JPH04298340A - 成膜用積層基板 - Google Patents
成膜用積層基板Info
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- JPH04298340A JPH04298340A JP8954691A JP8954691A JPH04298340A JP H04298340 A JPH04298340 A JP H04298340A JP 8954691 A JP8954691 A JP 8954691A JP 8954691 A JP8954691 A JP 8954691A JP H04298340 A JPH04298340 A JP H04298340A
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- Japan
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- substrate
- carbon layer
- film
- layer
- magnetic disk
- Prior art date
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- Withdrawn
Links
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- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
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Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク媒体や磁気
ドラム、その他の素材として有用な成膜用積層基板に関
し、殊に膜との密着性に優れた成膜用基板に関するもの
である。尚本発明の成膜用積層基板は、上記の様に様々
な素材として有用であるが、以下では磁気ディスク媒体
を代表的に取り上げて説明する。
ドラム、その他の素材として有用な成膜用積層基板に関
し、殊に膜との密着性に優れた成膜用基板に関するもの
である。尚本発明の成膜用積層基板は、上記の様に様々
な素材として有用であるが、以下では磁気ディスク媒体
を代表的に取り上げて説明する。
【０００２】
【従来の技術】近年における情報量の増加は著しいもの
があり、こうした状況のもとでコンピュータやデータ・
プロセッサ等の高記録密度化が急速に発展してきている
。そして外部記録装置である磁気ディスクの高容量化、
磁気ディスク媒体の高密度化、磁気ヘッド等の諸部品の
改良、および新規磁気記録方式の開発等様々な改良研究
が盛んに進められている。
があり、こうした状況のもとでコンピュータやデータ・
プロセッサ等の高記録密度化が急速に発展してきている
。そして外部記録装置である磁気ディスクの高容量化、
磁気ディスク媒体の高密度化、磁気ヘッド等の諸部品の
改良、および新規磁気記録方式の開発等様々な改良研究
が盛んに進められている。
【０００３】記録密度の向上を磁気ヘッド側から見ると
、高密度化を達成するには浮上高さの減少が有効である
ことが知られており、その為には磁気ディスク媒体側に
は高い平滑度（若しくは表面粗度）が要求される。現在
達成されている高密度記録においては、０．１ μｍ以
下の浮上高さが必要となっており、この場合磁気ディス
ク媒体に要求される表面粗度は浮上高さの１０分の１以
下（即ち０．０１μｍ以下）が必要であると言われてい
る。
、高密度化を達成するには浮上高さの減少が有効である
ことが知られており、その為には磁気ディスク媒体側に
は高い平滑度（若しくは表面粗度）が要求される。現在
達成されている高密度記録においては、０．１ μｍ以
下の浮上高さが必要となっており、この場合磁気ディス
ク媒体に要求される表面粗度は浮上高さの１０分の１以
下（即ち０．０１μｍ以下）が必要であると言われてい
る。
【０００４】ところで現状での大部分の磁気ディスクで
は、Ｃ．Ｓ．Ｓ．（Ｃｏｍｔａｃｔ Ｓｔａｒｔ Ｓｔ
ｏｐ）方式が採用されている。このＣ．Ｓ．Ｓ．方式と
は、情報の伝達が無い場合には磁気ディスク媒体は停止
しており、また同時に磁気ヘッドは媒体上に接触してい
る。そして情報の伝達が始まると磁気ディスク媒体は回
転を始め、ヘッドは浮上する（浮動ヘッド）。更に情報
の伝達が終了すると磁気ディスク媒体の回転を停止する
と共に、磁気ヘッドを媒体上に接触させる。従って、磁
気ディスク媒体には、信頼性という面から上記の様なＣ
．Ｓ．Ｓ．方式に長期間耐えることが要求される。この
場合、磁気ディスク媒体を構成する基板、および該基板
上に形成される媒体（膜）の密着性が悪いと上記Ｃ．Ｓ
．Ｓ．方式に耐えることができず、基板と媒体の密着性
の良否は、磁気ディスク媒体の耐久性を判定する上で非
常に重要な因子となる。
は、Ｃ．Ｓ．Ｓ．（Ｃｏｍｔａｃｔ Ｓｔａｒｔ Ｓｔ
ｏｐ）方式が採用されている。このＣ．Ｓ．Ｓ．方式と
は、情報の伝達が無い場合には磁気ディスク媒体は停止
しており、また同時に磁気ヘッドは媒体上に接触してい
る。そして情報の伝達が始まると磁気ディスク媒体は回
転を始め、ヘッドは浮上する（浮動ヘッド）。更に情報
の伝達が終了すると磁気ディスク媒体の回転を停止する
と共に、磁気ヘッドを媒体上に接触させる。従って、磁
気ディスク媒体には、信頼性という面から上記の様なＣ
．Ｓ．Ｓ．方式に長期間耐えることが要求される。この
場合、磁気ディスク媒体を構成する基板、および該基板
上に形成される媒体（膜）の密着性が悪いと上記Ｃ．Ｓ
．Ｓ．方式に耐えることができず、基板と媒体の密着性
の良否は、磁気ディスク媒体の耐久性を判定する上で非
常に重要な因子となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク媒体は、
例えば下記の様な構成のものが使用される。即ちアルミ
ニウム合金（例えばＡｌ−Ｍｇ合金）基板上に無電解め
っき法によってＮｉＰ層（高平滑面を得る為）が形成さ
れ、更にその上にスパッタリングによりＣｒ層、Ｃｏ合
金層およびＣ保護層が順次形成される。しかしながら上
記の様な構成ではＣ．Ｓ．Ｓ．方式による長期間の使用
により、膜剥離が発生するという欠点があった。
例えば下記の様な構成のものが使用される。即ちアルミ
ニウム合金（例えばＡｌ−Ｍｇ合金）基板上に無電解め
っき法によってＮｉＰ層（高平滑面を得る為）が形成さ
れ、更にその上にスパッタリングによりＣｒ層、Ｃｏ合
金層およびＣ保護層が順次形成される。しかしながら上
記の様な構成ではＣ．Ｓ．Ｓ．方式による長期間の使用
により、膜剥離が発生するという欠点があった。
【０００６】本発明は、こうした情況のもとになされた
ものであって、その目的は、膜形成において基板との優
れた密着性を達成することができ、磁気ディスク媒体、
磁気ドラム、その他の素材として有用な成膜用積層基板
を提供することにある。
ものであって、その目的は、膜形成において基板との優
れた密着性を達成することができ、磁気ディスク媒体、
磁気ドラム、その他の素材として有用な成膜用積層基板
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】上記目的を達成し得た本発
明とは、基板表面にカーボン層を形成したものである点
に要旨を有する成膜用積層基板である。
明とは、基板表面にカーボン層を形成したものである点
に要旨を有する成膜用積層基板である。
【０００８】
【作用】本発明者は、膜との密着性を高めることのでき
る基板構成について、様々な角度から検討を加えた。そ
の結果、基板上にカーボン層を形成した積層構造とすれ
ば、その後形成される膜との密着性を高くすることがで
きることを見出し、本発明を完成した。
る基板構成について、様々な角度から検討を加えた。そ
の結果、基板上にカーボン層を形成した積層構造とすれ
ば、その後形成される膜との密着性を高くすることがで
きることを見出し、本発明を完成した。
【０００９】本発明の積層基板は上述の如く基板表面に
カーボン層を形成したものであるが、このカーボン層の
形成手段については特に限定するものではなく、スパッ
タ法、蒸着法、化学気相成長法、その他カーボン層を形
成できる方法であれば、どの様な方法であっても差し支
えない。またカーボン層が形成される基板の素材につい
ても限定するものではなく、上記各種方法でカーボン層
が形成できるものであれば、前述した磁気ディスク媒体
の基板として用いられるアルミニウム合金に限定されな
い。更に、カーボン層の層厚について特に限定するもの
ではないが、層厚があまり薄いと基板表面粗度の影響か
ら基板を完全に被うことができなくなる恐れがあり、一
方あまり厚過ぎるとコスト高になる。こうしたことから
カーボン層の層厚は、１００〜１０００Å程度が適当で
ある。
カーボン層を形成したものであるが、このカーボン層の
形成手段については特に限定するものではなく、スパッ
タ法、蒸着法、化学気相成長法、その他カーボン層を形
成できる方法であれば、どの様な方法であっても差し支
えない。またカーボン層が形成される基板の素材につい
ても限定するものではなく、上記各種方法でカーボン層
が形成できるものであれば、前述した磁気ディスク媒体
の基板として用いられるアルミニウム合金に限定されな
い。更に、カーボン層の層厚について特に限定するもの
ではないが、層厚があまり薄いと基板表面粗度の影響か
ら基板を完全に被うことができなくなる恐れがあり、一
