JPH0432054A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH0432054A
JPH0432054A JP13905490A JP13905490A JPH0432054A JP H0432054 A JPH0432054 A JP H0432054A JP 13905490 A JP13905490 A JP 13905490A JP 13905490 A JP13905490 A JP 13905490A JP H0432054 A JPH0432054 A JP H0432054A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magneto
optical recording
film
cyclic olefin
content
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Pending
Application number
JP13905490A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyotaka Shindo
清孝 進藤
Atsushi Okubo
敦 大久保
Kunihiko Mizumoto
邦彦 水本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Petrochemical Industries Ltd
Original Assignee
Mitsui Petrochemical Industries Ltd
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Publication date
Application filed by Mitsui Petrochemical Industries Ltd filed Critical Mitsui Petrochemical Industries Ltd
Priority to JP13905490A priority Critical patent/JPH0432054A/ja
Publication of JPH0432054A publication Critical patent/JPH0432054A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 i更立韮五至1 本発明憾 光磁気記録媒体に関し さらに詳しり:戴 
 記録パワーの線速依存性が小さく、しかも記録感度に
優れるとともに記録パワーのマージンが広い光磁気記録
媒体に関する。
i貝立孜五負1j 鉄、コバルトなどの遷移金属と、テルビウム(T b)
、カドリニウム(Gd)なとの希土類元素との合金から
なる光磁気記録膜IL  膜面と垂直な方向に磁化容易
軸を有し 一方向に全面磁化された膜面にこの全面磁化
方向とは逆向きの小さな反転磁区を形成することができ
ることが知られている。この反転磁区の有無を「1」、
 「0」に対応させることによって、上記のような光磁
気記録膜にデジタル信号を記録させることが可能となる
このような遷移金属と希土類元素とからなる光磁気記録
膜として1転 たとえば特公昭57−20691号公報
に15〜30原子%のTbを含むTb−Fe系光磁気記
録膜が開示されている。またTb−Feに第3の金属を
添加してなる光磁気記録膜も用いられている。さらにT
b−Co系、Tb−Fe−C0系などの光磁気記録膜も
知られている。
このようなTb−Fe爪 Tb−Co系などの光磁気記
録膜中&ミ この薄膜の耐酸化性を向上させるため番へ
 第3の金属を添加する方法が種々試みられている。
このような光磁気記録媒体に情報を書込む際に鷹 記録
パワーマージンが広く、しかも記録パワーの線速依存性
が小さいことが望まれている。ここで情報を書込む際の
記録パワーマージンが広いとは、光磁気記録媒体にレー
ザ光などによって情報を書込む際&−書込み光としての
レーザ光のパワーが多少変化しても正確に光磁気記録媒
体に情報を書込むことができることを意味し 記録パワ
ーの線速依存性がノ」)さいと叫 光磁気記録媒体にレ
ーザ光などによって情報を書込む際&ミ 記録媒体の内
周部と外周部とで書込み光としてのレーザ光の最適記録
パワーの変化のしかたが小かいことを意味している。
またこのような光磁気記録膜を基板上に積層してなる光
磁気記録媒体1戴 耐酸化性および記録感度(C/N比
)の向上も望まれていた このように記録パワーマージンが広く、その上記録パワ
ーの線速依存性が小さく、耐酸化性および記録感度が向
上されているような光磁気記録媒体の出現が望まれてい
る。
本発明者らは、このような従来技術に鑑みて鋭意検討し
たところ、基板上シミ 保護膜と、光磁気記録膜と、ケ
イ素膜と、アルミニウム合金膜とをこの順序で積層して
なる光磁気記録媒体檄 記録パワーの線速依存性が小さ
く、かつ記録パワーマージンが広く、しかも耐酸化性お
よび記録感度に優れていることを見いだして、本発明を
完成するに至った i里亘1濫 本発明IL  記録パワーマージンが広く、シかも記録
パワーの線速依存性が小さく、がっC/N比が高く、耐
酸化性にも優れているような光磁気記録媒体を提供する
ことを目的としている。
i里立鷹1 本発明に係る光磁気記録媒体+3  基板上へ 保護膜
と、光磁気記録膜と、ケイ素膜と、アルミニウム合金膜
とがこの順序で積層されてなることを特徴としている。
このような本発明に係る光磁気記録媒体は、記録パワー
の線速依存性が小さく、かつ記録パワーマージンが広く
、しかも耐酸化性および記録感度に優れている。
日の   口 以下、本発明に係る光磁気記録媒体について具体的に説
明する。
本発明の光磁気記録媒体101戴  たとえば第1図に
示すようシミ 基板1上へ 保護膜2と、光磁気記録膜
3と、ケイ素膜4と、アルミニウム合金膜5とがこの順
序で積層されて形成されている。
以下、基板11  保護膜z1  光磁気記録膜3、ケ
イ素膜4と、アルミニウム合金膜5について順次説明す
る。
蓋−一一板 本発明で鷹 基板1の材質は特に限定されない力C1基
板1側(矢印A)がらレーザ光が入射する場合に鷹 透
明基板であることが好ましく、具体的にiL  ガラス
やアルミニウム等の無機材料の他&ミ ポリメチルメタ
クリレート、ポリカーボネート、ポリカーボネートとポ
リスチレンのポリマーアロイ、米国特許第4.614.
