JPH0429601B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0429601B2 JPH0429601B2 JP59104239A JP10423984A JPH0429601B2 JP H0429601 B2 JPH0429601 B2 JP H0429601B2 JP 59104239 A JP59104239 A JP 59104239A JP 10423984 A JP10423984 A JP 10423984A JP H0429601 B2 JPH0429601 B2 JP H0429601B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- stage
- pressure
- gas
- adsorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
- B01D53/047—Pressure swing adsorption
- B01D53/0476—Vacuum pressure swing adsorption
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
- B01D53/047—Pressure swing adsorption
- B01D53/0473—Rapid pressure swing adsorption
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/106—Silica or silicates
- B01D2253/108—Zeolites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/116—Molecular sieves other than zeolites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/25—Coated, impregnated or composite adsorbents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/30—Physical properties of adsorbents
- B01D2253/302—Dimensions
- B01D2253/308—Pore size
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/10—Nitrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/12—Oxygen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/18—Noble gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
- B01D2257/102—Nitrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
- B01D2257/104—Oxygen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
- B01D2259/40001—Methods relating to additional, e.g. intermediate, treatment of process gas
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
- B01D2259/40011—Methods relating to the process cycle in pressure or temperature swing adsorption
- B01D2259/40035—Equalization
- B01D2259/40037—Equalization with two sub-steps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
- B01D2259/40011—Methods relating to the process cycle in pressure or temperature swing adsorption
- B01D2259/40058—Number of sequence steps, including sub-steps, per cycle
- B01D2259/40064—Five
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
- B01D2259/40011—Methods relating to the process cycle in pressure or temperature swing adsorption
- B01D2259/40058—Number of sequence steps, including sub-steps, per cycle
- B01D2259/40066—Six
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
- B01D2259/402—Further details for adsorption processes and devices using two beds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
- B01D2259/403—Further details for adsorption processes and devices using three beds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Description
本発明は空気を原料としてプレツシヤースイン
グ法（以下PSAと呼ぶ）により高濃度酸素を製
造する方法に関するものである。 空気を原料としてPSA法により酸素を得る方
法は、従来５Åを中心とした細孔径を有するゼオ
ライトモレキユラーシーブを、２塔以上の吸着塔
を用いて大気圧以上の圧力で吸着させ大気圧以下
の圧力で脱着再生させることによつて最高95％の
酸素濃度を得ていた。 ５Åを中心とした細孔径を有するゼオライトモ
レキユラーシーブは酸素やアルゴンより窒素を優
先的に吸着する特性があり、空気中の酸素濃度
20.9％とアルゴン濃度0.9％を最高約５倍にまで
濃縮し窒素を完全に吸着除去できたとしてもアル
ゴンが約５％濃度で存在する為に酸素は約95％以
上には濃縮できなかつた。事実これ迄PSAによ
