ
れる圧電素子の振動振幅が、前記基準値Ａを超えたとき
、駆動周波数は共振点に一致したものと判断しく第４図
し、参照）、逆に駆動周波数を０．１ｋＨｚ上昇（第３
図３５）させるよう指令する。
れる圧電素子の振動振幅が、前記基準値Ａを超えたとき
、駆動周波数は共振点に一致したものと判断しく第４図
し、参照）、逆に駆動周波数を０．１ｋＨｚ上昇（第３
図３５）させるよう指令する。
上記のように、モニタ電極ＩＣからの振動振幅が、前記
基準値Ａになるように駆動周波数を制御することによっ
て、結果的には駆動周波数を、共振点と共振を停止する
反共振点の中間にある最適駆動周波数を自動追尾するこ
とができる。
基準値Ａになるように駆動周波数を制御することによっ
て、結果的には駆動周波数を、共振点と共振を停止する
反共振点の中間にある最適駆動周波数を自動追尾するこ
とができる。
次に、本発明の過負荷による停止時の再起動について述
べる。第５図は、上記の制御アルゴリズムによってモニ
タ電極からの振動振幅が一定になるように制御している
際、負荷を徐徐にかけていき、停止するまでの駆動周波
数の変化を記録したものである。ある程度の負荷までは
駆動周波数はあまり変化しないが、それ以上負荷をかけ
ると急激に駆動周波数が下がる。これは、負荷を加えて
いくと、超音波モータの共振周波数が負荷トルクの増大
に応じて下がることを示している。
べる。第５図は、上記の制御アルゴリズムによってモニ
タ電極からの振動振幅が一定になるように制御している
際、負荷を徐徐にかけていき、停止するまでの駆動周波
数の変化を記録したものである。ある程度の負荷までは
駆動周波数はあまり変化しないが、それ以上負荷をかけ
ると急激に駆動周波数が下がる。これは、負荷を加えて
いくと、超音波モータの共振周波数が負荷トルクの増大
に応じて下がることを示している。
ユニで超音波モータが回転中、超音波モータの最大トル
ク以上の過負荷が加わり超音波モータが停止した場合、
再起動するアルゴリズムについて説明する。第４図し４
において次第に負荷が増加すると、超音波モータの共振
周波数が下がるので、駆動周波数はそれに応じて次第に
低下し、超音波モータの共振周波数に追従しようとする
。この時、超音波モータの回転数は徐徐に低下するが、
モニタ電極からの振動振幅は、なお所定の基準値Ａに保
たれている。（第４図工１区間参照）しかし、超音波モ
ータの最大トルク以上の過大負荷が加わると、超音波モ
ータは停止してしまう。
ク以上の過負荷が加わり超音波モータが停止した場合、
再起動するアルゴリズムについて説明する。第４図し４
において次第に負荷が増加すると、超音波モータの共振
周波数が下がるので、駆動周波数はそれに応じて次第に
低下し、超音波モータの共振周波数に追従しようとする
。この時、超音波モータの回転数は徐徐に低下するが、
モニタ電極からの振動振幅は、なお所定の基準値Ａに保
たれている。（第４図工１区間参照）しかし、超音波モ
ータの最大トルク以上の過大負荷が加わると、超音波モ
ータは停止してしまう。
この時、モニタ電極から得られる振動振幅に相当する電
圧は、過負荷のため所定の基準値Ａに達しないため、さ
らに引き続き駆動周波数を下げ、超音波モータの共振周
波数を超えてさらに低下を続け、共振周波数より低下し
た瞬間に圧電素子はほとんど振動しなくなり、モニタ電
極からの出力電圧は急激に低下し零に近づいてしまう。
圧は、過負荷のため所定の基準値Ａに達しないため、さ
らに引き続き駆動周波数を下げ、超音波モータの共振周
波数を超えてさらに低下を続け、共振周波数より低下し
た瞬間に圧電素子はほとんど振動しなくなり、モニタ電
極からの出力電圧は急激に低下し零に近づいてしまう。
（第４図し、参照）
この時、超音波モータの負荷を取り除いて無負荷状態に
しても、既に駆動周波数は超音波モータの共振点以下の
周波数になっており、演算処理装置４は超音波モータの
モニタ電極の振動振幅を大きくしようとして、さらに駆
動周波数を下げるよう命令するが、駆動周波数は下限ま
で下がって固定され、共振周波数からかなりずれている
ため、超音波モータが再び回転し始めることはない。
しても、既に駆動周波数は超音波モータの共振点以下の
周波数になっており、演算処理装置４は超音波モータの
モニタ電極の振動振幅を大きくしようとして、さらに駆
動周波数を下げるよう命令するが、駆動周波数は下限ま
で下がって固定され、共振周波数からかなりずれている
ため、超音波モータが再び回転し始めることはない。
そこで本発明は、第３図３６．３７に示すように、前回
読み込んだモニタ電極の振動振幅と、今回読み込んだ振
動振幅との差から振幅勾配（振幅の時間に対する微分値
）を計算し、この値が所定の振動振幅勾配の下限基準値
Ｃ以上かどうかを検定し、Ｃ値以上になった時は、振動
振幅が急激に減少し超音波モータが停止する瞬間である