方あまり厚過ぎるとコスト高になる。こうしたことから
カーボン層の層厚は、１００〜１０００Å程度が適当で
ある。
【００１０】尚本発明におけるカーボン層としては、ア
モルファスなカーボン層、ダイヤモンドライクなカーボ
ン層のいずれの状態であってもよい。特にダイヤモンド
ライクのカーボン層を形成した場合には、表面も硬くな
り、よりＣ．Ｓ．Ｓ．性が向上する。この様なカーボン
層の違いは、作製方法に左右されるものであり、どの作
製方法を選ぶかによって決定される。
モルファスなカーボン層、ダイヤモンドライクなカーボ
ン層のいずれの状態であってもよい。特にダイヤモンド
ライクのカーボン層を形成した場合には、表面も硬くな
り、よりＣ．Ｓ．Ｓ．性が向上する。この様なカーボン
層の違いは、作製方法に左右されるものであり、どの作
製方法を選ぶかによって決定される。
【００１１】上記の様なカーボン層を基板表面に形成し
て積層基板とし、該積層基板上にＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金
層を形成したところ、基板上に直接Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ合
金層を形成した場合に比較して剥離強度が著しく向上す
ることを確認した。そして薄膜Ｘ線回折、Ｅ．Ｓ．Ｃ．
Ａ．分析等の結果から、カーボンおよびＣｒの各層中へ
の相互拡散によってＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金膜の密着性が
向上したことが判明した。尚こうした効果は、上記Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｔａ合金膜の場合だけに限らず、相互に拡散す
るものであれば同様の効果が期待できる。したがって積
層基板上に形成される膜についても、上記Ｃｏ−Ｃｒ−
Ｔａ合金膜に限定されない。
て積層基板とし、該積層基板上にＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金
層を形成したところ、基板上に直接Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ合
金層を形成した場合に比較して剥離強度が著しく向上す
ることを確認した。そして薄膜Ｘ線回折、Ｅ．Ｓ．Ｃ．
Ａ．分析等の結果から、カーボンおよびＣｒの各層中へ
の相互拡散によってＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金膜の密着性が
向上したことが判明した。尚こうした効果は、上記Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｔａ合金膜の場合だけに限らず、相互に拡散す
るものであれば同様の効果が期待できる。したがって積
層基板上に形成される膜についても、上記Ｃｏ−Ｃｒ−
Ｔａ合金膜に限定されない。
【００１２】以下本発明を実施例によって更に詳細に説
明するが、下記実施例は本発明を限定する性質のもので
はなく、前・後記の趣旨に徴して設計変更すること例え
ば基板や膜の組成を変えること等は、いずれも本発明の
技術的範囲に含まれるものである。
明するが、下記実施例は本発明を限定する性質のもので
はなく、前・後記の趣旨に徴して設計変更すること例え
ば基板や膜の組成を変えること等は、いずれも本発明の
技術的範囲に含まれるものである。
【００１３】
【実施例】表面研磨した３．５ インチ磁気ディスク用
ＮｉＰめっき基板１を使用し、該基板１上に下記の条件
にてカーボン層２、Ｃｒ層、Ｃｏ８６Ｃｒ１２Ｔａ２層
３を順次形成し、図１に示すような構成の磁気ディスク
を作製した。また比較のために、カーボン層２を省略し
た以外はすべて同様な磁気ディスクを作製した。
ＮｉＰめっき基板１を使用し、該基板１上に下記の条件
にてカーボン層２、Ｃｒ層、Ｃｏ８６Ｃｒ１２Ｔａ２層
３を順次形成し、図１に示すような構成の磁気ディスク
を作製した。また比較のために、カーボン層２を省略し
た以外はすべて同様な磁気ディスクを作製した。
【００１４】磁気ディスク作製条件
成膜装置：Ｄ．Ｃ．マグネトロンスパッタ装置基板温度
：２５０℃ 基板構成：ＮｉＰめっき基板／Ｃ層３００Å／Ｃｒ層３
０００Å／Ｃｏ８６Ｃｒ１２Ｔａ２層６００Å
：２５０℃ 基板構成：ＮｉＰめっき基板／Ｃ層３００Å／Ｃｒ層３
０００Å／Ｃｏ８６Ｃｒ１２Ｔａ２層６００Å
【００１
５】これらの磁気ディスクについて、島津製作所製スク
ラッチテスタＳＳＴ−１００により、曲率半径１５μｍ
のダイヤモンド触針を用いて引っ掻き試験を実施し、表
１に示すように各膜構成での膜の剥離強度を求めた。更
に得られた磁気ディスクの信頼性を比較する為にＣ．Ｓ
．Ｓ．試験を実施したところ、基板上にカーボン層を付
与していない場合には、４５０００回程度で膜の剥離が
生じたが、カーボン層を付与した場合には、１００００
０回以上のＣ．Ｓ．Ｓ．試験においても膜の剥離は確認
されなかった。
５】これらの磁気ディスクについて、島津製作所製スク
ラッチテスタＳＳＴ−１００により、曲率半径１５μｍ
のダイヤモンド触針を用いて引っ掻き試験を実施し、表
１に示すように各膜構成での膜の剥離強度を求めた。更
に得られた磁気ディスクの信頼性を比較する為にＣ．Ｓ
．Ｓ．試験を実施したところ、基板上にカーボン層を付
与していない場合には、４５０００回程度で膜の剥離が
生じたが、カーボン層を付与した場合には、１００００
０回以上のＣ．Ｓ．Ｓ．試験においても膜の剥離は確認
されなかった。
【００１６】
【表１】
【００１７】
【発明の効果】以上述べた通り、基板表面にカーボン層
を形成することによって、基板上に形成される膜の剥離
強度を格段に高めることができ、信頼性を大幅に向上し
た膜を形成することができた。
を形成することによって、基板上に形成される膜の剥離
強度を格段に高めることができ、信頼性を大幅に向上し
た膜を形成することができた。
【図１】本発明の積層基板の一構成例を示す断面図であ
る。
る。
１ 基板
２ カーボン層
３ Ｃｏ８６Ｃｒ１２Ｔａ２層
Claims (1)
- 【請求項１】 基板表面にカーボン層を形成したもの
であることを特徴とする成膜用積層基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8954691A JPH04298340A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 成膜用積層基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8954691A JPH04298340A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 成膜用積層基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04298340A true JPH04298340A (ja) | 1992-10-22 |
Family
ID=13973819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8954691A Withdrawn JPH04298340A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 成膜用積層基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04298340A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0950620A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-18 | Kao Corp | 磁気記録媒体、及びその製造方法 |
| JPH0950619A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-18 | Kao Corp | 磁気記録媒体、及びその製造方法 |
| JPH0991681A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-04-04 | Kao Corp | 磁気記録媒体、及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-03-27 JP JP8954691A patent/JPH04298340A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0950620A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-18 | Kao Corp | 磁気記録媒体、及びその製造方法 |
| JPH0950619A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-18 | Kao Corp | 磁気記録媒体、及びその製造方法 |
| JPH0991681A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-04-04 | Kao Corp | 磁気記録媒体、及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |