JPH04312970A - 出力バッファ回路 - Google Patents
出力バッファ回路Info
- Publication number
- JPH04312970A JPH04312970A JP3060230A JP6023091A JPH04312970A JP H04312970 A JPH04312970 A JP H04312970A JP 3060230 A JP3060230 A JP 3060230A JP 6023091 A JP6023091 A JP 6023091A JP H04312970 A JPH04312970 A JP H04312970A
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- Japan
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- transistor
- buffer circuit
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- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路装置
の出力バッファ回路に関するものである。
の出力バッファ回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図8は従来の出力バッファ回路(出力ノ
ード線)の等価回路図である。図において、電源線1に
は電源Vccが、電源線2には接地電源GNDがそれぞ
れ接続されている。5はロード用NチャネルMOSトラ
ンジスタ、6はドライバ用NチャネルMOSトランジス
タであり、それぞれデータ出力線7にハイレベルとロー
レベルを供給する。また互いに反転信号となる内部デー
タ信号が信号伝達線3,4によってそれぞれトランジス
タ5,6のゲートに伝えられ、これらのトランジスタの
スイッチング動作を制御する。この出力バッファ回路は
、チップ内のメモリ情報を外部信号として出力するもの
で、製品によっては、複数個有しているものもある。
ード線)の等価回路図である。図において、電源線1に
は電源Vccが、電源線2には接地電源GNDがそれぞ
れ接続されている。5はロード用NチャネルMOSトラ
ンジスタ、6はドライバ用NチャネルMOSトランジス
タであり、それぞれデータ出力線7にハイレベルとロー
レベルを供給する。また互いに反転信号となる内部デー
タ信号が信号伝達線3,4によってそれぞれトランジス
タ5,6のゲートに伝えられ、これらのトランジスタの
スイッチング動作を制御する。この出力バッファ回路は
、チップ内のメモリ情報を外部信号として出力するもの
で、製品によっては、複数個有しているものもある。
【0003】図9は図8の出力バッファ回路の具体的な
パターンレイアウトの例である。ロード用NチャネルM
OSトランジスタ5はドライバ用NチャネルMOSドラ
イバ用トランジスタ6と同一パターンなので図9ではそ
の部分は省略し、図8の回路図のうちドライバ用Nチャ
ネルMOSトランジスタ6の部分のみを示す。接地電源
GNDが接続される電源線2はアルミ配線で、内部デー
タ信号を伝達する信号伝達線4はポリシリコンで、デー
タ出力線7はアルミ配線で、それぞれ構成されている。
パターンレイアウトの例である。ロード用NチャネルM
OSトランジスタ5はドライバ用NチャネルMOSドラ
イバ用トランジスタ6と同一パターンなので図9ではそ
の部分は省略し、図8の回路図のうちドライバ用Nチャ
ネルMOSトランジスタ6の部分のみを示す。接地電源
GNDが接続される電源線2はアルミ配線で、内部デー
タ信号を伝達する信号伝達線4はポリシリコンで、デー
タ出力線7はアルミ配線で、それぞれ構成されている。
【0004】出力バッファ用のトランジスタは大きな負
荷を駆動するため、トランジスタの幅即ちゲート幅Wを
広くとる必要がある。しかしゲート幅Wを極端に広げる
と、製造プロセス上パターニングにおいてゲート長Lが
細くなるという問題を招くため、パターンは数個のトラ
ンジスタが並列接続された形とされる。すなわち、トラ
ンジスタ6は複数のトランジスタ6a,6b,6c,6
dから構成されることで、実効的にゲート幅Wを大きく
している。
荷を駆動するため、トランジスタの幅即ちゲート幅Wを
広くとる必要がある。しかしゲート幅Wを極端に広げる