778号明細書に開示しであるような環状オレフィンラ
ンダム共重合本 以下に説明するような環状オレフィン
ランダム共重合弧 ポリ4−メチル−1−ペンテン、エ
ポキシ樹脂、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン
、ポリエーテルイミド等の有機材料を用いることができ
る。この中でiL  ポリメチルメタクリレート、ポリ
カーボネート、米国特許第4.614.778号明細書
に記載のような共重合体および下記の環状オレフィンラ
ンダム共重合体が好ましい。
本発明において、基板として特に好ましい材料としてI
L  特に保護膜あるいは記録膜との密着性が良く、複
屈折率が小さいという観点から、エチレンと、下記一般
式[エコまたは[r’lで表される環状オレフィンとの
共重合体からなる環状オレフィンランダム共重合体が挙
げられる。
一般式[エコ (式中、nはOまたは1であり、mはOまたは正の整数
であって、 R1〜Rl * 14  それぞれ独立ム 水素原子、
ハロゲン原子および炭化水素基よりなる群から選ばれる
原子もしくは基を表し RI s 4 RI 114  互いに結合して単環ま
たは多環を形成していてもよく、かつ該単環または多環
が二重結合を有していてもよく、 また、 R15とRI IIとで、 またはR1とRl
gとでアルキリデン基を形成していてもよい)。
一般式[I’コ (式[I°]中、pは0または1以上の整数であり、q
およびrl戴0,1または2であり、R1〜RIBはそ
れぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、脂肪族炭化水素
基 芳香族炭化水素基 およびアルコキシ基よりなる群
から原子もしくは基を表狐Rも(またはRe)とRe(
またはRt)と1転 炭素数1〜3のアルキレン基を介
して結合していてもよく、また何の基も介さずに直接結
合していてもよい。 ) ただ獣 上記式[r]において、nは○または1であり
、好ましくは0である。また、mは○または正の整数で
あり、好ましくは0〜3である。
また上記式CI’lにおいて、pは0または1以上の整
数であり、好ましくはO〜3の整数である。
そして、 R1〜R18(式[エコ)、 またはR1−
R16(式[r’])L  それぞれ独立&−水素原子
、ハロゲン原子および炭化水素基よりなる群がら選ばれ
る原子もしくは基を表す。ここで、ハロゲン原子として
(戴 たとえlf、  フッ素原子、塩素原子、臭素原
子およびヨウ素原子を挙げることができる。
また、炭化水素基としては、それぞれ独立に、通常は炭
素原子数1〜6のアルキル基 炭素原子数3〜6のシク
ロアルキル基を挙げることができ、アルキル基の具体的
な例としてA メチル基 エチル基 イソプロピル基 
イソブチル基 アミル基をあげることができ、シクロア
ルキル基の具体的な例として(戴 シクロへキシル基 
シクロプロピル基 シクロブチル基 シクロペンチル基
を挙げることができる。
また上記式[1′〕において、R5(またはRe)とR
e(またはRt)と哄 炭素数1〜3のアルキレン基を
介して結合していてもよく、また何の基も介さずに直接
結合していてもよい。
さら&ミ 上記式[T]において、RI % M−RI
 8は互いに結合して(共同して)単環または多環を形
成していてもよく、かつ該単環または多環が二重結合を
有していてもよい。また、R116とRt6とで、また
はRITとRlgとでアルキリデン基を形成していても
よい。このようなアルキリデン基版 通常は炭素原子数
2〜4のアルキリデン基をあげることができ、その具体
的な例として(戴 エチリデン基 プロピリデン基 イ
ソプロピリデン基およびイソブチリデン基をあげること
ができる。
前記式[エコまたは[r’llで表される環状オレフィ
ン(戴 シクロペンタジェン類と、相応するオレフィン
類あるいは環状オレフィン類とをディールス・アルダ−
反応により縮合させることにより容易に製造することが
できる。
前記式[IIまたは[I′]で表される環状オレフィン
として屯 具体的には、たとえば下記のような化合物を
挙げることができる。
(以下余白) CHa CHa ビシクロ[2,2,11ヘプ ン 6−メチルビシクロ[2 7−メチルビシクロ[2 などのようなビシクロ[2,2,1] ヘプト−2−エン誘 導体; 5.10−ジメチルテトラ 6−n−ブチルビシクロ  Ha 2.10−ジメチルテトラ 9−イソブチル−2,7− 9、11,12−)リメチル ン 9−インブチル−11,12 −ドデセン 5、8.9.10−テトラメチ (以下余白) ・I I ]−]3−ドデセ ン−メチル−9−エチルテ 8−クロロテトラシフ −3−ドデセン 8−プロモチトラシフ −3−ドデセン +11]−3−ドデセン ・1・]−]3−ドデセ ン−メチルテトラシフ 8−エチルテトラシフ 1@]−3−ドデセン 8−へキシルテトラシ 17・1@コー3−ドデセン +1−3−ドデセン −3−ドデセン ・−・]−]3−ドデセ ン12 6.17・II]−3−ドデセ ン 8−エチリデン−9−エチ ン 8−エチリデン−9−イソ 一ドデセン 、12・6,17・1曝]−3−ドデセン ち、1フ・+@]−3−ドデセン 8−n−プロピリデン−9 一ドデセン 8−イソプロピリデン 一ドデセン 、1@]−3−ドデセン 一ドデセン などのテトラシクロ[4,4,0,12S、1)、II
]−3−)’fセ ン誘導体: (以下余白) 8−n−プロピリデン−9 [4,4,0,1”・1.17 1]−3 一ドデセン 1・]−]3−ドデセ ン−n−プロピリデン−9 [4,4,0,1” ・ 6.17・ 11]−3−ド
デセン 8−イソプロピリデン 12−メチルへキサシフ デセン デセン ヘプタデセン 15−エチルオクタシフ 目、02.マIO@、I4]−4−ヘプタデセン なとのへキサシクロ[6,6,1,13s、14s、+
s、02.7.□e などのオクタシクロ[8,8,0,12@、 14.?
、 II 1 目1+ ・+ a ]−4−へブタデセン誘導体;3・1・、0
3・口、OI2・IT]−5−トコセン銹導体;トコセ
ン 2・l]−5−トコセン などのへブタシクロ−5−イコセン誘導体あるいはへブ
タシクロ−5−ヘンエイコセン誘導体;などのペンタシ
クロ[6,6,1,13・6.O2・7.0@・l 4
 ] −]4−ヘキサデセン誘導体 ;プタシクロ[8,7,0 などのトリシクロ[4,3,0,12 5]−3−デセン誘導体: コセン 1.6−シメチルベンタ 14.15−ジメチルベン などのトリシクロ[4,4,0,1”・5コー3−ウン
デセン誘導体; などのペンタシクロ[6,5,1,1”・6,02・〒
、09目コー4− ペンタデセン誘導体: 1.3−ジメチル−ペンタ などのジエン化合物; メチル置換ベンタシ 、21. l13.2@、Ql4.+91+s、I會] −5−ベンタコセン などのペンタシクロ [4,7,Q、11%、Ql、+1.1112]−3−
ペンタデセン誘導体; −5−ベンタコセン コセン などのノナシクロ [9,10,1,1’ ) QS 、 @ 、 Ql 、 I @ 、 Ql 
ff121.111.2@、Ql4.+9,116.1
・コー5−ベンタコセン誘導 体等を挙げることができる。
(以下余白) 2・11−4−エイコセン ナトノヘフ9 シフO[7,8,0,1’・’、O2・
7.11@I”、011.1・llt、ll]−4−エ
イコセン誘導体;そしてさらに1戴 5−フェニル−ビシクロ[ を挙げることができる。
(以下余白) 上記のようなエチレンと、一般式[工]または[工゛]
で表される環状オレフィンとの共重合体として檄135
℃のデカリン中で測定した極限粘度[V]が0.05〜
10a / gの範囲にあり、軟化温度(TMA)が7
0℃以上である環状オレフィン系ランダム共重合体(以
下環状オレフィン系ランダム共重合体[A]という)が
好ましく用いられる。また所望により、環状オレフィン
系ランダム共重合体[A] &ミ エチレンと、下記式
[I]または[工°]で表される環状オレフィンとの共
重合体であって、135℃のデカリン中で測定した極限
粘度[η]が0.05〜5a/gの範囲にあり、軟化温
度(TMA)が70℃未満である環状オレフィン系ラン
ダム共重合体(以下環状オレフィン系ランダム共重合体
[B]という)を配合して用いてもよい。
上記のような環状オレフィン類とエチレンとの共重合体
である環状オレフィン系ランダム共重合体[A]および
[B]iL  エチレンおよび前記環状オレフィンを必
須成分とするものであるカー 該必須の二成分の他に本
発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて他の共重
合可能な不飽和単量体成分を含有していてもよい。任意
に共重合されていてもよい該不飽和単量体として、具体
的に代たとえば生成するランダム共重合体中のエチレン
成分単位と等モル未満の範囲のプロピレン、1−ブテン
、4−メチル−1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オク
テン、 1−デセン、1−ドデセン、 1−テトラデセ
ン、1−ヘキサデセン、1−オクタデセン、1−エイコ
センなどの炭素原子数が3〜20のa−オレフィンなど
を例示することができる。
上記のような環状オレフィン系ランダム共重合体[A]
でミ エチレンに由来する繰り返し単位(a月&  4
0〜85モル%、好ましくは50〜75モル%の範囲で
存在しており、また該環状オレフィンに由来する繰り返
し単位(b)は15〜60モル%、好ましくは25〜5
0モル%の範囲で存在しており、エチレンに由来する繰
り返し単位(a)および該環状オレフィンに由来する繰
り返し単位(b) L  ランダムに実質上線状に配列
している。なお、エチレン組成および環状オレフィン組
成は+3C−NMRによって測定した この環状オレフ
ィン系ランダム共重合体が実質上線状であり、ゲル状架
橋構造を有していないことjL  該共重合体が135
℃のデカリン中に完全に溶解することによって確認でき
る。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体[A]の
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[77] I
L  0.05〜10dll /g、  好ましくは0
.08〜5aa/gの範囲にある。
また環状オレフィン系ランダム共重合体[A]のサーマ
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA) +3 70℃以ム 好ましくは90〜250℃
、さらに好ましくは100〜200℃の範囲にある。な
お軟化温度(TMA)+1  デュポン社製Therm
omechanical Analyserを用いて厚
さ1蘭のシートの熱変形挙動により測定した すなわち
シート上に石英製針をのせ、荷重49gをかけ、5℃/
分で昇温していき、針が0.6351侵入した温度をT
MAとした また、該環状オレフィン系ランダム共重合
体のガラス転移温度(Tg)l戴  通常50〜230
℃、好ましくは70〜210℃の範囲にあることが望ま
しい。
また、この環状オレフィン系ランダム共重合体[A]の
X線回折法によって測定した結晶化度iLO〜10%、
好ましくは0〜7%S とくに好ましくは0〜5%の範
囲である。
本発明で1戴 また上記のような軟化温度(TMA)が
70℃以上である環状オレフィン系ランダム共重合体[
Aコく エチレンと、上記式[I]または[r’]で表わされる
環状オレフィンとの共重合体であって、135℃のデカ
リン中で測定した極限粘度[V]が0.05〜5(1g
/Hの範囲にあり、軟化温度(TMA)が70℃未満で
ある環状オレフィン系ランダム共重合体[B]を配合し
てなる環状オレフィン系ランダム共重合体組成物から基
板を形成することが好ましい。
上記のような軟化点(TMA)が70℃未満である環状
オレフィン系ランダム共重合体[B]で1エチレンに由
来する繰り返し単位(a) il  60〜98モル%
、好ましくは60〜98モル%の範囲で存在しており、
また該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b)は
2〜40モル覧 好ましくは5〜40モル%の範囲で存
在しており、エチレンに由来する繰り返し単位(a)お
よび該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b) 
jL  ランダムに実質上線状に配列している。なお、
エチレン組成および環状オレフィン組成は”C−NMR
によって測定し島 この環状オレフィン系ランダム共重
合体[B]が実質上線状であり、ゲル状架橋構造を有し
ていないこと(戴 該共重合体が135℃のデカリン中
に完全に溶解することによって確認できる。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体[B]の
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[ηコミ 0
.05〜5a/g、  好ましくは0.08〜3a/g
の範囲にある。
また環状オレフィン系ランダム共重合体[B]のサーマ
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA) lj  70℃未糞 好ましくは一10〜60
℃、さらに好ましくは10〜55℃の範囲にある。さら
&ミ 該環状オレフィン系ランダム共重合体[B]のガ
ラス転移温度(Tg)↓戴 通常−30〜60℃、好ま
しくは一20〜50℃の範囲にあることが望ましい。
また、この環状オレフィン系ランダム共重合体[B]の
X線回折法によって測定した結晶化度叫0〜10%、 
 好ましくは0〜7%S とくに好ましくは0〜5%の
範囲である。
本発明において、基板として環状オレフィンランダム共
重合体[A]および[B]を用し蔦る場合に1&  該
環状オレフィン系ランダム共重合体[A]/該環状オレ
フィン系ランダム共重合体[B]の重量比は10010
.1〜100/10、好ましくは10010.3〜10
0/7、とくに好ましくは10010.5〜10015
の範囲であることが望ましい。 [B]酸成分この範囲
で[A]酸成分配合することによって基板自体の優れた
透明性と表面平滑性を維持したままで本発明で用いる反
射膜との苛酷な条件下での密着性が[A]酸成分みの場
合に比べさらに向上するとし1う効果があり、 [A]
と[Bコとのブレンドよりなるこの上記の環状オレフィ
ンランダム共重合体組成物を基板に用いれば本発明で用
いる反射膜との優れた密着性は高激 高湿条件下放置後
においてさえも変化がないという特性を有している。
本発明における基板を構成する上記の環状オレフィン共
重合体[A]および[B11L  特開昭60−168
708号公私 特開昭61−120816号公転 特開
昭61−115912号公転 特開昭61−11591
6号公転 特開昭62−252406号公転 特開昭6
2−252407号公転 特開昭61−271308号
公転 特開昭61−272216号公報などにおいて本
出願人が提案した方法に従い適宜条件を選択することに
より、製造することができる。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体中におい
て、前記式[I]または[I°]で表される環状オレフ
ィンから導かれる構成単位(b)は下記式[nlまたは
[n ’]で表される構造の繰り返し単位を形成してい
ると考えられるカー 一部の構成単位(b)が開環重合
によって結合している場合もあり、また必要に応じて水
素添加することも可能である。
・・・[nl (式[nl中、rn、nおよびR1−R1−は前記式[
I]における定義と同様である。) (式[■°]中、p、  9%  rおよびRl 〜R
l 6は前記式[工°]における定義と同様である。)
本発明に係る光磁気記録媒体の基板として1戴前述した
とおり、上記のエチレンと環状オレフィンとのランダム
共重合体のほか&−同種または異種の環状オレフィン単
量体を開環して得られる環状オレフィン開環重合弧 開
環共重合体またはそれらの水素添加物を用いることもで
きる。このような環状オレフィン開環重合爪 開環共重
合体およびこれらの水素添加物について、前記式[11
で表される環状オレフィンを例にして説明すると、以下
に記載するように反応して開環共重合体およびこれらの
水素添加物を構成していると考えられる。
[n’コ ↓水素添加 ↓開環 このような重合体の例として、テトラシクロドデセンと
ノルボルネン及びそれらの誘導体との開環共重合弧 及
びその水素添加物をあげることができる。
なお、本発明においては上記のような開環重合体 開環
共重合倣 これらの水素添加物および環状オレフィン系
ランダム共重合体の一部が無水マレイン酸等の不飽和カ
ルボン酸等で変性されていてもよい。このような変性物
次 上記のような環状オレフィン系樹脂と、不飽和カル
ボン酸、これらの無水執 および不飽和カルボン酸のア
ルキルエステル等の誘導体とを反応させることにより製
造することができる。なお、この場合の環状オレフィン
系樹脂の変性物中における変性剤から導かれる構成単位
の含有率檄 通常は50〜10モル%以下である。この
ような環状オレフィン系樹脂変性物6戴  所望の変性
率になるように環状オレフィン系樹脂に変性剤を配合し
てグラフト重合させて製造することもできるし 予め高
変性率の変性物を調製し 次いでこの変性物と未変性の
環状オレフィン系樹脂とを混合することによっても製造
することができる。
本発明において、上記の開環重合弧 開環共重合弧 こ
れらの水素添加物および環状オレフィン系ランダム共重
合体ならびにその変性物+L  単独で、あるいは組み
合わせて使用することができる。
さらく 本発明において唄 上記のような環状オレフィ
ン系ランダム共重合体を製造するに際して、得られる重
合体等の物性を損なわない範囲で、前記式[I]または
[1″]で表される環状オレフィン以外の環状オレフィ
ンを重合させることもできる。このような環状オレフィ
ンとしてil  たとえ6戯 シクロブテン、 シクロペンテン、 シクロヘキセン、 3.4−ジメチルシクロヘキセン、 3−メチルシクロヘキセン、 2−(2−メチルブチル)−1−シクロヘキセン、2、
3.3a、 7a−テトラヒドロ−4,7−メタノ−I
H−インデン、 3a、 5.6.7a−テトラヒドロ−4,7−メタノ
−IH−インデンなどをあげることができる。このよう
な他の環状オレフィンは単独で、あるいは組み合わせて
使用することができ、通常、0〜50モル%の量で用い
られる。
また本発明に係る光磁気記録媒体の基板に(戴上記[A
]および[B]酸成分他へ 衝撃強度を向上させるため
のゴム成分を配合したり、耐熱安定舷 耐候安定剋 帯
電防止前 スリップ舷 アンチブロッキング剋 防曇舷
 滑剋 染粍 顔粍天然派 合成法 ワックスなどを配
合することができ、その配合割合は適宜量である。たと
えc戴任意成分として配合される安定剤として具体的に
は テトラキス[メチレン−3(3,5−ジ−t−ブチ
ル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネートコメタン
、β−(3,5−ジー七−プチル−4−ヒドロキシフェ
ニル)プロピオン酸アルキルエステル、2,2°−オキ
ザミドビス[エチル−3(3,5−ジ−t−ブチル−4
−ヒドロキシフェニル)コプロビオネートなどのフェノ
ール系酸化防止舷 ステアリン酸亜銖 ステアリン酸カ
ルシウム、12−ヒドロキシステアリン酸カルシウムな
どの脂肪酸金属塩、グリセリンモノステアレート、グリ
セリンモノラウレート、グリセリンジステアレート、ペ
ンタエリスリトールモノステアレート、ペンタエリスリ
トールジステアレート、ペンタエリスリトールトリステ
アレート等の多価アルコールの脂肪酸エステルなどを挙
げることができる。これらは単独で配合してもよいカー
 組み合わせて配合してもよく、たとえ1戯 テトラキ
ス[メチレン−3(3゜5−ジ−t−ブチル−4−ヒド
ロキシフェニル)プロピオネートコメタンとステアリン
酸亜鉛およびグリセリンモノステアレートとの組合せ等
を例示することができる。
本発明では特へ フェノール系酸化防止剤および多価ア
ルコールの脂肪酸エステルとを組み合わせて用いること
が好ましく、該多価アルコールの脂肪酸エステルは3価
以上の多価アルコールのアルコール性水酸基の一部がエ
ステル化された多価アルコール脂肪酸エステルであるこ
とが好ましい。
このような多価アルコールの脂肪酸エステルとして檄 
具体的に鷹 グリセリンモノステアレート、グリセリン
モノラウレート、グリセリンモノミリステート、グリセ
リンモノパルミテート、グリセリンジステアレート、グ
リセリンジラウレート等のグリセリン脂肪酸エステル、
ペンタエリスリトールモノステアレート、ペンタエリス
リトールモノラウレート、ペンタエリスリトールジラウ
レート、ペンタエリスリトールジステアレート、ペンタ
エリスリトールトリステアレート等のペンタエリスリト
ールの脂肪酸エステルが用いられる。
このようなフェノール系酸化防止剤+4  前記[A]
酸成分よび[B]酸成分合計重量100重量部に対して
0〜10重量部好ましくは0〜5重量部さらに好ましく
は0〜2重量部の量で用いら瓢 また多価アルコールの
脂肪酸エステルは[A]酸成分よび[B]酸成分合計重
量100重量部に対して0〜10重量凱 好ましくは0
〜5重量部の量で用いられる。
本発明に係る光磁気記録媒体の基板に1戴 本発明の目
的を損なわない範囲で、シリカ、ケイ藻土、アルミナ、
酸化チタン、酸化マグネシウム、軽石粉、軽石バルーン
、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、塩基性炭
酸マグネシウム、 ドロマイト、硫酸カルシウム、チタ
ン酸カリウム、硫酸バリウム、亜硫酸カルシウム、タル
ク、クレーマイカ、アスベスト、ガラス縁縁 ガラスフ
レーク、ガラスピーズ、ケイ酸カルシウム、モンモリロ
ナイト、ベントナイト、グラファイト、アルミニウム粉
、硫化モリブデン、ボロン繊組炭化’rイ素繊糺 ポリ
エチレン縁縁 ポリプロピレン繊紙 ポリエステル繊紙
 ポリアミド繊維等の充填剤を配合してもよい。
本発明において、基板として上記のような環状オレフィ
ン系ランダム共重合体または環状オレフィン系ランダム
共重合体組成物を用いると、理由は定かではないカー 
ポリカーボネート、ポリ(メタ)アクリレートなどを基
板として用いた光磁気記録媒体と比較して、記録感度が
優れている。またこの環状オレフィン系ランダム共重合
体または該共重合体を含む組成物からなる基板と記録層
積層体とは密着性に優れており、したがって記録膜は長
期安定性に優れるとともに記録膜の酸化が効果的に防止
される。したがってこの環状オレフィン系ランダム共重
合体からなる基板上に記録膜を積層してなる光記録媒体
1戴 記録感度に優へ また耐久性および長期安定性に
も優れている。また本発明に係る光記録媒体は反りがな
く割れが生ずることがない。
このような基板1の厚みは特に限定されないカー好マL
<lio、5〜5.特に好ましくは1〜2−である。
保」1勝 本発明に係る光磁気記録媒体10で用いられる保護膜2
1f、SiN、、ZnS、Zn5e、CdS。
Si1 AffNなどで示される組成の膜から形成され
ており、このうちSiN、膜が特に好ましい。
SiN、で示される保護膜で+LO<x≦473である
ことが好ましく、具体的に1Lsi3N、(四窒化三ケ
イ素)などの窒化ケイ素膜あるいはO〈x < 4/3
となるようにSi、N、とSiとを混合した混合膜が特
に好ましく用いられる。このようなSiN、で示される
保護膜哄 たとえばターゲットとして、 St、N、ま
たI礼 Si3N4とSiとを用いて、スパッタリング
法により成膜することができる。このようなSiNxか
らなる保護IX2 If、  通常2.0以上の屈折率
を有していることが好ましく、後述する光磁気記録膜3
を酸化などから保護する働き、あるいは光磁気記録膜の
記録特性を高めるエンハンス膜としての働き、あるいは
その両方の働きをしている。またS iNX Co<x
≦4/3)からなる保護膜哄 特に耐クラツク性に優れ
ている。
本発明において、保護膜2の膜厚は500〜2000A
、好ましくは800〜1500人程度であることが望ま
しい。
本発明においてG4  保護膜の膜厚を上記のような範
囲にすることによって、良好なC/N比と広い記録パワ
ーマージンを有する光磁気記録媒体を得ることができる
光碧]1艶隨易 光磁気記録膜3L(i)3d遷移金属から選ばれる少な
くとも1種と、 (iii)希土類から選ばれる少なく
とも1種の元素とからなるが、あるいは(i)3d遷移
金属から選ばれる少なくとも1種と、 (ii)耐腐食
性金属と、 (1ii)希土類から選ばれる少なくとも
1種の元素とがらなっている。
このうち(i)3d遷移金属から選ばれる少なくとも1
種と、 (ii)耐腐食性金属と、 (iii)希土類
から選ばれる少なくとも1種の元素とからなる光磁気記
録膜が好ましい。
(i)3d遷移金属として14  Fe、  Co5T
i、V、  Cr、MnS Ni、  CuS Znな
どが用いられる力τ、このうちFeまたはCOあるいは
この両者であることが好ましい。
この3d遷移金属代 光磁気記録膜中に好ましくは20
〜90W、千%、より好ましくは30〜85原子%、と
くに好ましくは35〜80原子%の量で存在している。
(ii)耐腐食性金属法 光磁気記録膜に含ませること
によって、この光磁気記録膜の耐酸化性を高めることが
できる。このような耐腐食性金属としてG3  Pt%
 PdS TiS Zr、TaS Nbなどが用いられ
るカー このうちPt、PdS Tiが好ましく、とく
にPtまたはPdあるいはこの両者であることが好まし
い。
この耐腐食性金属法 光磁気記録膜中E、  30原子
%以下、好ましくは5〜25ff千覧 とくには10〜
25原子覧 さらに好ましくは10〜20原子%の量で
存在している。
希土類元素として憾 下記のような元素が挙げられる。
GdS Tb、  Dy、  Ho、 Er、  Tm
、  Yb。
LuS La、  Ce、  Pr、  Nd、  P
m、 Sm。
u このうちGd、  Tb、  Dy、  Ho、  N
d、  Sm、。
Prが好ましく用いられる。
上記のような群から選ばれる少なくとも1種の希土類元
素屯 光磁気記録膜中く 好ましくは5〜50原子覧 
さらに好ましくは8〜45原子%とくに好ましくは10
〜40yK子%の量で存在している。
本発明では、光磁気記録膜力τ、特へ 下記に記載する
ような組成を有することが好ましい。
(i)3d遷移元素 本発明に係る光磁気記録膜中にIL(i)3d遷移元素
として、好ましくはFeまたはCoあるいはこの両者が
含まれており、Feおよび/またはCo哄4Off子%
以上80原子%以下、好ましくは40原子%以上75y
!、子%未鳳 さらに好ましくは40原子%以上59[
子%以下の量で存在していることが望ましい。
さらにFeおよび/またはCoは、Co/(Fe+Co
) 比[JJF[子比]が0以上0.3以下、好ましく
は0以上0.2以下、さらに好ましくは0.01以上0
.2以下であるような量で、光磁気記録膜中に存在して
いることが望ましい。
Feおよび/またはCoの量が40原子%以上で80W
、子%以下の範囲にあると、耐酸化性に優へかつ膜面に
垂直な方向に磁化容易軸をもった光磁気記録膜が得られ
るという利点を有する。
ところで光磁気記録膜中く COを添加すると、(イ)
光磁気記録膜のキュリー点が上昇し また(口)カー回
転角(θk)が大きくなるという現象が認めらへ その
緒iL Coの添加量により、光磁気記録膜の記録感度
を調整することができ、しかもCOの添加により、再生
信号のキャリアレベルを増加することができる。本発明
に係る光磁気記録膜では、ノイズレベル、C/N比ノ点
カラCo/ (Fe+Co)比[原子比コは0以上0.
3以下、好ましくは0以上0.2以下、さらに好ましく
は0.01以上0.2以下であることが望ましい。
このような本発明に用いる光磁気記録膜檄 記録および
消去を繰り返し行なっても、膜装置が生ずることはない
。たとえば本発明に係るp t、、T b2.F e、
、Co、なる組成を有する光a気記録膜檄 10万回の
記録および消去を繰り返し行なってもC/N比の低下は
認められない。
(11)耐腐食性金属 本発明に用いる光磁気記録膜中にjL  (ii)耐腐
食性金属として、好ましくはPtまたはPdあるいはこ
の両者が含まれており、Ptおよび/またはPd哄 光
磁気記録膜中に5〜30m子%、好ましくは10原子%
を超えて30原子%以下、さらに好ましくは10Jl[
子%を超えて20ffi子%未鳳 最も好ましくは11
原子%以上19原子%以下の量で存在していることが望
ましい。
光磁気記録膜中のPtおよび/またはPdの量が5原子
%以ム 特に10原子%を超えて存在すると、光磁気記
録膜の耐酸化性に便法 長期間使用しても孔食が発生せ
ず、C/N比も劣化しないという利点を有する。
たとえばPtl@Tb2@Fe5sCO@あるいはP 
d+aT ba@F ei*c ovで示される組成を
有する本発明に係る光磁気記録膜檄 相対湿度85%、
80℃の環境下に1000時間保持しても、C/N比は
全く変化しない。これに対してptまたはPdを含まな
いT t)asF ea@C07で示される組成を有す
る光磁気記録膜中 相対湿度85%、80℃の環境下に
1000時間保持すると、C/N比は大きく低下する。
また光磁気記録膜中にptおよび/またはPdを上記の
ような範囲の量で添加することにより、光磁気記録膜に
情報を記録したりあるいは情報を読出す際へ 小さなバ
イアス磁界で充分に高いC/N比が得られる。小さなバ
イアス磁界で充分に高いC/N比が得られると、バイア
ス磁界発生用のマグネットを小さくすることができ、し
かもマグネットからの発熱も押えることができるため、
光磁気記録膜を有する光ディスクのドライブ装置を簡素
化することができる。しかも小さなバイアス磁界で充分
に大きなC/N比が得られるため、オーバーライド可能
な磁界変調記録用のマグネットの設計も容易となる。
(1ii)希土類元素(RE) 本発明に係る光磁気記録膜中にミ 希土類元素(RE)
が含まれており、この希土類元素とじてjL  NdS
 Sm、  Pr、  Ce、  Eu、  Gd、 
 Tb。
DyまたはHOが用いられる。
これらの中でIt、  Nd5Pr1Gd、  Tb。
Dyが好ましく用いら瓢 特にTbが好ましい。
また希土類元素は2種以上併用してもよく、この場合に
Tbを希土類元素のうち50原子%以上含有しているこ
とが好ましい。
この希土類元素6戴 膜面に垂直な方向に磁化容易軸を
もった光磁気を得るという点からRE/(RE十Fe+
Co)比[原子比]をXで表わした場合!、  0.1
5≦I≦0.45、好ましくは0.20≦X≦0.4で
あるような量で光磁気記録膜中に存在していることが望
ましい。
本発明において6戴 光磁気記録膜に種々の元素を少量
添加して、キュリー温度や補償温度あるいは保磁力He
やカー回転角θにの改善あるいは低コスト化を計ること
もできる。これらの元素+L  記録膜を構成する全原
子数に対してたとえば1o原子%未溝の割合で用いるこ
とができる。
併用できる他の元素の例としてjL  以下のような元
素が挙げられる。
(1)Fe、Co以外の3d遷移元素 具体的に+1  Sc、  Ti5V、  Cr、  
Mn。
Ni、  Cu、  Znが用いられる。
これらのうち、T is  N sSCuSZ nなど
が好ましく用いられる。
(n)Pd以外の4d遷移元素 具体的に+L  YSZr、  Nb、  Mo、Tc
Ru、Rh、Ag、Cdが用いられる。
このうちZr、Nbが好ましく用いられる。
(m)Pt以外の5d遷移元素 具体的ニII  Hf、  Ta、  W、  Re、
O5、Ir、Au、Hgが用いられる。
このうちTaが好ましく用いられる。
(rv)mB族元素 具体的に11  B、  AQ、  Ga、  In、
  TQが用いられる。
このうちB、AQ、Gaが好ましく用いられる。
(v)rvB族元素 具体的に+I  C,StS Ge、SnS Pbが用
いられる。
このうち、Si、Ge、Sn、Pbが好ましく用いられ
る。
(Vl)VB族元素 具体的に1戴 N、  P、  As、  Sb、  
Biが用ν)られる。
このうちsbが好ましく用いられる。
(w)VB族元素 具体的に1 SS Se、Te、Poが用し)られる。
このうちTeが好ましく用いられる。
上記のような組成を有する光磁気記録可能 膜面に垂直
な磁化容易軸を有し 多くはカー・ヒステリシスが良好
な角形ループを示す垂直磁気および光磁気記録可能な非
晶質薄膜となることカー 広角X線回折などにより確か
められる。
なお本明細書において、カー・ヒステリシスが良好な角
形ループを示すと13  最大外部磁場におけるカー回
転角である飽和カー回転角(θに+)と外部磁場ゼロに
おけるカー回転角である残留カー回転角(θに2)との
比θに2/θkl が0.8以上であることを意味して
いる。
この光磁気記録膜の膜厚は100〜1000人、好まし
くは100〜600^、より好ましくは100〜400
人、最も好ましくは150〜300人程度である。
久不皇1 本発明に係る光磁気記録媒体10で+4  上記のよう
な光磁気記録膜3上&ミ ケイ素I[4が設けられてい
る。
このケイ素膜4代 たとえばSiをターゲットとして用
いてスパッタリング法により形成することができる。
このようなケイ素膜4鷹 通常2.0以上の屈折率を有
しており、光磁気記録膜3を酸化などから保護する働き
、あるいは光磁気記録膜の記録特性を高めるエンハンス
膜としての働き、あるいはその両方の働きをしている。
本発明において、ケイ素膜4の膜厚は100〜800人
、好ましくは100〜500人程度であることが望まし
い。
本発明において憾 ケイ素膜4の膜厚を上記のような範
囲にすることによって、良好なC/N比と広い記録パワ
ーマージンを有する光磁気記録媒体を得ることができる
アルミニウム合金 本発明に係る光磁気記録媒体10で1戴 上記のような
ケイ素膜4上番ミ  アルミニウム合金膜5が設けられ
ている。
このアルミニウム合金膜51&  アルミニウムと、ア
ルミニウム以外の少なくとも1種の元素を含んで構成さ
れている。
このようなアルミニウム合金として告 具体的には以下
のようなものが例示できる。
An−Cr合金(Cr含有量0.1〜10原子%)、A
9−Cu合金(Cu含有量0.1〜10原子%)、AI
+−Mn合金(Mn含有量0.1〜10原千%)、An
−Hf合金(Hf含有量0.1〜10原子%)、A11
−Nb合金(Nb含有量0.1〜10原子%)、Ag−
B合金(B含有量0.1〜10原千%)、A11−T 
i合金(Ti含有量0.1〜10原子%)、As −T
 1−Nb合金(Ti含有量0.1〜5y!、子%、N
b含有量0.1〜5原子%)、 AQ−Ti−Hf合金(Ti含有量0.1〜5原子%、
Hf含有量0.1〜10厘子%)、AQ−Cr−Hf合
金(Cr含有量0.1〜5原子覧 Hf含有量0.1〜
10厘子%)、AQ−Cr−Ti合金(Cr含有量0.
1〜5原子%、Ti含有量0.1〜10遼千%)、An
−Cr−Zr合金(Cr含有量o、 i 〜s M子%
S Zr含有量0.1〜10ffi子%)、Al1−T
i−Nb合金(Ti含有量0.1〜5原子%% Nb含
有量0.1〜5原千%)、AQ−Ni合金(Ni含有量
0.1〜10厘子%)、AM−Mg合金(Mg含有量0
.1〜1079子%)、Al1−Mg−Ti合金(Mg
含有量0.1〜10i子覧 Ti含有量0.1〜10厘
子%)、Ag−Mg−Cr合金(Mg含有量0.1〜1
0Jl[子覧 Cr含有量0.1〜10厘子%)、An
−Mg−Hf合金(Mg含有量0.1〜IO原子%S 
Hf含有量0.1〜10厘子%)、AQ −3e合金(
Se含有量0.1〜10厘子%)、AQ−Zr合金(Z
r含有量0.1〜1ON子%)、Aff−Ta合金(T
a含有量0.1〜10厘子%)、AQ−Ta−Hf合金
(Ta含有量0.1〜10厘子%S Hf含有量0.1
〜10厘子%)、AQ−Si合金(Si含有量0.1〜
10厘子%)、AQ−Ag合金(Ag含有量0.1〜1
0厘子%)、An −P d合金(Pd含有量0.1〜
10Jll[子%)、Al1−P を合金(P tf有
量0.1〜10ff子%)。
アルミニウム合金として+L  特に以下のようなもの
カー 情報記録媒体の線速依存性、耐腐食性の面が優れ
ているので好ましい。
ハフニウム0.1〜10厘子%を含むアルミニウム合金
、 ニオブ0.1〜10厘子%を含むアルミニウム合金、チ
タン0.5〜5原子%とハフニウム0.5〜5yK子%
を合本 チタンとハフニウムの合計含有量が1〜5.5
原子%であるアルミニウム合金、クロム0.1〜5原子
%とチタン0.1〜9. Si子%を含駅 クロムとチ
タンの合計含有量が10原子%以下であるアルミニウム
合金、 クロム0.1〜5原子%とチタン0.1〜9.5Jll
f(子%とハフニウム0.1〜9.5N子%とを合本 
クロムとチタンとハフニウムの合計含有量が10原子%
以下であるアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10厘子%とクロム0.1〜10
厘子%を含へ マグネシウムとクロムの合計含有量が1
5JJX子%以下であるアルミニウム合金、クロム0.
1〜5原子%とハフニウム0.1〜9.5JJK 子%
ヲ含ヘ  クロムとハフニウムの合計含有量が10原子
%以下であるアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10W、子%とハフニウム0.1
〜10厘子%を合本 マグネシウムとハフニウムの合計
含有量が15原子%以下であるアルミニウム合金、クロ
ム0.1〜5原子%とジルコニウム0.1〜9.5原子
%を合本 クロムとジルコニウムの合計含有量が1ON
、子%以下であるアルミニウム合金、タンタル0.1〜
10厘子%とハフニウム0.1〜10厘子%とを含駅 
タンタルとハフニウムの合計含有量が15原子%以下で
あるアルミニウム合金、チタン0.5〜5原子%とニオ
ブ0.5〜5原千%を合本 チタンとニオブの合計含有
量が1〜5.51子%であるアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜1o原子%とチタン0.1〜10
Jl[千%を含へ マグネシウムとチタンの合計含有量
が15原子%以下であるアルミニウム合金、マグネシウ
ム0.1〜10W子%とチタン0.1〜1o原子%とを
含へ がつマグネシウムとチタンの合計含有量が15N
子%以下であるアルミニウム合金、マグネシウム0.1
〜1o原子%とハフニウム0.1〜10厘子%とチタン
0.1〜10W子%とを含へ かつマグネシウムとハフ
ニウムとチタンの合計含有量が15原子%以下であるア
ルミニウム合金、マグネシウム0.1〜1o原子%とハ
フニウム0.1〜10厘子%とクロム1o原子%以下と
を合本 がっマグネシウムとハフニウムとクロムとの合
計含有量が15原子%以下であるアルミニウム合金、マ
グネシウム0.1〜10厘子%とチタン0.1〜1o原
子%とクロム10原子%以下とを含べ がっマグネシウ
ムとチタンとクロムとの合計含有量が15原子%以下で
あるアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10原子%とハフニウム0.1〜
10原子%とチタン0.1〜10原子%とクロム10原
子%以下とを含へ かつマグネシウムとハフニウムとチ
タンとクロムとの合計含有量が15原子%以下であるア
ルミニウム合飢 また上記のようなアルミニウム合金膜哄 それぞれのア
ルミニウム合金膜を構成する金属以外に下記のような金
属(元素)を1種または2種以上含ませることもできる
。このような金属として14たとえ!戴 チタン(Ti
)、クロム(Cr)、シ+J=rン(Si)、タンタル
(Ta)、鋼(Cu)、タングステン(W)、ジルコニ
ウム(Zr)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg
)、バナジウム(V)などが挙げら瓢 このような他の
金属は通常5EK子%以下好ましくは2原子%以下の量
で含まれる。 (ただし アルミニウム合金膜に檄上記
に例示するような金属(元素)のうち、既にアルミニウ
ム合金膜に含まれている金属(元素)をさらに上記の量
で重ねて含ませることはないものとする。たとえE  
アルミニウム合金膜を構成するアルミニウム合金が、上
記したAi+−Ti合金、AQ−Ti−Hf合金等であ
る場合に檄 上記の金属(元素)のうちでチタン(Ti
)がさらに上記のような量で上記アルミニウム合金中に
含まれることはない。) このようなアルミニウム合金膜5の膜厚哄100〜5o
oo人好ましくは500〜3000人さらに好ましくは
700〜2000八程度であることが望ましい。
このアルミニウム合金膜51戴  熱良伝導体層として
の機能を果たしており、このアルミニウム合金膜が存在
することによって光磁気記録層が記録レーザ光によって
過度に高温になることが防止さ瓢 その給気 記録パワ
ーの線速依存性が小さくなると考えられる。
また本発明におけるアルミニウム合金膜IL  耐腐食
性に優れているため、長期間使用した後においても、記
録媒体の線速依存性が小さいという特徴を有しており、
記録層に対する保護作用にも優れている。
本発明に係る光磁気記録媒体10代  基板上く保護膜
 光磁気記録層 ケイ素乳 アルミニウム合金膜な、た
とえば真空蒸着法、スパッタリング法あるいは電子ビー
ム蒸着法などの成膜法を採用して成膜することによって
製造することができる。
i里二匁1 本発明に係る光磁気記録媒体代 記録パワーの線速依存
性が小さく、かつ記録パワーマージンが広く、しかも耐
酸化性および記録感度に優れてI/)る。
[実施例] 以下本発明を実施例によって説明するカζ 本発明はこ
れら実施例に限定されるものではない。
zljl。
エチレンと1.4.5.8−ジメタノ−1,2,3,4
,4a、 5.8゜下DMONと略記する)の非品性の
共重合体(IIC−NMR分析で測定したエチレン含量
59モル覧DMON含量41モル%5135℃デカリン
中で測定した極限粘度[η]が0.42dl/ g、 
 軟化温度(TMA)154℃)からなる基板上へ 厚
さ1000人のS i3N、からなる保護膜と、厚さ3
00人のPt、。Tb2゜Fee。Co2からなる光磁
気記録膜とを順次スパッタリング法により積層し この
記録膜上にSiターゲットを用いてスパッタリング法に
よって、厚さ250人のケイ素層を積層し九 さらく 
このケイ素層上にアルミニウムーチタン−ハフニウムの
複合ターゲットを用いてスパッタリング法によって、厚
さ1300人のA 2 @6T i2Hft(As含量
96原子%、Ti含量2原子%、Hf含量2原子%)か
らなるアルミニウム合金層を積層したこの光磁気記録媒
体は線速5.7m / secにおける最適記録パワー
が5.2mWであり、線速11.3m /seeにおけ
る最適記録パワーが7.3m Wであったまた、 f 
= 3.7Mk  duty33.39&、  線速=
 5.7m /seeにおいて、パワーマージン(Pm
)は4.2m Wであり、C/N比は47.5dBであ
ったなお、本明細書において、最適記録パワーとはf 
= IMk  duty50%の書込み信号に対して、
再生信号の2次高調波が最小となる記録パワーのことを
表わt−線速による最適記録パワーの差が小さい程線速
依存性が小さい。
また、パワーマージンとL  C/ N Max 3d
B以上が得られる記録パワーの範囲のことである。
寒差漬」 実施例1と同様の基板上1 厚さ1000人の511N
jからなる保護膜と、厚さ260人のP t I@T 
b2@F ee@CO2からなる光磁気記録膜とを順次
スパッタリング法により積層狐 この記録膜上にSiタ
ーゲットを用いてスパッタリング法によって、厚さ15
0人のケイ素膜を積層しf、  さら番ミ  このケイ
素層上にアルミニウムーチタン−ハフニウムの複合ター
ゲットを用いてスパッタリング法によって、厚さ100
0人のA g 、、T i2Hf。
(AQ含量96原子%、Ti含量2y!、子%、Hf含
量2原子%)からなるアルミニウム合金層を積層したこ
の光磁気記録媒体は線速5.7m / secにおける
最適記録パワーが4.7mWであり、線速11.3m/
secにおける最適記録パワーが6.6m Wであった
また、 f = 3.7MHz、  duty33.3
%、線速= 5.7m /secにおいて、パワーマー
ジン(Pm)は3.5m Wであり、C/N比は47.
3dBであうt4
【図面の簡単な説明】
第1図+3  本発明の光磁気記録媒体の断面図である
。 1・・・基板     2・・・保護膜3・・・光磁気
記録膜 4・・・ケイ素膜5・・・アルミニウム合金膜 10・・・光磁気記録媒体

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に、保護膜と、光磁気記録膜と、ケイ素膜
    と、アルミニウム合金膜とがこの順序で積層されてなる
    ことを特徴とする光磁気記録媒体。
JP13905490A 1990-05-29 1990-05-29 光磁気記録媒体 Pending JPH0432054A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13905490A JPH0432054A (ja) 1990-05-29 1990-05-29 光磁気記録媒体

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