JPH0324599Y2 - - Google Patents
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- JPH0324599Y2 JPH0324599Y2 JP9810187U JP9810187U JPH0324599Y2 JP H0324599 Y2 JPH0324599 Y2 JP H0324599Y2 JP 9810187 U JP9810187 U JP 9810187U JP 9810187 U JP9810187 U JP 9810187U JP H0324599 Y2 JPH0324599 Y2 JP H0324599Y2
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- JP
- Japan
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- cathode
- plated
- current
- disk
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 15
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 10
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本考案は、例えば円盤状情報記録媒体を製造す
る際に用いられる母型を製造するに好適な電鋳に
用いられる円盤状回転式メツキ装置の陰極構体に
関する。
る際に用いられる母型を製造するに好適な電鋳に
用いられる円盤状回転式メツキ装置の陰極構体に
関する。
(従来の技術とその問題点)
一般に、例えば円盤状情報記録媒体の母型を製
造する際に用いられる円盤状回転式メツキ装置
は、電解液の入つた浴槽の中で円盤状の被メツキ
物を陰極とする一方、この被メツキ物に対向する
位置に陽極を配置し、両極間に電圧を印加して陰
極側を回転させながら被メツキ物上に所望の金属
を析出させるものである。
造する際に用いられる円盤状回転式メツキ装置
は、電解液の入つた浴槽の中で円盤状の被メツキ
物を陰極とする一方、この被メツキ物に対向する
位置に陽極を配置し、両極間に電圧を印加して陰
極側を回転させながら被メツキ物上に所望の金属
を析出させるものである。
第3図はこの種一般的な電鋳装置としての円盤
状回転式メツキ装置を示すものであり、電解液と
して例えばニツケル液2が入つた浴槽1の傾斜面
1aには、メツキ物となるニツケルなどの金属の
陽極3が配置される一方、この陽極と対向した位
置に回転する軸4に取付けられた円盤状の陰極構
体5が配置されている。
状回転式メツキ装置を示すものであり、電解液と
して例えばニツケル液2が入つた浴槽1の傾斜面
1aには、メツキ物となるニツケルなどの金属の
陽極3が配置される一方、この陽極と対向した位
置に回転する軸4に取付けられた円盤状の陰極構
体5が配置されている。
そして、陰極構体5を回転させつつ両極間に所
定の電圧を印加し、陰極構体5にセンターノズル
6より液の供給を行なうことにより、陰極構体5
上の被メツキ物上にはニツケルが析出され母型が
形成されるものである。
定の電圧を印加し、陰極構体5にセンターノズル
6より液の供給を行なうことにより、陰極構体5
上の被メツキ物上にはニツケルが析出され母型が
形成されるものである。
この陰極構体5の具体的な構成を第4図の分解
斜視図および第5図の組立時の極部の部分断面図
を用いて説明する。
斜視図および第5図の組立時の極部の部分断面図
を用いて説明する。
樹脂製の円盤状の回転陰極盤7はその内部に被
メツキ物を収納し得るように断面形状がU字状と
されると共に、内周面にはニツケルなどの陰極通
電用金属7aが被着されており、その上に陰極マ
スク用のリング状のゴムパツキン8、被メツキ物
である円盤状のガラス盤9およびニツケルまたは
ステンレスなどの通電リング10が順次重畳され
ている。
メツキ物を収納し得るように断面形状がU字状と
されると共に、内周面にはニツケルなどの陰極通
電用金属7aが被着されており、その上に陰極マ
