JPH0434738U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0434738U JPH0434738U JP7642190U JP7642190U JPH0434738U JP H0434738 U JPH0434738 U JP H0434738U JP 7642190 U JP7642190 U JP 7642190U JP 7642190 U JP7642190 U JP 7642190U JP H0434738 U JPH0434738 U JP H0434738U
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- JP
- Japan
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- wafer
- metal disk
- thinned wafer
- thinned
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- Pending
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
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- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Description
第１図ａ，ｂはこの考案の一実施例を示すウエ
ハ支持装置の上面図とＡ−Ａ断面図、第２図ａ，
ｂは他の実施例を示すウエハ支持装置の上面図と
Ｂ−Ｂ断面図、第３図ａ，ｂは従来の薄板化ウエ
ハの平面図とピンセツトで薄板化ウエハをつかん
だ状態を示す断面図、第４図ａ，ｂは従来の薄板
化ウエハを収納する専用平置きケースの斜視図、
第５図ａ，ｂはＧａＡｓウエハの薄板化加工前と
加工後の様子を示す断面図である。 図において、１は金属円板、２は薄板化ウエハ
、３はドーナツ状の樹脂テープ、４は貫通孔、５
はステンレス製ピンセツトである。なお、各図中
の同一符号は同一または相当部分を示す。
ハ支持装置の上面図とＡ−Ａ断面図、第２図ａ，
ｂは他の実施例を示すウエハ支持装置の上面図と
Ｂ−Ｂ断面図、第３図ａ，ｂは従来の薄板化ウエ
ハの平面図とピンセツトで薄板化ウエハをつかん
だ状態を示す断面図、第４図ａ，ｂは従来の薄板
化ウエハを収納する専用平置きケースの斜視図、
第５図ａ，ｂはＧａＡｓウエハの薄板化加工前と
加工後の様子を示す断面図である。 図において、１は金属円板、２は薄板化ウエハ
、３はドーナツ状の樹脂テープ、４は貫通孔、５
はステンレス製ピンセツトである。なお、各図中
の同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 金属円板上に薄板化ウエハを載置し、この薄板
化ウエハの周辺部と金属円板上とにまたがつてド
ーナツ状の樹脂テープを配置して前記薄板化ウエ
ハを金属円板上に固定したことを特徴とするウエ
ハ支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7642190U JPH0434738U (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7642190U JPH0434738U (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0434738U true JPH0434738U (ja) | 1992-03-23 |
Family
ID=31617877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7642190U Pending JPH0434738U (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0434738U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011023546A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 電子部品保持具及びその使用方法 |
-
1990
- 1990-07-16 JP JP7642190U patent/JPH0434738U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011023546A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 電子部品保持具及びその使用方法 |