り濃度95％以上の酸素を得る方法は知られていな
い。 本発明者らは、このアルゴンを除去すれば酸素
濃度を更に上昇させることができると考え、さき
に本出願人が出願した昭和57年特開昭59−92907
号公報「高濃度アルゴンの製造方法」に記載した
方法を応用して95％以上の高濃度酸素を製造する
方法について鋭意検討した結果本発明に到達し
た。 即ちゼオライトモレキユラーシーブを用いて
PSA（以下第１段装置と呼ぶ）により得られたア
ルゴンを含む酸素を３〜４Åを中心とした細孔径
を有するカーボンモレキユラーシーブを充填した
吸着塔に導入し、３塔式の第２段装置でPSAを
おこなうことにより、酸素をカーボンモレキユラ
ーシーブに優先的に吸着させ、アルゴンを非吸着
ガスとして分離除去することができた。 カーボンモレキユラーシーブは１〜２分間の短
時間においては窒素やアルゴンより酸素を速く細
孔内に拡散させる性質があるので、この吸着速度
差を利用して酸素を優先的に吸着させ、これを脱
着させることによつて高濃度の酸素を回収するこ
とができた。この結果我々は95％以上、さらには
99％以上の高濃度酸素を得ることに成功した。 本発明の目的は工業的に有利に高濃度の酸素を
製造する方法を提供することにあり、その要旨は
ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第１段
吸着装置を用い空気を原料としてプレツシヤース
イングを行ない、酸素を主成分としアルゴンと窒
素を含有する非吸着ガスを得、これをカーボンモ
レキユラーシーブを充填した第２段吸着装置に導
き、プレツシヤースイングを行なつてアルゴンと
窒素を非吸着ガスとして分離除去し吸着された酸
素を脱着して高濃度酸素を製造する方法であり、
さらにゼオライトモレキユラーシーブを充填した
第１段吸着装置を用い空気を原料としてプレツシ
ヤースイングを行ない、酸素を主成分としアルゴ
ンと窒素を含有する非吸着ガスを得これをカーボ
ンモレキユラーシーブを充填した第２段吸着装置
に導きプレツシヤースイングを行なつて吸着され
た酸素を脱着すると共に非吸着ガスとして分離し
たアルゴンと窒素を含む酸素をカーボンモレキユ
ラーシーブを充填した第３段吸着装置に導きプレ
ツシヤースイングを行ない吸着された酸素を脱着
し、これを第２段吸着装置の原料ガス中に循環
し、酸素の回収率を増加させる方法である。 従来のPSA法では最高95％濃度の酸素しか得
られなかつた為、液体酸素が用いられている産業
分野にPSAで得られた酸素がすべて適用される
ことは不可能であつたが、今や、PSAのみで簡
単に空気から高濃度酸素が得られたことによつて
液体酸素に相当する高濃度酸素を安価に必要な場
所で、必要な時に発生させ使用することが可能と
なつた。 ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第１
段PSA装置は通常の方法、即ち、吸着圧力は大
気圧以上１Kg／cm2Ｇ以下で操作しカーボンモレキ
ユラーシーブを充填したPSA装置は、第２段と
第３段で構成されており、それぞれ吸着−均圧−
昇圧−脱着の工程を有し吸着圧力は0.3〜10Kg／
cm2Ｇ好ましくは１〜３Kg／cm2Ｇ、脱着圧力は大気
圧以下好ましくは400トール以下より好ましくは
200トール以下で減圧することが装置の大きさ及
び回収率ならびに電力使用量が少なくて済むこと
などの点から経済的にも有利である。 本発明の実施態様を具体的に説明する為に第１
表に第２段のシーケンス、第２表に第３段のシー
ケンス、第１図に第１段、第２段と第３段を組み
合わせたフローを示す。 本フローには第２段装置が３塔式、第３段装置
が２塔式の装置が示されているが、吸着塔の数は
適宜変更することができる。しかし、装置のコス
ト、運転の容易さ、製品純度の安定化の面から第
２段装置は３塔式、第３段装置は２塔式とした場
合によい結果が得られる場合が多い。
グ法（以下PSAと呼ぶ）により高濃度酸素を製
造する方法に関するものである。 空気を原料としてPSA法により酸素を得る方
法は、従来５Åを中心とした細孔径を有するゼオ
ライトモレキユラーシーブを、２塔以上の吸着塔
を用いて大気圧以上の圧力で吸着させ大気圧以下
の圧力で脱着再生させることによつて最高95％の
酸素濃度を得ていた。 ５Åを中心とした細孔径を有するゼオライトモ
レキユラーシーブは酸素やアルゴンより窒素を優
先的に吸着する特性があり、空気中の酸素濃度
20.9％とアルゴン濃度0.9％を最高約５倍にまで
濃縮し窒素を完全に吸着除去できたとしてもアル
ゴンが約５％濃度で存在する為に酸素は約95％以
上には濃縮できなかつた。事実これ迄PSAによ
り濃度95％以上の酸素を得る方法は知られていな
い。 本発明者らは、このアルゴンを除去すれば酸素
濃度を更に上昇させることができると考え、さき
に本出願人が出願した昭和57年特開昭59−92907
号公報「高濃度アルゴンの製造方法」に記載した
方法を応用して95％以上の高濃度酸素を製造する
方法について鋭意検討した結果本発明に到達し
た。 即ちゼオライトモレキユラーシーブを用いて
PSA（以下第１段装置と呼ぶ）により得られたア
ルゴンを含む酸素を３〜４Åを中心とした細孔径
を有するカーボンモレキユラーシーブを充填した
吸着塔に導入し、３塔式の第２段装置でPSAを
おこなうことにより、酸素をカーボンモレキユラ
ーシーブに優先的に吸着させ、アルゴンを非吸着
ガスとして分離除去することができた。 カーボンモレキユラーシーブは１〜２分間の短
時間においては窒素やアルゴンより酸素を速く細
孔内に拡散させる性質があるので、この吸着速度
差を利用して酸素を優先的に吸着させ、これを脱
着させることによつて高濃度の酸素を回収するこ
とができた。この結果我々は95％以上、さらには
99％以上の高濃度酸素を得ることに成功した。 本発明の目的は工業的に有利に高濃度の酸素を
製造する方法を提供することにあり、その要旨は
ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第１段
吸着装置を用い空気を原料としてプレツシヤース
イングを行ない、酸素を主成分としアルゴンと窒
素を含有する非吸着ガスを得、これをカーボンモ
レキユラーシーブを充填した第２段吸着装置に導
き、プレツシヤースイングを行なつてアルゴンと
窒素を非吸着ガスとして分離除去し吸着された酸
素を脱着して高濃度酸素を製造する方法であり、
さらにゼオライトモレキユラーシーブを充填した
第１段吸着装置を用い空気を原料としてプレツシ
ヤースイングを行ない、酸素を主成分としアルゴ
ンと窒素を含有する非吸着ガスを得これをカーボ
ンモレキユラーシーブを充填した第２段吸着装置
に導きプレツシヤースイングを行なつて吸着され
た酸素を脱着すると共に非吸着ガスとして分離し