と判定する。そして、再び駆動周波数を上限周波数であ
るＤＨｚに戻して再起動する。（第３図３１及び第４図
も、参照） その後は通常の起動時と同様にモニタ電極からの振動振
幅が所定の基準値Ａに達するまで駆動周波数を順次下げ
ていく。
読み込んだモニタ電極の振動振幅と、今回読み込んだ振
動振幅との差から振幅勾配（振幅の時間に対する微分値
）を計算し、この値が所定の振動振幅勾配の下限基準値
Ｃ以上かどうかを検定し、Ｃ値以上になった時は、振動
振幅が急激に減少し超音波モータが停止する瞬間である
と判定する。そして、再び駆動周波数を上限周波数であ
るＤＨｚに戻して再起動する。（第３図３１及び第４図
も、参照） その後は通常の起動時と同様にモニタ電極からの振動振
幅が所定の基準値Ａに達するまで駆動周波数を順次下げ
ていく。
上記の通り、本実施例は超音波モータのモニタ電極から
検出される振動振幅に対応する出力値が急激に低下する
状態を検知して、駆動周波数を再び上限設定周波数から
下げる方向に掃引するもので、超音波モータの過負荷に
対して自動的に再起動させることができる。
検出される振動振幅に対応する出力値が急激に低下する
状態を検知して、駆動周波数を再び上限設定周波数から
下げる方向に掃引するもので、超音波モータの過負荷に
対して自動的に再起動させることができる。
〈実施例２〉
次に、第２の実施例として、超音波モータの回転中に急
激に最大トルク以上の過負荷がかかって超音波モータが
停止した場合、再起動するアルゴリズムを第４図、第７
図によって説明する。なお、第７図は本実施例の作動プ
ログラムを示す図である。
激に最大トルク以上の過負荷がかかって超音波モータが
停止した場合、再起動するアルゴリズムを第４図、第７
図によって説明する。なお、第７図は本実施例の作動プ
ログラムを示す図である。
第４図ｔ４の時点において急激な過負荷がかかると超音
波モータの共振周波数が下がるので、これに応じて駆動
周波数は急激に低下し共振周波数に追従しようとする。
波モータの共振周波数が下がるので、これに応じて駆動
周波数は急激に低下し共振周波数に追従しようとする。
しかしながら、超音波モータは、その最大トルクを超え
る負荷のため急激に回転数を下げ停止してしまう。この
時、過負荷により振動振幅は所定の基準値Ａ以下に落ち
ているため、超音波モータのモニタ電極１ｃから得られ
る振動振幅に相当する出力は低下しているから、超音波
モータの駆動周波数は、共振周波数を飛び超えてさらに
急速に低下し、電圧制御発振器６の下限周波数まで達し
てしまう。（第４図し、及び第６図参照） この時、超音波モータの負荷を取り除いて無負荷状態に
しても、既に駆動周波数は超音波モータの共振点以下の
下限周波数に達しており、演算処理装置４は超音波モー
タのモニタ電極１ｃの振動振幅を大きくしようとしてさ
らに駆動周波数を下げるよう命令するが、駆動周波数は
下限に固定されたままで共振点からかなりずれているた
め、超音波モータが再び回転し始めることはない。
る負荷のため急激に回転数を下げ停止してしまう。この
時、過負荷により振動振幅は所定の基準値Ａ以下に落ち
ているため、超音波モータのモニタ電極１ｃから得られ
る振動振幅に相当する出力は低下しているから、超音波
モータの駆動周波数は、共振周波数を飛び超えてさらに
急速に低下し、電圧制御発振器６の下限周波数まで達し
てしまう。（第４図し、及び第６図参照） この時、超音波モータの負荷を取り除いて無負荷状態に
しても、既に駆動周波数は超音波モータの共振点以下の
下限周波数に達しており、演算処理装置４は超音波モー
タのモニタ電極１ｃの振動振幅を大きくしようとしてさ
らに駆動周波数を下げるよう命令するが、駆動周波数は
下限に固定されたままで共振点からかなりずれているた
め、超音波モータが再び回転し始めることはない。
そこで本発明は、第７図３８に示すように；駆動周波数
が超音波モータの最大トルク、最高温度によって決定さ
れる下限周波数設定値Ｂよりもさらに低下した時は、超
音波モータに過負荷が加わり停止したと判断しく第４図
し、参照）、再び駆動周波数を上限周波数であるＩ］（
ｚに戻して再起動する。（第７図３１） その後は、通常の起動時と同様にモニタ電極ｌｃからの
振動振幅が所定の基準値Ａに達するまで駆動周波数を順
次下げていく。
が超音波モータの最大トルク、最高温度によって決定さ
れる下限周波数設定値Ｂよりもさらに低下した時は、超
音波モータに過負荷が加わり停止したと判断しく第４図
し、参照）、再び駆動周波数を上限周波数であるＩ］（
ｚに戻して再起動する。（第７図３１） その後は、通常の起動時と同様にモニタ電極ｌｃからの
振動振幅が所定の基準値Ａに達するまで駆動周波数を順
次下げていく。
上記の説明のように、本実施例は、超音波モータの使用
最高温度における最大トルクに対応する駆動周波数を検
