JPH0332825A - スタンパ製造方法 - Google Patents
スタンパ製造方法Info
- Publication number
- JPH0332825A JPH0332825A JP16763489A JP16763489A JPH0332825A JP H0332825 A JPH0332825 A JP H0332825A JP 16763489 A JP16763489 A JP 16763489A JP 16763489 A JP16763489 A JP 16763489A JP H0332825 A JPH0332825 A JP H0332825A
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- JP
- Japan
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- stamper
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- mold
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- Granted
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、光ディスク等の微少凹凸（以下ビットという
）を担持する記録層を有する記録媒体を原盤から複製す
る際に用いる円形型であるビットを担持したスタンパの
製造方法に関する。
）を担持する記録層を有する記録媒体を原盤から複製す
る際に用いる円形型であるビットを担持したスタンパの
製造方法に関する。
背景技術
従来から、コンパクトディスク（以下ＣＤという）の複
製用のスタンパを作成するには、第２図に示すようなス
タンパ製造方法が知られている。
製用のスタンパを作成するには、第２図に示すようなス
タンパ製造方法が知られている。
まず、スピンコード法などにより第２図（おに示すよう
に、平坦なガラス円板１の表面に液状のフォトレジスト
を一様に塗布し、乾燥させて、フォトレジスト２の薄膜
を形成する。
に、平坦なガラス円板１の表面に液状のフォトレジスト
を一様に塗布し、乾燥させて、フォトレジスト２の薄膜
を形成する。
次に、第２図＋ｂ＞に示すように、フォトレジスト２を
担持したガラス円板１をいわゆるカッテング装置に装着
して、ガラス円板１を回転させつつ所定信号によって明
滅するレーザビーム３を対物レンズ４を介して回転する
ガラス円板１上のフォトレジスト２へ照射する。このに
うにして、所定信号を担持した螺旋または同心円状のピ
ット列を）オドレジスト２上に潜像として形成する。
担持したガラス円板１をいわゆるカッテング装置に装着
して、ガラス円板１を回転させつつ所定信号によって明
滅するレーザビーム３を対物レンズ４を介して回転する
ガラス円板１上のフォトレジスト２へ照射する。このに
うにして、所定信号を担持した螺旋または同心円状のピ
ット列を）オドレジスト２上に潜像として形成する。
このようにして、第２図（Ｃ）に示すように、フォトレ
ジスト２を伴うガラス円板１の現像後、ピット５の列を
有するガラス原盤が作成される。
ジスト２を伴うガラス円板１の現像後、ピット５の列を
有するガラス原盤が作成される。
次に、第２図曲に示すように、ガラス円板１のフォトレ
ジスト２上に銀、ニッケル等の導ｆｆ１ｌｌ１７をスパ
ッタリング法等で形成して、ガラス原盤のピット表面を
導電化する。
ジスト２上に銀、ニッケル等の導ｆｆ１ｌｌ１７をスパ
ッタリング法等で形成して、ガラス原盤のピット表面を
導電化する。
次に、第２図Ｔｅｌに示すように、かかる導電膜７を有
したガラス円板１を電鋳槽に浸して導電膜７上に膜厚約
０．３ｍｍのニッケルからなるマスタースタンパ８を電
鋳する。
したガラス円板１を電鋳槽に浸して導電膜７上に膜厚約
０．３ｍｍのニッケルからなるマスタースタンパ８を電
鋳する。
次に、第２図（ｈに示すように、電鋳されたマスタース
タンパ８をガラス円板１から剥離し、マスタースタンパ
８の表面に残るフォトレジスト２を洗浄して、ニッケル
からなるマスタースタンパ８を得る。
タンパ８をガラス円板１から剥離し、マスタースタンパ
８の表面に残るフォトレジスト２を洗浄して、ニッケル
からなるマスタースタンパ８を得る。
次に、第２図＜９）に示すように、かかるマスタースタ
ンパ８を電鋳槽に浸してマスタースタンパ８のビット表
面上に膜厚約０４ｍｍのニッケルからなるマザースタン
パ９を電鋳する。
ンパ８を電鋳槽に浸してマスタースタンパ８のビット表
面上に膜厚約０４ｍｍのニッケルからなるマザースタン
パ９を電鋳する。
次に、第２図曲〉に示すように、電鋳されたマザースタ
ンパ９をマスタースタンパ８から剥離して、ニッケル製
マザースタンパ９を得る。これらの工程を繰り返して数
枚のマザースタンパ９を得ることができる。
ンパ９をマスタースタンパ８から剥離して、ニッケル製
マザースタンパ９を得る。これらの工程を繰り返して数
枚のマザースタンパ９を得ることができる。
次に、第２図（ｉ＋に示すように、かかるマザースタン
パ９を電鋳槽に浸してマザースタンパ９上に膜厚約０．
３ＩＩ１１のニッケルからなるスタンパ１０を電鋳する
。
パ９を電鋳槽に浸してマザースタンパ９上に膜厚約０．
３ＩＩ１１のニッケルからなるスタンパ１０を電鋳する
。
最後に、第２図ｃｊ＞に示すように、電鋳されたスタン
パ１０をマザースタンパ９から剥離してニッケルスタン
パ１０を得る。これらの工程を繰り返してさらに数十枚
のスタンパ１０を得ることができる。
パ１０をマザースタンパ９から剥離してニッケルスタン
パ１０を得る。これらの工程を繰り返してさらに数十枚
のスタンパ１０を得ることができる。
このようなスタンパ１０の製造方法をサンプルサーボ方
式（以下ＳＳ方式という）の光デイスク用のスタンパ製
造に適用する場合、ＣＤ等の信号担持面に多数のピット
をイｆする光デイスク用スタンパ１０においては何ら問
題にならなかったが、該スタンパ１０から製造されるＳ
Ｓ方式の光ディスクの再生波形が乱れるという問題が生
じる。
式（以下ＳＳ方式という）の光デイスク用のスタンパ製
造に適用する場合、ＣＤ等の信号担持面に多数のピット
をイｆする光デイスク用スタンパ１０においては何ら問
題にならなかったが、該スタンパ１０から製造されるＳ
Ｓ方式の光ディスクの再生波形が乱れるという問題が生
じる。
すなわち、上記の再生波形の乱れの原因を調べた結果、
ＳＳ方式の光ディスクのスタンパ１０ではスタンパ１０
上に形成されたピットの頭部が削られた様に崩れている
ことが電子顕微鏡写真から判明得した。
ＳＳ方式の光ディスクのスタンパ１０ではスタンパ１０
上に形成されたピットの頭部が削られた様に崩れている
ことが電子顕微鏡写真から判明得した。
このピットの崩れは、製造工程における第２図曲及び第
２図（ｊ）に示す電鋳後の貼着したマスタースタンパ８
及びマザースタンパ９とマザースタンパ９及びスタンパ
１０とのそれぞれにおける剥離時に第３図に示す方向へ
の発生する表面ずれによって生じ、互いのピットが第４
図の如くこじれ合ってピットの崩れが生じ易くなる。
２図（ｊ）に示す電鋳後の貼着したマスタースタンパ８
及びマザースタンパ９とマザースタンパ９及びスタンパ
１０とのそれぞれにおける剥離時に第３図に示す方向へ
の発生する表面ずれによって生じ、互いのピットが第４
図の如くこじれ合ってピットの崩れが生じ易くなる。
一方、ＣＤ等の信号担持面にピット又はプリグループに
よる多数の凹凸があるスタンパでは、これらのディスク
同士の密着が強く、表面ずれが抑制される。
よる多数の凹凸があるスタンパでは、これらのディスク
同士の密着が強く、表面ずれが抑制される。
しかしながら、ＳＳ方式の光ディスクでは、プリグルー
プが無い上に予め形成されたピットの数も極端番ミ少な
いために、ディスク同士の密着が弱く、ディスク剥離時
にそれらの表面に表面ずれが生じてピットが崩れてしま
うのである。
プが無い上に予め形成されたピットの数も極端番ミ少な
いために、ディスク同士の密着が弱く、ディスク剥離時
にそれらの表面に表面ずれが生じてピットが崩れてしま
うのである。
発明の概要
本発明の目的は、ピットの崩れの少ないスタンパを製造
できるスタンパ製造方法を提供することにある。
できるスタンパ製造方法を提供することにある。
本発明のスタンパ製造方法は、微少凹凸を有するスタン
パを製造する方法であって、 ガラス原盤を型としてマスタースタンパを電鋳し、ガラ
ス原盤からマスタースタンパを剥離するマスタースタン
パ形成工程と、 マスタースタンパを型としてマザースタンパを電鋳し、
マスタースタンパからマザースタンパを剥離するマザー
スタンパ形成工程と、 マザースタンパを型としてスタンパを電鋳し、マザース
タンパからスタンパを剥離するスタンパ形成工程とを含
み、マザースタンパの板厚をマスタースタンパ及びスタ
ンパ各々の板厚より薄くすることを特徴とする特 実施例 以下に、本発明による実施例を図面を参照しつつ説明す
る。
パを製造する方法であって、 ガラス原盤を型としてマスタースタンパを電鋳し、ガラ
ス原盤からマスタースタンパを剥離するマスタースタン
パ形成工程と、 マスタースタンパを型としてマザースタンパを電鋳し、
マスタースタンパからマザースタンパを剥離するマザー
スタンパ形成工程と、 マザースタンパを型としてスタンパを電鋳し、マザース
タンパからスタンパを剥離するスタンパ形成工程とを含
み、マザースタンパの板厚をマスタースタンパ及びスタ
ンパ各々の板厚より薄くすることを特徴とする特 実施例 以下に、本発明による実施例を図面を参照しつつ説明す
る。
本実施例のスタンパ製造方法は、従来の方法とほぼ同様
に以下の工程を含む。すなわち、ｌ）ガラス原盤を型と
して膜厚的り、３ｔａｒｓのマスタースタンパ８を電鋳
し、ガラス原盤からマスタースタンパを剥離する上記の
第２図（ａｌないし第２図＋ｆ＋に示すマスタースタン
パ形成工程、２）マスタースタンパ８を型として膜厚約
０．１ｍｍマザースタンパ９を電鋳し、マスタースタン
パからマザースタンパを剥離する上記の第２図〈引及び
第２図曲に示すマザースタンパ形成工程、並びに、 ３）マザースタンパ９を型として膜厚約０．３ａ＋ｅの
スタンパ１０を電鋳し、マザースタンパからスる タンパを剥離す上記の第２図＋ｂ及び第２図＋ｊ＋に示
へ すスタンパ形成工程、である。
に以下の工程を含む。すなわち、ｌ）ガラス原盤を型と
して膜厚的り、３ｔａｒｓのマスタースタンパ８を電鋳
し、ガラス原盤からマスタースタンパを剥離する上記の
第２図（ａｌないし第２図＋ｆ＋に示すマスタースタン
パ形成工程、２）マスタースタンパ８を型として膜厚約
０．１ｍｍマザースタンパ９を電鋳し、マスタースタン
パからマザースタンパを剥離する上記の第２図〈引及び
第２図曲に示すマザースタンパ形成工程、並びに、 ３）マザースタンパ９を型として膜厚約０．３ａ＋ｅの
スタンパ１０を電鋳し、マザースタンパからスる タンパを剥離す上記の第２図＋ｂ及び第２図＋ｊ＋に示
へ すスタンパ形成工程、である。
本実施例のスタンパ製造方法の特徴は、上記２）のマザ
ースタンパ形成工程において、マザースタンパ９の板厚
をマスタースタンパ８及びスタンパ１０の各々の板厚よ
り薄くすることにある。これにより第１図に示すように
、上記２）及び３）のマザースタンパ及びスタンパの画
形成工程の剥離時において、マザースタンパの柔軟な剥
離を達成ボできる。
ースタンパ形成工程において、マザースタンパ９の板厚
をマスタースタンパ８及びスタンパ１０の各々の板厚よ
り薄くすることにある。これにより第１図に示すように
、上記２）及び３）のマザースタンパ及びスタンパの画
形成工程の剥離時において、マザースタンパの柔軟な剥
離を達成ボできる。
したがって、第２図山〉及び第２図〈ｊ）にもマザース
タンパをマスタースタンパ又はスタンパから剥離する様
子が示されているが、これ等よりもまして、マザースタ
ンパは薄いので張着しているディスクからしなり及び湾
曲を伴って滑らかな分離が可能となる。担持されたピッ
トの形状もその周囲が弾性変形を伴いながら剥離が行わ
れるのでピットの崩れはなくなる。このマザースタンパ
の膜厚は０，０８〜０．１８＋ｇｓの範囲が好ましい。
タンパをマスタースタンパ又はスタンパから剥離する様
子が示されているが、これ等よりもまして、マザースタ
ンパは薄いので張着しているディスクからしなり及び湾
曲を伴って滑らかな分離が可能となる。担持されたピッ
トの形状もその周囲が弾性変形を伴いながら剥離が行わ
れるのでピットの崩れはなくなる。このマザースタンパ
の膜厚は０，０８〜０．１８＋ｇｓの範囲が好ましい。
なぜならば、０．０８ｍｍ未満の膜厚であるとマザース
タンパの強度が保てず、マザースタンパの膜厚０．１ｆ
１ｍｍを越えるとビット形状の崩れが生じることになる
からである。
タンパの強度が保てず、マザースタンパの膜厚０．１ｆ
１ｍｍを越えるとビット形状の崩れが生じることになる
からである。
発明の効果
以上のように、本発明によれば、スタンパの製造方法中
においてマザースタンパの板厚をマスタースタンパ及び
スタンパ各々の板厚より薄くする故に、それらの剥離時
の密着力が増加し、さらにマスタースタンパのしなり及
び湾曲によって滑らかな分離が可能となり、よって、マ
スタースタンパ、マザースタンパ及びスタンパのピット
形状の崩れが大幅に減少する。
においてマザースタンパの板厚をマスタースタンパ及び
スタンパ各々の板厚より薄くする故に、それらの剥離時
の密着力が増加し、さらにマスタースタンパのしなり及
び湾曲によって滑らかな分離が可能となり、よって、マ
スタースタンパ、マザースタンパ及びスタンパのピット
形状の崩れが大幅に減少する。
第１図は本発明によるスタンパの製造方法におけるマザ
ースタンパをマスタースタンパ又はスタンパから剥離す
る様子を示す概略断面図、第２図はスタンパの製造方法
を示す概略断面図、第３図は従来のマスタースタンパの
剥離の様子を示す概略断面図、第４図はマスタースタン