と、製造プロセス上パターニングにおいてゲート長Lが
細くなるという問題を招くため、パターンは数個のトラ
ンジスタが並列接続された形とされる。すなわち、トラ
ンジスタ6は複数のトランジスタ6a,6b,6c,6
dから構成されることで、実効的にゲート幅Wを大きく
している。
【0005】トランジスタ6aはドレイン側拡散層11
a、ソース側拡散層12aとから構成される。トランジ
スタ6b,6c,6dについても同様である。拡散層1
1a,12aはそれぞれコンタクト13,14を介して
データ出力線7,信号伝達線4と接続される。
a、ソース側拡散層12aとから構成される。トランジ
スタ6b,6c,6dについても同様である。拡散層1
1a,12aはそれぞれコンタクト13,14を介して
データ出力線7,信号伝達線4と接続される。
【0006】次に動作について説明する。図8において
、データ出力線7にハイレベルを出力する場合には、信
号伝達線3に入力する内部データ信号をハイレベル、信
号伝達線4に入力する内部データ信号をローレベルとし
、ロード用NチャネルMOSトランジスタ5をオン、ド
ライバ用NチャネルMOSトランジスタ6をオフさせて
行われる。またデータ出力線7にローレベルを出力する
場合には、信号伝達線3に入力する内部データ信号をロ
ーレベル、信号伝達線4に入力する内部データ信号をハ
イレベルとし、ロード用NチャネルMOSトランジスタ
5をオフ、ドライバ用NチャネルMOSトランジスタ6
をオンさせて行われる。
、データ出力線7にハイレベルを出力する場合には、信
号伝達線3に入力する内部データ信号をハイレベル、信
号伝達線4に入力する内部データ信号をローレベルとし
、ロード用NチャネルMOSトランジスタ5をオン、ド
ライバ用NチャネルMOSトランジスタ6をオフさせて
行われる。またデータ出力線7にローレベルを出力する
場合には、信号伝達線3に入力する内部データ信号をロ
ーレベル、信号伝達線4に入力する内部データ信号をハ
イレベルとし、ロード用NチャネルMOSトランジスタ
5をオフ、ドライバ用NチャネルMOSトランジスタ6
をオンさせて行われる。
【0007】図10は図8の出力バッファ回路の出力電
圧波形を示す。8は中間電位レベル、9,9aはハイレ
ベル出力時の波形、10,10aはローレベル出力時の
波形である。
圧波形を示す。8は中間電位レベル、9,9aはハイレ
ベル出力時の波形、10,10aはローレベル出力時の
波形である。
【0008】中間電位レベル8は伝達信号線3,4を共
に強制的にローレベルとし、ロード用NチャネルMOS
トランジスタ5、ドライバ用NチャネルMOSトランジ
スタ6を共にオフさせ、データ出力線7をフローレベル
ティング状態とした時のレベルである。
に強制的にローレベルとし、ロード用NチャネルMOS
トランジスタ5、ドライバ用NチャネルMOSトランジ
スタ6を共にオフさせ、データ出力線7をフローレベル
ティング状態とした時のレベルである。
【0009】またハイレベル出力時の波形9,9aは、
信号伝達線3に入力される内部データ信号がハイレベル
となり、信号伝達線4に入力される内部データ信号がロ
ーレベルとなって、ロード用NチャネルMOSトランジ
スタ5がオンし、ドライバ用NチャネルMOSトランジ
スタ6がオフして、データ出力線7にハイレベルVOH
を出力する状態を示す。変化時間の早い場合が波形9で
あり、波形9aは変化時間を遅らせた場合である。
信号伝達線3に入力される内部データ信号がハイレベル
となり、信号伝達線4に入力される内部データ信号がロ
ーレベルとなって、ロード用NチャネルMOSトランジ
スタ5がオンし、ドライバ用NチャネルMOSトランジ
スタ6がオフして、データ出力線7にハイレベルVOH
を出力する状態を示す。変化時間の早い場合が波形9で
あり、波形9aは変化時間を遅らせた場合である。
【0010】またローレベル出力時の波形10,10a
は、信号伝達線3に入力される内部データ信号がローレ
ベルとなり、信号伝達線4に入力される内部データ信号
がハイレベルとなって、ロード用NチャネルMOSトラ
ンジスタ5がオフし、ドライバ用NチャネルMOSトラ
ンジスタ6がオンして、データ出力線7にローレベルV
OLを出力する状態を示す。変化時間の早い場合が波形
10であり、波形10aは変化時間を遅らせた場合であ
る。
は、信号伝達線3に入力される内部データ信号がローレ
ベルとなり、信号伝達線4に入力される内部データ信号
がハイレベルとなって、ロード用NチャネルMOSトラ
ンジスタ5がオフし、ドライバ用NチャネルMOSトラ
ンジスタ6がオンして、データ出力線7にローレベルV
OLを出力する状態を示す。変化時間の早い場合が波形
10であり、波形10aは変化時間を遅らせた場合であ
る。
【0011】以上のように、一般に出力バッファ回路は
メモリセルの信号伝達線3,4に入力するデータに対応
してハイレベル又はローレベルをデータ出力線7に出す
動作を行う。ここで、データ出力線7すなわちディバイ
スの出力ピンには実装時にCPUやデータバス結線負荷
を駆動する必要があるため、一般的に大きな負荷が接続
される。一般的にはこの出力ピンに30〜80pFの容
量がつき、実装では100pF以上の容量が接続される
ことも多い。このため、出力バッファ回路に用いるトラ
ンジスタは、電流駆動能力を上げるため実効的なゲート
幅Wを大きく設計する。一般的にゲート幅Wは通常回路
部の10〜20倍である300〜500μmと設計され
る。
メモリセルの信号伝達線3,4に入力するデータに対応
してハイレベル又はローレベルをデータ出力線7に出す
動作を行う。ここで、データ出力線7すなわちディバイ
スの出力ピンには実装時にCPUやデータバス結線負荷
を駆動する必要があるため、一般的に大きな負荷が接続
される。一般的にはこの出力ピンに30〜80pFの容
量がつき、実装では100pF以上の容量が接続される
ことも多い。このため、出力バッファ回路に用いるトラ
ンジスタは、電流駆動能力を上げるため実効的なゲート
幅Wを大きく設計する。一般的にゲート幅Wは通常回路
部の10〜20倍である300〜500μmと設計され
る。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかし、大きな負荷容
量を急速に充放電しようとすると図10に示したハイレ
ベル出力時の波形9、ローレベル出力時の波形10のよ
うに瞬時の波形の乱れが生じ、ノイズを発生させる。
量を急速に充放電しようとすると図10に示したハイレ
ベル出力時の波形9、ローレベル出力時の波形10のよ
うに瞬時の波形の乱れが生じ、ノイズを発生させる。
【0013】このようなノイズを低減させるためにはデ
ータ出力信号の立ち上がり、立ち下がり、即ちdi/d
t(瞬時電流/瞬時期間)を小さくすることが効果的で
ある。つまり図10に示した波形9a,波形10aのよ
うに変化時間を遅くさせるとノイズは小さくなる。
ータ出力信号の立ち上がり、立ち下がり、即ちdi/d
t(瞬時電流/瞬時期間)を小さくすることが効果的で
ある。つまり図10に示した波形9a,波形10aのよ
うに変化時間を遅くさせるとノイズは小さくなる。
【0014】ここでdi/dtを小さくするにはロード
用NチャネルMOSトランジスタ5,ドライブ用Nチャ
ネルMOSトランジスタ6の電流駆動能力を下げたり、
ロード用NチャネルMOSトランジスタ5と電源Vcc
との間や、ドライブ用NチャネルMOSトランジスタ6
と接地電源GNDとの間に抵抗を付加したり、あるいは
信号伝達線3,4に入力する内部データ信号のスイッチ
ングスピードをゆっくりさせることで可能ではあるが、
データ出力線7の出力がハイレベルVOH又はローレベ
ルVOLに確定するまでに時間がかかり、ひいてはディ
バイス全体のアクセス時間を遅らすことになり、高速化
においては大きな妨げになるなどの問題点があった。
用NチャネルMOSトランジスタ5,ドライブ用Nチャ
ネルMOSトランジスタ6の電流駆動能力を下げたり、
ロード用NチャネルMOSトランジスタ5と電源Vcc
との間や、ドライブ用NチャネルMOSトランジスタ6
と接地電源GNDとの間に抵抗を付加したり、あるいは
信号伝達線3,4に入力する内部データ信号のスイッチ
ングスピードをゆっくりさせることで可能ではあるが、
データ出力線7の出力がハイレベルVOH又はローレベ
ルVOLに確定するまでに時間がかかり、ひいてはディ
バイス全体のアクセス時間を遅らすことになり、高速化
においては大きな妨げになるなどの問題点があった。
【0015】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、データ出力信号の立ち上がり
、立ち下がりの急峻さを顕著に損なうことなくノイズを
低減し、高速アクセス時間を有しかつ安定した動作をす
る出力バッファ回路を得ることを目的としている。
るためになされたもので、データ出力信号の立ち上がり
、立ち下がりの急峻さを顕著に損なうことなくノイズを
低減し、高速アクセス時間を有しかつ安定した動作をす
る出力バッファ回路を得ることを目的としている。
【0016】
【課題を解決するための手段】この発明の出力バッファ
回路は、ドライバ用トランジスタと、ロード用トランジ
スタからなり、これらトランジスタのうち少なくとも一
方が、電流駆動能力の異なる複数のトランジスタの並列
接続から構成されている。
回路は、ドライバ用トランジスタと、ロード用トランジ
スタからなり、これらトランジスタのうち少なくとも一
方が、電流駆動能力の異なる複数のトランジスタの並列
接続から構成されている。
【0017】
【作用】この発明において電流駆動能力の大きいトラン
ジスタは出力変化の立ち上がり、立ち下がりを良好にし
、電流駆動能力の小さいトランジスタは、di/dtが
小さいのでノイズの発生を抑える。
ジスタは出力変化の立ち上がり、立ち下がりを良好にし
、電流駆動能力の小さいトランジスタは、di/dtが
小さいのでノイズの発生を抑える。
【0018】
【実施例】図1はこの発明の一実施例である出力バッフ
ァ回路のドライバ用トランジスタ60の等価回路図、図
3はドライバ用トランジスタ60のパターン図である。 図8のロード用NMOSトランジスタ5に対応する部分
は、接地電源GNDを接続する電源線2が電源Vccを
接続する電源線1に代わるだけで他は同一であるので、
図1においてはその記載と説明は省略している。図3に
おいてもドライバ用トランジスタ60のパターンしか示
されていないが、同様の構造でロード用トランジスタを
構成することができる。
ァ回路のドライバ用トランジスタ60の等価回路図、図
3はドライバ用トランジスタ60のパターン図である。 図8のロード用NMOSトランジスタ5に対応する部分
は、接地電源GNDを接続する電源線2が電源Vccを
接続する電源線1に代わるだけで他は同一であるので、
図1においてはその記載と説明は省略している。図3に
おいてもドライバ用トランジスタ60のパターンしか示
されていないが、同様の構造でロード用トランジスタを
構成することができる。
【0019】図1のように構成されたドライバ用トラン
ジスタ60の動作を説明する。図2は、図1に示す実施
例のデータ出力線7のデータ出力信号の波形を示してい
る。
ジスタ60の動作を説明する。図2は、図1に示す実施
例のデータ出力線7のデータ出力信号の波形を示してい
る。
【0020】信号伝達線4に入力する内部データ信号を
ハイレベルとすると(図示しない信号伝達線3に入力す
る内部データ信号をローレベルとする)、トランジスタ
6e,6f,6g,6hがオンする。従って、トランジ
スタ6e,6f,6g,6hを電流が通り、データ出力
線7のレベルはローレベルVOLとなる。このときトラ
ンジスタ6f,6hの電流駆動能力は従来の場合と同様
であり、流れる電流の立ち下がりは従来と同様に急峻で
ある。
ハイレベルとすると(図示しない信号伝達線3に入力す
る内部データ信号をローレベルとする)、トランジスタ
6e,6f,6g,6hがオンする。従って、トランジ
スタ6e,6f,6g,6hを電流が通り、データ出力
線7のレベルはローレベルVOLとなる。このときトラ
ンジスタ6f,6hの電流駆動能力は従来の場合と同様
であり、流れる電流の立ち下がりは従来と同様に急峻で
ある。
【0021】一方、トランジスタ6eと6gにはそれぞ
れ寄生抵抗11e,11gが直列に接続されており、電
流駆動能力が低下するので、これに流れる電流の変化は
緩やかである。従って図2の波形10bに示すようにデ
ータ出力信号の電圧が充分低下する以前の変化は急峻で
あるが、波形10cに示すように時間がある程度経過し
た後の変化は緩やかとなり、波形10dに示す定常状態
に至るまでのノイズ発生は少ない。
れ寄生抵抗11e,11gが直列に接続されており、電
流駆動能力が低下するので、これに流れる電流の変化は
緩やかである。従って図2の波形10bに示すようにデ
ータ出力信号の電圧が充分低下する以前の変化は急峻で
あるが、波形10cに示すように時間がある程度経過し
た後の変化は緩やかとなり、波形10dに示す定常状態
に至るまでのノイズ発生は少ない。
【0022】ここで寄生抵抗11e,11gは、図3に
示すようにトランジスタ6e,6gのドレイン拡散層の
幅を広げることにより設けることができる。
示すようにトランジスタ6e,6gのドレイン拡散層の
