JPH0430102A - 反射板 - Google Patents
反射板Info
- Publication number
- JPH0430102A JPH0430102A JP2135312A JP13531290A JPH0430102A JP H0430102 A JPH0430102 A JP H0430102A JP 2135312 A JP2135312 A JP 2135312A JP 13531290 A JP13531290 A JP 13531290A JP H0430102 A JPH0430102 A JP H0430102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base body
- reflecting plate
- protective layer
- reflector
- silicon nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＯＡ機器などの照明系を構成するに用いられる
反射板に関する。
反射板に関する。
複写機などのＯＡ機器における光源を備えた′照明装置
で用いられている反射板は、光源から放射される光束を
所望の方向へ効率よく反射して必要な対象を照明するた
めの器具であって、その鏡面形状も、用途に応じて平面
状のものから球面、楕円面、放物面など、種々使い分け
られている。
で用いられている反射板は、光源から放射される光束を
所望の方向へ効率よく反射して必要な対象を照明するた
めの器具であって、その鏡面形状も、用途に応じて平面
状のものから球面、楕円面、放物面など、種々使い分け
られている。
かかる照明系における反射板は、その鏡面がとくに精密
である必要はないけれども特殊な形状であるために、通
常アルミニウム合金の圧延や鋳造成いは切削等によって
所望の形状に成形したのちその反射面部分をラッピング
や電解研磨するなどによって鏡面加工して製造されてい
る。
である必要はないけれども特殊な形状であるために、通
常アルミニウム合金の圧延や鋳造成いは切削等によって
所望の形状に成形したのちその反射面部分をラッピング
や電解研磨するなどによって鏡面加工して製造されてい
る。
このような反射板は例えば複写機の照明装置等に用いる
と、光源として用いられるハロゲンランプによる点滅の
繰り返し照射を受けるため、連続的に使用するときには
反射板の温度が２５０〜３００°Ｃ程度にもなることが
しばしばであり、その反射面が酸化をうけてアルマイト
化し、次第にクラックが発生して鏡面が荒れてしまうと
いう問題があった。
と、光源として用いられるハロゲンランプによる点滅の
繰り返し照射を受けるため、連続的に使用するときには
反射板の温度が２５０〜３００°Ｃ程度にもなることが
しばしばであり、その反射面が酸化をうけてアルマイト
化し、次第にクラックが発生して鏡面が荒れてしまうと
いう問題があった。
これに対して、鏡面部分の酸化劣化を防止するために、
保護膜としてシリコン層を設ける方法が提案されている
が、このように構成された反射板でも使用環境でのクラ
ンクや剥離などの経時的劣化が充分に抑制できず、耐熱
性や耐湿性においても満足できるものではなかった。
保護膜としてシリコン層を設ける方法が提案されている
が、このように構成された反射板でも使用環境でのクラ
ンクや剥離などの経時的劣化が充分に抑制できず、耐熱
性や耐湿性においても満足できるものではなかった。
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであって、そ
の目的とするところは、耐熱性及び耐湿性に優れ、繰り
返して大幅に変化する環境条件の下でも酸化や剥離が生
じない反射板を提供することにある。
の目的とするところは、耐熱性及び耐湿性に優れ、繰り
返して大幅に変化する環境条件の下でも酸化や剥離が生
じない反射板を提供することにある。
かかる本発明の目的は、所定の形状を有するアルミニウ
ム合金製反射板基体の鏡面部分に窒化珪素と二酸化珪素
との混合物からなる表面保護層を設けたことを特徴とす
る反射板によって達成することができる。
ム合金製反射板基体の鏡面部分に窒化珪素と二酸化珪素
との混合物からなる表面保護層を設けたことを特徴とす
る反射板によって達成することができる。
本発明の反射板を構成する基体は、アルミニ・ラム合金
の圧延や鋳造成いは切削等によって所望の形状に成形し
たのちラッピングや電解研慶するなどによって鏡面加工
したものであって、従来から反射板として用いられてい
るものと同様な基体が用いられる。
の圧延や鋳造成いは切削等によって所望の形状に成形し
たのちラッピングや電解研慶するなどによって鏡面加工
したものであって、従来から反射板として用いられてい
るものと同様な基体が用いられる。
本発明においては、かかる基体の鏡面部分に窒化珪素と
二酸化珪素との混合物からなる表面保護層を設けるが、
その組成は優位量の窒化珪素と劣位量の二酸化珪素とか
らなるのがよく、例えば９０〜５０％の窒化珪素と５０
〜１０％の二酸化珪素との混合物が好ましく用いられる
。かかる表面保護層は例えば真空蒸着法やスパッタリン
グ法などにより形成することができ、その厚さは０．１
〜０、５μｍ程度、好ましくは０．２μｍ前後であるの
がよい。
二酸化珪素との混合物からなる表面保護層を設けるが、
その組成は優位量の窒化珪素と劣位量の二酸化珪素とか
らなるのがよく、例えば９０〜５０％の窒化珪素と５０
〜１０％の二酸化珪素との混合物が好ましく用いられる
。かかる表面保護層は例えば真空蒸着法やスパッタリン
グ法などにより形成することができ、その厚さは０．１
〜０、５μｍ程度、好ましくは０．２μｍ前後であるの
がよい。
本発明の反射板は、耐熱衝撃及び耐温湿性に優れた保護
層が設けられていて、耐久性が著しく改良されたもので
ある。
層が設けられていて、耐久性が著しく改良されたもので
ある。
〔実施例１〕
光輝アルミニウム合金（Ａ５６５０）から圧延法によっ
て第１図に示した横断面形状を有する反射板基体ｌを形
成した。この基体１を充分に精密洗浄し乾燥したのちに
真空蒸着槽内に取付け、約１８０°Ｃに加熱した状態で
真空度Ｉ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒまで排気し、窒化珪素
と二酸化珪素との重量比７０：３０の混合物のターゲッ
トを電子ビーム加熱することにより、基体１の鏡面部分
２の上に厚さ０．１８μｍの表面保護層３を蒸着して、
本発明の反射板Ａを得た。
て第１図に示した横断面形状を有する反射板基体ｌを形
成した。この基体１を充分に精密洗浄し乾燥したのちに
真空蒸着槽内に取付け、約１８０°Ｃに加熱した状態で
真空度Ｉ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒまで排気し、窒化珪素
と二酸化珪素との重量比７０：３０の混合物のターゲッ
トを電子ビーム加熱することにより、基体１の鏡面部分
２の上に厚さ０．１８μｍの表面保護層３を蒸着して、
本発明の反射板Ａを得た。
〔実施例２〕
反射板基体をアルミニウム合金（Ａ６０６３）で形成し
た他は実施例１と同様にして、基体の鏡面部分の上に厚
さ０．２０μｍの表面保護層を蒸着して、本発明の反射
板Ｂを得た。
た他は実施例１と同様にして、基体の鏡面部分の上に厚
さ０．２０μｍの表面保護層を蒸着して、本発明の反射
板Ｂを得た。
実施例１において用いたと同じ反射板基体を用い、シリ
コンターゲットを用いたほかは実施例１と同様にして、
基体の鏡面部分の上に厚さ０．２０μｍのシリコン層を
蒸着し、対照の反射板Ｃを得た。
コンターゲットを用いたほかは実施例１と同様にして、
基体の鏡面部分の上に厚さ０．２０μｍのシリコン層を
蒸着し、対照の反射板Ｃを得た。
これらの反射板について下記のような耐温湿度試験及び
点灯試験（熱衝撃試験）を行ない、耐久性を調べた。
点灯試験（熱衝撃試験）を行ない、耐久性を調べた。
耐１１ｕＵＫ訣
温度８０°Ｃ１相対湿度９０％の雰囲気中に１゜０時間
放置した後乾燥させ、表面保護層の状態を観察した。
放置した後乾燥させ、表面保護層の状態を観察した。
対照の反射板Ｃは保護層に剥離が発生していたのに対し
、本発明の反射板Ａ及びＢは曇りの発生はもちろん、何
等の変化も認められなかった。
、本発明の反射板Ａ及びＢは曇りの発生はもちろん、何
等の変化も認められなかった。
んＵ暖
１３５０Ｗのハロゲンランプによって６秒間照射と５秒
間消灯とを２０回繰り返したのち１０分間休止する試験
を１００時間実施して、表面保護層の状態を観察した。
間消灯とを２０回繰り返したのち１０分間休止する試験
を１００時間実施して、表面保護層の状態を観察した。
対照の反射板Ｃは保護層にはクラックと剥離が発生して
いたのに対し、本発明の反射板Ａ及びＢには何等の変化
も認められなかった。
いたのに対し、本発明の反射板Ａ及びＢには何等の変化
も認められなかった。
本発明の反射板は、耐温湿性及び耐熱衝撃性が優れてお
り、長期間にわたって安定した使用ができる特長がある
。
り、長期間にわたって安定した使用ができる特長がある
。
第１図は本発明の反射板の構成を示す断面図である。
１・・・反射板基体、２・・・鏡面部分、３・・・表面
保護層。 第 図
保護層。 第 図
Claims (1)
- 所定の形状を有するアルミニウム合金製反射板基体の鏡
面部分に窒化珪素と二酸化珪素との混合物からなる表面
保護層を設けたことを特徴とする反射板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2135312A JPH0430102A (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 反射板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2135312A JPH0430102A (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 反射板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430102A true JPH0430102A (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=15148793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2135312A Pending JPH0430102A (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 反射板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0430102A (ja) |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP2135312A patent/JPH0430102A/ja active Pending
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