たアルゴンと窒素を含む酸素をカーボンモレキユ
ラーシーブを充填した第３段吸着装置に導きプレ
ツシヤースイングを行ない吸着された酸素を脱着
し、これを第２段吸着装置の原料ガス中に循環
し、酸素の回収率を増加させる方法である。 従来のPSA法では最高95％濃度の酸素しか得
られなかつた為、液体酸素が用いられている産業
分野にPSAで得られた酸素がすべて適用される
ことは不可能であつたが、今や、PSAのみで簡
単に空気から高濃度酸素が得られたことによつて
液体酸素に相当する高濃度酸素を安価に必要な場
所で、必要な時に発生させ使用することが可能と
なつた。 ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第１
段PSA装置は通常の方法、即ち、吸着圧力は大
気圧以上１Kg／cm2Ｇ以下で操作しカーボンモレキ
ユラーシーブを充填したPSA装置は、第２段と
第３段で構成されており、それぞれ吸着−均圧−
昇圧−脱着の工程を有し吸着圧力は0.3〜10Kg／
cm2Ｇ好ましくは１〜３Kg／cm2Ｇ、脱着圧力は大気
圧以下好ましくは400トール以下より好ましくは
200トール以下で減圧することが装置の大きさ及
び回収率ならびに電力使用量が少なくて済むこと
などの点から経済的にも有利である。 本発明の実施態様を具体的に説明する為に第１
表に第２段のシーケンス、第２表に第３段のシー
ケンス、第１図に第１段、第２段と第３段を組み
合わせたフローを示す。 本フローには第２段装置が３塔式、第３段装置
が２塔式の装置が示されているが、吸着塔の数は
適宜変更することができる。しかし、装置のコス
ト、運転の容易さ、製品純度の安定化の面から第
２段装置は３塔式、第３段装置は２塔式とした場
合によい結果が得られる場合が多い。
【表】
【表】
【表】
【表】
第１図においてまずゼオライトモレキユラーシ
ーブを充填した第１段装置で空気を原料として既
存のPSAを行ない非吸着ガスとして酸素濃度が
93％以上のガスを得る。 このガスを圧縮機Ａにて約３Kg／cm2Ｇまで加圧
し、第２段装置の弁１、弁１３、弁９、弁１２を
通じて塔及び塔に直列に導入し酸素を吸着さ
せ酸素濃度を約80％としてレシーバーＤに排出さ
せる。 既に塔に吸着された酸素は脱着初期の約５秒
間だけ弁５、弁１７を通じてバツフアータンクＦ
で圧力が安定化された後、圧縮機Ａの入口に循環
される。 これは脱着初期においては脱着ガス濃度が原料
ガス濃度にほぼ等しく99％の高濃度酸素が得られ
ない為である。 脱着後期は約55秒間で真空ポンプＢを用いて約
150トールの圧力まで減圧再生し、脱着された99
％以上の高濃度酸素は弁１６を通じてレシーバー
Ｅに蓄えられる。 次に、２度の吸着工程を終了した塔と脱着工
程が終了した塔が弁４、弁５、及び弁１３、弁
１４を通じて均圧され原料ガスを回収する。 以上の工程に従つて第２段装置は約３分間を１
サイクルとして第１表に示す工程をくり返す。 第３段装置は第２段装置より導入される酸素濃
度が約80％で残りは窒素とアルゴンである、圧力
1.5〜2.0Kg／cm2Ｇのガスを弁１８、弁２４を通じ
て塔で酸素を吸着させた後酸素濃度が約60％の
ガスとしてレシーバーＨに排出する。 塔に吸着された酸素は脱着される前に弁２２
と弁２３を通じて脱着工程の終了した塔と均圧
し原料ガスの回収を計る。 そして弁２０を通じて塔は脱着工程に入り、
約93％濃度の酸素が真空ポンプＣによつて脱着さ
れバツフアータンクＧに蓄えられた後、第２段装
置の圧縮機Ａの入口部へと循環され回収される。
均圧をおこなつた塔は弁１９を通じて導入され
たガスによつて昇圧された後吸着工程に入る。 以上の工程に従つて第３段装置は約２分間を１
サイクルとして第２表に示す工程をくり返す。 本発明の特徴である第２段装置と第３段装置に
ついてさらに説明すると、第２段装置は高濃度酸
素を脱着ガスとして回収する為の装置で、第３段
装置は酸素の収率を上げる為に脱着した酸素を第
２段装置の原料ガス中に循環させる為のものであ
りこれによつて第１段装置より導入した酸素が80
％以上の回収率で得られる。 又、第１表に示す第２段装置のシーケンスの特
徴は、吸着時に２塔の吸着塔に直列に原料ガスを
通過させた後、脱着時に２塔の内上流側にあつて
酸素を飽和吸着した塔を選んで減圧再生し、高濃
度酸素を脱着させ回収することにある。 この場合、脱着する前に脱着工程の終了した塔
と均圧し塔内のガスを回収する。その後、減圧再
生し脱着を開始するが、脱着初期の脱着ガスは原
料ガス組成に近い為原料ガスの一部として循環
し、後期に脱着するガスを高濃度酸素として取得
することができる。 第１図に示した真空ポンプＢ及びＣを省略する
為に、第２段及び第３段装置の吸着圧力を３Kg／
cm2Ｇ以上最高10Kg／cm2Ｇの範囲で装作し、減圧再
生時の脱着圧力をほぼ大気圧としてPSAをおこ
なうことも可能であるが、その場合には圧縮機Ａ
の吐出圧力を３Kg／cm2Ｇ以上最高10Kg／cm2Ｇまで
上昇させ、吸入圧力を大気圧以下としておく必要
があるので装置の状況に応じて選定すべきであ
る。 以下実施例を示して本発明をさらに詳細に説明
するが本発明がこれに限定されるものではない。 実施例 １ 空気を原料として３塔式の第１段装置で吸着圧
力を500mmH2O脱着圧力を150トールとしてPSA
をおこない得られた93.3％濃度の酸素ガスを、吸
着塔として200mmφ×1100mmＨに西ドイツ・ベル
グバウ社製の３Å〜４Åを中心とした細孔径を有
するカーボンモレキユラーシーブを充填した３塔
式の第２段装置に圧縮機で3.0Kg／cm2Ｇまで加圧
導入し、吸着１−58秒、ホールド（何もおこなわ
ない工程）−２秒、吸着２−58秒、均圧−２秒、
脱着−58秒、均圧−２秒（１サイクル合計３分）
のシーケンスでPSAをおこなつた。 この時の吸着圧力は2.6Kg／cm2Ｇ脱着圧力は160
トールであり圧縮機入口ガス量は22.8Nm2／Ｈ、
酸素濃度は93.3％、第２段装置から第３段装置へ
送り込むガス量は6.1Nm2／Ｈ、酸素濃度は79.2
％、高濃度酸素として製品となる脱着ガス量は
20.0Nm2／Ｈ、酸素濃度は99.3％であつた。この
場合５秒間だけ脱着初期の脱着ガスを圧縮機入口
部へ循環させた。 更に、第３段装置として２塔式の125mmφ×
1100mmＨの吸着塔に第２段装置と同じ西ドイツ・
ベルグバウ社製のカーボンモレキユラーシーブを
充填しPSAをおこなつた。 この時のシーケンスは吸着−55秒、均圧−1.5
秒、脱着−58.5秒、均圧−1.5秒、昇圧−3.5秒
（１サイクル合計２分）でおこない吸着圧力は0.9
Kg／cm2Ｇ、脱着圧力は150トールであり第３段装
置の排出ガス量は2.8Nm2／Ｈ酸素濃度は50％と
なつた。又、脱着されたガスは第２段装置の圧縮