パの剥離部分の部分拡大断面図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・ガラス円板 ２・・・・・・フォトレジスト ３・・・・・・レーザビーム ４・・・・・・対物レンズ ５・・・・・・ピット ７・・・・・・導電膜 ８・・・・・・マスタースタンパ ９・・・・・・マザースタンパ ０・・・・・・スタンパ
ースタンパをマスタースタンパ又はスタンパから剥離す
る様子を示す概略断面図、第２図はスタンパの製造方法
を示す概略断面図、第３図は従来のマスタースタンパの
剥離の様子を示す概略断面図、第４図はマスタースタン
パの剥離部分の部分拡大断面図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・ガラス円板 ２・・・・・・フォトレジスト ３・・・・・・レーザビーム ４・・・・・・対物レンズ ５・・・・・・ピット ７・・・・・・導電膜 ８・・・・・・マスタースタンパ ９・・・・・・マザースタンパ ０・・・・・・スタンパ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 微少凹凸を有するスタンパを作成するスタンパ製造方法
であって、 ガラス原盤を型としてマスタースタンパを電鋳し、前記
ガラス原盤から前記マスタースタンパを剥離するマスタ
ースタンパ形成工程と、 前記マスタースタンパを型としてマザースタンパを電鋳
し、前記マスタースタンパから前記マザースタンパを剥
離するマザースタンパ形成工程と、前記マザースタンパ
を型としてスタンパを電鋳し、前記マザースタンパから
前記スタンパを剥離するスタンパ形成工程とを含み、前
記マザースタンパの板厚を前記マスタースタンパ及びス
タンパ各々の板厚より薄くすることを特徴とする製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16763489A JP2693585B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | スタンパ製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16763489A JP2693585B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | スタンパ製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332825A true JPH0332825A (ja) | 1991-02-13 |
| JP2693585B2 JP2693585B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=15853413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16763489A Expired - Fee Related JP2693585B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | スタンパ製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2693585B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020042418A (ko) * | 2000-11-30 | 2002-06-05 | 기타지마 요시토시 | 금형의 복제 방법 및 성상 판정 방법 |
| JP2018055761A (ja) * | 2015-09-18 | 2018-04-05 | 大日本印刷株式会社 | 情報記録媒体の作成方法 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP16763489A patent/JP2693585B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020042418A (ko) * | 2000-11-30 | 2002-06-05 | 기타지마 요시토시 | 금형의 복제 방법 및 성상 판정 방법 |
| JP2018055761A (ja) * | 2015-09-18 | 2018-04-05 | 大日本印刷株式会社 | 情報記録媒体の作成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2693585B2 (ja) | 1997-12-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |