JPH0429857Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 半導体基板などの表面処理装置に付属する処理
液供給構造の改良に関し、 空気に触れて揮発、あるいは固化し易い処理液
を空気に触れずに供給することを目的とし、 押圧手段により駆動されるピストンを内設する
加圧シリンダと、処理液を充満し該加圧シリンダ
に封入された液体または気体の中に浸漬される柔
軟な容器とからなり、上記ピストンにより液体ま
たは気体を加圧して容器外形を変形圧縮し、上記
容器の開口部に接続した吐出管をとおして定量の
処理液を供給するように構成する。

〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体基板などの表面処理装置に付属
する処理液供給構造の改良に関する。

半導体基板などの表面処理装置、例えばレジス
ト塗布装置は、容器に入れたレジストをポンプに
より吸引し、ワーク上に間欠的に定量供給する処
理液供給装置を付属している。ところが、開封し
た容器のレジスト表面が長時間、空気に曝されれ
ば、溶剤が揮発して固まり、定量のレジストを供
給できなくなる。そのため、レジストや揮発性溶
剤など空気に触れて揮発、あるいは固化し易い処
理液を空気に触れずに供給できる構造が要望され
ている。

〔従来の技術〕

従来は第３図の要部側面図に示すように、半導
体基板などの表面処理装置、例えばレジスト塗布
装置（図示略）は処理液供給装置を備える。

この処理液供給装置は、ワーク（図示略）上に
供給する処理液１１、即ちレジストを入れた容器
１２、即ちポリエチレン製瓶と、逆流を防止する
逆止弁１３、レジスト１１を吸引するベロー式ポ
ンプ１４、レジスト１１の流通を開閉する電磁弁
１５に接続された吐出管１６からなり、吐出管１
６を容器１２の開口部１２ａからレジスト１１中
に挿入し、ベロー式ポンプ１４により吸引し、電
磁弁１５の開閉時間により塗布量を制御して約３
c.c.のレジスト１１を間欠的に定量供給する。レジ
スト１１の液面は吸引吐出されるにしたがつて下
がり、その分だけ空気が開口部１２ａから容器１
２内に流入する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような上記構造によれば、
レジスト表面が長時間、空気に曝されれば、溶剤
が揮発して固まり、ベロー式ポンプの吸引量が変
化し、電磁弁の開閉時間により所定量のレジスト
が供給できなくなるといつた問題があつた。

上記問題点に鑑み、本考案はレジストなど空気
に触れて揮発、あるいは固化し易い処理液を空気
に触れずに供給できる処理液供給構造を提供する
ことを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

従来構造における上記問題点は、押圧手段によ
り駆動されるピストンを内設する加圧シリンダ
と、処理液を充満し該加圧シリンダに封入された
液体または気体の中に浸漬される柔軟な容器とか
らなり、上記ピストンにより液体または気体を加
圧して容器外形を変形圧縮し、上記容器の開口部
に接続した吐出管をとおして定量の処理液を供給
することによつて解決される。

〔作用〕

処理液は空気に触れることがなくなるため、揮
発、あるいは固化することはなくなる。また、ピ
ストンの移動によつて液体または気体を加圧し、
容器外形を液体または気体を介して変形圧縮する
ことにより加圧シリンダの内容積を減少させ、減
少した内容積にほぼ等しい定量の処理液を空気に
触れずに押し出し供給することができる。

〔実施例〕

以下図面に示した実施例に基づいて本考案の要
旨を詳細に説明する。

第１図の要部側断面図に示すように、処理液供
給装置は、加圧シリンダ１と、容器２とから構成
される。

加圧シリンダ１は、シリンダ本体１ａの一端を
底付きにし、この底部１ａ−１の外面に押圧手段
１ｂ、例えばエアシリンダを固設し、底中央部を
貫通するエアシリンダのピストン軸１ｂ−１と、
シリンダ本体１ａの内部に封入した液体３、例え
ば油圧用油を加圧するリング状のパツキン１ｃ−
１を嵌挿したピストン１ｃとを直結内設するとと
もに、他端の開口部１ａ−２を密閉し且つ取り外
し可能にねじ止めされる蓋１ｄを備える。開口部
１ａ−２周囲のフランジ面１ａ−３には蓋１ｄと
密着して気密を保持するリング状のパツキン１ａ
−４を備える。また、シリンダ本体１ａには油３
を注入する供給弁４と、油３を抜く排出弁５と、
負圧になるのを防止する空気抜き孔１ａ−５とを
備える。

蓋１ｄは、中央内側の突起部１ｄ−１に第２図
に示す容器２のキヤツプ２ｂを外した後のおねじ
２ａ−１を接続するねじ穴１ｄ−２と、外側から
蓋１ｄを貫通してこのねじ孔１ｄ−２に気密接続
する吐出管１ｅと、吐出管１ｅの出口側に接続さ
れる電磁弁６とを備える。ねじ穴１ｄ−２の底に
は容器２をねじ締めしたとき、気密にするリング
状のパツキン１ｆを備える。

容器２は、第２図の側面図に示すように、耐薬
品性を有し薄肉、柔軟な合成樹脂材、例えば弗素
樹脂（商品名テフロンなど）からなる瓶状をな
し、開口部２ａ外周におねじ２ａ−１を備える。
処理液７、例えばレジストや洗浄液などを空気を
入れることなく充満した後、めねじ２ｂ−１を備
えるキヤツプ２ｂで開口部２ａを封止してある。
このキヤツプ２ｂは使用時には外して用いられ
る。

容器２のセツトは、シリンダ本体１ａから蓋１
ｄを外してねじ穴１ｄ−１に、キヤツプ２ａを外
した容器２を接続した後、容器２をシリンダ本体
１ａの油３の中に浸漬し、蓋１ｄを閉じる。

しかる後にエアシリンダ１ｂを作動し、ピスト
ン１ｃを所定距離動かして油３を加圧し、容器２
の外形を変形圧縮して容器に入つている処理液７
を吐出管１ｅに押し出し、電磁弁６を通つてワー
ク表面（図示略）に所定量の処理液７を供給する
ことができる。電磁弁６はエアシリンダ１ｂと連
動して開閉動作し、通常は閉じておく。

上記構造によれば、容器内の処理液は終始、空
気に触れることがないため、揮発あるいは固化す
ることはなく、しかもピストンによつて液体また
は気体を加圧し、容器外形を油を介して変形圧縮
することにより、減少した内容積にほぼ等しい定
量の処理液を押し出し供給することができる。

容器の形状は、容器全体が均一に加圧されるの
でどんな形状でも使用できる。

また、ベロー式ポンプを用いないため、逆止弁
を必要とせず、ピストンの移動距離により供給量
を任意に制御できる。

なお、上記説明では加圧シリンダに入れる液体
に油圧用油を用いたが、他の液体または気体であ
つても差支えない。また、押圧手段はエアシリン
ダの他、油圧シリンダあるいはピストンを直線往
復運動できる手段であつてもよい。

〔考案の効果〕

以上、詳述したように本考案によれば、処理液
は空気に触れて揮発、あるいは固化することはな
く、加圧シリンダのピストンに移動により減少し
た内容積にほぼ等しい定量の処理液を押し出し供
給できるといつた実用上極めて有用な効果を発揮
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による一実施例の要部側断面
図、第２図は第１図の容器の一部破断を含む側面
図、第３図は従来技術による要部側面図である。 図において、１は加圧シリンダ、１ａはシリン
ダ本体、１ａ−１は底部、１ａ−２は開口部、１
ａ−３はフランジ、１ａ−４はパツキン、１ａ−
５は空気抜き孔、１ｂは加圧手段（エアシリン
ダ）、１ｂ−１はピストン軸、１ｃはピストン、
１ｃ−１はパツキン、１ｄは蓋、１ｄ−１は突起
部、１ｄ−２はねじ穴、１ｅは吐出管、１ｆはパ
ツキン、２は容器、２ａは開口部、２ａ−１はお
ねじ、２ｂはキヤツプ、２ｂ−１はめねじ、３は
液体（油圧用油）、４は供給弁、５は排出弁、６
は電磁弁、７は処理液をそれぞれ示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 押圧手段１ｂにより駆動されるピストン１ｃを
   内設する加圧シリンダ１と、処理液７を充満し該
   加圧シリンダに封入された液体３または気体中に
   浸漬される柔軟な容器２とからなり、 上記ピストン１ｃにより液体３または気体を加
   圧して容器外形を変形圧縮し、上記容器２の開口
   部２ａに接続した吐出管１ｅをとおして定量の処
   理液７を供給することを特徴とする処理液供給構
   造。