機入口部へ循環した。 以上の結果より99.3％の高濃度酸素が回収率
93.4％にて得られた。尚、第３段装置を設けない
場合の高濃度酸素の回収率は計算上77.3％であつ
た。 実施例 ２ 実施例１の第１段装置より発生した同じ93.3％
濃度の酸素ガスを圧縮機で6.5Kg／cm2Ｇまで加圧
し、実施例１と同じ200mmφ×1100mmＨの吸着塔
を３塔設け第２段装置として吸着１−58秒、ホー
ルド（何もしない工程）−２秒、吸着２−58秒、
均圧−２秒、脱着−58秒、均圧−２秒（１サイク
ル合計３分）のシーケンスでPSAをおこなつた。 この場合は吸着圧力が6.3Kg／cm2Ｇとなり脱着
圧力は真空ポンプを設けずほぼ大気圧で行なつ
た。圧縮機入口ガス量は23.6Nm3／Ｈ、酸素濃度
は93.3％、第２段装置から第３段装置へ送り込む
ガス量は18.8Nm3／Ｈ、酸素濃度は80.6％、高濃
度酸素として製品となる脱着ガス量は18.4Nm3／
Ｈ酸素濃度は99.2％であつた。脱着初期の脱着ガ
スは６秒間圧縮機入口部へ循環させた。 更に第３段装置として実施例１と同様に125mm
φ×1100mmＨの吸着塔を用い２塔式でPSAをお
こなつた。 この時のシーケンスは吸着−55秒、均圧−1.5
秒、脱着−58.5秒、均圧−1.5秒、昇圧−3.5秒
（１サイクル合計２分）とし、吸着圧力は5.8Kg／
cm2Ｇ、脱着圧力は真空ポンプを設けず大気圧とし
た。第３段装置の排出ガス量は5.2Nm2／Ｈ酸素
濃度は71.2％であつた。脱着ガスは第２段装置の
入口部へ循環した。 以上の結果より99.2％の高濃度酸素が実施例１
より小さい回収率83.9％で得られた。
ーブを充填した第１段装置で空気を原料として既
存のPSAを行ない非吸着ガスとして酸素濃度が
93％以上のガスを得る。 このガスを圧縮機Ａにて約３Kg／cm2Ｇまで加圧
し、第２段装置の弁１、弁１３、弁９、弁１２を
通じて塔及び塔に直列に導入し酸素を吸着さ
せ酸素濃度を約80％としてレシーバーＤに排出さ
せる。 既に塔に吸着された酸素は脱着初期の約５秒
間だけ弁５、弁１７を通じてバツフアータンクＦ
で圧力が安定化された後、圧縮機Ａの入口に循環
される。 これは脱着初期においては脱着ガス濃度が原料
ガス濃度にほぼ等しく99％の高濃度酸素が得られ
ない為である。 脱着後期は約55秒間で真空ポンプＢを用いて約
150トールの圧力まで減圧再生し、脱着された99
％以上の高濃度酸素は弁１６を通じてレシーバー
Ｅに蓄えられる。 次に、２度の吸着工程を終了した塔と脱着工
程が終了した塔が弁４、弁５、及び弁１３、弁
１４を通じて均圧され原料ガスを回収する。 以上の工程に従つて第２段装置は約３分間を１
サイクルとして第１表に示す工程をくり返す。 第３段装置は第２段装置より導入される酸素濃
度が約80％で残りは窒素とアルゴンである、圧力
1.5〜2.0Kg／cm2Ｇのガスを弁１８、弁２４を通じ
て塔で酸素を吸着させた後酸素濃度が約60％の
ガスとしてレシーバーＨに排出する。 塔に吸着された酸素は脱着される前に弁２２
と弁２３を通じて脱着工程の終了した塔と均圧
し原料ガスの回収を計る。 そして弁２０を通じて塔は脱着工程に入り、
約93％濃度の酸素が真空ポンプＣによつて脱着さ
れバツフアータンクＧに蓄えられた後、第２段装
置の圧縮機Ａの入口部へと循環され回収される。
均圧をおこなつた塔は弁１９を通じて導入され
たガスによつて昇圧された後吸着工程に入る。 以上の工程に従つて第３段装置は約２分間を１
サイクルとして第２表に示す工程をくり返す。 本発明の特徴である第２段装置と第３段装置に
ついてさらに説明すると、第２段装置は高濃度酸
素を脱着ガスとして回収する為の装置で、第３段
装置は酸素の収率を上げる為に脱着した酸素を第
２段装置の原料ガス中に循環させる為のものであ
りこれによつて第１段装置より導入した酸素が80
％以上の回収率で得られる。 又、第１表に示す第２段装置のシーケンスの特
徴は、吸着時に２塔の吸着塔に直列に原料ガスを
通過させた後、脱着時に２塔の内上流側にあつて
酸素を飽和吸着した塔を選んで減圧再生し、高濃
度酸素を脱着させ回収することにある。 この場合、脱着する前に脱着工程の終了した塔
と均圧し塔内のガスを回収する。その後、減圧再
生し脱着を開始するが、脱着初期の脱着ガスは原
料ガス組成に近い為原料ガスの一部として循環
し、後期に脱着するガスを高濃度酸素として取得
することができる。 第１図に示した真空ポンプＢ及びＣを省略する
為に、第２段及び第３段装置の吸着圧力を３Kg／
cm2Ｇ以上最高10Kg／cm2Ｇの範囲で装作し、減圧再
生時の脱着圧力をほぼ大気圧としてPSAをおこ
なうことも可能であるが、その場合には圧縮機Ａ
の吐出圧力を３Kg／cm2Ｇ以上最高10Kg／cm2Ｇまで
上昇させ、吸入圧力を大気圧以下としておく必要
があるので装置の状況に応じて選定すべきであ
る。 以下実施例を示して本発明をさらに詳細に説明
するが本発明がこれに限定されるものではない。 実施例 １ 空気を原料として３塔式の第１段装置で吸着圧
力を500mmH2O脱着圧力を150トールとしてPSA
をおこない得られた93.3％濃度の酸素ガスを、吸
着塔として200mmφ×1100mmＨに西ドイツ・ベル
グバウ社製の３Å〜４Åを中心とした細孔径を有
するカーボンモレキユラーシーブを充填した３塔
式の第２段装置に圧縮機で3.0Kg／cm2Ｇまで加圧
導入し、吸着１−58秒、ホールド（何もおこなわ
ない工程）−２秒、吸着２−58秒、均圧−２秒、
脱着−58秒、均圧−２秒（１サイクル合計３分）
のシーケンスでPSAをおこなつた。 この時の吸着圧力は2.6Kg／cm2Ｇ脱着圧力は160
トールであり圧縮機入口ガス量は22.8Nm2／Ｈ、
酸素濃度は93.3％、第２段装置から第３段装置へ
送り込むガス量は6.1Nm2／Ｈ、酸素濃度は79.2
％、高濃度酸素として製品となる脱着ガス量は
20.0Nm2／Ｈ、酸素濃度は99.3％であつた。この
場合５秒間だけ脱着初期の脱着ガスを圧縮機入口
部へ循環させた。 更に、第３段装置として２塔式の125mmφ×
1100mmＨの吸着塔に第２段装置と同じ西ドイツ・
ベルグバウ社製のカーボンモレキユラーシーブを
充填しPSAをおこなつた。 この時のシーケンスは吸着−55秒、均圧−1.5
秒、脱着−58.5秒、均圧−1.5秒、昇圧−3.5秒
（１サイクル合計２分）でおこない吸着圧力は0.9
Kg／cm2Ｇ、脱着圧力は150トールであり第３段装
置の排出ガス量は2.8Nm2／Ｈ酸素濃度は50％と
なつた。又、脱着されたガスは第２段装置の圧縮
機入口部へ循環した。 以上の結果より99.3％の高濃度酸素が回収率
93.4％にて得られた。尚、第３段装置を設けない
場合の高濃度酸素の回収率は計算上77.3％であつ
た。 実施例 ２ 実施例１の第１段装置より発生した同じ93.3％
濃度の酸素ガスを圧縮機で6.5Kg／cm2Ｇまで加圧
し、実施例１と同じ200mmφ×1100mmＨの吸着塔
を３塔設け第２段装置として吸着１−58秒、ホー
ルド（何もしない工程）−２秒、吸着２−58秒、
均圧−２秒、脱着−58秒、均圧−２秒（１サイク
ル合計３分）のシーケンスでPSAをおこなつた。 この場合は吸着圧力が6.3Kg／cm2Ｇとなり脱着
圧力は真空ポンプを設けずほぼ大気圧で行なつ
た。圧縮機入口ガス量は23.6Nm3／Ｈ、酸素濃度
は93.3％、第２段装置から第３段装置へ送り込む
ガス量は18.8Nm3／Ｈ、酸素濃度は80.6％、高濃
度酸素として製品となる脱着ガス量は18.4Nm3／
Ｈ酸素濃度は99.2％であつた。脱着初期の脱着ガ
スは６秒間圧縮機入口部へ循環させた。 更に第３段装置として実施例１と同様に125mm
φ×1100mmＨの吸着塔を用い２塔式でPSAをお
こなつた。 この時のシーケンスは吸着−55秒、均圧−1.5
秒、脱着−58.5秒、均圧−1.5秒、昇圧−3.5秒
（１サイクル合計２分）とし、吸着圧力は5.8Kg／
cm2Ｇ、脱着圧力は真空ポンプを設けず大気圧とし
た。第３段装置の排出ガス量は5.2Nm2／Ｈ酸素
濃度は71.2％であつた。脱着ガスは第２段装置の
入口部へ循環した。 以上の結果より99.2％の高濃度酸素が実施例１
より小さい回収率83.9％で得られた。
第１図は本発明の実施態様を示す第１段、第２
段、第３段吸着装置よりなるフローシートであ
る。
段、第３段吸着装置よりなるフローシートであ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第
１段吸着装置を用い空気を原料としてプレツシヤ
ースイングを行ない、酸素を主成分としアルゴン
と窒素を含有する非吸着ガスを得、これをカーボ
ンモレキユラーシーブを充填した第２段吸着装置
に導き、プレツシヤースイングを行なつてアルゴ
ンと窒素を非吸着ガスとして分離除去し、吸着さ
れた酸素を脱着することを特徴とする高濃度酸素
の製造方法。 ２ 第２段装置の吸着圧力が0.3〜10Kg／cm2Ｇで
ある特許請求の範囲１記載の方法。 ３ 脱着圧力が大気圧以下である特許請求の範囲
１記載の方法。 ４ ゼオライトモレキユラーシーブを充填した第
１段吸着装置を用い、空気を原料としてプレツシ
ヤースイングを行ない酸素を主成分としアルゴン
と窒素を含有する非吸着ガスを得これをカーボン
モレキユラーシーブを充填した第２段吸着装置に
導きプレツシヤースイングを行なつて、吸着され
た酸素を脱着すると共に非吸着ガスとして分離し
たアルゴンと窒素を含む酸素をカーボンモレキユ
ラーシーブを充填した第３段吸着装置に導きプレ
ツシヤースイングを行ない吸着された酸素を脱着
しこれを第２段吸着装置の原料ガス中に循環し酸
素の回収率を増加させることを特徴とする高濃度
酸素の製造方法。 ５ 第２段ならびに第３段装置の吸着圧力が0.3
〜10Kg／cm2Ｇである特許請求の範囲４記載の方
法。 ６ 脱着圧力が大気圧以下である特許請求の範囲
４記載の方法。 ７ 第２段装置が３塔式、第３段装置が２塔式か
ら成る特許請求の範囲４記載の方法。 ８ 第２段装置において３塔の内の２塔に第１段
装置より発生した酸素を主成分とするガスを直列
に通過させた後、脱着時に上流側で酸素を飽和吸
着した塔を選んで脱着し、脱着初期のガスを原料
ガスとして回収し脱着後期のガスを高濃度酸素と
して得る特許請求の範囲４記載の方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59104239A JPS60246206A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 高濃度酸素の製造方法 |
| US06/734,511 US4661125A (en) | 1984-05-22 | 1985-05-16 | Process for producing high concentration oxygen by a pressure-swing-adsorption method |
| DE8585106214T DE3577430D1 (de) | 1984-05-22 | 1985-05-21 | Verfahren zur herstellung von hochkonzentriertem sauerstoff durch einen druckkreisprozess (p.s.a.). |
| EP85106214A EP0163242B1 (en) | 1984-05-22 | 1985-05-21 | Process for producing high concentration oxygen by a pressure-swing-adsorption method |
| CA000481913A CA1271710A (en) | 1984-05-22 | 1985-05-21 | Process for producing high concentration oxygen by a pressure-swing-absorption method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59104239A JPS60246206A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 高濃度酸素の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5346320A Division JPH07110762B2 (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 高濃度酸素の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60246206A JPS60246206A (ja) | 1985-12-05 |
| JPH0429601B2 true JPH0429601B2 (ja) | 1992-05-19 |
Family
ID=14375401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59104239A Granted JPS60246206A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 高濃度酸素の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4661125A (ja) |
| EP (1) | EP0163242B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60246206A (ja) |