スク用のリング状のゴムパツキン8、被メツキ物
である円盤状のガラス盤9およびニツケルまたは
ステンレスなどの通電リング10が順次重畳され
ている。
そして、上記各部材を収納した回転陰極盤7
は、樹脂製のフレームリング11内に嵌合され、
軸4側より挿通した固定リング12をフレームリ
ング11に嵌合・固定することにより、ガラス盤
9が固定された陰極構体5が形成されるものであ
る。
は、樹脂製のフレームリング11内に嵌合され、
軸4側より挿通した固定リング12をフレームリ
ング11に嵌合・固定することにより、ガラス盤
9が固定された陰極構体5が形成されるものであ
る。
この陰極構体5を上記浴槽1内で回転してガラ
ス盤9上にニツケルを析出させるものであり、メ
ツキ終了後には通電リング10上にもニツケルが
析出する。したがつて、映像および音声信号をな
どを微少なピツトとして記録したガラス盤9から
その上に析出したニツケル膜を剥離した後に、通
電リング10をニツケル膜よりハサミなどで機械
的に切断して母型として利用するものである。こ
の通電リング10の切断の際、母型が歪むなど変
形して使用不可能になる虞れがあつた。また、メ
ツキ時、通電リング10によつてガラス盤9が汚
染されたり、通電リング10と回転陰極盤7との
電気的な接触面Pにニツケルが析出するなどし
て、回転陰極7の接触面Pの面精度が低下して、
これの耐久性が低下するなどの問題点が発生し
た。
ス盤9上にニツケルを析出させるものであり、メ
ツキ終了後には通電リング10上にもニツケルが
析出する。したがつて、映像および音声信号をな
どを微少なピツトとして記録したガラス盤9から
その上に析出したニツケル膜を剥離した後に、通
電リング10をニツケル膜よりハサミなどで機械
的に切断して母型として利用するものである。こ
の通電リング10の切断の際、母型が歪むなど変
形して使用不可能になる虞れがあつた。また、メ
ツキ時、通電リング10によつてガラス盤9が汚
染されたり、通電リング10と回転陰極盤7との
電気的な接触面Pにニツケルが析出するなどし
て、回転陰極7の接触面Pの面精度が低下して、
これの耐久性が低下するなどの問題点が発生し
た。
またさらに、上記構成の陰極構体5は、基体が
樹脂で形成されて大型となると共に、多くの構成
部品を要するため、製造コストが高くなるなど
種々の問題点があつた。
樹脂で形成されて大型となると共に、多くの構成
部品を要するため、製造コストが高くなるなど
種々の問題点があつた。
(問題点を解決するための手段)
本考案は上記従来の問題点に鑑みてなされたも
のであり、ガラス盤表面に導電性金属膜を備えた
被メツキ物を載置し、前記被メツキ物に通電する
通電部を除いた周面を樹脂にてコーテイングした
金属製の回転陰極盤と、前記被メツキ物の導電性
金属膜および前記回転陰極盤の前記通電部とそれ
ぞれ接合される通電部を有し、この通電部を除い
た部分を樹脂にてコーテイングした金属製のフレ
ームリングとを有してなり、前記回転陰極盤上の
前記被メツキ物を前記回転陰極盤を介して一体構
成したことを特徴とする円盤状回転式メツキ装置
の陰極構体を提供するものである。
のであり、ガラス盤表面に導電性金属膜を備えた
被メツキ物を載置し、前記被メツキ物に通電する
通電部を除いた周面を樹脂にてコーテイングした
金属製の回転陰極盤と、前記被メツキ物の導電性
金属膜および前記回転陰極盤の前記通電部とそれ
ぞれ接合される通電部を有し、この通電部を除い
た部分を樹脂にてコーテイングした金属製のフレ
ームリングとを有してなり、前記回転陰極盤上の
前記被メツキ物を前記回転陰極盤を介して一体構
成したことを特徴とする円盤状回転式メツキ装置
の陰極構体を提供するものである。
(実施例)
第1図、第2図は本考案になる円盤状回転式メ
ツキ装置の陰極構体の好適な一実施例を示し、第
1図はその分解斜視図、第2図は縦断側面図であ
る。
ツキ装置の陰極構体の好適な一実施例を示し、第
1図はその分解斜視図、第2図は縦断側面図であ
る。
第1図に示すように、軸21を備えて例えばス
テンレスなどの金属よりなる円盤状の回転陰極2
0は、Oリング22が配置された周縁部の通電部
20aを除いてテフロンなどの樹脂が全周に亙つ
てコーテイングされている。
テンレスなどの金属よりなる円盤状の回転陰極2
0は、Oリング22が配置された周縁部の通電部
20aを除いてテフロンなどの樹脂が全周に亙つ
てコーテイングされている。
一方、所定の信号が記録され、導電性金属膜を
備えた被メツキ物となるガラス盤23を回転陰極
盤20上に固定するフレームリング24は、回転
陰極盤20のOリング22aと対向する位置に環
状の突起部24bが形成され、ガラス盤23の上
面と対接する内面の通電部24aおよび突起部2
4bの基部24b1を除いて回転陰極盤20と同様
にテフロンなどの樹脂が全周に亙つてコーテイン
グされている。なお、25,26はフレームリン
グ24、回転陰極盤20にそれぞれ配置されたO
リングで、これらはガラス盤23の滑り止めとし
て機能する。
備えた被メツキ物となるガラス盤23を回転陰極
盤20上に固定するフレームリング24は、回転
陰極盤20のOリング22aと対向する位置に環
状の突起部24bが形成され、ガラス盤23の上
面と対接する内面の通電部24aおよび突起部2
4bの基部24b1を除いて回転陰極盤20と同様
にテフロンなどの樹脂が全周に亙つてコーテイン
グされている。なお、25,26はフレームリン
グ24、回転陰極盤20にそれぞれ配置されたO
リングで、これらはガラス盤23の滑り止めとし
て機能する。
このように構成した陰極構体27の組立は、回
転陰極盤20上にガラス盤23を載置した後、フ
レームリング24をその突起部24bが回転陰極
盤20のOリング22の溝内に嵌合するように両
者を結合した後、フレームリング24の側面の凹
部24cに回転自在に取付けられた固定具28,
28を所定方向に回動することにより、固定具2
8,28のフレームリング24の内面側に設けら
れた24半円弧状突起部(図示せず)が回転陰極
盤20の外周面に形成した半円弧状溝部20b,
20bにそれぞれ嵌合することにより、両者は簡
単な作業で強固に一体結合される。この結合によ
り、フレームリング24の内面の通電部24aお
よび突起部24bの基部24b1と、ガラス盤23
および回転陰極盤20の周縁部とがそれぞれ接合
することにより通電部P1がそれぞれ形成される
ことになる。
転陰極盤20上にガラス盤23を載置した後、フ
レームリング24をその突起部24bが回転陰極
盤20のOリング22の溝内に嵌合するように両
者を結合した後、フレームリング24の側面の凹
部24cに回転自在に取付けられた固定具28,
28を所定方向に回動することにより、固定具2
8,28のフレームリング24の内面側に設けら
れた24半円弧状突起部(図示せず)が回転陰極
盤20の外周面に形成した半円弧状溝部20b,
20bにそれぞれ嵌合することにより、両者は簡
単な作業で強固に一体結合される。この結合によ
り、フレームリング24の内面の通電部24aお
よび突起部24bの基部24b1と、ガラス盤23
および回転陰極盤20の周縁部とがそれぞれ接合
することにより通電部P1がそれぞれ形成される
ことになる。
そして、この陰極構体27を上記第3図に示し
た装置の陰極側に配置し、陽極および陰極にそれ
ぞれ電圧を印加して陰極構体27を回転すること
により、ガラス盤23上にはニツケルなどの所望
の金属が析出してニツケル膜が形成される。そし
て、このニツケル膜をガラス盤23より剥離する
ことにより信号が形成された所望の母型を得るこ
とができる。この際、両回転陰極盤20、フレー
ムリング24には上記した如く樹脂がコーテイン
グされているため、その剥離作業が容易となつて
ニツケル膜(母型)を損傷することはなく、ま
た、不必要な部分には金属が析出することがなく
両部材の耐久性が向上する。
た装置の陰極側に配置し、陽極および陰極にそれ
ぞれ電圧を印加して陰極構体27を回転すること
により、ガラス盤23上にはニツケルなどの所望
の金属が析出してニツケル膜が形成される。そし
て、このニツケル膜をガラス盤23より剥離する
ことにより信号が形成された所望の母型を得るこ
とができる。この際、両回転陰極盤20、フレー
ムリング24には上記した如く樹脂がコーテイン
グされているため、その剥離作業が容易となつて
ニツケル膜(母型)を損傷することはなく、ま
た、不必要な部分には金属が析出することがなく
両部材の耐久性が向上する。
(考案の効果)
以上詳述した如く、本考案になる円盤状回転式
メツキ装置の陰極構体は、従来のように回転陰極
盤およびフレームリングに通電用の金属膜を被着
したり、ゴムパツキンや通電リングを用いるよう
なことはなく、簡単な構成でかつ小型化し得ると
共に、被メツキ物となるガラス盤上に析出した金
属膜は剥離後に切断工程を経ることなくそのまま
母型として使用できるため、高精度なものを得る
ことができるなどの実用的な利点がある。
メツキ装置の陰極構体は、従来のように回転陰極
盤およびフレームリングに通電用の金属膜を被着
したり、ゴムパツキンや通電リングを用いるよう
なことはなく、簡単な構成でかつ小型化し得ると
共に、被メツキ物となるガラス盤上に析出した金
属膜は剥離後に切断工程を経ることなくそのまま
母型として使用できるため、高精度なものを得る
ことができるなどの実用的な利点がある。
第1図、第2図は本考案になる円盤状回転式メ
ツキ装置の陰極構体の好適な一実施例を示し、第
1図はその分解斜視図、第2図は縦断側面図、第
3図は一般的な円盤状回転式メツキ装置を示す概
略断面図、第4図は従来の陰極構体の分解斜視
図、第5図は第4図の組立時の極部の部分断面図
である。 20……回転陰極盤、23……ガラス盤(被メ
ツキ物)、24……フレームリング、27……陰
極構体。
ツキ装置の陰極構体の好適な一実施例を示し、第
1図はその分解斜視図、第2図は縦断側面図、第
3図は一般的な円盤状回転式メツキ装置を示す概
略断面図、第4図は従来の陰極構体の分解斜視
図、第5図は第4図の組立時の極部の部分断面図
である。 20……回転陰極盤、23……ガラス盤(被メ
ツキ物)、24……フレームリング、27……陰
極構体。
Claims (1)
- ガラス盤表面に導電性金属膜を備えた被メツキ
物を載置し、前記被メツキ物に通電する通電部を
除いた周面を樹脂にてコーテイングした金属製の
回転陰極盤と、前記被メツキ物の導電性金属膜お
よび前記回転陰極盤の前記通電部とそれぞれ接合
される通電部を有し、この通電部を除いた部分を
樹脂にてコーテイングした金属製のフレームリン
グとを有してなり、前記回転陰極盤上の前記被メ
ツキ物を前記フレームリングを介して一体構成し
たことを特徴とする円盤状回転式メツキ装置の陰
極構体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9810187U JPH0324599Y2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9810187U JPH0324599Y2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS647271U JPS647271U (ja) | 1989-01-17 |
| JPH0324599Y2 true JPH0324599Y2 (ja) | 1991-05-29 |
Family
ID=31324063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9810187U Expired JPH0324599Y2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0324599Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6746185B2 (ja) * | 2016-02-01 | 2020-08-26 | アスカコーポレーション株式会社 | 半導体ウェハめっき用治具 |
-
1987
- 1987-06-26 JP JP9810187U patent/JPH0324599Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS647271U (ja) | 1989-01-17 |
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