知した時、駆動周波数を再び上限設定周波数から下げる
方向に掃引するもので、超音波モータの過負荷に対して
自動的に再起動させることができるものである。
最高温度における最大トルクに対応する駆動周波数を検
知した時、駆動周波数を再び上限設定周波数から下げる
方向に掃引するもので、超音波モータの過負荷に対して
自動的に再起動させることができるものである。
なお、請求項１及び請求項２に記載した駆動電圧を発生
させる手段とは、例えば実施例のリングカウンタ７、ト
ランジスタ８、トランス９を指し、圧電素子の振幅を検
出する手段とは、例えば実施例のモニタ電極１ｃ、整流
器２、Ａ／Ｄ変換器３を指し、駆動周波数制御手段とは
、演算処理装置４、Ｄ／Ａ変換器５、電圧制御発信器６
を指すものである。なお、本発明は、直線型駆動の超音
波モータに対しても適用が可能である。
させる手段とは、例えば実施例のリングカウンタ７、ト
ランジスタ８、トランス９を指し、圧電素子の振幅を検
出する手段とは、例えば実施例のモニタ電極１ｃ、整流
器２、Ａ／Ｄ変換器３を指し、駆動周波数制御手段とは
、演算処理装置４、Ｄ／Ａ変換器５、電圧制御発信器６
を指すものである。なお、本発明は、直線型駆動の超音
波モータに対しても適用が可能である。
〔発明の効果］
本発明の実施により、過負荷によって−ｌｉ＋駆動を停
止しても負荷を除去して容易に再起動することが可能で
あり、機能性、操作性及び信頼性の優れた超音波モータ
を提供することができる。
止しても負荷を除去して容易に再起動することが可能で
あり、機能性、操作性及び信頼性の優れた超音波モータ
を提供することができる。
第１図は本発明の超音波モータの駆動回路の一実施例を
示す図、第２図は本発明に係る圧電体の一実施例を示す
模式図、第３図、第７図は本発明の一実施例のプログラ
ムフロー図、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は
第３図、第７図実施例の動作説明図、第５図は本実施例
の超音波モータのトルクと駆動周波数の関係特性図、第
６図は第３図及び第７図実施例の超音波モータの周波数
とインピーダンスの関係を示す説明図である。 ■・・・固定子 １ａ、ｌｂ・・・電極１ｃ・・・
モニタ電柵 １ｄ・・・共通電極２・・・整流器
３・・・Ａ／Ｄ変換器４・・・演算処理
装置 ５・・・Ｄ／Ａ変換器６・・・電圧制御発
信器 ７・・・リングカウンタ８・・・トランジス
タ ９・・・トランス Ｏ・・・リレー ■ １・・・電源スィッチ
示す図、第２図は本発明に係る圧電体の一実施例を示す
模式図、第３図、第７図は本発明の一実施例のプログラ
ムフロー図、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は
第３図、第７図実施例の動作説明図、第５図は本実施例
の超音波モータのトルクと駆動周波数の関係特性図、第
６図は第３図及び第７図実施例の超音波モータの周波数
とインピーダンスの関係を示す説明図である。 ■・・・固定子 １ａ、ｌｂ・・・電極１ｃ・・・
モニタ電柵 １ｄ・・・共通電極２・・・整流器
３・・・Ａ／Ｄ変換器４・・・演算処理
装置 ５・・・Ｄ／Ａ変換器６・・・電圧制御発
信器 ７・・・リングカウンタ８・・・トランジス
タ ９・・・トランス Ｏ・・・リレー ■ １・・・電源スィッチ
Claims (2)
- １．異なる位相に配された圧電素子に、それぞれ位相の
異なる高周波電圧を印加して進行性振動波を形成し、該
振動波によって被移動体を駆動する超音波モータにおい
て、 超音波モータの駆動周波数を発信する電圧制御発振器と
、 該電圧制御発振器からの出力により超音波モータの駆動
電圧を発生させる手段と、 前記圧電素子の振幅を検出する手段と、 該手段からの検出出力が急激に低下したことを検知した
時は、前記超音波モータの使用最低温度における無負荷
時の駆動周波数から徐徐に駆動周波数を下げるよう前記
電圧制御発振器を制御する駆動周波数制御手段とを有す
ることを特徴とする超音波モータの駆動回路。 - ２．異なる位相に配された圧電素子に、それぞれ位相の
異なる高周波電圧を印加して進行性振動波を形成し、該
振動波によって被移動体を駆動する超音波モータにおい
て、 超音波モータの駆動周波数を発信する電圧制御発振器と
、 該電圧制御発振器からの出力により超音波モータの駆動
電圧を発生させる手段と、 超音波モータの使用最高温度における最大トルクに対応
する駆動周波数よりも前記駆動周波数が低下したことを
検知した時は、前記超音波モータの使用最低温度におけ
る無負荷時の駆動周波数から徐徐に駆動周波数を下げる
よう前記電圧制御発振器を制御する発振周波数制御手段