幅を広げることにより設けることができる。
【0023】なお、上記実施例では、抵抗11e,11
gをトランジスタのゲート配置を変え寄生の拡散抵抗に
よって行なっているが、第2の実施例として図4,図5
のようにトランジスタ61,62を設けても第1の実施
例と同様の効果を奏する。トランジスタ61,62のゲ
ートには電源Vccの電位が印加されるので、スイッチ
ング動作は行なわず、一定の抵抗とみなすことができる
。 また第1の実施例と比較して拡散層の寄生容量を大きく
低減できるため、さらに高速化及び出力データ線の低容
量化に有効である。
gをトランジスタのゲート配置を変え寄生の拡散抵抗に
よって行なっているが、第2の実施例として図4,図5
のようにトランジスタ61,62を設けても第1の実施
例と同様の効果を奏する。トランジスタ61,62のゲ
ートには電源Vccの電位が印加されるので、スイッチ
ング動作は行なわず、一定の抵抗とみなすことができる
。 また第1の実施例と比較して拡散層の寄生容量を大きく
低減できるため、さらに高速化及び出力データ線の低容
量化に有効である。
【0024】本発明の第3の実施例の等価回路を図6に
、そのパターン図を図7に示す。前述の実施例と同様の
理由で出力バッファ回路のドライバ用トランジスタの部
分のみ記している。6i,6kはトランジスタのゲート
幅(L)を広くとっており電流駆動能力が小さいトラン
ジスタである。6j,6l,のトランジスタは従来と同
じゲート幅を有し電流駆動能力の大きいトランジスタで
ある。
、そのパターン図を図7に示す。前述の実施例と同様の
理由で出力バッファ回路のドライバ用トランジスタの部
分のみ記している。6i,6kはトランジスタのゲート
幅(L)を広くとっており電流駆動能力が小さいトラン
ジスタである。6j,6l,のトランジスタは従来と同
じゲート幅を有し電流駆動能力の大きいトランジスタで
ある。
【0025】データ出力線7をハイレベルからローレベ
ルにする際、信号伝達線4にハイレベルの電圧が印加さ
れる。このときまず、電流駆動能力の大きいトランジス
タ6j,6lによって電位が低下する。電流駆動能力の
大きいトランジスタの数(もしくは合計したチャネル幅
W)は、図9に示した従来の場合より少ないので、若干
スピードは遅れるが、大きなノイズは発生しない。
ルにする際、信号伝達線4にハイレベルの電圧が印加さ
れる。このときまず、電流駆動能力の大きいトランジス
タ6j,6lによって電位が低下する。電流駆動能力の
大きいトランジスタの数(もしくは合計したチャネル幅
W)は、図9に示した従来の場合より少ないので、若干
スピードは遅れるが、大きなノイズは発生しない。
【0026】ゲート幅の広いドライバ用トランジスタ6
i,6kは、電流駆動能力は悪くスイッチングは遅いが
、一定期間後には、通常どおり駆動する。従ってデータ
出力の波形は、図2の波形9b,9c,9dと同様にな
り先の実施例と同等の効果がある。
i,6kは、電流駆動能力は悪くスイッチングは遅いが
、一定期間後には、通常どおり駆動する。従ってデータ
出力の波形は、図2の波形9b,9c,9dと同様にな
り先の実施例と同等の効果がある。
【0027】また、上記実施例では波形の立ち下がりの
改善について述べたが、立ち上がりを改善するにはロー
ド用トランジスタを同様の構成にすることで実現できる
。但し、立ち下がりの改善にはドライバ用トランジスタ
のみ実施例の如くすれば足りる。同様にして立ち上りの
改善にはロード用トランジスタのみ実施例の如くすれば
足りる。
改善について述べたが、立ち上がりを改善するにはロー
ド用トランジスタを同様の構成にすることで実現できる
。但し、立ち下がりの改善にはドライバ用トランジスタ
のみ実施例の如くすれば足りる。同様にして立ち上りの
改善にはロード用トランジスタのみ実施例の如くすれば
足りる。
【0028】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、出力
バッファ回路のトランジスタが電流駆動能力の異なる複
数のトランジスタの並列接続から構成されているので、
電流駆動能力の小さいトランジスタがノイズを低減し、
大きいトランジスタが出力変化の立ち上がり、立ち下が
りを良好にすることにより、ノイズが低減され、高速ア
クセス時間を有し、かつ安定した動作をする出力バッフ
ァ回路を得ることができる。
バッファ回路のトランジスタが電流駆動能力の異なる複
数のトランジスタの並列接続から構成されているので、
電流駆動能力の小さいトランジスタがノイズを低減し、
大きいトランジスタが出力変化の立ち上がり、立ち下が
りを良好にすることにより、ノイズが低減され、高速ア
クセス時間を有し、かつ安定した動作をする出力バッフ
ァ回路を得ることができる。
【図1】この発明の第1の実施例の出力バッファ回路の
ドライバ用トランジスタを示す回路図である。
ドライバ用トランジスタを示す回路図である。
【図2】この発明の第1の実施例による出力バッファ回
路の出力波形図である。
路の出力波形図である。
【図3】この発明の第1の実施例の出力バッファ回路の
ドライバ用トランジスタのパターン図である。
ドライバ用トランジスタのパターン図である。
【図4】この発明の第2の実施例の出力バッファ回路の
ドライバ用トランジスタを示す回路図である。
ドライバ用トランジスタを示す回路図である。
【図5】この発明の第2の実施例による出力バッファ回
路のドライバ用トランジスタのパターン図である。
路のドライバ用トランジスタのパターン図である。
【図6】この発明の第3の実施例による出力バッファ回
路のドライバ用トランジスタを示す回路図である。
路のドライバ用トランジスタを示す回路図である。
【図7】この発明の第3の実施例による出力バッファ回
路のドライバ用トランジスタのパターン図である。
路のドライバ用トランジスタのパターン図である。
【図8】従来の出力バッファ回路を示す回路図である。
【図9】従来の出力バッファ回路のドライバ用トランジ
スタのパターン図である。
スタのパターン図である。
【図10】従来の出力バッファによる出力バッファ回路
の出力波形図である。
の出力波形図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 ドライバ用トランジスタと、ロード用
トランジスタとからなる出力バッファ回路において、前
記ドライバ用トランジスタ及び前記ロード用トランジス
タのうち少なくとも一方は、電流駆動能力の異なる複数
のトランジスタの並列接続から構成されている出力バッ
ファ回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3060230A JPH04312970A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 出力バッファ回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3060230A JPH04312970A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 出力バッファ回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04312970A true JPH04312970A (ja) | 1992-11-04 |
Family
ID=13136169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3060230A Pending JPH04312970A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 出力バッファ回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04312970A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016136593A (ja) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | 株式会社ジェイテクト | パワー半導体素子 |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP3060230A patent/JPH04312970A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016136593A (ja) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | 株式会社ジェイテクト | パワー半導体素子 |
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