JPH04304395A - 電鋳装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば光ディスク、ホ
ログラム等の光学記録媒体を複製するためのスタンパの
製造に用いられる電鋳装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば光ディスクは、ガラス基板
にフォトレジストを塗布し、レ−ザカッティングし、つ
いで現像したのち、導電化処理する工程からなるマスタ
リング工程によりガラス原盤を製造し、さらに、このガ
ラス原盤を電鋳装置に装着し、適当時間、通電すること
によりスタンパを製造し、このスタンパを用いて光ディ
スクを複製している。

【０００３】ところで、従来のこの種の電鋳装置におい
ては、導電膜を施した原盤を、電鋳治具（陰極）に装着
、固定する場合、図４に示すように、金属性の平板リン
グ１を介し、ガラス原盤２の導電膜３と陰極板４とを相
互に接触させ、固定枠５の周囲を複数の固定ネジ６等で
締め付けて通電をとっていた。なお、図中、７は防着板
である。

【０００４】しかし、この場合、固定ネジの締付け状態
により、ガラス原盤２の導電膜３と平板リング１との接
触状態が変化し、それにより電鋳厚みにムラが生じたり
、平板リング１の固いエッジにより導電膜３が破壊され
断線して通電不良を発生させるなどの問題があった。

【０００５】また、電鋳の際、平板リング１上面にもメ
ッキがなされ、出来上がったファザ−盤の外周部にリン
グ状の段差が生じ、このファザ−盤をスタンパとして用
いる際にファザ−盤の裏面を研磨するのに不都合であっ
た。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明は
、電鋳層の厚みのバラツキが可及的に小さく、また上述
のごとき原盤の導電膜の断線に基づく通電不良を発生の
虞のない電鋳装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、従来の金属性の平板リングの代わりに異方
性導電性ゴムを用いるという手段を採用した。

【０００８】すなわち、本発明は、表面導電性の原盤を
、電鋳治具（陰極）に装着、固定し、この固定部を介し
該電鋳治具と該導電性表面とを通電せしめ、これにより
電鋳をおこなうようにした電鋳装置において、該固定部
に金属薄層ならびに異方性導電性ゴムを介在させたこと
を特徴とする電鋳装置装置を提供するものである。

【０００９】

【作用】表面導電性の原盤が異方性導電性ゴムを介して
電鋳治具（陰極）に固定されるため、原盤の全周に亘っ
て導電性表面と異方性導電性ゴムとの確実かつ安定な接
触がおこなわれ、そのため電鋳層の厚みのバラツキが可
及的に小さくすることができるとともに、締付け時に原
盤の導電膜を断線させる虞もない。

【００１０】

【実施例】以下、この発明を、図示の実施例を参照して
説明する。

【００１１】図１はディスク状光記録媒体複製用スタン
パ、例えば光ディスク複製用スタンパを製造する場合の
電鋳装置の要部（すなわち、電鋳治具の右側半分）を示
す断面図である。

【００１２】本図中、１１は陰極板であって、その周縁
部が段部１１ａを有する枠体１１ｂにより囲まれた容器
状をなしている。この陰極板１１の外周には、この枠体
１１ｂを外側から覆うようにして、外周固定リング１２
が設けられている。すなわち、外周固定リング１２は上
端部が陰極板１１の内方に向けてほぼ９０度折曲し、そ
の折曲先端部は枠体１１ｂの一部を跨ぐようにして延出
し、リング状押圧部１２ａを形成している。

【００１３】外周固定リング１２は、その上端延出部の
基端部分（例えば周方向に離間させて６か所）にて固定
ネジ１４により、枠体１１ｂに対し下方に向けて締付け
られるようになっている。

【００１４】リング状押圧部１２ａの下方には、上面に
金属薄層１３が施されたリング状の異方性導電性ゴム１
５が、その周辺部分が枠体１１ｂの段部１１ａとリング
状押圧部１２ａとの間に挟まれるようにして設けられて
いる。なお、図中、１６は防着板である。

【００１５】次に、この電鋳装置を用いて光ディスク複
製用スタンパの製造する場合の使用方法について説明す
る。

【００１６】まず、図２に示すように、導電膜１７を表
面に施したガラス原盤１８を陰極板１１上にセットし、
ついで異方性導電性ゴム１５を、ガラス原盤１８の導電
膜１７と陰極板１１の段部１１ａの両方に掛かるように
して乗せ、さらに外周固定リング１２をセットし、各固
定ネジ１４を締め込み、異方性導電性ゴム１５を導電膜
１７と段部１１ａの両方に圧接させる。異方性導電性ゴ
ム１５は上下から圧接したとき、上下方向に選択的に導
電性が良好となる。これにより、ガラス原盤１８の導電
膜１７と陰極板１１とは導通状態となる。

【００１７】この状態で電鋳治具をニッケル電鋳槽の中
に入れ、初期電流値、０．０５Ａ／ｄｍ２　で電鋳をお
こない、１時間３０分後に定常電流値２０Ａ／ｄｍ２　
となるように電流増加をおこない、電鋳膜厚が約０．３
ｍｍとなるまで電鋳をおこない、ファザ−盤を形成する
。

【００１８】次にガラス原盤１８を電鋳治具から取り外
したのち、このファザ−盤をガラス原盤１８から剥離し
、フォトレジストを洗浄し、ファザ−盤を完成させる。

【００１９】ついで、ファザ−盤を従来と同様にしてス
タンパ加工し、スタンパとする。

【００２０】次に、図３に示すように、ダミ−プレ−ト
１９を、前記同様にして陰極板１１上にセットし、つい
でこのファザ−盤スタンパ２０を、その上にセットした
のち、異方性導電性ゴム１５を、スタンパ２０と陰極板
１１の段部１１ａの両方に掛かるようにして乗せ、各固
定ネジ１４で締め込み、その状態で電鋳治具をニッケル
電鋳槽の中に入れ、上記と同様の条件下で、電鋳膜厚が
適当な厚みとなるまで電鋳をおこない、マザ−盤を形成
する。

【００２１】ついで、このマザ−盤をスタンパ加工した
のち、これを利用して、図３を参照して説明したのと同
様の操作を繰り返してスタンパを形成することができる
。

【００２２】なお、これらの電鋳工程において、異方性
導電性ゴム１５はそれぞれ内径がファザ−盤用、マザ−
盤用、スタンパ用の順で順次小さくしたものを用いる。

【００２３】なお、本発明は、コンパクトディスク等の
各種の再生専用ディスク、ライトワンスディスク、ＭＯ
ディスク等の追記形、書換形ディスク、ホログラム等の
光学記録媒体等を複製するための種々のスタンパの製造
に適用することができる。

【００２４】

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明の電鋳装
置によれば、従来の金属性の平板リングの代わりに異方
性導電性ゴムを用いたから、電鋳層の厚みのバラツキが
可及的に小さくなり、また、上述のごとき原盤の導電膜
の断線に基づく通電不良を発生の虞もなくなる。さらに
、固定ネジによる締付けも容易かつ確実におこなうこと
ができ、原盤のセッティング時間の短縮を図ることがで
きる。また、異方性導電性ゴムは、その上面や側面にメ
ッキ層が付着することがなく、繰り返し使用でき、ファ
ザ−盤の裏面を研磨する必要もないから、コストの低減
も図れるなど実用上顕著な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる電鋳装置の要部を示す断面図。

【図２】図１に示した電鋳装置にガラス原盤を装着した
状態を示す断面図。

【図３】図１に示した電鋳装置に被電鋳原盤を装着した
状態を示す断面図。

【図４】従来の電鋳装置の要部を示す断面図。

【符号の説明】 １１…陰極板、１１ａ…段部、１１ｂ…枠体、１２…外
周固定リング、１３…金属薄層、１４…固定ネジ、１５
…異方性導電性ゴム、１６…防着板、１７…導電膜、１
８…ガラス原盤、１９…ダミ−プレ−ト、２０…ファザ
−盤スタンパ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　表面導電性の原盤を、電鋳治具（陰極
   ）に装着、固定し、この固定部を介し該電鋳治具と該導
   電性表面とを通電せしめ、これにより電鋳をおこなうよ
   うにした電鋳装置において、該固定部に金属薄層ならび
   に異方性導電性ゴムを介在させたことを特徴とする電鋳
   装置。
2. 【請求項２】　　該原盤が光学記録媒体用スタンパ原盤
   であることを特徴とする請求項１に記載の電鋳装置。