とを有することを特徴とする超音波モータの駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2134078A JP2836189B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 超音波モータの駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2134078A JP2836189B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 超音波モータの駆動回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0429573A true JPH0429573A (ja) | 1992-01-31 |
| JP2836189B2 JP2836189B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=15119887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2134078A Expired - Lifetime JP2836189B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 超音波モータの駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2836189B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013172607A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Nikon Corp | 振動波モータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動波モータの制御方法 |
| US10369596B2 (en) * | 2014-11-26 | 2019-08-06 | Gigaphoton Inc. | Vibrator unit and target supply device |
| CN113847689A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-28 | 佛山市顺德区美的电子科技有限公司 | 一种空调器共振控制方法、装置、空调器及存储介质 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6356178A (ja) * | 1986-08-26 | 1988-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ駆動方法 |
| JPH01303074A (ja) * | 1988-05-30 | 1989-12-06 | Canon Inc | 振動型アクチュエーター装置 |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP2134078A patent/JP2836189B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6356178A (ja) * | 1986-08-26 | 1988-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ駆動方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2013172607A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Nikon Corp | 振動波モータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動波モータの制御方法 |
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| CN113847689A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-28 | 佛山市顺德区美的电子科技有限公司 | 一种空调器共振控制方法、装置、空调器及存储介质 |
| CN113847689B (zh) * | 2021-09-23 | 2023-05-26 | 佛山市顺德区美的电子科技有限公司 | 一种空调器共振控制方法、装置、空调器及存储介质 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2836189B2 (ja) | 1998-12-14 |
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