| CA (1) | CA1271710A (ja) |
| DE (1) | DE3577430D1 (ja) |
Families Citing this family (45)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61266302A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-26 | Seitetsu Kagaku Co Ltd | 濃縮酸素回収方法 |
| US4869733A (en) * | 1986-05-22 | 1989-09-26 | Vbm Corporation | Super-enriched oxygen generator |
| FR2612083B1 (fr) * | 1987-03-11 | 1989-06-09 | Air Liquide | Procede de traitement par adsorption d'un melange gazeux |
| JP2562326B2 (ja) * | 1987-08-07 | 1996-12-11 | 住友精化株式会社 | 空気から高濃度酸素を取得する方法 |
| US4790858A (en) * | 1988-01-29 | 1988-12-13 | Air Products And Chemicals, Inc. | Fractionation of multicomponent gas mixtures by pressure swing adsorption |
| US4813979A (en) * | 1988-02-02 | 1989-03-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Secondary oxygen purifier for molecular sieve oxygen concentrator |
| GB8812642D0 (en) * | 1988-05-27 | 1988-06-29 | Boc Group Plc | Separation of gas mixtures |
| US5137549A (en) * | 1988-10-14 | 1992-08-11 | Vbm Corporation | Two stage super-enriched oxygen concentrator |
| US4880443A (en) * | 1988-12-22 | 1989-11-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Molecular sieve oxygen concentrator with secondary oxygen purifier |
| FR2647431B1 (fr) * | 1989-05-24 | 1991-08-16 | Air Liquide | Procede et installation de production d'oxygene gazeux sous haute pression |
| US4973339A (en) * | 1989-10-18 | 1990-11-27 | Airsep Corporation | Pressure swing absorption process and system for gas separation |
| US5154737A (en) * | 1990-01-12 | 1992-10-13 | Vbm Corporation | System for eliminating air leakage and high purity oxygen of a PSA oxygen concentrator |
| US5125934A (en) * | 1990-09-28 | 1992-06-30 | The Boc Group, Inc. | Argon recovery from argon-oxygen-decarburization process waste gases |
| US5226933A (en) * | 1992-03-31 | 1993-07-13 | Ohio State University | Pressure swing adsorption system to purify oxygen |
| WO1994006541A1 (en) * | 1992-09-22 | 1994-03-31 | Arbor Research Corporation | System for separation of oxygen from argon/oxygen mixture |
| KR970008347B1 (ko) * | 1994-04-12 | 1997-05-23 | 한국에너지기술연구소 | 암모니아 퍼지가스에서 아르곤 및 수소를 고농도로 분리하는 흡착분리방법과 그 장치 |
| US5542966A (en) * | 1994-10-21 | 1996-08-06 | Nitrotec Corporation | Helium recovery |
| US5707425A (en) * | 1994-10-21 | 1998-01-13 | Nitrotec Corporation | Helium recovery from higher helium content streams |
| US5792239A (en) * | 1994-10-21 | 1998-08-11 | Nitrotec Corporation | Separation of gases by pressure swing adsorption |
| US5632803A (en) * | 1994-10-21 | 1997-05-27 | Nitrotec Corporation | Enhanced helium recovery |
| JPH08165104A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-25 | Kanebo Ltd | 高純度酸素ガスの分離法 |
| US5766310A (en) * | 1996-07-19 | 1998-06-16 | Litton Systems Incorporated | Single stage secondary high purity oxygen concentrator |
| US5762686A (en) * | 1996-09-04 | 1998-06-09 | Special Gas System, Inc. | Process for determining amount of argon contamination in oxygen and related apparatus therefor |
| US5906673A (en) * | 1997-05-15 | 1999-05-25 | Nitrotec Corporation | Pressure swing system with auxiliary adsorbent bed |
| US6475265B1 (en) * | 1998-10-22 | 2002-11-05 | Praxair Technology, Inc. | Pressure swing adsorption method for production of an oxygen-enriched gas |
| US6217635B1 (en) | 1998-11-09 | 2001-04-17 | Fantom Technologies Inc. | Method and apparatus for concentrating a gas using a single stage adsorption chamber |
| US6156100A (en) * | 1999-02-01 | 2000-12-05 | Fantom Technologies, Inc. | Method and apparatus for concentrating a gas using a single stage adsorption zone |
| US6162283A (en) * | 1999-02-01 | 2000-12-19 | Fantom Technologies Inc. | Method and apparatus for concentrating a gas using a single stage adsorption zone |
| US6394089B1 (en) * | 2000-01-18 | 2002-05-28 | Northrop Grumman Corporation | Patient ventilator oxygen concentration system |
| PL191724B1 (pl) * | 2000-02-18 | 2006-06-30 | Inst Ciezkiej Syntezy Orga | Sposób rozdzielania mieszanin gazowych tlenu, argonu i azotu |
| JP3891773B2 (ja) | 2000-10-20 | 2007-03-14 | 大陽日酸株式会社 | ガスの分離精製方法及びその装置 |
| JP3902416B2 (ja) | 2001-04-16 | 2007-04-04 | 大陽日酸株式会社 | ガス分離方法 |
| JP2003299931A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-21 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | ガス分離方法及びガス分離装置 |
| JP3899282B2 (ja) | 2002-04-15 | 2007-03-28 | 大陽日酸株式会社 | ガス分離方法 |
| GB0216914D0 (en) * | 2002-07-19 | 2002-08-28 | Air Prod & Chem | Process and apparatus for treating a feed gas |
| US6699307B1 (en) * | 2002-10-11 | 2004-03-02 | H2Gen Innovations, Inc. | High recovery PSA cycles and apparatus with reduced complexity |
| WO2004103899A1 (en) * | 2003-05-23 | 2004-12-02 | Yonsei University | Apparatus for producing oxygen and method for controlling the same |
| JP4898194B2 (ja) * | 2005-11-14 | 2012-03-14 | 大陽日酸株式会社 | 圧力変動吸着式ガス分離方法及び分離装置 |
| JP5139633B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2013-02-06 | 学校法人関東学院 | ノンアルゴン高濃度酸素精製装置 |
| JP4777044B2 (ja) * | 2005-11-04 | 2011-09-21 | 太平洋セメント株式会社 | セメント製造装置及びセメント製造方法 |
| US8177886B2 (en) * | 2009-05-07 | 2012-05-15 | General Electric Company | Use of oxygen concentrators for separating N2 from blast furnace gas |
| PL2801392T3 (pl) | 2013-05-06 | 2016-12-30 | Sposób zobojętniania oraz urządzenie do redukcji tlenu | |
| FR3028188A1 (fr) * | 2014-11-07 | 2016-05-13 | Novair | Dispositif de production d’oxygene purifie |
| WO2021207914A1 (zh) * | 2020-04-14 | 2021-10-21 | 成都盈辰科技有限公司 | 一种采用变压吸附技术生产氧气的方法 |
| DE102023202807A1 (de) * | 2023-03-28 | 2024-10-02 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Modulares Gastrennverfahren, modulares Gastrennvorrichtungssystem und modulare Gastrennvorrichtung |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL291467A (ja) * | 1962-04-12 | 1900-01-01 | ||
| US3738087A (en) * | 1971-07-01 | 1973-06-12 | Union Carbide Corp | Selective adsorption gas separation process |
| GB1449864A (en) * | 1973-10-24 | 1976-09-15 | Boc International Ltd | Adsorption system |
| US3957463A (en) * | 1973-12-12 | 1976-05-18 | Air Products And Chemicals, Inc. | Oxygen enrichment process |
| US4013429A (en) * | 1975-06-04 | 1977-03-22 | Air Products And Chemicals, Inc. | Fractionation of air by adsorption |
| US4190424A (en) * | 1975-07-17 | 1980-02-26 | Boc Limited | Gas separation |
| NZ183389A (en) * | 1976-02-27 | 1979-10-25 | Boc Ltd | Gas separation by pressure swing adsorption: feed mixture supplied in substantially unpressurized condition |
| JPS5399091A (en) * | 1977-02-10 | 1978-08-30 | Osaka Sanso Kougiyou Kk | Method of concentrating oxygen gas |
| US4386945A (en) * | 1982-02-01 | 1983-06-07 | Litton Systems, Inc. | Process and compound bed means for evolving a first component enriched gas |
| JPS5992907A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-29 | Seitetsu Kagaku Co Ltd | 高濃度アルゴンの製造方法 |
| US4539020A (en) * | 1983-07-10 | 1985-09-03 | Kawasaki Steel Corporation | Methods for obtaining high-purity carbon monoxide |
-
1984
- 1984-05-22 JP JP59104239A patent/JPS60246206A/ja active Granted
-
1985
- 1985-05-16 US US06/734,511 patent/US4661125A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-05-21 CA CA000481913A patent/CA1271710A/en not_active Expired
- 1985-05-21 DE DE8585106214T patent/DE3577430D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-05-21 EP EP85106214A patent/EP0163242B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0163242A1 (en) | 1985-12-04 |
| US4661125A (en) | 1987-04-28 |
| EP0163242B1 (en) | 1990-05-02 |
| CA1271710A (en) | 1990-07-17 |
| JPS60246206A (ja) | 1985-12-05 |
| DE3577430D1 (de) | 1990-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0429601B2 (ja) | ||
| US5051115A (en) | Pressure swing adsorption process | |
| JP3902416B2 (ja) | ガス分離方法 | |
| US9944575B2 (en) | Methane gas concentration method | |
| JPS5922625A (ja) | 一酸化炭素ガス及び窒素ガスを含む混合ガスより窒素ガスを吸着法により除去する方法 | |
| EP1175934A2 (en) | Improved oxygen production | |
| JPS6026571B2 (ja) | 気体混合物中の成分気体の割合を増大させる方法および装置 | |
| JPS6130813B2 (ja) | ||
| JPH0477681B2 (ja) | ||
| KR890014381A (ko) | 농축 산소 가스의 회수 방법 | |
| JPS62502180A (ja) | 増進された圧力スイング吸着加工 | |
| US6017382A (en) | Method of processing semiconductor manufacturing exhaust gases | |
| CA1290261C (en) | Adsorbate recovery in psa process | |
| JP4481112B2 (ja) | 圧力変動吸着式ガス分離方法及び装置 | |
| JPH0268111A (ja) | 改良された圧力スイング吸着法 | |
| JPH0733404A (ja) | 高濃度酸素の製造方法 | |
| JPH08294612A (ja) | 多数成分の混合体を分画する圧力スウィング吸着方法 | |
| JP2004066125A (ja) | 目的ガスの分離方法 | |
| JPH07267612A (ja) | 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置 | |
| JPH01262919A (ja) | 空気中の窒素および酸素の分離回収方法 | |
| EP0529513A2 (en) | Pressure swing adsorption for hydrogen with high productivity | |
| JPH07330306A (ja) | 圧力変動吸着分離法による酸素発生方法 | |
| JPS621766B2 (ja) | ||
| JPS60155520A (ja) | 一酸化炭素ガスを含む混合ガスより吸着法により一酸化炭素を精製する方法 | |
| JPH0525801B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |