JPH0434400A - 軟ｘ線多層膜反射鏡 - Google Patents
軟ｘ線多層膜反射鏡Info
- Publication number
- JPH0434400A JPH0434400A JP14224590A JP14224590A JPH0434400A JP H0434400 A JPH0434400 A JP H0434400A JP 14224590 A JP14224590 A JP 14224590A JP 14224590 A JP14224590 A JP 14224590A JP H0434400 A JPH0434400 A JP H0434400A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- multilayer film
- refractive index
- soft
- rays
- lif
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- Pending
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、生体用Ｘ線顕微鏡などに用いられる軟Ｘ線多
ＮＷｊ１反射鏡に関し、特に、生体の蛋白質の観察に有
用な２３人〜４４人の波長領域の軟Ｘ線に対し高い反射
率を示す軟Ｘ線多層膜反射鏡に関する。
ＮＷｊ１反射鏡に関し、特に、生体の蛋白質の観察に有
用な２３人〜４４人の波長領域の軟Ｘ線に対し高い反射
率を示す軟Ｘ線多層膜反射鏡に関する。
（従来の技術）
生体の蛋白質を観察するためのＸ線頚徴鏡には水力Ｘ線
に対する吸収率と蛋白質のＸ線に対する吸収率との差を
利用して像の濃淡が得られるように２３人〜４４人の波
長領域の軟Ｘ線が用いられている。軟Ｘ線の２３人〜４
４人の波長領域における蛋白質の軟Ｘ線に対する吸収率
は、第３図に示すように、水の軟Ｘ線に対する吸収率と
異なる。
に対する吸収率と蛋白質のＸ線に対する吸収率との差を
利用して像の濃淡が得られるように２３人〜４４人の波
長領域の軟Ｘ線が用いられている。軟Ｘ線の２３人〜４
４人の波長領域における蛋白質の軟Ｘ線に対する吸収率
は、第３図に示すように、水の軟Ｘ線に対する吸収率と
異なる。
本図から明らかなように、ポリイミド、プロティンなど
の蛋白質の軟Ｘ線に対する吸収率が水の軟Ｘ線に対する
吸収率の１０倍程度の値であることがわかる。
の蛋白質の軟Ｘ線に対する吸収率が水の軟Ｘ線に対する
吸収率の１０倍程度の値であることがわかる。
しかし、全ての物質は２３人〜４４人の波長領域の軟Ｘ
線に対し１に近い屈折率を示すから、軟Ｘ線に対して高
い反射率を示す反射鏡を単一の物質で構成することはで
きない。よって、軟Ｘ線に対して比較的高い反射率を得
るために、Ｘ線に対し互いに興なる屈折率を示す２つの
物質が交互に積層されている多層膜を有する多層膜反射
鏡が提案されている。多層膜反射鏡の多層膜における前
記物質の内の高い屈折率を示す物質からなる高屈折率層
の厚さと低い屈折率を示す物質からなる低屈折率層の厚
さとは前記高屈折率層と前記低屈折率層との境界で反射
されるＸ＠が互いに強め合う値に設定されていることに
より、前記高屈折ｓＦｗと前記低屈折率層との境界で反
射されるＸｗＡの位相は互いに一致されるから、比較的
高い反射率を得ることができる。
線に対し１に近い屈折率を示すから、軟Ｘ線に対して高
い反射率を示す反射鏡を単一の物質で構成することはで
きない。よって、軟Ｘ線に対して比較的高い反射率を得
るために、Ｘ線に対し互いに興なる屈折率を示す２つの
物質が交互に積層されている多層膜を有する多層膜反射
鏡が提案されている。多層膜反射鏡の多層膜における前
記物質の内の高い屈折率を示す物質からなる高屈折率層
の厚さと低い屈折率を示す物質からなる低屈折率層の厚
さとは前記高屈折率層と前記低屈折率層との境界で反射
されるＸ＠が互いに強め合う値に設定されていることに
より、前記高屈折ｓＦｗと前記低屈折率層との境界で反
射されるＸｗＡの位相は互いに一致されるから、比較的
高い反射率を得ることができる。
多層膜反射鏡のＸ線に対する反射率は多層膜を形成する
高い屈折率を示す物質と低い屈折率を示す物質との組合
せによって決定され、比教的高い反射率を得ることがで
きる物質の組合せがいくつか提案されている。
高い屈折率を示す物質と低い屈折率を示す物質との組合
せによって決定され、比教的高い反射率を得ることがで
きる物質の組合せがいくつか提案されている。
物質の組合せの１つとして、Ｘ線に対し高い屈折率を示
す物質としてＢｅ、Ｘ線に対し低い屈折率を示す物質と
してＮｉをそれぞれ用いるものがあり、該組合せによる
Ｂ ｅ ／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡は広く利用されている
。
す物質としてＢｅ、Ｘ線に対し低い屈折率を示す物質と
してＮｉをそれぞれ用いるものがあり、該組合せによる
Ｂ ｅ ／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡は広く利用されている
。
他の物質の組合せとして、高い屈折率を示す５ｉ０２と
低い屈折率を示すＮｉとからなるものがあり、該組合せ
によって得られるＳｉＯ２／Ｎｉ多層ＷＡ反射鏡がある
（特願昭６３−１２５０２４号）。
低い屈折率を示すＮｉとからなるものがあり、該組合せ
によって得られるＳｉＯ２／Ｎｉ多層ＷＡ反射鏡がある
（特願昭６３−１２５０２４号）。
さらに他の物質の組合せとして、高い屈折率を示すＬｉ
、ＬｉＨまたはＬｉ２Ｏと低い屈折率を示すＮｉとから
なるものがあり、該組合せによって得られるＬｉ系／
Ｎ ｉ多層膜反射鏡がある（特願昭６３−１９２１５８
号）。
、ＬｉＨまたはＬｉ２Ｏと低い屈折率を示すＮｉとから
なるものがあり、該組合せによって得られるＬｉ系／
Ｎ ｉ多層膜反射鏡がある（特願昭６３−１９２１５８
号）。
（発明が解決しようとする課題）
上記各種物質の組合せによる多層膜反射鏡の内でＬｉ系
／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡は、２３人〜４４人の波長領域
の軟Ｘ線に対してＢ ｅ ／ Ｎ を多層膜反射鏡およ
びＳｉＯ，／Ｎｉ多層膜反射鏡の反射率より高い反射率
を示す、ところが、Ｌｉ、ＬｉＨおよびＬｉｚ Ｏなど
のＬｉ系の物質は活性に富むから、Ｌｉ系の物質が空気
中の水分を吸収するなどの化学変化によってＬｉ系物質
が他の物質に変化され易く、Ｌｉ系／ Ｎ ｉ多層膜反
射鏡の反射性能は時間の経過とともに低下する。その結
果、Ｌｉ系／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡の耐久性は他の多層
膜反射鏡の耐久性より劣る。
／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡は、２３人〜４４人の波長領域
の軟Ｘ線に対してＢ ｅ ／ Ｎ を多層膜反射鏡およ
びＳｉＯ，／Ｎｉ多層膜反射鏡の反射率より高い反射率
を示す、ところが、Ｌｉ、ＬｉＨおよびＬｉｚ Ｏなど
のＬｉ系の物質は活性に富むから、Ｌｉ系の物質が空気
中の水分を吸収するなどの化学変化によってＬｉ系物質
が他の物質に変化され易く、Ｌｉ系／ Ｎ ｉ多層膜反
射鏡の反射性能は時間の経過とともに低下する。その結
果、Ｌｉ系／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡の耐久性は他の多層
膜反射鏡の耐久性より劣る。
本発明の目的は、Ｌｉ系／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡より耐
久性に優れ、しかもＢ ｅ ／ Ｎ ｉおよびＳｉＯ、
／Ｎｉの多層膜反射鏡より高い反射率を得ることができ
る軟Ｘ線多層膜反射鏡を提供することにある。
久性に優れ、しかもＢ ｅ ／ Ｎ ｉおよびＳｉＯ、
／Ｎｉの多層膜反射鏡より高い反射率を得ることができ
る軟Ｘ線多層膜反射鏡を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、Ｘ線に対し互いに異なる屈折率を示す２つの
物質が交互に積層されている多層膜を有し、前記２つの
物質の内の高い屈折率を示す物質からなる高屈折率層の
厚さと低い屈折率を示す物質からなる低屈折率層の厚さ
とは前記高屈折率層と前記低屈折率層との境界で反射さ
れるＸ線が互いに強め合う値に設定されている軟Ｘ線多
層膜反射鏡であって、前記高屈折率層の物質がＬｉＦで
あり、前記低屈折率層の物質がＮｉであることを特徴と
する。
物質が交互に積層されている多層膜を有し、前記２つの
物質の内の高い屈折率を示す物質からなる高屈折率層の
厚さと低い屈折率を示す物質からなる低屈折率層の厚さ
とは前記高屈折率層と前記低屈折率層との境界で反射さ
れるＸ線が互いに強め合う値に設定されている軟Ｘ線多
層膜反射鏡であって、前記高屈折率層の物質がＬｉＦで
あり、前記低屈折率層の物質がＮｉであることを特徴と
する。
（作用）
多層膜を形成する２つの物質の内の高い屈折率を示す物
質としてＬｉＦ（ｓ化すチウム）が用いられ、低い屈折
率を示す物質としてＮｉにッケル）が用いられているか
ら、ＬｉＦとＮｉとの組合せからなるＬ ｉ Ｆ ／
Ｎ ｉ多層膜は２３人〜４４人の波長領域の軟Ｘ線に対
して従来のＳｉＯ□／Ｎｉ多層膜およびＢ ｅ ／ Ｎ
ｉ多層膜の反射率よりも高い反射率を示す、また、Ｌ
ｆＦは不活性であることにより、Ｌ ｊＦと空気中の水
分などとは化学的に反応しないから、ＬｉＦからなる膜
は化学的に安定である。
質としてＬｉＦ（ｓ化すチウム）が用いられ、低い屈折
率を示す物質としてＮｉにッケル）が用いられているか
ら、ＬｉＦとＮｉとの組合せからなるＬ ｉ Ｆ ／
Ｎ ｉ多層膜は２３人〜４４人の波長領域の軟Ｘ線に対
して従来のＳｉＯ□／Ｎｉ多層膜およびＢ ｅ ／ Ｎ
ｉ多層膜の反射率よりも高い反射率を示す、また、Ｌ
ｆＦは不活性であることにより、Ｌ ｊＦと空気中の水
分などとは化学的に反応しないから、ＬｉＦからなる膜
は化学的に安定である。
（実施例）
第１図は本発明の軟Ｘ線多層膜反射鏡の一実施例を示す
断面図、第２図は第１図の軟Ｘ線多層膜反射鏡および従
来のＸ線多層膜反射鏡の反射率と波長との関係を示す図
である。
断面図、第２図は第１図の軟Ｘ線多層膜反射鏡および従
来のＸ線多層膜反射鏡の反射率と波長との関係を示す図
である。
軟Ｘ線多層膜反射鏡１０は、第１図に示すように、基板
１２と、基板１２に投けられている多層膜１４とを有す
る。多層Ｍ１４には、ＮｉからなるＮ１層１６とＬｉＦ
からなるＬｉＦ層１層上８交互に積層されている。Ｎｔ
ｌ’ｌ１６およびＬｉＦ層１層上８パッタリングによっ
て形成され、多層膜１４の積層数は９９である。
１２と、基板１２に投けられている多層膜１４とを有す
る。多層Ｍ１４には、ＮｉからなるＮ１層１６とＬｉＦ
からなるＬｉＦ層１層上８交互に積層されている。Ｎｔ
ｌ’ｌ１６およびＬｉＦ層１層上８パッタリングによっ
て形成され、多層膜１４の積層数は９９である。
ＬｉＰ層１８は２３，３人〜４４人の波長停域の軟Ｘ線
に対してＮ１層１６の屈折率より高い屈折率を示し、Ｌ
ｉＦ層１層上８折率とＮ１層１６の屈折率との差は小さ
い、ＬｉＦｊｌ１８とＮ１層１６との僅かな屈折率の差
によって軟Ｘ＊４．ｔＬｉＦ層１８とＮ１層１６との境
界のそれぞれで僅かに反射される。Ｎ１層１６とＬｉＦ
層１層上８厚さは、各層の境界で反射される軟Ｘ線の位
相が揃いかつそれら反射波が互いに強め合う値に設定さ
れている。なお、第１図に示されるＮ１層１６の厚さ方
向の寸法およびＬｉＦ層１層上８さ方向の寸法は横方向
の寸法より拡大されている。
に対してＮ１層１６の屈折率より高い屈折率を示し、Ｌ
ｉＦ層１層上８折率とＮ１層１６の屈折率との差は小さ
い、ＬｉＦｊｌ１８とＮ１層１６との僅かな屈折率の差
によって軟Ｘ＊４．ｔＬｉＦ層１８とＮ１層１６との境
界のそれぞれで僅かに反射される。Ｎ１層１６とＬｉＦ
層１層上８厚さは、各層の境界で反射される軟Ｘ線の位
相が揃いかつそれら反射波が互いに強め合う値に設定さ
れている。なお、第１図に示されるＮ１層１６の厚さ方
向の寸法およびＬｉＦ層１層上８さ方向の寸法は横方向
の寸法より拡大されている。
次に、Ｘ線が多層膜１４に角度２０°で入射するとき、
第２図に示すように、軟Ｘ線多層膜反射鏡１０は、２３
．３人〜８０人の波長領域において、従来のＢ ｅ ／
Ｎ ｉ多層膜反射鏡およびＳｉＯ２／Ｎｉ多層膜反射
鏡の反射率より高い反射率を示す。なお、本図で示され
る各多層膜反射鏡のＸ線に対する反射率は数値計算によ
って得られた値であり、従来のＢ ｅ ／ Ｎ ｉ多層
膜反射鏡の反射率および５ｉＯｚ／Ｎｉ多Ｆｉ！暎反射
鏡の反射率６オそれぞれの積層数を９９として計算され
ている。
第２図に示すように、軟Ｘ線多層膜反射鏡１０は、２３
．３人〜８０人の波長領域において、従来のＢ ｅ ／
Ｎ ｉ多層膜反射鏡およびＳｉＯ２／Ｎｉ多層膜反射
鏡の反射率より高い反射率を示す。なお、本図で示され
る各多層膜反射鏡のＸ線に対する反射率は数値計算によ
って得られた値であり、従来のＢ ｅ ／ Ｎ ｉ多層
膜反射鏡の反射率および５ｉＯｚ／Ｎｉ多Ｆｉ！暎反射
鏡の反射率６オそれぞれの積層数を９９として計算され
ている。
ＬｉＦは不活性な物質であることにより、ＬｉＦと空気
中の水分などとは化学的に反応しないから、ＬｔＦから
なるＬＬＦＭ］１８は化学的に安定な層である。その結
果、ＬｊＦ層１層上８ ｉ Ｆｉ １６とからなる多１
！！Ａ１４を有する軟Ｘ線多層膜反射鏡１０の耐久性は
従来のＬｉ系／ Ｎ を多層膜反射鏡の耐久性より優れ
ている。
中の水分などとは化学的に反応しないから、ＬｔＦから
なるＬＬＦＭ］１８は化学的に安定な層である。その結
果、ＬｊＦ層１層上８ ｉ Ｆｉ １６とからなる多１
！！Ａ１４を有する軟Ｘ線多層膜反射鏡１０の耐久性は
従来のＬｉ系／ Ｎ を多層膜反射鏡の耐久性より優れ
ている。
（発明の効果）
本発明によれば、前記多層膜の高屈折率層がＬｉＦから
なり、低屈折率層がＮｉからなるから、２３人〜４４人
の波長領域に対する軟Ｘ線に対する反射率を従来のＢ
ｅ ／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡およびＳｉＯ□／Ｎｉ多層
膜反射鏡の反射率より高くす葛をとができ、また、耐久
性を従来のＬｉ系／Ｎ１多層展反射鏡の耐久性より向上
させることができる。
なり、低屈折率層がＮｉからなるから、２３人〜４４人
の波長領域に対する軟Ｘ線に対する反射率を従来のＢ
ｅ ／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡およびＳｉＯ□／Ｎｉ多層
膜反射鏡の反射率より高くす葛をとができ、また、耐久
性を従来のＬｉ系／Ｎ１多層展反射鏡の耐久性より向上
させることができる。
第１図は本発明の軟Ｘ線多層膜反射鏡の一実施例を示す
断面図、第２図は第１図の軟Ｘ線多層膜反射鏡および従
来のＸ線多層膜反射鏡の反射率と波長との関係を示す図
、第３図は各種の物質の３０人前後のＸ線に対する吸収
率と波長との関係を示す図である。 １０・・・軟Ｘ線多層膜反射鏡、１４・・・多！ａ膜、
１６・・・Ｎｉ層（低屈折率層）、１８・・・ＬｉＦ層
（高屈折率Ｎ）。 第１図
断面図、第２図は第１図の軟Ｘ線多層膜反射鏡および従
来のＸ線多層膜反射鏡の反射率と波長との関係を示す図
、第３図は各種の物質の３０人前後のＸ線に対する吸収
率と波長との関係を示す図である。 １０・・・軟Ｘ線多層膜反射鏡、１４・・・多！ａ膜、
１６・・・Ｎｉ層（低屈折率層）、１８・・・ＬｉＦ層
（高屈折率Ｎ）。 第１図
Claims (1)
- Ｘ線に対し互いに異なる屈折率を示す２つの物質が交互
に積層されている多層膜を有し、前記２つの物質の内の
高い屈折率を示す物質からなる高屈折率層の厚さと低い
屈折率を示す物質からなる低屈折率層の厚さとは前記高
屈折率層と前記低屈折率層との境界で反射されるＸ線が
互いに強め合う値に設定されている軟Ｘ線多層膜反射鏡
において、前記高屈折率層の物質がＬｉＦであり、前記
低屈折率層の物質がＮｉであることを特徴とする軟Ｘ線
多層膜反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14224590A JPH0434400A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14224590A JPH0434400A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0434400A true JPH0434400A (ja) | 1992-02-05 |
Family
ID=15310821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14224590A Pending JPH0434400A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0434400A (ja) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388502A (ja) * | 1986-10-01 | 1988-04-19 | Canon Inc | 軟ｘ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡 |
| JPS63273099A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Nec Corp | 分光素子 |
| JPS6481909A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Nec Corp | Spectral element |
| JPS6481907A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Nec Corp | Spectral element |
| JPS6481908A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Nec Corp | Spectral element |
| JPS6481910A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Nec Corp | Spectral element |
| JPH0242399A (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-13 | Agency Of Ind Science & Technol | 軟ｘ線用多層膜反射鏡 |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP14224590A patent/JPH0434400A/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388502A (ja) * | 1986-10-01 | 1988-04-19 | Canon Inc | 軟ｘ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡 |
| JPS63273099A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Nec Corp | 分光素子 |
| JPS6481909A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Nec Corp | Spectral element |
| JPS6481907A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Nec Corp | Spectral element |
| JPS6481908A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Nec Corp | Spectral element |
| JPS6481910A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Nec Corp | Spectral element |
| JPH0242399A (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-13 | Agency Of Ind Science & Technol | 軟ｘ線用多層膜反射鏡 |
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